KR100639138B1 - 규화몰리브덴 타입의 발열 소자 제조 방법 - Google Patents

규화몰리브덴 타입의 발열 소자 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100639138B1
KR100639138B1 KR1020047015771A KR20047015771A KR100639138B1 KR 100639138 B1 KR100639138 B1 KR 100639138B1 KR 1020047015771 A KR1020047015771 A KR 1020047015771A KR 20047015771 A KR20047015771 A KR 20047015771A KR 100639138 B1 KR100639138 B1 KR 100639138B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sub
molybdenum
heating element
compounds
sio
Prior art date
Application number
KR1020047015771A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040105843A (ko
Inventor
순드베르크마츠
마그누손안데르스
Original Assignee
산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from SE0201043A external-priority patent/SE521796C2/sv
Priority claimed from SE0201042A external-priority patent/SE521794C2/sv
Application filed by 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 filed Critical 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
Publication of KR20040105843A publication Critical patent/KR20040105843A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100639138B1 publication Critical patent/KR100639138B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/58085—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides
    • C04B35/58092—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides based on refractory metal silicides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/06—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
    • H01C17/065—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thick film techniques, e.g. serigraphy
    • H01C17/06506—Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits
    • H01C17/06513—Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits characterised by the resistive component
    • H01C17/0656—Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits characterised by the resistive component composed of silicides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/40—Metallic constituents or additives not added as binding phase
    • C04B2235/402—Aluminium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/72—Products characterised by the absence or the low content of specific components, e.g. alkali metal free alumina ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

본 발명은 실질적으로 규화몰리브덴과 이 기본 재료의 합금으로 이루어진 발열 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 그 표면에 산화알루미늄이 형성되어 있다. 본 발명은 실리콘과 몰리브덴 화합물의 혼합물을 알루미늄 화합물과 혼합함으로써 실질적으로 Mo(Si1- xAlx)2 및 Al2O3를 함유하는 재료를 제조하고, 상기 실리콘과 몰리브덴 화합물 중 어느 하나는 Mo(Si1- yAly)2를 포함하고, Al 2O3 또는 Al(OH)3로 이루어지는 알루미늄 화합물과 혼합되며, 가능하게는 화합물 SiO2, Si 및 MoO3 중 하나 이상과 혼합되거나, 또는 실리콘과 몰리브덴 화합물이 MoO3, Al, Si 및/또는 SiO2를 함유하며, 투입 성분은 집합적으로 적어도 98%에 대응하는 순도를 갖고, 혼합물은 발열 반응을 하도록 되어 있거나 및/또는 교환 반응이 일어나도록 소결되어, 화합물 Mo(Si1- xAlx)2(여기서 x는 0.4 ~ 0.6의 범위 내에 있음)와 Al2O3를 형성하는 것을 특징으로 한다.

