KR100671571B1 - 디스크 모양의 웨이퍼 - Google Patents

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Abstract

70MPa 이상의 압력에서 무기 흡수제, 20-60중량%바인더 및 10-15중량%물(총 혼합물에 대해서)을 함유한 혼합물을 압축하고; 물 함량이 대부분 제거될 때까지 결과의 굽지 않은 웨이퍼를 500℃이상의 온도에서 소결하여 수득되는 700마이크론 미만의 두께를 가지며 무기 흡수제 및 바인더에 기초한 디스크형 웨이퍼가 발표된다.

Description

디스크 모양의 웨이퍼{LAMINATED PRESSED ARTICLES}
본 발명은 무기 흡수제 및 바인더에 기초한 두께가 700마이크론 미만인 디스크형 웨이퍼에 관계하는데, 잘 깨지지 않으며 높은 기계적 강도를 가지며 무기 및 유기 가스나 증기를 효과적으로 흡수할 수 있음을 특징으로 한다.
제올라이트 및 바인더에 기초한 웨이퍼, 특히 정제(tablet)의 제조는 공지이다. 따라서 JP-A-61 15 5216에서 제올라이트, 바인더 및 윤활제를 혼합하고 혼합물을 압출하여 제올라이트 정제가 제조된다. 이 정제는 모든 방향에서 치수가 동일하다.
JP-A-56 06 3818은 가스 흡착제로서 사용하는 제올라이트 정제 제조방법을 발표하는데, 105-110℃로 건조된 제올라이트 분말이 8.1중량% 벤토나이트 분말과 혼합되고 4% 요소 수용액으로 반죽된다. 이 혼합물을 정제로 만들고 건조하고 510℃에서 소결한다. 요소 함량에 따라 압축강도가 증가한다.
JP-A-55 16 5144는 분말 형태의 냉동제 응집체용 제올라이트 분말을 벤토나이트 및 물로 반죽하고 혼합물을 압출하고 직경이 0.8-10mm인 둥근 입자를 형성하는 단계를 포함한다.
JP-A-55 10 4913에서 Na 형태의 제올라이트가 25중량%점토와 혼합되고 물로 반죽되고 압출되고 650℃에서 소결되고 염화칼슘용액에 담그고 세척하고 110℃에서 건조하고 400℃에서 활성화 된다. 정제는 건조제로 사용된다.
JP-A-603 2572에서 제올라이트 분말은 카올린 및 Na(또는 NH4)-히드록시메틸셀룰로오스와 혼합되고 성형되고 건조되고 650℃에서 소결되어 제올라이트 정제의 압축강도가 증가된다.
JP-A-21 44 121에서 제올라이트 분말이나 입자를 염화칼슘 또는 벤토나이트와 물과 혼합하고 혼합물을 정제로 만들고 정제를 소결하여 탈취제가 형된다.
JP-A-63 218 234에서 미세다공성 입자(석고, 시멘트, 세라믹 분말)와 무기 또는 유기 충전제(CaCl, LiCl, 벤토나이트, 제올라이트, PVA 또는 다른 수용성 폴리머)로 구성된 혼합물을 압출시켜 건조제가 제조된다. 혼합물은 정제가 된 이후에 경화된다.
JP-A-60 132 643에 따르면 바인더로서 20% 세피얼라이트를 사용하여 건조제로서 제올라이트 정제가 제조된다. 물을 써서 혼합물이 반죽되고 정제가 되고 150℃에서 건조, 550℃에서 소결된다. 이 정제는 벤토나이트 정제에 비해서 향상된 건조 효과를 갖는다.
공지 기술에 따라 제조된 정제는 너무 두껍고 무거우며 질랴 및 표면 측면에서 독성 가스 및 증기에 대해 낮은 흡착력을 가지므로 공간이 제한된 조건과 기계적 응력 하에서 사용하기에 적합하지 않다. 공지 기술에 따른 공정과 혼합물을 사용하면 특히 연소 후에 부서지기 쉬운 웨이퍼가 수득된다.
