KR100635963B1 - 규화몰리브덴 타입의 발열 소자와 그 제조 방법 - Google Patents

규화몰리브덴 타입의 발열 소자와 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100635963B1
KR100635963B1 KR1020047015774A KR20047015774A KR100635963B1 KR 100635963 B1 KR100635963 B1 KR 100635963B1 KR 1020047015774 A KR1020047015774 A KR 1020047015774A KR 20047015774 A KR20047015774 A KR 20047015774A KR 100635963 B1 KR100635963 B1 KR 100635963B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
heating element
molybdenum silicide
molybdenum
impurities
heat generating
Prior art date
Application number
KR1020047015774A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040105845A (ko
Inventor
순드베르크마츠
페터손한스
Original Assignee
산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 filed Critical 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
Publication of KR20040105845A publication Critical patent/KR20040105845A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100635963B1 publication Critical patent/KR100635963B1/ko

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/58085Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides
    • C04B35/58092Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides based on refractory metal silicides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C29/00Alloys based on carbides, oxides, nitrides, borides, or silicides, e.g. cermets, or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides
    • C22C29/18Alloys based on carbides, oxides, nitrides, borides, or silicides, e.g. cermets, or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides based on silicides
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C17/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/06Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
    • H01C17/065Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thick film techniques, e.g. serigraphy
    • H01C17/06506Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits
    • H01C17/06513Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits characterised by the resistive component
    • H01C17/0656Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits characterised by the resistive component composed of silicides
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H05B3/14Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H05B3/14Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
    • H05B3/148Silicon, e.g. silicon carbide, magnesium silicide, heating transistors or diodes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/349Clays, e.g. bentonites, smectites such as montmorillonite, vermiculites or kaolines, e.g. illite, talc or sepiolite
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/38Non-oxide ceramic constituents or additives
    • C04B2235/3891Silicides, e.g. molybdenum disilicide, iron silicide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/40Metallic constituents or additives not added as binding phase
    • C04B2235/402Aluminium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54Particle size related information
    • C04B2235/5418Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5436Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/72Products characterised by the absence or the low content of specific components, e.g. alkali metal free alumina ceramics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49082Resistor making
    • Y10T29/49083Heater type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)

Abstract

본 발명은 실질적으로 규화몰리브덴 타입의 재료와 이 기본 재료의 합금으로 이루어진 발열 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 몰리브덴 알루미노 규화물 Mo(Si1-yAly)2와 벤토나이트 클레이를 공지의 방식으로 혼합하여 주로 Mo(Si1-xAlx)2 및 Al2O3를 함유하는 재료를 제조하고, 상기 벤토나이트 클레이는 불순물을 함유하게 되며, 상기 규화몰리브덴은 상기 불순물과 합금화될 수 없고, 상기 규화몰리브덴의 결정격자의 대칭성은 불순물의 함량을 2000 ppm 미만으로 함으로써 유지되는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명은 발열 소자에 관한 것이다.

