KR100635944B1 - a thin film transistor array panel for a liquid crystal display - Google Patents

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Abstract

절연 기판 위에 게이트선 및 게이트 전극, 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선이 형성되어 있고, 그 위에 게이트 절연막이 형성되어 있다. 그 위에 반도체층과 저항성 접촉층이 차례로 형성되어 있고, 게이트 절연막 위에 데이터선 및 소스 전극, 드레인 전극, 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선이 형성되어 있다. 데이터 배선 위에 드레인 전극, 게이트 패드, 데이터 패드를 각각 드러내는 접촉 구멍을 갖는 보호막이 형성되어 있다. 보호막 위에는 드레인 전극 및 게이트 패드, 데이터 패드와 각각 연결되는 화소 전극 및 보조 게이트 패드, 보조 데이터 패드가 형성되어 있다. 이때, 보조 데이터 패드 사이의 간격이 보조 데이터 패드 폭 이상으로 형성되어 보조 데이터 패드 사이의 간격이 충분히 넓다. 이러한 박막 트랜지스터 기판에 구동 집적 회로가 장착되어 있는 TCP를 연결할 때 TCP 패드와 보조 데이터 패드의 오정렬이 발생하더라도 이웃하는 보조 데이터 패드와 단락되지 않고 TCP 패드와 보조 데이터 패드가 하나씩 전기적으로 연결된다. 또한, 더미 배선 및 더미 패드가 더 형성될 경우, 더미 패드 사이의 간격이 더미 패드의 폭 이상으로 형성되어 더미 패드와 TCP 더미 패드가 하나씩 전기적으로 연결될 수 있다.A gate wiring including a gate line, a gate electrode, and a gate pad is formed on an insulating substrate, and a gate insulating film is formed thereon. The semiconductor layer and the ohmic contact layer are sequentially formed thereon, and a data line including a data line, a source electrode, a drain electrode, and a data pad is formed on the gate insulating film. A protective film having contact holes for exposing the drain electrode, the gate pad, and the data pad, respectively, is formed on the data line. A drain electrode, a gate pad, and a pixel electrode, an auxiliary gate pad, and an auxiliary data pad respectively connected to the data layer are formed on the passivation layer. At this time, an interval between the auxiliary data pads is formed to be greater than or equal to the width of the auxiliary data pad, so that the interval between the auxiliary data pads is sufficiently wide. When the TCP in which the driving integrated circuit is mounted is connected to the thin film transistor substrate, even if misalignment of the TCP pad and the auxiliary data pad occurs, the TCP pad and the auxiliary data pad are electrically connected one by one without being short-circuited with the neighboring auxiliary data pad. In addition, when the dummy wires and the dummy pads are further formed, a gap between the dummy pads is formed to be greater than or equal to the width of the dummy pads so that the dummy pads and the TCP dummy pads may be electrically connected one by one.

패드, 오정렬, 단락, TCPPad, misalignment, short circuit, TCP

Description

액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판{a thin film transistor array panel for a liquid crystal display}A thin film transistor array panel for a liquid crystal display}

도 1은 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 대략적으로 도시한 도면이고,1 is a view schematically showing a thin film transistor substrate for a liquid crystal display device according to the present invention;

도 2는 도 1에 도시한 박막 트랜지스터 기판의 화소 영역(P)을 패드와 함께 도시한 배치도이고, FIG. 2 is a layout view illustrating the pixel region P of the thin film transistor substrate illustrated in FIG. 1 together with a pad.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 2,

도 4는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 주변 영역과 TCP 패드를 함께 도시한 도면이고, 4 is a diagram illustrating a peripheral area and a TCP pad of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display device.

도 5는 TCP와 박막 트랜지스터 기판의 일부를 도시한 배치도이고,5 is a layout view showing a portion of a TCP and a thin film transistor substrate,

도 6은 도 5의 Ⅵ 부분을 확대하여 도시한 배치도이고,FIG. 6 is an enlarged layout view of part VI of FIG. 5;

도 7은 도 4의 Ⅶ 부분의 보조 데이터 패드 및 TCP 패드를 확대하여 도시한 단면도이다.FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of an auxiliary data pad and a TCP pad in part VII of FIG. 4.