Description

규화몰리브덴 타입의 발열 소자 제조 방법{METHOD OF MAKING A HEATING ELEMENT OF THE MOLYBDENUM SILICIDE TYPE}
본 발명은 규화몰리브덴 타입의 발열 소자 제조 방법에 관한 것이다.
규화몰리브덴 타입의 전기 저항 소자가 스웨덴 특허 명세서 0003512-1호와 0004329-9호에 기술되어 있다. 0003512-1호의 특허 명세서에 따르면, 발열 소자의 저항 재료로는 유해물의 형성이 본질적으로 방지되는 범위로 알루미늄을 함유하도록 되어 있는 Mo(Si1- xAlx)2 등이 있다.
이러한 재료는 400 ~ 600℃의 온도 범위에서 조작될 때, 유해물이 전혀 형성되지 않거나 또는 소량의 유해물만이 형성되는 것으로 확인되었다. 유해물은 MoSi2 및 O2로부터 MoO3의 형성에 기인하여 형성된다.
유해물의 형성이 현저히 감소되거나 배제되는 이유는 발열 소자의 표면에 Al2O3가 형성되거나, 또는 Al2O3가 농후한 층이 형성되기 때문이다.
다른 특허 명세서인 0004329-9호는, 발열 소자가 고온에서 작동되는 경우에 본질적으로 규화몰리브덴과 이 기본 재료의 합금으로 이루어진 발열 소자의 유효 수명을 증대시키는 방법을 교시하고 있다.
상기 특허 명세서에 따르면, 발열 소자는 그 표면에서 안정적으로 천천히 성장하는 산화알루미늄의 층을 유지하기에 충분한 범위로 알루미늄을 함유하도록 되어 있다.
바람직한 실시예에 따르면, 발열 소자의 재료는 Mo(Si1- xAlx)2를 함유하도록 되어 있으며, 여기서 x는 0.2 ~ 0.6 범위에 있다.
알루미늄을 함유하는 규화몰리브덴 타입의 재료는 저온 및 고온 모두에서 향상된 부식 특성을 갖는 것으로 확인되었다.
이러한 재료는 대개 MoSi2 분말을 알루미노실리케이트 등과 같은 산화물계 원료와 혼합함으로써 제조된다. 원료가 벤토나이트 클레이인 경우, 소위 용융상 소결에 도움이 되는 비교적 낮은 용융점이 얻어지며, 그 결과 MoSi2와 15 ~ 20 체적%에 상응하는 소정 비율의 규산알루미늄을 함유하는 조밀 재료가 형성된다.
주로 SiO2를 함유하는 벤토나이트 클레이는 Mo(Si1- xAlx)2 를 함유하는 발열 소자의 제조에 사용될 수 있다. Al-합금계 규화물을 소결하는 경우에, 산소의 Al에 대한 친화성이 Si에 대한 친화성보다 커서 Si가 규산알루미늄에서 나와 규화물에 들어가게 되는(이는 Al이 규화물에서 나와 산화물상에 의해 흡인되는 결과임) 화학적 교환 반응이 발생한다. 또한, 이 교환 반응은 조성 재료의 소결 특성을 개선하는 데 도움이 된다. 최종적으로 얻어지는 재료는 실질적으로 Al이 고갈된 Mo(Si1-xAlx)2를 함유하며, 상기 산화물상은 본질적으로 Al2O3를 함유한다.
표준 제조 절차는 분말 형태의 몰리브덴, 실리콘 및 알루미늄을 혼합하는 단계와, 상기 분말 혼합물을 차폐가스 분위기하에서 정상적으로 소성하는 단계를 포함한다. 그 결과, Mo(Si1- yAly)2 재료로 이루어진 하나의 케이크(cake)가 얻어지는데, 여기서 y는 상기 교환 반응 때문에 전술한 공식의 x보다 크다. 이 반응은 발열 반응이다. 그 후, 상기 케이크를 대개 1 ~ 20 ㎛ 정도의 미립자 크기로 분쇄한다. 이 분말을 벤토나이트 클레이와 혼합하여, 예컨대 습윤 세라믹 재료를 형성한다. 이 세라믹 재료를 최종 발열 소자의 직경에 상응하는 직경을 갖는 로드 형태로 압출 성형하고 건조한다. 그 후, 상기 재료를 벤토나이트 성분의 용융점을 초과하는 온도에서 소결한다.
그러나, 이러한 종류의 발열 소자는 단점이 있다. 이러한 발열 소자의 표면에 형성되는 산화물, 즉 Al2O3는 종종 박리되거나 벗겨지는데, 다시 말해서 발열 소자가 주기적으로 작동되는 경우에 그 표면과의 결합이 느슨해진다는 문제가 있다.