Description

규화몰리브덴 타입의 발열 소자와 그 제조 방법{METHOD OF MAKING A HEATING ELEMENT OF THE MOLYBDENUM SILICIDE TYPE AND A HEATING ELEMENT}
본 발명은 규화몰리브덴 타입의 발열 소자와 그 제조 방법에 관한 것이다.
규화몰리브덴 타입의 전기 저항 소자가 스웨덴 특허 명세서 0003512-1호와 0004329-9호에 기술되어 있다. 0003512-1호의 특허 명세서에 따르면, 발열 소자의 저항 재료로는 유해물의 형성이 실질적으로 방지되는 범위로 알루미늄을 함유하도록 되어 있는 Mo(Si1- xAlx)2 등이 있다.
이러한 재료는 400 ~ 600℃의 온도 범위에서 작동될 때, 유해물이 전혀 형성되지 않거나 또는 소량의 유해물만이 형성되는 것으로 확인되었다. 유해물은 MoSi2 및 O2로부터 MoO3가 형성되는 것에 의해 형성된다.
유해물의 형성이 현저히 감소되거나 배제되는 이유는 발열 소자의 표면에 Al2O3가 형성되기 때문이다.
한 가지 바람직한 실시예에 따르면, x는 0.2 ~ 0.6의 범위에 있도록 되어 있다.
다른 특허 명세서인 0004329-9호는, 발열 소자가 고온에서 작동되는 경우에 주로 규화몰리브덴과 이 기본 재료의 합금으로 이루어진 발열 소자의 유효 수명을 증대시키는 방법을 교시하고 있다.
상기 특허 명세서에 따르면, 발열 소자는 그 표면에서 안정적으로 천천히 성장하는 산화알루미늄층을 유지하기에 충분한 범위로 알루미늄을 함유하도록 되어 있다.
바람직한 실시예에 따르면, 발열 소자의 재료는 Mo(Si1- xAlx)2를 함유하도록 되어 있으며, 여기서 x는 0.2 ~ 0.6 범위에 있다.
알루미늄을 함유하는 규화몰리브덴 타입의 재료는 저온 및 고온 모두에서 향상된 부식 특성을 갖는 것으로 확인되었다.
이러한 재료는 대개 MoSi2 분말을 알루미노실리케이트 등과 같은 산화물계 원료와 혼합시키는 것에 의해 제조된다. 원료가 벤토나이트 클레이인 경우, 소위 용융상 소결에 도움이 되는 비교적 낮은 용융점이 얻어지며, 그 결과 MoSi2와 15 ~ 20 체적%에 상응하는 소정 비율의 규산알루미늄을 함유하는 고밀도 재료가 형성된다.
벤토나이트 클레이는 다양한 조성을 갖는다. 일부 벤토나이트는 60 체적%의 SiO2를 포함하는 반면에, 일부 벤토나이트는 약간 더 많은 70 체적%의 SiO2를 함유한다. Al2O3의 함량도 다양하지만, 대개 13 ~ 20 체적%의 범위에 있다. 용융점은 약 1200 ~ 1400℃ 사이에서 다양하다.
주로 SiO2를 함유하는 벤토나이트 클레이는 Mo(Si1- xAlx)2 를 함유하는 발열 소자의 제조에 사용될 수 있다. Al-합금계 규화물을 소결하는 경우, 산소의 Al에 대한 친화성이 Si에 대한 친화성보다 커서 Si가 규산알루미늄에서 나와 규화물에 들어가게 되는(이는 Al이 규화물에서 나와 산화물상에 흡인되기 때문임) 화학적 교환 반응이 발생한다. 또한, 이 교환 반응은 조성 재료의 소결 특성을 개선하는 데 도움이 된다. 최종적으로 얻어지는 재료는 실질적으로 Al이 고갈된 Mo(Si1- xAlx )2를 함유하며, 상기 산화물상은 본질적으로 Al2O3를 함유한다.
표준 제조 절차는 분말 형태의 몰리브덴, 실리콘 및 알루미늄을 혼합하는 단계와, 상기 분말 혼합물을 차폐가스 분위기 하에서 정상적으로 소성하는 단계를 포함한다. 그 결과, Mo(Si1- yAly)2 재료로 이루어진 하나의 케이크가 얻어지는데, 여기서 y는 상기 교환 반응 때문에 x보다 크다. 이 반응은 발열 반응이다. 그 후, 상기 케이크를 대개 1 ~ 20 ㎛ 정도의 미립자 크기로 분쇄한다. 이 분말을 벤토나이트 클레이와 혼합하여, 예컨대 습식 세라믹 재료를 형성한다. 이 재료를 최종 발열 소자의 직경에 상응하는 직경을 갖는 로드 형태로 압출 성형하고 건조한다. 그 후, 상기 재료를 함유 성분의 용융점을 초과하는 온도에서 소결한다.