본 발명은 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film transistor substrate for a liquid crystal display device.

액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중의 하나로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 유리 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져 있으며, 두 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시켜 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.The liquid crystal display is one of the most widely used flat panel display devices. The liquid crystal display includes two glass substrates on which electrodes are formed and a liquid crystal layer interposed therebetween. A display device for controlling the amount of light transmitted by rearranging them.

이러한 액정 표시 장치의 한 기판에는 다수의 게이트선 및 데이터선이 절연되어 교차하여 다수의 화소 영역을 이루고 있고, 이러한 화소 영역에는 다수의 박막 트랜지스터 및 화소 전극이 형성되어 있으며, 이러한 화소 영역들이 모여 화면을 표시하는 표시 영역을 이루고 있다. 또한, 다수의 게이트선 및 데이터선과 각각 연결되어 외부로부터 신호를 인가받는 다수의 게이트 패드 및 데이터 패드가 일정한 간격으로 형성되어 있는 주변 영역이 표시 영역의 바깥에 있다. 그리고, 박막 트랜지스터 기판과 대향하는 기판에는 색 필터 및 공통 전극이 형성되어 있는데 이를 색 필터 기판이라고 하며 박막 트랜지스터 기판보다 크기가 작다. 따라서, 두 기판을 포개는 경우에 주변 영역의 일부는 노출된다.In one substrate of the liquid crystal display, a plurality of gate lines and data lines are insulated and intersected to form a plurality of pixel regions, and in the pixel region, a plurality of thin film transistors and pixel electrodes are formed. And a display area for displaying. In addition, a peripheral area outside the display area, in which a plurality of gate pads and data pads connected to the plurality of gate lines and data lines and receiving signals from outside are formed at regular intervals, respectively. A color filter and a common electrode are formed on a substrate facing the thin film transistor substrate, which is called a color filter substrate and is smaller in size than the thin film transistor substrate. Thus, when overlapping two substrates, part of the peripheral area is exposed.

이러한 두 기판이 포개져 이루는 액정 패널의 위쪽 및 왼쪽에는 외부로부터 신호가 전달되는 데이터용 PCB 기판 및 게이트용 PCB 기판이 위치하고 있다. 액정 패널과 데이터용 PCB 기판 사이에는 전기적인 신호를 데이터 신호로 변환하여 데이터 패드 및 데이터선에 출력하는 데이터 구동 집적 회로가 실장되어 있는 데이터용 TCP(tape carrier package)가 연결되어 있다. 또한, 액정 패널과 게이트용 PCB 기판 사이에는 전기적인 신호를 주사 신호로 변환하여 게이트 패드 및 게이트선에 출력하는 게이트 구동 집적 회로가 실장되어 있는 게이트용 TCP가 연결되어 있다.Above and to the left of the liquid crystal panel formed by stacking these two substrates, a data PCB board and a gate PCB board are provided. Between the liquid crystal panel and the data PCB substrate, a data carrier package (TCP) for mounting a data driving integrated circuit for converting an electrical signal into a data signal and outputting the data signal to a data pad and a data line is connected. In addition, a gate TCP is mounted between the liquid crystal panel and the gate PCB substrate, in which a gate driving integrated circuit is mounted, which converts an electrical signal into a scan signal and outputs the result to a gate pad and a gate line.

이러한 게이트 및 데이터용 TCP는 이방성 도전막(ACF; anisotropic conducting film)을 이용한 열압착 공정을 통해 액정 패널의 노출되어 있는 주변 영역, 즉 게이트 패드 및 데이터 패드와 각각 연결되는데, TCP의 패드와 박막 트랜지스터 기판의 패드는 각각 하나씩 연결되어야 한다.The gate and data TCPs are connected to the exposed peripheral areas of the liquid crystal panel, that is, the gate pads and the data pads, through a thermocompression process using an anisotropic conducting film (ACF), respectively. Each pad of the substrate should be connected one by one.