박리된 산화물은 계속되는 알루미늄 산화에 대항하는 보호를 열악하게 하여, 발열 소자의 외표면의 열화가 보다 빠르게 진행되게 한다. 또한, 박리된 산화물은 발열 소자가 장착된 오븐을 오염시킬 수 있어서, 상기 발열 소자를 구비하는 오븐에서 열처리되는 제품의 성능 및 외관이 현저히 나빠지게 될 위험이 발생한다. 이로 인해. 가열 공정에 있어서 상기 발열 소자의 사용이 제한된다.
이러한 문제점은 스웨덴 특허 명세서 제0201042-9호 및 제0201043-7호에 각각 교시된 해법에 의해 해결된다.
스웨덴 특허 명세서 제0201042-9호는 실질적으로 규화몰리브덴과 이 기본 재료의 합금으로 이루어진 발열 소자의 제조 방법을 교시하고 있다. 이 방법은 몰리브덴 알루미노규화물 Mo(Si1- yAly)2와 SiO2를 혼합하여 주로 Mo(Si1- xAlx)2 및 Al2O3를 함유하는 재료를 제조하는 것을 특징으로 하며, 상기 SiO2는 적어도 98%의 순도를 갖는 것이다.
스웨덴 특허 명세서 제0201043-7호는 상응하는 재료를 제조하는 것을 교시하고 있는데, 여기서 벤토나이트 클레이는 이산화규소 및 산화알루미늄을 첨가하는 데 사용되고 있다. 벤토나이트 클레이의 오염 물질 함량은 2000 ppm 미만으로 될 것이다.
놀랍게도, 실온과 예컨대 1500℃의 고온 사이에서 주기적으로 작동한 후에도 박리되지 않고 오염물의 농도가 낮은 산화물이 얻어지는 것으로 확인되었다. 본 발명은, 규화몰리브덴 재료를 형성하는 그러한 순수 산화알루미늄이 부분적으로 전술한 재료 이외의 다른 재료 및 화합물로 시작하여 유리하게 형성될 수 있다는 발견에 기초를 두고 있다.
주로 규화몰리브덴 및 그것의 합금으로 이루어지는 본 발명의 발열 소자 제조 방법은 실리콘과 몰리브덴 화합물의 혼합물을 알루미늄 화합물과 혼합함으로써 본질적으로 Mo(Si1- xAlx)2와 Al2O3를 함유하는 재료를 제조하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따르면, 실리콘과 몰리브덴 화합물은 Mo(Si1- yAly)2를 포함하고, Al2O3 또는 Al(OH)3로 이루어지는 알루미늄 화합물과 혼합되며, 선택적으로 화합물 SiO2, Si 및 MoO3 중 하나 이상과 혼합된다.
제2 실시예에 따르면, 실리콘과 몰리브덴 화합물은 MoO3, Al, Si 및/또는 SiO2를 함유한다.
본 발명에 따르면, 투입 성분은 집합적으로 적어도 98%의 순도를 갖는다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 투입 성분은 적어도 99%의 순도를 갖는다.
혼합물은 발열 반응을 일으키거나 및/또는 교환 반응이 일어나도록 소결되어, 화합물 Mo(Si1-xAlx)2와 Al2O3을 형성하며, 여기서 x는 0.4 ~ 0.6의 범위 내에 있다.
이러한 방법에 의하여, 산화알루미늄을 형성하고 이 산화알루미늄의 층이 박리되거나 벗겨지지 않는 소자 재료가 얻어지는데, 이와 같은 산화알루미늄의 박리 또는 벗겨짐은 본 명세서의 초반에 문제로서 언급한 것이다.
바람직한 일 실시예에 따르면, x는 0.45 ~ 0.55의 범위 내에 있다.
바람직한 일 실시예에 따르면, SiO2가 규산염 내에 함유되고, 규산염 내의 나머지 물질은, 규화몰리브덴이 그 물질(들)과 함께 합금화될 수 없고, 규화몰리브덴의 결정 격자의 대칭성을 유지하는 특성을 갖는다.
결정 격자의 대칭성을 변경하지 않으면서 재료 Mo(Si1- xAlx)2에서 몰리브덴을 부분적으로 Re, W 또는 Nb로 대체하는 것이 가능하다.
몰리브덴은 대략 1/3에 해당하는 양만큼 텅스텐(W)으로 대체될 수 있다.
바람직한 일 실시예에 따르면, 소결 보조제 MgO, Cao, SiO2 및 Y2O3 중 하나 이상이 혼합물에 첨가되도록 되어 있다.
따라서, 본 발명은 서두에 언급된 문제점을 해결하고, 본 발명에 따른 발열 소자가 오븐에서 처리되는 재료에 손상을 입히는 일없이 오븐에서 유익하게 사용될 수 있게 한다.
첨부된 청구범위의 범위 내에서 다양한 변형이 실시될 수 있으므로, 본 발명은 전술한 실시예에 한정되는 것으로 고려되어서는 안된다.

