KR100669459B1 - 다이렉트 이메이징 노광기를 이용한 노광 방법 - Google Patents

Abstract

복수의 노광 헤드를 구비하는 다이렉트 이메이징 노광기를 이용하여 기판상의 피노광층을 노광할 때, 정렬 오차로 인한 노광 불량을 최소화할 수 있는 노광 방법을 제공한다. 본 발명의 노광 방법은, 상기 기판에 정렬 마크를 형성하고, 정렬 마크를 이용하여 상기 기판과 노광 헤드의 상대적 위치를 정렬한 후, 상기 노광 헤드들을 라인 스캔하면서 기판상의 피노광층을 노광한다. 이때, 상기 피노광층은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성용 전극 재료일 수 있으며, 상기 정렬 마크는 피노광층이 형성되지 않은 기판의 테두리 영역에 2개 이상 형성하는 것이 바람직하다.

레이저 다이오드, 노광, 정렬 마크,

Description

다이렉트 이메이징 노광기를 이용한 노광 방법{EXPOSURE METHOD BY DIRECT IMAGING EXPOSURE APPARATUS}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 노광 방법을 수행하는 다이렉트 이메이징 노광기의 개략적인 구성도이다.

도 2는 도 1의 기판 평면도이다.

도 3은 도 1의 노광기를 이용한 본 발명의 실시예에 따른 노광 방법을 나타내는 블록도이다.

본 발명은 다이렉트 이메이징 노광기를 이용한 노광 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정렬 오차로 인한 노광 불량을 최소화할 수 있는 노광 방법에 관한 것이다.

기판 위의 피노광층을 노광하기 위한 노광기의 하나로, 최근에는 다이렉트 이메이징(Direct Imaging: 이하 "DI"라 한다) 노광기가 사용되고 있다.

여기에서, 상기한 DI 노광기는 레이저 다이오드(Laser Diode: 이하 "LD"라 한다)를 광원으로 사용하며, 포토마스크를 사용함이 없이 기판 위의 피노광층을 직 접 노광하는 장비를 말한다. 보다 구체적으로 설명하면, 상기 DI 노광기는 LD를 포함하는 노광 헤드를 복수개 구비한다. 상기 노광 헤드들은 일정 간격, 예컨대 대략 340㎜의 간격만큼 서로 이격된 상태로 스캐닝 유닛에 고정되며, 설정된 노광량으로 기판 위의 피노광층을 노광한다. 이때, 상기 노광 헤드들은 설정된 스캐닝 속도로 이송된다.

이러한 구성의 노광기를 이용하여 기판상의 피노광층을 노광하는 경우, 종래에는 노광기의 기판 테이블에 기판을 배치한 후, 상기한 노광 헤드들을 순차적 노광 방법에 따라 스캐닝하면서 해당 영역들을 각각 노광하였다.

여기에서, 상기 순차적 노광 방법은 각각의 노광 헤드들이 해당 영역의 첫 번째 스캔 라인을 노광한 후, 상기 첫 번째 스캔 라인 바로 옆의 두 번째 스캔 라인을 노광하는 방식을 말한다.

이러한 노광 방법은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 및 격벽을 형성하는데 사용된다. 여기에서, 상기 전극은 하판상의 어드레스 전극일 수도 있고, 상판상의 X전극 및 Y전극일 수도 있다.

그런데, 상기 노광기를 이용하여 기판상의 피노광층, 예컨대 상기 전극을 형성하기 위한 전극 재료를 노광하는 경우, 종래에는 상기 기판의 에지부를 기계적으로 센터링(centering)하여 노광기와 기판을 정렬한 후 노광 작업을 진행하였는 바, 이는 상기 기판에 정렬 작업을 위한 마크가 구비되어 있지 않기 때문이다.

따라서, 상기한 정렬 작업시 기판 자체의 크기 오차와 함께 기계적인 센터링 작업의 오차로 인해 수백㎛의 정렬 오차가 발생되고, 상기 정렬 오차로 인해 노광 작업 후 노광 불량이 발생하는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 그 목적은 DI 노광기를 이용하여 피노광층을 영역별로 노광할 때, 정렬 오차로 인한 노광 불량을 방지할 수 있는 노광 방법을 제공함에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예는,

복수의 노광 헤드를 구비하는 DI 노광기를 이용하여 기판상의 피노광층을 영역별로 노광하는 노광 방법으로서,

상기 기판에 정렬 마크를 형성하는 단계;

상기 정렬 마크를 이용하여 상기 기판과 상기 노광 헤드의 상대적 위치를 정렬하는 단계;

상기 노광 헤드들을 라인 스캔하면서 상기 피노광층을 노광하는 단계;

를 포함하는 DI 노광기를 이용한 노광 방법을 제공한다.

여기에서, 상기 정렬 마크는 피노광층이 형성되지 않은 상기 기판의 테두리 영역에 2개 이상 형성하는 것이 바람직하다. 이때, 상기 정렬 마크는 일정한 거리를 유지하도록 형성하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 정렬 마크는 인쇄 또는 스크래치 방식 등을 이용하여 다양한 형상으로 형성할 수 있다.

그리고, 상기 피노광층은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성용 전극 재 료일 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 노광 방법을 수행하는 DI 노광기의 개략적인 구성도를 도시한 것이고, 도 2는 도 1의 기판 평면도를 도시한 것이며, 도 3은 도 1의 노광기를 사용한 노광 방법의 블록도를 도시한 것이다.