그러나, 액정 표시 장치가 고정세화할수록 패드 사이의 간격이 작아지기 때문에 TCP 패드와 데이터 패드가 제대로 연결되지 못하여 이웃하는 패드와 단락되는 등의 문제점이 있다.However, as the liquid crystal display device becomes higher in size, the gap between pads becomes smaller, and thus, the TCP pad and the data pad are not properly connected, and thus there is a problem such as a short circuit between neighboring pads.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 외부 구동 집적 회로를 연결할 때 패드의 단락을 방지하는 것이다. The technical problem to be achieved by the present invention is to prevent the short circuit of the pad when connecting the external driving integrated circuit.

이러한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에서는 패드 사이의 간격을 패드의 폭 이상으로 한다.In order to achieve such a problem, in the present invention, the distance between the pads is greater than or equal to the width of the pads.

본 발명에 따르면, 절연 기판 위에 다수의 제1 신호선과 제1 신호선에 연결되어 있는 다수의 제1 패드가 형성되어 있다. 또한, 제1 신호선과 절연되어 교차하여 다수의 화소 영역을 이루는 다수의 제2 신호선과 제2 신호선에 연결되어 있는 다수의 제2 패드가 형성되어 있다. 화소 영역에는 화소 전극과 화소 전극, 제1 신호선 및 제2 신호선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터가 형성되어 있다. According to the present invention, a plurality of first signal lines and a plurality of first pads connected to the first signal lines are formed on an insulating substrate. Also, a plurality of second signal lines and a plurality of second pads connected to the second signal line are formed to be insulated from and cross the first signal line to form a plurality of pixel areas. In the pixel area, a thin film transistor connected to the pixel electrode, the pixel electrode, the first signal line, and the second signal line is formed.

이때, 제1 패드 사이의 간격이 제1 패드의 폭 이상이거나, 제2 패드 사이의 간격이 제2 패드의 폭 이상이다.At this time, an interval between the first pads is greater than or equal to the width of the first pad, or an interval between the second pads is greater than or equal to the width of the second pad.

이러한 본 발명에 따른 박막 트랜지스터 기판은 절연 기판을 포함하며, 기판 위에 다수의 게이트선과 게이트선에 연결되어 있는 게이트 전극, 게이트선에 연결되어 외부로부터 주사 신호를 인가받는 다수의 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선이 형성되어 있다. 게이트 배선은 게이트 절연막으로 덮여 있으며, 그 위에는 반도체층이 형성되어 있다. 반도체층 및 게이트 절연막 위에는 다수의 데이터선과 데이터선에 연결되어 있는 소스 전극, 소스 전극과 분리되어 있는 드레인 전극, 데이터선에 연결되어 외부로부터 화상 신호를 인가받는 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선이 형성되어 있다. 데이터 배선 및 게이트 절연막 위에는 드레인 전극 및 게이트 패드, 데이터 패드를 각각 드러내는 다수의 제1 내지 제3 접촉 구멍을 갖는 보호막이 형성되어 있다. 보호막 위에는 제1 접촉 구멍을 통해 드레인 전극과 연결되는 화소 전극과 제2 접촉 구멍을 통해 게이트 패드를 덮고 있는 보조 게이트 패드, 제3 접촉 구멍을 통해 데이터 패드를 덮고 있는 보조 데이터 패드가 형성되어 있다. 여기서, 보조 데이터 패드 사이의 간격이 보조 데이터 패드의 폭 이상이거나 보조 게이트 패드 사이의 간격이 보조 게이트 패드의 폭 이상이다.The thin film transistor substrate according to the present invention includes an insulating substrate, and includes a plurality of gate lines and gate electrodes connected to the gate lines on the substrate, and a gate including a plurality of gate pads connected to the gate lines to receive scan signals from the outside. Wiring is formed. The gate wiring is covered with a gate insulating film, on which a semiconductor layer is formed. A data line is formed on the semiconductor layer and the gate insulating layer including a plurality of data lines and source electrodes connected to the data lines, a drain electrode separated from the source electrodes, and a data pad connected to the data lines to receive image signals from the outside. have. A passivation film having a plurality of first to third contact holes respectively exposing the drain electrode, the gate pad, and the data pad is formed on the data line and the gate insulating film. On the passivation layer, a pixel electrode connected to the drain electrode through the first contact hole, an auxiliary gate pad covering the gate pad through the second contact hole, and an auxiliary data pad covering the data pad through the third contact hole are formed. Here, the spacing between the auxiliary data pads is greater than or equal to the width of the auxiliary data pad or the spacing between the auxiliary gate pads is greater than or equal to the width of the auxiliary gate pad.

