EA011464B1 - Устройство для определения взаимного положения двух, по существу, плоских элементов - Google Patents

Устройство для определения взаимного положения двух, по существу, плоских элементов Download PDF

Info

Publication number
EA011464B1
EA011464B1 EA200800675A EA200800675A EA011464B1 EA 011464 B1 EA011464 B1 EA 011464B1 EA 200800675 A EA200800675 A EA 200800675A EA 200800675 A EA200800675 A EA 200800675A EA 011464 B1 EA011464 B1 EA 011464B1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
elements
photosensitive elements
line
printed circuit
plane
Prior art date
Application number
EA200800675A
Other languages
English (en)
Other versions
EA200800675A1 (ru
Inventor
Райнер Куртц
Марк Каннон
Вольфрам Хюбш
Харальд Грумм
Original Assignee
Эрза Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эрза Гмбх filed Critical Эрза Гмбх
Publication of EA200800675A1 publication Critical patent/EA200800675A1/ru
Publication of EA011464B1 publication Critical patent/EA011464B1/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0008—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits for aligning or positioning of tools relative to the circuit board
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
    • G03F9/7038—Alignment for proximity or contact printer
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7069—Alignment mark illumination, e.g. darkfield, dual focus
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00—Printed circuits
    • H05K1/02—Details
    • H05K1/0266—Marks, test patterns or identification means
    • H05K1/0269—Marks, test patterns or identification means for visual or optical inspection
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09—Shape and layout
    • H05K2201/09818—Shape or layout details not covered by a single group of H05K2201/09009 - H05K2201/09809
    • H05K2201/09918—Optically detected marks used for aligning tool relative to the PCB, e.g. for mounting of components
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

В изобретении описано устройство для определения взаимного положения в плоскости Х-Y двух по существу плоских элементов (2, 3), расположенных по существу один над другим на расстоянии друг от друга в направлении Z, содержащее по меньшей мере один расположенный между указанными элементами оптический регистрирующий прибор (6-8), позволяющий регистрировать по меньшей мере по две точки на обращенных друг к другу поверхностях элементов, и блок обработки, выполненный с возможностью анализа изображений точек в отношении их взаимного положения в плоскости Х-Y. При этом оптический регистрирующий прибор имеет по меньшей мере одну линейку (7, 8) светочувствительных элементов, установленную с возможностью перемещения относительно обоих элементов таким образом, чтобы, по меньшей мере, на отдельных участках оптически сканировать обращенные друг к другу поверхности элементов.