그러나, 이러한 종류의 발열 소자는 단점이 있다. 이러한 발열 소자의 표면에 형성되는 산화물, 즉 Al2O3는 때때로 박리되거나 벗겨지며, 다시 말해서 발열 소자가 주기적으로 작동되는 경우에 그 표면과의 결합이 느슨해진다는 문제가 있다.
박리 산화물은 계속되는 알루미늄 산화에 대한 보호를 약화시켜, 발열 소자의 외표면의 열화가 보다 빠르게 진행되게 한다. 또한, 박리 산화물은 발열 소자가 설치된 오븐을 오염시킬 수 있어, 상기 발열 소자를 구비하는 오븐에서 열처리되는 제품의 성능 및 외관이 현저히 나빠지게 될 위험이 발생한다. 이로 인해. 가열 공정에 있어서 상기 발열 소자의 사용이 제한된다.
이러한 문제점은 본 발명에 의해 해결된다.
따라서, 본 발명은 실질적으로 규화몰리브덴 타입의 재료와 이 기본 재료의 합금으로 이루어진 발열 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 이 방법은 몰리브덴 알루미노 규화물 Mo(Si1-yAly)2와 벤토나이트 클레이를 공지의 방식으로 혼합하여 주로 Mo(Si1-xAlx)2 및 Al2O3를 함유하는 재료를 제조하고, 상기 벤토나이트 클레이는 불순물을 함유하게 되며, 상기 규화몰리브덴은 상기 불순물과 합금화될 수 없고, 상기 규화몰리브덴의 결정격자의 대칭성은 불순물의 함량을 2000 ppm 미만으로 함으로써 유지되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 청구항 7에 기술된 바와 같은 주요 특징을 갖는 종류의 발열 소자에 관한 것이다.
이제 본 발명을 보다 상세히 후술한다.
본 발명에 따르면, 주로 규화몰리브덴 타입의 재료와 이 기본 재료의 합금으 로 이루어진 발열 소자는, 대체로 전술한 방법에 의해 제조된다. 따라서, Al2O3를 함유하는 벤토나이트 클레이가 혼합되어 있는 Mo(Si1- yAly)2를 실질적으로 함유하는 분말이 만들어진다.
본 발명에 따르면, 벤토나이트 클레이는 규화몰리브덴과 합금화될 수 없는 불순물을 함유하게 되어, 상기 규화몰리브덴의 결정격자의 대칭성은 불순물의 함량을 2000 ppm 미만으로 함으로써 유지된다. 이와 같이 불순물 함량이 낮은 벤토나이트 클레이는 공지의 화학 세정 공정에 의해 벤토나이트 클레이를 정화시킴으로써 제조될 수 있다.
이러한 기법과는 달리, 결정격자의 대칭성을 변화시키지 않으면서, Mo(Si1-xAlx)2 재료의 몰리브덴을 부분적으로 Re 또는 W로 대체할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, Mg, Ca, Fe, Na 및 K 등과 같은 불순물의 총함량이 2000 ppm 미만이도록 되어 있다.
본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따르면, 상기 불순물의 함량은 1000 ppm 미만이도록 되어 있다.
놀랍게도, 실온과 높은 온도(예컨대, 1500℃) 사이에서 주기적으로 작동된 후에 박리되지 않고 오염물의 함량이 낮은 산화물이 얻어지는 것으로 확인되었다.
한 가지 실시예에 따르면, x는 0.4 ~ 0.6의 범위 내에 있도록 되어 있다.
한 가지 바람직한 실시예에 따르면, x는 0.45 ~ 0.55의 범위 내에 있도록 되어 있다.
따라서, 본 발명은 서두에 언급된 문제점을 해결하고, 본 발명에 따른 발열 소자가 오븐에서 처리되는 재료에 손상을 입히는 일없이 오븐에서 유익하게 사용될 수 있게 한다.
첨부된 청구범위의 범위 내에서 다양한 변형이 실시될 수 있으므로, 본 발명은 전술한 실시예에 한정되는 것으로 고려되지 않아야 한다.