이때, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드는 화소 전극과 동일한 층으로 이루어지는 것이 바람직하다.In this case, the auxiliary gate pad and the auxiliary data pad are preferably formed of the same layer as the pixel electrode.

여기서, 데이터 배선과 게이트 패드 사이에 더미 배선과 더미 배선에 연결되어 있는 더미 패드가 더 형성될 수 있으며, 이때는 더미 패드 간의 간격이 더미 패드의 폭 이상인 것이 바람직하고 더미 배선의 두 개 이상은 서로 연결되어 있을 수 있다.Here, a dummy pad connected to the dummy wire and the dummy wire may be further formed between the data wire and the gate pad. In this case, the distance between the dummy pads is preferably equal to or greater than the width of the dummy pad, and at least two dummy wires are connected to each other. It may be.

한편, 보조 게이트 패드와 보조 데이터 패드가 형성되지 않을 수도 있으며, 이때는 제3 접촉 구멍 사이의 간격이 제3 접촉 구멍의 폭 이상이거나 제2 접촉 구멍 사이의 간격이 제2 접촉 구멍의 폭 이상인 것이 바람직하다.Meanwhile, the auxiliary gate pad and the auxiliary data pad may not be formed, and in this case, it is preferable that an interval between the third contact holes is greater than or equal to the width of the third contact hole or that an interval between the second contact holes is greater than or equal to the width of the second contact hole. Do.

본 발명에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판은 반도체층 위에 형성되어 있는 저항성 접촉층을 더 포함할 수도 있다.The thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to the present invention may further include an ohmic contact layer formed on the semiconductor layer.

이러한 본 발명에서는 보조 데이터 패드 간의 간격이 보조 데이터 패드의 폭 이상으로 형성되어 외부 구동 회로의 패드와 보조 데이터 패드가 오정렬되더라도 각각의 패드는 하나씩 연결될 수 있다. In the present invention, even if the spacing between the auxiliary data pads is greater than or equal to the width of the auxiliary data pads, the pads of the external driving circuit and the auxiliary data pads may be misaligned.

그러면, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명한다.Next, a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily implement the same.

도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 기판의 구조에 대하여 패드를 포함하여 상세히 설명한다.1 to 3 will be described in detail including a pad with respect to the structure of a thin film transistor substrate according to an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 대략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 화소 영역(P)을 패드를 포함하여 도시한 배치도이고, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.1 is a view schematically illustrating a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 2 is a layout view illustrating a pixel region P of FIG. 1 including a pad, and FIG. It is sectional drawing cut along the III-III line | wire.

먼저, 도 1에서와 같이 절연 기판(10) 위에 가로 방향으로 다수의 게이트선(20)이 형성되어 있고, 게이트선(20)과 연결되어 있는 다수의 게이트 패드(22)가 형성되어 있다. 게이트선(20)과 절연되어 교차하며 세로 방향으로 다수의 데이터선(60)이 형성되어 있고, 데이터선(60)과 연결되어 있는 다수의 데이터 패드(63)가 형성되어 있다. 게이트선(20)과 데이터선(60)이 교차하여 다수의 화소 영역(P)이 정의되며, 화소 영역(P)에는 게이트선(20) 및 데이터선(60)과 연결되어 있는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있고, 박막 트랜지스터(TFT)와 연결되어 있는 화소 전극(PE)도 형성되어 있다. First, as shown in FIG. 1, a plurality of gate lines 20 are formed on the insulating substrate 10 in a horizontal direction, and a plurality of gate pads 22 connected to the gate lines 20 are formed. A plurality of data lines 60 are formed in the vertical direction and insulated from and cross the gate line 20, and a plurality of data pads 63 connected to the data lines 60 are formed. A plurality of pixel regions P are defined by crossing the gate line 20 and the data line 60, and a thin film transistor TFT connected to the gate line 20 and the data line 60 in the pixel region P. FIG. ) Is formed, and the pixel electrode PE connected to the thin film transistor TFT is also formed.