Description

Настоящее изобретение относится к устройству для определения взаимного положения в плоскости Х-Υ двух, по существу, плоских элементов, расположенных, по существу, один над другим на расстоянии друг от друга в направлении Ζ согласно ограничительной части п.1 формулы изобретения.
Уровень техники
Подобные устройства используются, например, для того, чтобы в автомате для трафаретной печати или в ротаторе, в которых на печатные платы или аналогичные подложки наносится печатный рисунок электрических проводников, обеспечить по возможности точное взаимное (относительное) положение шаблона и запечатываемой платы или подложки, чтобы при печатании через шаблон наносимая среда, например паяльная паста или клей, попадали точно на предусмотренные на печатной плате контактные площадки. При этом на практике требуется точность до 20 мкм и меньше.
Из публикации ЕР 0469856 А3 известно устройство для определения взаимного положения двух плоских элементов, в котором между двумя позиционируемыми относительно друг друга элементами устанавливается камера, с помощью которой определяются две базовых точки на обращенных друг к другу поверхностях обоих элементов. Затем посредством блока обработки, в котором сравниваются изображения базовых точек, вычисляется точное положение базовых точек относительно друг друга и полученные координаты в качестве управляющего воздействия вводятся в исполнительное устройство, которое устанавливает оба элемента относительно друг друга в направлении Х-Υ таким образом, чтобы базовые точки попарно совместились.
Недостатками этого известного устройства являются то, что, во-первых, базовые точки необходимо заново определять в случае каждого нового варианта или размера печатной платы или подложки, вследствие чего при переходе на новую модель печатной платы устройство приходится обучать или подвергать трудоемкой настройке; и, во-вторых, из-за технологических допусков для подложки или печатной платы в случае небольшого числа пар базовых точек, в частности лишь двух таких пар, достаточно точное совпадение шаблона и печатной платы или подложки не достигается. Например, из-за так называемого растяжения печатной платы регулярно возникает смещение, которое необходимо учитывать и определять экспериментальным путем отдельно для каждого типа печатных плат. Это требует трудоемкого контроля и, кроме того, ведет к высокому выходу брака.
Раскрытие изобретения
Исходя из этого уровня техники, задачей настоящего изобретения является создание устройства для определения взаимного положения двух плоских элементов, которое при удобстве обслуживания и простоте конструкции обладало бы повышенной точностью.
Эта задача решается в устройстве, охарактеризованном в п.1 формулы изобретения.
Предпочтительные варианты исполнения изобретения являются предметом зависимых пунктов формулы.
Устройство для определения взаимного (относительного) положения в плоскости Х-Υ двух, по существу, плоских элементов, расположенных один над другим на расстоянии друг от друга в направлении Ζ, содержит по меньшей мере один расположенный между указанными элементами оптический регистрирующий прибор, позволяющий регистрировать по меньшей мере по две точки на обращенных друг к другу поверхностях элементов. При этом плоскость Х-Υ - это плоскость, образуемая любым их двух элементов, или плоскость, параллельная им. Направление Ζ - это ось, перпендикулярная образуемым элементами плоскостям и, следовательно, перпендикулярная плоскости Х-Υ.
В отличие от уровня техники оптический регистрирующий прибор имеет по меньшей мере одну линейку светочувствительных элементов (датчиков), установленную с возможностью перемещения относительно обоих элементов таким образом, чтобы, по меньшей мере, на отдельных участках оптически сканировать обращенные друг к другу поверхности элементов. При этом линейка светочувствительных элементов предпочтительно выполнена в виде линейки цветовых светочувствительных элементов.
Иными словами, это означает, что в отличие от уровня техники определяется не взаимное положение небольшого числа пар базовых точек, а выполняется сканирование плоских участков обоих элементов с получением изображения. Затем эти изображения направляют в блок обработки, где их можно сравнивать, например, с помощью программных средств автоматизированного сравнения изображений, в отношении их взаимного положения в плоскости Х-Υ, причем обнаруженные различия в положении могут использоваться в качестве управляющего сигнала для приведения в действие устройства позиционирования первого и/или второго элемента. Поскольку определяются фактические различия в положении элементов, а не отдельных базовых точек, можно, во-первых, повысить точность, во-вторых, отказаться от обучения устройства при переходе на различные типы и варианты элементов. Еще одно важное преимущество предлагаемого в изобретении устройства состоит в том, что больше не требуется учитывать смещение, обусловленное растяжением печатной платы.
В принципе линейку светочувствительных элементов можно тем или иным образом установить неподвижно и перемещать оба сканируемых элемента мимо такой неподвижной линейки светочувствительных элементов. Решающее значение имеет только относительное движение сканируемых элементов и линейки светочувствительных элементов. Однако в наиболее предпочтительном варианте осуществле
- 1 011464 ния изобретения линейка светочувствительных элементов расположена на каретке, установленной с возможностью перемещения посредством привода, по существу, в плоскости Х-Υ между сканируемыми элементами. Это позволяет простым образом сканировать большую зону обращенных друг к другу поверхностей элементов.
Еще одна возможность увеличения сканируемой зоны в другом варианте осуществления изобретения состоит в том, что линейка светочувствительных элементов установлена на каретке подвижно.
В принципе можно предусмотреть только одну линейку светочувствительных элементов, которая сначала сканирует снимаемую сканируемую зону поверхности первого элемента. После этого та же линейка светочувствительных элементов сканирует снимаемую зону поверхности второго элемента. Это обеспечивается, например, благодаря тому, что при прохождении зазора между двумя элементами линейка светочувствительных элементов сначала сканирует первый элемент, затем линейка светочувствительных элементов поворачивается на каретке, по существу, на 180°, после чего во время обратного прохода сканирует второй элемент. Вместе с тем, в еще одном варианте осуществления изобретения предусмотрены по меньшей мере две линейки светочувствительных элементов, причем эти линейки установлены на каретке таким образом, что первая линейка светочувствительных элементов обращена к соответствующей поверхности первого элемента, а вторая линейка светочувствительных элементов - к соответствующей поверхности второго элемента, что позволяет за один проход сканировать одновременно оба элемента.
Объектом изобретения является также установка для изготовления печатных плат или подложек, снабжаемых печатными проводниками, с применением предлагаемого в изобретении устройства, причем первый из двух элементов образован шаблоном для печатания, а второй - изготовляемой печатной платой или запечатываемой подложкой.
В предпочтительном варианте выполнения такой установки устройство после изготовления печатной платы или подложки можно повторно использовать в установке, чтобы проверять качество печати путем сканирования печатной платы в зоне печати и сравнения полученного изображения в блоке обработки с контрольным изображением. При этом такая проверка может производиться одновременно с изготовлением следующей печатной платы.
Краткое описание чертежей
Ниже изобретение более подробно рассматривается на примере его осуществления, поясняемом прилагаемыми чертежами, на которых показано:
на фиг. 1 - схематический вид сверху предлагаемого в изобретении устройства в одном примере его выполнения и на фиг. 2 - вид сбоку устройства, показанного на фиг. 1.
Осуществление изобретения
В представленном на чертежах примере исполнения предлагаемое в изобретении устройство имеет опорную раму 1, показанную схематически. Над этой опорной рамой 1 на подающем приспособлении или держателе, на чертежах не показанном, установлен первый элемент 2 в виде изготовляемой печатной платы. В направлении Ζ над печатной платой 2 на подставке, на чертежах не показанной, установлен второй элемент 3 в виде шаблона для печатания. При этом шаблон для печатания имеет печатный рисунок, переносимый на печатную плату 2. Для печатания платы шаблон 3 нужно расположить с точной приводкой к печатной плате 2, чтобы при последующей печати перенести рисунок печатных проводников, обеспечив его точное положение относительно контактных площадок.
Между печатной платой 2 и шаблоном 3 для печатания расположена каретка 4, вытянутая, по существу, в направлении Υ и перемещаемая в направлении X посредством схематически показанного привода
5. На несущей пластине 6 каретки 4 установлены верхняя и нижняя линейки 7 и 8 светочувствительных элементов, перемещаемые приводом 5 и кареткой 4 в направлении X. Одновременно несущая пластина 6 может перемещаться по каретке 4 в направлении Υ, что позволяет оптически сканировать линейками 7 и 8 светочувствительных элементов обращенные друг к другу поверхности печатной платы 2 и шаблона 3 для печатания по всей их площади. Путем сравнения снимков соответствующих друг другу зон печатной платы 2 и шаблона 3 для печатания, полученных двумя линейками 7 и 8 светочувствительных элементов, в не показанном на чертежах блоке обработки, можно простым способом и с высокой точностью определять взаимное положение печатной платы и шаблона для печатания.