Claims (8)

  1. 규화몰리브덴과 이 기본 재료의 합금을 포함하며 표면에 산화알루미늄이 형성되는 발열 소자의 제조 방법에 있어서,
    실리콘과 몰리브덴 화합물의 혼합물을 알루미늄 화합물과 혼합함으로써 Mo(Si1-xAlx)2 및 Al2O3를 함유하는 재료를 제조하고, 상기 실리콘과 몰리브덴 화합물은 Mo(Si1-yAly)2를 포함하고, Al2O3 또는 Al(OH)3로 이루어지는 알루미늄 화합물과 혼합되며, MoO3, Al, Si, SiO2 또는 이들의 조합을 포함할 수 있으며, 투입 성분은 함께 98% 이상에 대응하는 순도를 갖고, 혼합물은 발열 반응을 일으키거나 교환 반응이 일어나도록 소결되어, 화합물 Mo(Si1-xAlx)2(여기서 x는 0.4 ~ 0.6의 범위 내에 있음)와 Al2O3를 형성하는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 SiO2는 규화몰리브덴의 결정 격자의 대칭성에 영향을 끼치지 않는 멀라이트 및 규선석과 같은 규산염 내에 함유되는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, x는 0.45 ~ 0.55의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 소결 보조제 MgO, Cao, SiO2 및 Y2O3 중 하나 이상을 상기 혼합물에 첨가하는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, Mo(Si1-xAlx)2 재료 중의 몰리브덴을 부분적으로 Re, W 또는 Nb로 대체할 수 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서, 몰리브덴을 대략 1/3에 해당하는 양만큼 W로 대체할 수 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 투입 성분은 99% 이상의 순도를 갖는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 실리콘과 몰리브덴 화합물은 화합물 SiO2, Si 및 MoO3 중 하나 이상과 혼합되는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
KR1020047015771A 2002-04-05 2003-04-04 규화몰리브덴 타입의 발열 소자 제조 방법 KR100639138B1 (ko)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0201043A SE521796C2 (sv) 2002-04-05 2002-04-05 Förfarande för tillverkning av ett värmeelement av molybdensilicidtyp jämte ett värmeelement
SE0201042A SE521794C2 (sv) 2002-04-05 2002-04-05 Tillverkningsförfarande för ett värmeelement av molybdensilicidtyp, jämte ett värmeelement
SE0201042-9 2002-04-05
SE0201043-7 2002-04-05
PCT/SE2003/000556 WO2003087016A1 (en) 2002-04-05 2003-04-04 Method of making a heating element of molybdenum silicide type

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040105843A KR20040105843A (ko) 2004-12-16
KR100639138B1 true KR100639138B1 (ko) 2006-10-30

Family

ID=29253782

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020047015771A KR100639138B1 (ko) 2002-04-05 2003-04-04 규화몰리브덴 타입의 발열 소자 제조 방법

Country Status (10)