전기 발광 디바이스는 건조제가 존재할 경우에만 장시간에 걸쳐서 제대로 작동한다는 사실이 알려진다. 이것은 전극, 특히 음극이 습기에 민감하기 때문이다(음극은 Ca 또는 Mg합금으로 구성된다). 그러므로 이들 디바이스는 보호 가스 하에서 밀봉된다.
EP500 382 A2에서 전기 발광 디바이스에서 습기 흡수제의 사용이 발표된다. 분말이나 구슬 형태의 건조제에 흑색 실리콘 코팅이 적용된다. 한 측면에서 건조제가 가스 투과성 백에 담긴다.
US-A-5,882,761은 유사하게 전기 발광 디바이스에서 건조제의 사용을 발표한다. BaO가 선호되는 건조제로 사용된다.
상기 문헌들에서 공지된 흡수제는 단지 수증기만을 흡수할 수 있다는 단점을 가진다. 그러나 물 이외에 밀봉 세트에 사용되는 에폭시 수지와 같은 다른 기체(암모니아, 휘발성 아민)에 의해 음극이 공격 받을 수 있다. 또한 산소의 작용도 발광 소자의 고장(음극의 산화)을 초래한다.
본 발명의 목적은 두께가 얇음에도 불구하고 고강도를 가지므로 공간이 제한되고 진동에 노출될 수 있는 전자 소자(예, 자동차의 전자 표시 장치와 이동전화)에 설치될 수 있는 무기 흡수제 및 바인더에 기초하며 두께가 얇은(700마이크론 미만)의 디스크 모양의 웨이퍼이다.
이러한 목적은 70MPa 이상의 압력에서 무기 흡수제, 20-60중량%바인더 및 10-15중량%물(총 혼합물에 대해서)을 함유한 혼합물을 압축하고; 물 함량이 대부분 제거될 때까지 결과의 굽지 않은 웨이퍼를 500℃이상의 온도에서 소결하여 700마이크론 미만의 두께를 가지며 무기 흡수제 및 바인더에 기초한 디스크형 웨이퍼를 제조함으로써 달성된다.
본 발명의 웨이퍼는 적은 질량에서 고 흡수용량, 고강도, 저 취성 및 고 흡수속도를 갖는다. 이들은 저 열팽창을 보이며 마모가 되지 않으며 제조 동안에 안료를 첨가하여 쉽게 착색된다.
충분한 강도를 갖는 굽지 않은 웨이퍼를 획득하기 위해서 표시된 혼합 비율의 흡수제, 바인더 및 물의 접착성과 압축압력이 대단히 중요하다. 흡수제와 바인더의 혼합비율이 생성물 성질에 미치는 효과를 연구하기 위해서 다양한 흡수제 및 바인더의 상이한 물 함량의 효과를 제거하도록 건조 바인더와 건조 흡수제를 사용하는 것이 좋다. 게다가 이러한 물의 양은 가공 공정에서 혼합물의 거동과 최종 생성물의 품질에 영향을 미치지만 흡수제나 바인더에 의해 물이 구조적으로 강하게 결합되지 않으므로 160℃까지 가열하여 측정될 수 있는 비교적 약하게 결합된 비율만을 고려하는 것이 물 함량의 계산이나 설정에 유리하다.
이 개념을 설명하기 위해서 다음 예가 사용될 수 있다. 흡수제 제올라이트 4A는 500℃ 이상에서만 완전 제거될 수 있는 20중량%의 물 함량을 갖는 시판 분말이다. 바인더로서 160℃에서 완전 제거될 수 있는 12중량%의 물 함량을 갖는 벤토나이트가 사용된다.
청구항1에서처럼 70중량% 제올라이트4A, 20중량% 벤토나이트 및 10중량% 물이 혼합되면 건조 바인더에 대한 건조 흡수제의 중량비는 (0.8*70)/(0.88*20)=3.2 이다.