본 실시예에서는 패드(22, 63)의 폭에 비해 패드(22, 63) 간의 간격을 같거나 더 크게 한다. In this embodiment, the spacing between the pads 22 and 63 is equal to or greater than the widths of the pads 22 and 63.

이러한 박막 트랜지스터 기판의 화소 영역(P)에 대하여 도 2 및 도 3을 참조하여 상세히 설명한다.The pixel region P of the thin film transistor substrate will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2 및 도 3에서와 같이, 절연 기판(10) 위에 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Al alloy), 몰리브덴(Mo) 또는 몰리브덴-텅스텐 합금(MoW), 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 등의 금속 또는 도전체로 이루어진 게이트 배선(20, 21, 22)이 형성되어 있다. 게이트 배선은 가로 방향으로 뻗어 있는 다수의 게이트선(20), 게이트선(20)의 분지인 게이트 전극(21), 게이트선(20)의 끝에 연결되어 외부로부터 주사 신호를 인가받아 게이트선(20)으로 전달하는 게이트 패드(22)를 포함한다. 2 and 3, on the insulating substrate 10, aluminum (Al) or aluminum alloy (Al alloy), molybdenum (Mo) or molybdenum-tungsten alloy (MoW), chromium (Cr), tantalum (Ta), etc. The gate wirings 20, 21, 22 made of metal or conductors are formed. The gate wiring is connected to the ends of the plurality of gate lines 20 extending in the horizontal direction, the gate electrode 21 which is a branch of the gate line 20, and the gate line 20, and receives a scan signal from the outside to receive the gate line 20. Gate pads 22).

게이트 배선(20, 21, 22)은 단일층으로 형성될 수도 있지만, 이중층 이상으로 형성될 수도 있다. 이때, 한 층은 저항이 작은 물질로 하고 다른 층은 다른 물질과의 접촉 특성이 좋은 물질로 형성하는 것이 바람직하며, 그 예로 크롬과 알루미늄의 이중층 또는 알루미늄과 몰리브덴의 이중층을 들 수 있다.The gate wirings 20, 21, 22 may be formed in a single layer, but may be formed in more than a double layer. In this case, it is preferable that one layer is formed of a material having a low resistance and the other layer is formed of a material having good contact properties with other materials. Examples thereof include a double layer of chromium and aluminum or a double layer of aluminum and molybdenum.

게이트 배선(20, 21, 22)은 질화규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(30)으로 덮여 있다.The gate wirings 20, 21, 22 are covered with a gate insulating film 30 made of silicon nitride (SiN x ).

게이트 절연막(30) 위에는 비정질 규소 따위의 반도체로 이루어진 반도체층(40)이 형성되어 있으며, 반도체층(40) 위에는 인(P)과 같은 n형 불순물이 도핑되어 있는 비정질 규소 따위의 반도체로 이루어진 저항성 접촉층(51, 52)이 게이트 전극(21)을 중심으로 양쪽으로 분리되어 형성되어 있다. A semiconductor layer 40 made of a semiconductor such as amorphous silicon is formed on the gate insulating layer 30, and a resistance made of a semiconductor such as amorphous silicon doped with n-type impurities such as phosphorus (P) is formed on the semiconductor layer 40. The contact layers 51 and 52 are formed separated from both sides with respect to the gate electrode 21.