Claims (7)

  1. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
    1. Устройство для определения взаимного положения в плоскости Х-Υ двух, по существу, плоских элементов, расположенных, по существу, один над другим на расстоянии друг от друга в направлении Ζ, содержащее по меньшей мере один расположенный между указанными элементами оптический регистрирующий прибор, позволяющий регистрировать по меньшей мере по две точки на обращенных друг к другу поверхностях элементов, и блок обработки, выполненный с возможностью анализа изображений точек в отношении их взаимного положения в плоскости Х-Υ, отличающееся тем, что оптический регистрирующий прибор имеет по меньшей мере одну линейку (7, 8) светочувствительных элементов, установленную с возможностью перемещения относительно обоих элементов (2, 3) таким образом, чтобы, по меньшей мере, на отдельных участках оптически сканировать обращенные друг к другу поверхности элементов (2, 3).
  2. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что линейка (7, 8) светочувствительных элементов расположена на каретке (4), установленной с возможностью перемещения посредством привода (5), по существу, в плоскости Х-Υ между элементами (2, 3).
  3. 3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что линейка (7, 8) светочувствительных элементов установлена на каретке (4) подвижно.
  4. 4. Устройство по одному из пп.1-3, отличающееся тем, что предусмотрены по меньшей мере две линейки (7, 8) светочувствительных элементов.
  5. 5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что по меньшей мере две линейки (7, 8) светочувствительных элементов установлены на каретке (4) таким образом, что первая линейка (7) светочувствительных элементов обращена к соответствующей поверхности первого элемента (2), а вторая линейка (8) светочувствительных элементов - к соответствующей поверхности второго элемента (3).
  6. 6. Устройство по одному из пп.1-5, отличающееся тем, что линейка (7, 8) светочувствительных элементов представляет собой линейку цветовых светочувствительных элементов.
  7. 7. Установка для изготовления печатных плат или изоляционных оснований, снабжаемых печатными проводниками, с применением устройства по одному из пп.1-6, причем первый из двух элементов образован шаблоном (3) для печатания, а второй из двух элементов - изготовляемой печатной платой (2) или запечатываемым основанием.
EA200800675A 2005-09-13 2006-08-11 Устройство для определения взаимного положения двух, по существу, плоских элементов EA011464B1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005043833A DE102005043833A1 (de) 2005-09-13 2005-09-13 Vorrichtung zur Ermittlung der Relativposition zwischen zwei im Wesentlichen flächigen Elementen
PCT/DE2006/001413 WO2007031049A1 (de) 2005-09-13 2006-08-11 Vorrichtung zur ermittlung der relativposition zwischen zwei im wesentlichen flächigen elementen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA200800675A1 EA200800675A1 (ru) 2008-08-29
EA011464B1 true EA011464B1 (ru) 2009-04-28