160℃에서 건조에 의해서 결정될 수 있는 물 함량은 혼합물에 첨가된 물(10중량%)와 벤토나이트에 약하게 결합된 물이다: 10+(0.12*20)=12.4
따라서 혼합물은 3.2의 건조 흡수제 대 건조 바인더의 중량비와 12.4중량%의 물 함량을 갖는다.
청구항1에서처럼 25중량% 제올라이트4A, 60중량% 벤토나이트 및 15중량% 물이 혼합되면 건조 바인더에 대한 건조 흡수제의 중량비는 (0.8*25)/(0.88*60)=0.4이다.
160℃에서 건조에 의해서 결정될 수 있는 물 함량은 혼합물에 첨가된 물(15중량%)와 벤토나이트에 약하게 결합된 물이다: 15+(0.12*60)=22.2
따라서 혼합물은 0.4의 건조 흡수제 대 건조 바인더의 중량비와 22.2중량%의 물 함량을 갖는다.
웨이퍼가 소결되면 바인더에 약하게 결합된 물과 흡수제에 강하게 결합된 물 뿐만 아니라 구조적으로 바인더에 강하게 결합된 물도 방출될 수 있다. 소결 온도에서 바인더로서 벤토나이트를 사용할 경우에 8면체 배위결합된 마그네슘과 알루미늄 이온에 결합된 수산기가 물로서 방출된다. 따라서 소결 동안 방출된 물의 총량은 흡수제 대 바인더의 비율, 흡수제 및 바인더의 성질, 첨가된 물의 양에 달려있다. 예컨대 흡수제로서 제올라이트4A와 바인더로서 벤토나이트로부터 형성된 혼합물에서 건조 흡수제 대 건조 바인더의 혼합 비율은 1.3이고 물 함량은 8-20중량%이고 소결 동안에 20-32중량%가 물로서 방출된다.
이러한 양의 물이 방출되어 일정한 중량이 달성될 때까지 소결 온도 이상의 온도에 웨이퍼가 유지된다. 따라서 한 측면에서 2중량%미만의 잔류 습기 함량까지(소결온도에서 측정된) 건조나 소결이 일어난다.
한 측면에서 본 발명은 700마이크론 미만의 두께를 가지며 무기 흡수제 및 바인더를 함유하며 건조 바인더에 대한 건조 흡수제의 중량비가 3.2-0.4인 디스크형 웨이퍼에 관계한다. 160℃에서 측정된 혼합물의 물 함량은 8-22중량%이다. 무기 흡수제, 바인더, 물 및 가공 보조제를 함유한 혼합물이 70MPa 이상의 압력에서 압축되고 결과의 굽지 않은 웨이퍼가 500℃이상의 온도에서 소결되는 공정을 사용하여 웨이퍼가 수득될 수 있다. 2중량%이하의 잔류 습기 함량까지(소결온도에서 측정된) 또는 일정한 중량으로 건조나 소결이 일어난다. 건조 바인더에 대한 건조 흡수제의 선호되는 혼합 비율은 2.1-0.7이다.
본 발명의 웨이퍼는 단위 시간당 다수로 자동화 공정에서 제조될 수 있다. 이들은 소위 "픽-앤드-플래이스(pick-and-place)"기계를 사용하여 쉽게 취급되고 저장용기에서 제거될 수 있으며 전자 디바이스에 삽입될 수 있다.
본 발명의 웨이퍼는 수증기뿐만 아니라 다른 기체(암모니아, 아민, 산소)도 흡수할 수 있다. 이들은 높은 흡수 용량을 가지므로 이들이 삽입될 전자 디바이스는 완전 기밀식일 필요가 없다.
무기 흡수제는 천연 또는 합성 제올라이트를 포함한다. 그러나 비정질 규산이나 수산화알루미늄 및 무기 흡수제 혼합물과 같은 다른 흡수제가 사용될 수 있다.