DI 노광기는 LD를 포함하는 제1 내지 제3의 노광 헤드(H0,H1,H2)를 구비한다. 상기 노광 헤드들(H0,H1,H2)은 일정 간격, 예컨대 대략 340㎜의 간격만큼 서로 이격된 상태로 스캐닝 유닛(10)에 고정되며, 설정된 스캐닝 속도로 이송된다.

그리고, DI 노광기의 기판 테이블(12)에는 기판, 예컨대 플라즈마 디스플레이 패널의 유리 기판(14)이 배치된다.

플라즈마 디스플레이 패널은 2매의 유리 기판, 예컨대 상판과 하판 사이에 방전 가스를 충진하고, 상기 방전 가스를 방전시키는 것에 따라 화상을 구현한다. 가스 방전을 위해, 통상적으로 상기 상판에는 X전극 및 Y전극이 구비되고, 하판에는 어드레스 전극이 구비되며, 상판과 하판은 방전 공간을 형성하는 격벽에 의해 일정 간격만큼 이격된 상태로 배치된다.

이러한 구성의 플라즈마 디스플레이 패널은 섀시 베이스에 부착된 상태에서 프런트 커버 및 백 커버와 함께 플라즈마 디스플레이 장치를 구성한다.

DI 노광기의 기판 테이블(12)에 배치되는 유리 기판(14)을 하판이라고 하면, 상기 유리 기판(14)에는 어드레스 전극 형성을 위한 시트상의 피노광층(16)이 형성되어 있다.

그리고, 기판 테이블(12)의 상측에는 스캐닝 유닛(10)이 배치된다.

그런데, 종래에는 상기 피노광층(16)을 노광하기 전에 상기 기판(14)의 에지부를 기계적으로 센터링(centering)하여 노광기와 기판을 정렬한 후 노광 작업을 진행하였으며, 이로 인해 수백㎛의 정렬 오차가 발생되어 노광 불량이 발생하는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 본원 발명은 상기 기판(14)에 정렬 마크(18)를 형성한다.

상기 정렬 마크(18)는 피노광층(16)이 형성되지 않은 상기 기판(14)의 테두리 영역에 형성하는 것이 바람직하며, 또한 2개 이상, 예를 들어 3개의 정렬 마크를 서로간에 일정한 거리를 유지하도록 형성하는 것이 바람직하다.

이때, 상기 정렬 마크(18)는 인쇄 또는 스크래치 방식 등의 다양한 방식을 이용하여 다양한 형상으로 형성한다.

한편, 상기 DI 노광기의 스캐닝 유닛(10)에는 상기 정렬 마크(18)를 감지함으로써 노광 헤드들(H0,H1,H2)과 기판(14)을 정렬하는 감지 센서(20)들, 예컨대 카메라가 설치된다.

이러한 구성의 본 발명에 의하면, 상기 기판(14)이 기판 테이블(12)에 투입될 때 상기 감지 센서(20)들에 의해 정렬 마크(18)의 위치가 감지되고, 감지 결과 에 따라 상기 기판(14)과 노광 헤드들(H0,H1,H2)이 정렬된 후 상기 노광 헤드들(H0,H1,H2)에 의한 노광 작업이 이루어지므로, 정렬 오차로 인한 노광 불량을 최소화 할 수 있다.

이때, 상기 노광 헤드들(H0,H1,H2)에 의한 노광 작업은 순차적 노광 방법, 즉 각각의 노광 헤드들(H0,H1,H2)이 해당 영역(A,B,C)의 첫 번째 스캔 라인을 노광한 후, 상기 첫 번째 스캔 라인 바로 옆의 두 번째 스캔 라인을 노광하는 방법에 의해 이루어질 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예로 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

이상에서 설명한 본 발명의 노광 방법에 의하면, 피노광층이 형성된 기판에 정렬 마크를 형성하고, 상기 정렬 마크를 이용한 정렬 작업 후 노광을 실시하므로, 정렬 오차를 종래의 수백㎛에서 대략 10㎛ 정도로 줄일 수 있다.

따라서, 상기 정렬 오차로 인한 노광 불량을 방지할 수 있어 기판상에 패턴을 정확하게 형성할 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 복수의 노광 헤드를 구비하는 다이렉트 이메이징(DI ; Direct Imaging) 노광기(DI 노광기)를 이용하여 기판상의 피노광층을 영역별로 노광하는 노광 방법으로서,

   상기 기판에 정렬 마크를 형성하는 단계;

   상기 DI 노광기의 스캐닝 유닛에 장착되는 감지 센서를 통해 상기 기판에 형성된 정렬 마크를 감지하여 상기 기판과 상기 노광 헤드의 상대적 위치를 정렬하는 단계;

   상기 기판과 상기 노광 헤드의 상대적 위치가 정렬된 상태에서 상기 노광 헤드를 라인 스캔하면서 상기 피노광층을 노광하는 단계;

   를 포함하는 DI 노광기를 이용한 노광 방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 정렬 마크는 피노광층이 형성되지 않은 상기 기판의 테두리 영역에 2개 이상 형성하는 것을 특징으로 하는 DI 노광기를 이용한 노광 방법.
3. 제2항에 있어서,

   상기 정렬 마크들은 설정 거리를 유지하도록 형성하는 것을 특징으로 하는 DI 노광기를 이용한 노광 방법.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 정렬 마크는 인쇄 또는 스크래치 방식을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 DI 노광기를 이용한 노광 방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 피노광층이 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성용 전극 재료인 것을 특징으로 하는 DI 노광기를 이용한 노광 방법.

Images