Country Link
US (1) US7034260B2 (ko)
EP (1) EP1492740B1 (ko)
JP (2) JP4920873B2 (ko)
KR (1) KR100639138B1 (ko)
CN (1) CN100340529C (ko)
AT (1) ATE372309T1 (ko)
AU (1) AU2003219631A1 (ko)
DE (1) DE60316133T2 (ko)
ES (1) ES2291624T3 (ko)
WO (1) WO2003087016A1 (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010128935A1 (en) * 2009-05-05 2010-11-11 Sandvik Intellectual Property Ab Heating element
EP2921469B1 (en) * 2015-02-23 2019-01-30 JX Nippon Mining & Metals Corporation Molybdenum disilicide heating element which contains tungsten
CN108430951B (zh) * 2015-12-21 2022-02-15 山特维克知识产权股份有限公司 一种新的硅化钼基组合物
KR102198655B1 (ko) * 2018-03-18 2021-01-06 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 가열 요소
WO2019185291A1 (de) * 2018-03-26 2019-10-03 Leister Technologies Ag Keramischer heizwiderstand, elektrisches heizelement sowie vorrichtung zur erwärmung eines fluides
JP7172221B2 (ja) * 2018-07-18 2022-11-16 日本電気硝子株式会社 発熱体の温度調整方法及びガラス物品の製造方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE179100C (ko) *
SE175893C1 (ko) * 1958-07-16 1961-07-04 Kanthal Ab
DE1243078B (de) * 1961-11-09 1967-06-22 Sigri Elektrographit Gmbh Sinterkoerper, vorzugsweise zur Verwendung als Heizelement
JPS58209084A (ja) * 1982-05-28 1983-12-05 株式会社日立製作所 直熱形ヒ−タ材
SE504235C2 (sv) * 1995-04-11 1996-12-09 Kanthal Ab Elektriskt motståndselement av molybdensilicidtyp
US6099978A (en) * 1996-02-28 2000-08-08 Micropyrctics Heaters International, Inc. Molybdenum silicide-containing products with high emissivity
JPH1050462A (ja) * 1996-08-02 1998-02-20 Ube Ind Ltd 抵抗発熱体及びその製造方法
JPH10324571A (ja) * 1997-05-23 1998-12-08 Riken Corp 二珪化モリブデン系セラミックス発熱体及びその製造方法
SE512980C2 (sv) * 1998-10-22 2000-06-12 Flaekt Ab Filteranordning för luftkanaler eller luftbehandlingsaggregat
SE520251C2 (sv) 1999-05-20 2003-06-17 Sandvik Ab Motståndselement av molybdensilicidtyp för sintring av metallpulver
SE513990C2 (sv) * 1999-11-18 2000-12-11 Sandvik Ab Molybdensilicid-material med hög hållfasthet
SE519027C2 (sv) * 2000-05-18 2002-12-23 Sandvik Ab Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement vid lägre temperatur
SE520149C2 (sv) * 2000-09-29 2003-06-03 Sandvik Ab Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdensilicidtyp vid lägre temperatur
SE520148C3 (sv) * 2000-11-24 2003-07-16 Sandvik Ab Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdendisilicidtyp vid värmebehandling av elektroniska keramer
JP4685257B2 (ja) * 2001-03-09 2011-05-18 日本特殊陶業株式会社 窒化珪素質焼結体及びその製造方法
SE521882C2 (sv) * 2001-06-21 2003-12-16 Sandvik Ab Förfarande för framställning av en enfassammansättning innefattande metall

Also Published As

Publication number Publication date
DE60316133D1 (de) 2007-10-18
AU2003219631A1 (en) 2003-10-27
CN1642875A (zh) 2005-07-20
EP1492740B1 (en) 2007-09-05
JP4920873B2 (ja) 2012-04-18
DE60316133T2 (de) 2008-05-29
JP2011057548A (ja) 2011-03-24
WO2003087016A1 (en) 2003-10-23
KR20040105843A (ko) 2004-12-16
ES2291624T3 (es) 2008-03-01
JP2005522403A (ja) 2005-07-28
US20050184058A1 (en) 2005-08-25
CN100340529C (zh) 2007-10-03
ATE372309T1 (de) 2007-09-15
US7034260B2 (en) 2006-04-25
EP1492740A1 (en) 2005-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011057548A (ja) モリブデンケイ化物タイプの加熱エレメントの製造方法
JP2011020920A (ja) ケイ化モリブデンタイプの発熱体を製造する方法及び発熱体
KR100635962B1 (ko) 규화몰리브덴 타입의 발열 소자와 그 제조 방법
Kong et al. Some main group oxides on mullite phase formation and microstructure evolution
JP5045926B2 (ja) 窒化ケイ素粉末の製造法
JPH0492864A (ja) 窒化アルミニウム粉末および焼結体およびその製造法
JP4515038B2 (ja) ＭｏＳｉ２粉末、同粉末の製造方法、同粉末を用いた発熱体及び発熱体の製造方法
JP5188267B2 (ja) 耐熱性セラミックスおよび断熱材
KR102143817B1 (ko) 고열전도성 마그네시아 조성물 및 마그네시아 세라믹스
JPS61111961A (ja) 耐水和性高緻密質マグネシア焼結体の製造法
JP2858994B2 (ja) 窒化アルミニウム質焼結体の製造方法
JPH0718255A (ja) 耐消化性に優れた酸化防止剤及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121009

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131001

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141007

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150918

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160921

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181002

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190925

Year of fee payment: 14