Family

ID=37497898

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA200800675A EA011464B1 (ru) 2005-09-13 2006-08-11 Устройство для определения взаимного положения двух, по существу, плоских элементов

Country Status (14)

Country Link
US (1) US20080283308A1 (ru)
EP (1) EP1924891A1 (ru)
JP (1) JP2009508115A (ru)
KR (1) KR101027880B1 (ru)
CN (1) CN101263433A (ru)
AU (1) AU2006291872B2 (ru)
BR (1) BRPI0617170A2 (ru)
CA (1) CA2622359A1 (ru)
DE (1) DE102005043833A1 (ru)
EA (1) EA011464B1 (ru)
IL (1) IL189803A0 (ru)
UA (1) UA89431C2 (ru)
WO (1) WO2007031049A1 (ru)
ZA (1) ZA200801602B (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN205427436U (zh) * 2016-03-23 2016-08-03 北京京东方光电科技有限公司 显示器件的对位检测设备及曝光工艺系统
DE102017123686A1 (de) * 2017-10-11 2019-04-11 Miva Technologies Gmbh Verfahren und Belichtungseinrichtung zur Belichtung von zumindest einer gespeicherten Darstellung auf einem lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0433263A2 (de) * 1989-12-13 1991-06-19 Erich Dipl.-Ing. Thallner Verfahren und Vorrichtung zur Belichtung lichtempfindlichgemachter Substrate, insbesondere Halbleitersubstrate
US5400145A (en) * 1992-03-17 1995-03-21 Fujitsu Limited Mark position detecting method and device for aligner and aligner having the device

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59119204A (ja) * 1982-12-27 1984-07-10 Toshiba Corp マ−ク位置検出方法
JP2521910B2 (ja) * 1986-05-07 1996-08-07 オムロン株式会社 プリント基板の位置ずれ補正装置
GB9323978D0 (en) * 1993-11-22 1994-01-12 Dek Printing Machines Ltd Alignment systems
JP3442163B2 (ja) * 1994-10-11 2003-09-02 富士通株式会社 位置合わせ方法および装置
JP3991165B2 (ja) 1995-06-20 2007-10-17 株式会社ニコン 位置合わせ方法及び露光方法
JP3651718B2 (ja) * 1996-06-06 2005-05-25 ソニー株式会社 スクリーン印刷装置及び印刷方法
US5883663A (en) * 1996-12-02 1999-03-16 Siwko; Robert P. Multiple image camera for measuring the alignment of objects in different planes
GB2323664A (en) * 1997-03-25 1998-09-30 Dek Printing Machines Ltd Viewing and imaging systems
JPH11245369A (ja) * 1998-02-27 1999-09-14 Tenryu Seiki Kk 画像認識装置及びクリームはんだ印刷装置
EP1203662B1 (en) * 1999-07-26 2010-12-15 Panasonic Corporation Solder-paste printing device and printing method
JP3580493B2 (ja) * 2000-08-11 2004-10-20 株式会社サキコーポレーション 走査ヘッドおよびそれを利用可能な外観検査方法および装置
JP4510272B2 (ja) * 2000-11-22 2010-07-21 パナソニック株式会社 クリーム半田印刷装置及びその制御方法
GB2377908A (en) * 2001-05-31 2003-01-29 Blakell Europlacer Ltd Screen printer for PCB with alignment apparatus
DE10311821B4 (de) * 2003-03-13 2008-11-20 Ekra Eduard Kraft Gmbh Maschinenfabrik Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten von Substrat und Druckschablone beim Lotpastendruck
GB2403003B (en) * 2003-06-19 2006-06-07 Dek Int Gmbh Inspection system for and method of inspecting deposits printed on workpieces