원칙적으로 당해 분야 숙련자에게 적합하다고 간주될 수 있는 모든 바인더가 사용될 수 있다. 스멕타이트형 점토, 특히 벤토나이트가 바인더로서 사용된다.
유사하게 알루미늄 산화물 수산화물(수도보헤마이트)와 같은 다른 무기 바인더도 사용될 수 있다. 또한 전분, 셀룰로오스 유도체(CMC 또는 CEC), 카세인과 같은 탄수화물이나 단백질 기초 유기 바인더나 PVA, PVP, 폴리페놀 또는 타닌산 함유 바인더(케브라초)와 같은 합성 폴리머도 사용될 수 있다. 다양한 바인더의 혼합물도 사용될 수 있다.
놀랍게도 제올라이트에 벤토나이트의 첨가가 제올라이트의 흡수용량을 감소시키지 않았다. 사실상 상승효과가 생기는데, 즉 혼합물에 의한 수증기 흡수용량이 계산에 기초한 기대치보다 훨씬 적게 감소되었다.
특히 웨이퍼의 두께는 200-400마이크론이고, 바인더 함량은 40-50중량%이다.
본 발명은 또한 무기 흡수제, 20-60중량%바인더, 10-15중량%물 및 0-5중량%가공보조제를 함유한 혼합물이 70MPa 이상의 압력에서 압축되고 결과의 굽지 않은 웨이퍼가 500℃이상의 온도에서 물 함량이 대부분 제거될 때까지 소결되는 웨이퍼 제조공정에 관계한다. 사용된 흡수제나 바인더의 물 함량이 이미 충분하면 추가적인 물을 첨가할 필요가 없다.
본 발명의 한 측면에서 건조 바인더에 대한 건조 흡수제의 중량비가 3.2-0.4이다. 160℃에서 측정된 혼합물의 물 함량은 8-22중량%이다.
선호되는 공정은 10-25중량%, 특히 12중량%까지의 물 함량으로 혼합물이 건조되는 단계로 구성되고, 건조된 과립은 250마이크론 미만의 입자 크기로 분쇄된 다.
혼합물이 웨이퍼로 압축될 경우에 혼합물이 250마이크론 이상, 특히 200마이크론 이상, 더더욱 150 마이크론 이상의 입자를 15중량%이하, 특히 8중량%이하, 더더욱 0중량% 함유할 때 최상의 결과가 달성될 수 있음이 발견되었다. 게다가 45마이크론 미만의 입자 비율은 50중량%이하, 특히 30중량%이하, 더더욱 20중량%이하여야 한다. 이 방식으로 제조된 웨이퍼는 유리한 물성 및 화학적 성질을 갖는다.
선호되는 A-제올라이트는 분말 형태로 이용 가능하며 10-22중량%의 수분 함량을 가진다. 제올라이트는 10-20중량%, 특히 12중량%의 수분 함량을 갖는 벤토나이트 분말 및 물과 혼합되고 이 혼합물은 이후에 과립화 된다.
혼합물의 물 함량은 벤토나이트의 성질에 달려있으며 과립화될 수 있는 벤토나이트/제올라이트 혼합물에 많은 물이 첨가 되어야 한다.
고 효율 믹서가 이 목적에 사용된다. 특히 벤토나이트는 80중량%이상의 몬트모릴로나이트 함량을 가진다.
칼슘 또는 알루미늄 스테아레이트와 같은 2가나 3가 금속의 지방산염이 가공 보조제로서 선호된다.
선호되는 가공 압력은 100-1300MPa이다.
일정한 중량이 될 때까지 웨이퍼는 500-900℃, 특히 650℃로 가열된다.
웨이퍼는 또한 진공 하에서 소결되어서 산소와 같은 가스도 흡수된다.
게다가 웨이퍼는 Fe3O4와 같은 염색 안료를 함유할 수 있다.