Claims (12)

  1. 규화몰리브덴 타입의 재료와 이 기본 재료의 합금을 포함하는 발열 소자의 제조 방법에 있어서,
    몰리브덴 알루미노 규화물 Mo(Si1-yAly)2와 벤토나이트 클레이를 공지의 방식으로 혼합하여 Mo(Si1-xAlx)2 및 Al2O3를 함유하는 재료를 제조하는 단계를 포함하고, 상기 벤토나이트 클레이는 불순물을 함유하게 되며, 상기 규화몰리브덴은 상기 불순물과 합금화될 수 없고, 상기 규화몰리브덴의 결정격자의 대칭성은 불순물의 함량을 2000 ppm 미만으로 함으로써 유지되는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 불순물 Mg, Ca, Fe, Na 및 K의 총함량이 2000 ppm 미만이도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 불순물의 함량이 1000 ppm 미만이도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, x는 0.4 ~ 0.6의 범위 내에 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, x는 0.45 ~ 0.55의 범위 내에 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, Mo(Si1-xAlx)2 재료의 몰리브덴을 부분적으로 Re 또는 W로 대체할 수 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자 제조 방법.
  7. 규화몰리브덴 타입의 재료와 이 기본 재료의 합금을 포함하는 전기 발열 소자에 있어서,
    상기 발열 소자는 Mo(Si1-xAlx)2 및 Al2O3를 함유하는 재료를 포함하고, 상기 재료는 불순물을 함유하며, 상기 규화몰리브덴은 상기 불순물과 합금화될 수 없고, 상기 규화몰리브덴의 결정격자의 대칭성은 상기 불순물의 함량을 2000 ppm 미만으로 함으로써 유지되는 것을 특징으로 하는 발열 소자.
  8. 제7항에 있어서, 불순물 Mg, Ca, Fe, Na 및 K의 총함량이 2000 ppm 미만이도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 불순물의 함량이 1000 ppm 미만이도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자.
  10. 제7항 또는 제8항에 있어서, x는 0.4 ~ 0.6의 범위 내에 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자.
  11. 제7항 또는 제8항에 있어서, x는 0.45 ~ 0.55의 범위 내에 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자.
  12. 제7항 또는 제8항에 있어서, Mo(Si1-xAlx)2 재료의 몰리브덴을 부분적으로 Re 또는 W로 대체할 수 있는 것을 특징으로 하는 발열 소자.
KR1020047015774A 2002-04-05 2003-03-06 규화몰리브덴 타입의 발열 소자와 그 제조 방법 KR100635963B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0201043-7 2002-04-05
SE0201043A SE521796C2 (sv) 2002-04-05 2002-04-05 Förfarande för tillverkning av ett värmeelement av molybdensilicidtyp jämte ett värmeelement
PCT/SE2003/000380 WO2003087015A1 (en) 2002-04-05 2003-03-06 Method of making a heating element of molybdenum silicide type and a heating element

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040105845A KR20040105845A (ko) 2004-12-16
KR100635963B1 true KR100635963B1 (ko) 2006-10-19

Family

ID=20287506

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020047015774A KR100635963B1 (ko) 2002-04-05 2003-03-06 규화몰리브덴 타입의 발열 소자와 그 제조 방법

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7166823B2 (ko)
EP (1) EP1492741B1 (ko)
JP (2) JP4913988B2 (ko)
KR (1) KR100635963B1 (ko)
CN (1) CN100349826C (ko)
AU (1) AU2003210093A1 (ko)
SE (1) SE521796C2 (ko)
WO (1) WO2003087015A1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102405198A (zh) * 2009-05-05 2012-04-04 山特维克知识产权股份有限公司 加热元件
CN102173814B (zh) * 2011-03-04 2013-02-06 郑州嵩山电热元件有限公司 一种二硅化钼基电热元件及其制备方法
EP3394001B1 (en) * 2015-12-21 2019-11-06 Sandvik Intellectual Property AB A new molybdenum silicide based composition
PL3768653T3 (pl) * 2018-03-18 2022-06-20 Kanthal Ab Element grzejny zawierający części dikrzemku molibdenu
US11932579B2 (en) 2018-11-16 2024-03-19 Kanthal Ab Process for manufacturing a chromium alloyed molybdenum silicide portion of a heating element