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0433263A2 (de) * 1989-12-13 1991-06-19 Erich Dipl.-Ing. Thallner Verfahren und Vorrichtung zur Belichtung lichtempfindlichgemachter Substrate, insbesondere Halbleitersubstrate
US5400145A (en) * 1992-03-17 1995-03-21 Fujitsu Limited Mark position detecting method and device for aligner and aligner having the device

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Optics and Optical Instruments Catalog 2002" 2001, EDMUND OPTICS, INC., BARRINGTON, NJ, US, XP002412062 page 223, last paragraph page 231, paragraph 1 *

Also Published As

Publication number Publication date
EA200800675A1 (ru) 2008-08-29
KR101027880B1 (ko) 2011-04-07
CA2622359A1 (en) 2007-03-22
EP1924891A1 (de) 2008-05-28
KR20080046709A (ko) 2008-05-27
IL189803A0 (en) 2008-11-03
BRPI0617170A2 (pt) 2011-07-12
UA89431C2 (ru) 2010-01-25
JP2009508115A (ja) 2009-02-26
CN101263433A (zh) 2008-09-10
AU2006291872B2 (en) 2010-06-10
ZA200801602B (en) 2008-11-26
AU2006291872A1 (en) 2007-03-22
WO2007031049A1 (de) 2007-03-22
DE102005043833A1 (de) 2007-03-29
US20080283308A1 (en) 2008-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100909159B1 (ko) 위치 검출 방법, 위치 검출 장치, 패턴 묘화 장치 및 피검출물
JP5813555B2 (ja) 露光描画装置及び露光描画方法
KR20120103586A (ko) 인쇄 페이스트로, 기판, 특히 인쇄 회로 기판을 인쇄하는 방법 및 장치
TW201509688A (zh) 位置檢測裝置、基板製造裝置、位置檢測方法及基板的製造方法
KR20230058447A (ko) 인쇄 회로 기판 생산 및 집적 회로 생산을 위한 포토리소그래픽 직접적 노광 공정들에서의 노광 제어
KR20150003161A (ko) 노광 묘화 장치 및 노광 묘화 방법
JP3644846B2 (ja) 描画装置の移動誤差検出装置及びその方法
JP2008191302A (ja) 描画装置及び方法
JP2008196974A (ja) 突起物の高さ測定装置及び高さ測定方法
EA011464B1 (ru) Устройство для определения взаимного положения двух, по существу, плоских элементов
JP2007041244A (ja) ステージ位置変動情報取得方法および装置
CN100353174C (zh) 检测覆晶基板的定位方法
US20090033952A1 (en) Image plotting apparatus and image plotting method
TW201514639A (zh) 繪圖裝置及繪圖方法
JP3651718B2 (ja) スクリーン印刷装置及び印刷方法
JP2009262422A (ja) 印刷装置及びその制御方法
CN111093996B (zh) 丝网印刷机
JP4960266B2 (ja) 透明基板のエッジ位置検出方法及びエッジ位置検出装置
KR20000020912A (ko) 부품위치 정렬 장치 및 이를 이용한 정렬 방법
JP7011745B1 (ja) デバイス実装装置及びそれを用いたデバイス実装方法
JP2006058496A (ja) 基板測定装置及び基板搬送装置並びに基板測定装置を備えた画像形成装置と基板測定方法
JPH05136600A (ja) 電子部品認識装置
MX2008003466A (es) Dispositivo para determinar la posicion relativa entre dos elementos esencialmente planos
KR101400609B1 (ko) 라인 스캔 카메라 보정 장치 및 방법
JP2024084456A (ja) 装置および物品製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ KZ KG MD TJ TM

MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): BY RU