본 발명은 또한 디스플레이 디바이스와 같은 전자 디바이스나 소자, 특히 유기 발광 다이오드(LED)와 같은 전기 발광 소자에 삽입물로서 웨이퍼의 용도에 관계한다. 그러나 본 발명의 물질은 습기에 민감한 액정 디스플레이(LCD)에 사용될 수도 있다.
이들 디바이스나 소자는 작동시 제조 또는 사용 동안 무기 또는 유기 가스나 증기에 의해 손상을 받을 수 있으며 디자인의 결과로서 흡수제에 이용 가능한 공간이 극히 적다.
이들 전자 디바이스나 소자(예컨대 자동차나 이동 전화의 디스플레이 디바이스)는 종종 강한 진동에 노출되므로 웨이퍼가 파괴되지 않는 것이 중요하다. 이들의 강도 때문에 가스 투과성 필름으로 웨이퍼를 피복할 필요가 없으므로 전자소자 제조가 단순화 된다.
BaO에 비해서 전자 소자의 크기 및 단가가 구별되게 감소될 수 있다. 따라서 무게에 비해서 웨이퍼는 전자 소자 내에서 필요한 온도 및 습도 범위에서 수증기에 대해서 더 높은 흡수용량 및 흡수속도를 갖는다. 게다가 BaO를 사용할 경우 수화 반응 동안 재료의 부피가 100% 증가하므로 소자 내에 건조제 팽창을 위한 추가 부피가 제공되어야 하며 BaO와 전기 발광층 사이에 수증기에 투과성이며 팽창하고 부서지는 건조제와 층 사이에 접촉을 방지하는 층이 배치되어야 한다. 역으로 수증기가 흡수될 때 웨이퍼는 부피변화가 없이 기계적으로 안정적이어서 소자 내에서 추가 부피 팽창에 이용 가능한 보호막 부착을 하지 않을 수 있다.
추가적으로 BaO는 그 자체와 수화 생성물이 고 염기성 방식으로 반응하며 습 기가 흡수될 경우 국부적으로 과열시키며 유기 화합물과 직접 접촉하면 자체-점화하는 경향이 있다는 단점에 있다. 이것은 보호막용 필름의 선택을 매우 비싼 불소폴리머와 같은 물질로 제한하므로 소자 단가를 상승시킨다. 게다가 BaO는 건강에 유해한 약품으로서 전자 소자 개별 부품의 해체, 재-사용 및 처리를 매우 어렵게 만들므로 BaO를 사용할 경우 처리 문제가 발생한다.
그러나 본 발명의 웨이퍼는 제한된 부피만이 건조제 수용에 이용 가능하므로 제약 포장과 같은 다른 목적으로 사용될 수 있다.
웨이퍼는 원형, 사각형, 삼각형 또는 직사각형과 같은 모양을 가지며 구멍이나 오목부를 포함할 수 있다. 본 발명의 웨이퍼는 먼지가 없으며 내마모성이다. 이들은 통상의 자동 압축기에서 단위시간당 대량으로 제조된다. 다중 공구가 있는 프레스가 사용된다.
도1은 유기 전기 발광 소자를 보여준다.
*부호설명
1...유기 전기 발광 소자 2...웨이퍼
3...배면 벽 4...접착제
5...유리 기판 6...발광 부분
7...양극 8...발광층
9...음극
실시예1(비교)
75.2kg 제올라이트 4A(물 함량 20%), 23.6kg 벤토나이트(물 함량 12%) 및 1kg 스테아르산칼슘이 2분간 고 효율 믹서에서 혼합된다. 점도가 크게 상승할 때까지 물이 첨가되고 추가 4분간 혼합을 계속 한다. 110℃에서 12% 물 함량으로 혼합물을 건조하고 과립화하고(Stokes 과립화기) 채로 거른다(250마이크론). 입자 크기가 250마이크론 미만인 0.22g의 재료가 69MPa 압력으로 둥근 웨이퍼로 압축된다. 굽지 않은 웨이퍼를 3시간 동안 650℃에서 소결하고 습기를 방지하면서 냉각하고 기밀 포장한다. 웨이퍼의 두께는 소결 동안에 15-25%정도 감소한다.