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB731616A (en) * 1951-08-24 1955-06-08 Metro Cutanit Ltd Improvements relating to the manufacture of electric resistance heating elements
GB751294A (en) * 1953-12-31 1956-06-27 Metro Cutanit Ltd Improvements in and relating to methods of making tubular heating elements from powdered materials
JPH01313362A (ja) * 1988-06-09 1989-12-18 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミック発熱体およびその製造方法
JPH03141162A (ja) * 1989-10-26 1991-06-17 Riken Corp 二珪化モリブデン発熱体の製造法
WO1995031416A1 (en) * 1994-05-13 1995-11-23 Micropyretics Heaters International Sinter-homogenized heating products
AU2606895A (en) 1994-05-13 1995-12-05 Micropyretics Heaters International Sinter-homogenized heating products
JP3230793B2 (ja) * 1995-01-24 2001-11-19 富士電機株式会社 セラミックス発熱体
SE504235C2 (sv) * 1995-04-11 1996-12-09 Kanthal Ab Elektriskt motståndselement av molybdensilicidtyp
EP0992470B1 (en) * 1995-08-03 2006-03-08 Ngk Insulators, Ltd. Aluminium nitride sintered bodies and their use as substrate in an apparatus for producing semiconductors
JPH10324571A (ja) * 1997-05-23 1998-12-08 Riken Corp 二珪化モリブデン系セラミックス発熱体及びその製造方法
JP3657800B2 (ja) * 1998-02-20 2005-06-08 株式会社リケン 二珪化モリブデン系複合セラミックス発熱体及びその製造方法
SE512980C2 (sv) * 1998-10-22 2000-06-12 Flaekt Ab Filteranordning för luftkanaler eller luftbehandlingsaggregat
SE520251C2 (sv) * 1999-05-20 2003-06-17 Sandvik Ab Motståndselement av molybdensilicidtyp för sintring av metallpulver
SE9904170L (sv) * 1999-11-18 2000-12-11 Sandvik Ab Molybdensilicid-material med hög hållfasthet
SE519027C2 (sv) * 2000-05-18 2002-12-23 Sandvik Ab Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement vid lägre temperatur
SE520149C2 (sv) * 2000-09-29 2003-06-03 Sandvik Ab Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdensilicidtyp vid lägre temperatur
SE520148C3 (sv) * 2000-11-24 2003-07-16 Sandvik Ab Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdendisilicidtyp vid värmebehandling av elektroniska keramer
CN1314448A (zh) * 2001-04-26 2001-09-26 中国科学院上海硅酸盐研究所 二硅化钼基复合发热体及制备方法
SE521882C2 (sv) * 2001-06-21 2003-12-16 Sandvik Ab Förfarande för framställning av en enfassammansättning innefattande metall

Also Published As

Publication number Publication date
US7166823B2 (en) 2007-01-23
US20050242083A1 (en) 2005-11-03
JP2005522402A (ja) 2005-07-28
JP4913988B2 (ja) 2012-04-11
SE521796C2 (sv) 2003-12-09
EP1492741A1 (en) 2005-01-05
EP1492741B1 (en) 2015-04-22
JP2011020920A (ja) 2011-02-03
SE0201043D0 (sv) 2002-04-05
CN100349826C (zh) 2007-11-21
AU2003210093A1 (en) 2003-10-27
CN1642874A (zh) 2005-07-20
WO2003087015A1 (en) 2003-10-23
KR20040105845A (ko) 2004-12-16
SE0201043L (sv) 2003-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011057548A (ja) モリブデンケイ化物タイプの加熱エレメントの製造方法
JP2011020920A (ja) ケイ化モリブデンタイプの発熱体を製造する方法及び発熱体
KR100635962B1 (ko) 규화몰리브덴 타입의 발열 소자와 그 제조 방법
JPH08288103A (ja) 電気抵抗素子
CN111869317A (zh) 包含铬合金化二硅化钼的加热元件及其用途
JP4571373B2 (ja) モリブデン二ケイ化物からなる加熱要素の低温度における寿命の改良方法
KR100510949B1 (ko) 저온에서 가열 요소의 수명을 연장시키는 방법
JP4515038B2 (ja) MoSi2粉末、同粉末の製造方法、同粉末を用いた発熱体及び発熱体の製造方法
JPS61111961A (ja) 耐水和性高緻密質マグネシア焼結体の製造法
JPH07300365A (ja) 窒化ケイ素焼結体及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120924

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130926

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141001

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150918

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160921

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181002

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190925

Year of fee payment: 14