생성물 성질
두께: 300+/-50마이크론
수분 함량(소결후): <1%
제조 스크랩: >90%
드롭 테스트*: 100%파괴, 웨이퍼 모서리가 파괴됨
*드롭 테스트는 압축강도 측정에 이용되며 100개의 소결된 웨이퍼(직경이 27mm인 둥근 웨이퍼)가 평평한 면을 아래로 하고 1m 높이에서 떨어진다. 파괴된 시편의 비율이 조사된다.
실시예2(비교)
57kg 제올라이트 4A(물 함량 20%), 42kg 벤토나이트(물 함량 12%) 및 1kg 스테아르산칼슘이 2분간 고 효율 믹서에서 혼합된다. 점도가 크게 상승할 때까지 물 이 첨가되고 추가 4분간 혼합을 계속 한다. 110℃에서 12% 물 함량으로 혼합물을 건조하고 과립화하고(Stokes 과립화기) 채로 거른다(250마이크론). 입자 크기가 250마이크론 미만인 0.22g의 재료가 69MPa 압력으로 둥근 웨이퍼로 압축된다. 굽지 않은 웨이퍼를 3시간 동안 650℃에서 소결하고 습기를 방지하면서 냉각하고 기밀 포장한다.
생성물 성질
두께: 300+/-50마이크론
수분 함량(소결후): <1%
제조 스크랩: 75%
드롭 테스트*: 80%파괴
실시예3
57kg 제올라이트 4A(물 함량 20%), 42kg 벤토나이트(물 함량 12%) 및 1kg 스테아르산칼슘이 2분간 고 효율 믹서에서 혼합된다. 점도가 크게 상승할 때까지 물이 첨가되고 추가 4분간 혼합을 계속 한다. 110℃에서 12% 물 함량으로 혼합물을 건조하고 과립화하고(Stokes 과립화기) 채로 거른다(250마이크론). 입자 크기가 250마이크론 미만인 0.22g의 재료가 72MPa 압력으로 둥근 웨이퍼로 압축된다. 굽지 않은 웨이퍼를 실시예2와 같이 처리한다.
생성물 성질
두께: 300+/-50마이크론
수분 함량(소결후): <1%
제조 스크랩: <50%
드롭 테스트*: 60%파괴
실시예4
57kg 제올라이트 4A(물 함량 20%), 42kg 벤토나이트(물 함량 12%) 및 1kg 스테아르산칼슘이 2분간 고 효율 믹서에서 혼합된다. 점도가 크게 상승할 때까지 물이 첨가되고 추가 4분간 혼합을 계속 한다. 110℃에서 12% 물 함량으로 혼합물을 건조하고 과립화하고(Stokes 과립화기) 채로 거른다(250마이크론). 입자 크기가 250마이크론 미만인 0.22g의 재료가 350MPa 압력으로 웨이퍼로 압축된다. 굽지 않은 웨이퍼를 3시간 동안 650℃에서 소결하고 습기를 방지하면서 냉각하고 기밀 포장한다.
생성물 성질
두께: 300+/-50마이크론
수분 함량(소결후): <1%
제조 스크랩: <25%
드롭 테스트*: 15%파괴
흡수 용량* 1시간 후: 5.4중량%
5시간 후: 7.2중량%
24시간 후: 13.0중량%
수증기 흡수용량*은 10%습도의 대기에서 25℃에서 측정된다.
실시예5
굽지 않은 웨이퍼의 소결이 진공에서 행해진다는 것을 제외하고는 실시예4의 절차가 반복된다. 소결된 웨이퍼는 실시예4의 웨이퍼와 동일한 제품 성질을 갖지만 추가로 약 5ml/g의 산소 흡수 용량을 보인다(무수 산소 대기에서 측정된).
실시예6
56.9kg 제올라이트 4A(물 함량 20%), 41.5kg 벤토나이트(물 함량 12%), 1kg 스테아르산칼슘 및 1kg 케브라초가 2분간 고 효율 믹서에서 혼합된다. 점도가 크게 상승할 때까지 물이 첨가되고 추가 4분간 혼합을 계속 한다. 110℃에서 12% 물 함량으로 혼합물을 건조하고 과립화하고(Stokes 과립화기) 채로 거른다(250마이크론). 입자 크기가 250마이크론 미만인 0.22g의 재료가 200MPa 압력으로 웨이퍼로 압축된다. 굽지 않은 웨이퍼를 3시간 동안 650℃에서 소결하고 습기를 방지하면서 냉각하고 기밀 포장한다.
생성물 성질
두께: 300+/-50마이크론
수분 함량(소결후): <1%
제조 스크랩: <35%
드롭 테스트*: 10%파괴
실시예7
압축에 사용된 압력이 1200MPa인 것을 제외하고는 실시예4의 절차가 반복된다. 드롭 테스트는 10%파괴를 가져오며 스크랩은 <10%이다.
실시예8
64kg 제올라이트 4A, 40kg 벤토나이트, 5kg Fe3O4 및 1kg 스테아르산칼슘이 사용된 것을 제외하고는 실시예4의 절차가 반복된다. 결과의 웨이퍼는 검게 착색되어 LED에서 콘트라스트 표면으로 사용된다.
실시예9
57kg 제올라이트 4A(물 함량 20%), 42kg 애터펄자이트/카올린(물 함량 12%) 및 1kg 스테아르산칼슘이 2분간 고 효율 믹서에서 혼합된다. 점도가 크게 상승할 때까지 물이 첨가되고 추가 4분간 혼합을 계속 한다. 110℃에서 12% 물 함량으로 혼합물을 건조하고 과립화하고(Stokes 과립화기) 채로 거른다(150마이크론). 입자 크기가 150마이크론 미만인 0.17g의 재료가 200MPa 압력으로 웨이퍼로 압축된다. 굽지 않은 웨이퍼를 3시간 동안 650℃에서 소결하고 습기를 방지하면서 냉각하고 기밀 포장한다.
생성물 성질
두께: 300+/-50마이크론
수분 함량(소결후): <1%
제조 스크랩: 25%
드롭 테스트*: 75%파괴
실시예10
도1에 도시된 대로 실시예4의 웨이퍼(둥근, 직경 27mm)를 사용하여 유기 전기 발광 소자(1, 사각형, 표면 12.9cm2)가 제조된다. 웨이퍼(2)가 소자의 배면 벽(3)상에 장착된 이후에 접착제(4)를 사용하여 유리 기판(5)에 부착되고 접착제를 사용하여 가능한 많이 밀봉된다. 이후에 발광 부분(6, 양극(7), 발광층(8) 및 음극(9)으로 구성된)의 광학현미경사진(50배율)이 취해진다. 이 사진은 음극(9)상에 공격을 나타내는 어떠한 흑색(비-발광) 반점도 보이지 않는다.
실시예11
실시예9에서처럼 유기 전기발광 소자(1)가 BaO를 사용하여 제조된다. BaO의 피막은 얇은 양면 접착테이프를 사용하여 배면 벽(3)에 부착된 물-투과성 테플론 필름이다. BaO, 테플론 필름 및 양면 접착테이프의 총 질량이 실시예9의 웨이퍼에 대응하도록 하는 양의 BaO가 사용된다. 이후에 저장 전과 85%습도 및 85℃의 온도에서 500시간 동안 저장 후에 발광 부분의 확대사진을 취한다. 두 사진의 비교는 음극(9)상에 공격을 나타내는 흑색점의 성장을 보여준다.

Claims (23)

  1. 70MPa 이상의 압력에서 무기 흡수제, 20-60중량%바인더 및 10-15중량%물(총 혼합물에 대해서)을 함유한 혼합물을 압축하고; 잔류수분 함량이 2 중량% 미만이 될 때까지 결과의 굽지 않은 웨이퍼를 500℃이상의 온도에서 소결하여 수득되는 700마이크론 미만의 두께를 가지며 무기 흡수제 및 바인더에 기초한 디스크형 웨이퍼.
  2. 제 1항에 있어서, 혼합물에서 건조 흡수제와 건조 바인더의 중량비가 3.2-0.4인 것을 특징으로 하는 웨이퍼.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서, 무기 흡수제가 천연 또는 합성 제올라이트인 것을 특징으로 하는 웨이퍼.
  5. 제 1항에 있어서, 바인더가 스멕타이트 점토, 특히 벤토나이트인 것을 특징으로 하는 웨이퍼.
  6. 제 1항 또는 2항 중 어느 한 항에 있어서, 웨이퍼의 두께가 200-400마이크론인 것을 특징으로 하는 웨이퍼.
  7. 제 1항에 있어서, 바인더 함량이 40-50중량%인 것을 특징으로 하는 웨이퍼.
  8. 제 1항에 있어서, 압력이 100-1300MPa인 것을 특징으로 하는 웨이퍼.
  9. 제 1항에 있어서, 2가 또는 3가 금속의 지방산염에서 선택된 가공 보조제와 함께 압축됨을 특징으로 하는 웨이퍼.
  10. 제 1항에 있어서, 타닌산 함유 바인더와 함께 압축됨을 특징으로 하는 웨이퍼.
  11. 제 1항에 있어서, 진공 하에서 소결됨을 특징으로 하는 웨이퍼.
  12. 제 1항에 있어서, 염색 안료를 포함함을 특징으로 하는 웨이퍼.
  13. 제 1항에 있어서, 160℃에서 측정된 혼합물의 물 함량이 8-22중량%임을 특징으로 하는 웨이퍼.
  14. 70MPa 이상의 압력에서 무기 흡수제, 20-60중량%바인더 및 10-15중량%물(총 혼합물에 대해서)을 함유한 혼합물을 압축하고; 잔류수분 함량이 2 중량% 미만이 될 때까지 결과의 굽지 않은 웨이퍼를 500℃이상의 온도에서 소결하는 단계를 포함하는 디스크형 웨이퍼 제조방법.
  15. 제 14항에 있어서, 혼합물에서 건조 흡수제와 건조 바인더의 중량비가 3.2-0.4인 것을 특징으로 하는 제조방법.
  16. 삭제
  17. 제 14항에 있어서, 제 2항 내지 13항 중 어느 한 항에 표시된 하나 이상의 성분이 주어진 조건 하에서 사용됨을 특징으로 하는 제조방법.
  18. 제 14항 또는 15항 중 어느 한 항에 있어서, 160℃에서 측정된 혼합물의 물 함량이 8-22중량%임을 특징으로 하는 제조방법.
  19. 디스플레이 디바이스에 삽입물로서 사용되는 제1항 또는 2항 중 어느 한 항의 웨이퍼.
  20. 제 1항에 있어서, 케브라초와 함께 압축됨을 특징으로 하는 웨이퍼.
  21. 제 1항에 있어서, 160℃에서 측정된 혼합물의 물 함량이 12.4-22중량%임을 특징으로 하는 웨이퍼.
  22. 제 14항 또는 15항 중 어느 한 항에 있어서, 160℃에서 측정된 혼합물의 물 함량이 12.4-22중량%임을 특징으로 하는 제조방법.
  23. 전기 발광 소자에 삽입물로서 사용되는 제1항 또는 2항 중 어느 한 항의 웨이퍼.
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