저항성 접촉층(51, 52) 및 게이트 절연막(30) 위에는 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 몰리브덴 또는 몰리브덴-텅스텐 합금, 크롬, 탄탈륨 등의 금속 또는 도전체로 이루어진 데이터 배선(60, 61, 62, 63)이 형성되어 있다. 데이터 배선은 게이트선(20)과 교차하며 세로 방향으로 뻗어 있는 다수의 데이터선(60), 데이터선(60)의 분지인 소스 전극(61), 게이트 전극(21)을 중심으로 소스 전극(61)과 마주하는 드레인 전극(62), 데이터선(60)에 연결되어 외부로부터 화상 신호를 인가받아 데이터선(60)에 전달하는 데이터 패드(63)를 포함한다. On the ohmic contacts 51 and 52 and the gate insulating film 30, data wires 60, 61, 62, and 63 made of a metal or a conductor such as aluminum or an aluminum alloy, molybdenum or molybdenum-tungsten alloy, chromium and tantalum are formed. It is. The data line intersects the gate line 20 and extends in the longitudinal direction, and the source electrode 61 centers around the source electrode 61 and the gate electrode 21 which are branches of the data line 60. ) And a drain electrode 62 facing the) and a data pad 63 connected to the data line 60 to receive an image signal from the outside and transmit the image signal to the data line 60.

데이터 배선(60, 61, 62, 63)도 게이트 배선(20, 21, 22)과 마찬가지로 단일층으로 형성될 수도 있지만 이중층 이상으로 형성될 수 있다. The data lines 60, 61, 62, and 63 may also be formed in a single layer like the gate lines 20, 21, and 22, but may be formed in two or more layers.

여기서, 게이트 전극(21)과 게이트 절연막(30), 반도체층(40), 저항성 접촉층(51, 52), 소스 및 드레인 전극(61, 62)은 박막 트랜지스터(TFT)를 이루고 있다. Here, the gate electrode 21, the gate insulating film 30, the semiconductor layer 40, the ohmic contact layers 51 and 52, and the source and drain electrodes 61 and 62 form a thin film transistor TFT.

데이터 배선(60, 61, 62, 63), 반도체층(40), 게이트 절연막(30) 위에는 질화규소 따위로 이루어진 보호막(70)이 형성되어 있다. 보호막(70)은 게이트 절연막(30)과 함께 게이트 패드(22)를 드러내는 접촉 구멍(72)을 가지고 있을 뿐만 아니라, 데이터 패드(63)를 드러내는 접촉 구멍(73)과 드레인 전극(62)을 드러내는 접촉 구멍(71)을 가지고 있다. A protective film 70 made of silicon nitride is formed on the data wires 60, 61, 62, and 63, the semiconductor layer 40, and the gate insulating film 30. The protective film 70 has not only a contact hole 72 exposing the gate pad 22 with the gate insulating film 30, but also a contact hole 73 and a drain electrode 62 exposing the data pad 63. It has a contact hole 71.

보호막(70) 위에는 ITO(indium tin oxide) 따위의 투명 도전 물질 또는 불투명한 도전 물질로 이루어진 화소 전극(80), 보조 게이트 패드(82) 및 보조 데이터 패드(83)가 형성되어 있다. 화소 전극(80)은 접촉 구멍(71)을 통하여 드레인 전극(62)과 연결되어 있다. 보조 게이트 패드(82) 및 보조 데이터 패드(83)는 보호막(70)에 뚫린 접촉 구멍(72, 73)을 통해 게이트 패드(22) 및 데이터 패드(63)와 각각 연결되며, 외부 회로 장치와의 접착성을 보완하고 패드(22, 63)를 보호하는 역할을 하는 것으로 필수적인 것은 아니다. The pixel electrode 80, the auxiliary gate pad 82, and the auxiliary data pad 83 made of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or an opaque conductive material are formed on the passivation layer 70. The pixel electrode 80 is connected to the drain electrode 62 through the contact hole 71. The auxiliary gate pad 82 and the auxiliary data pad 83 are connected to the gate pad 22 and the data pad 63 through the contact holes 72 and 73 drilled in the passivation layer 70, and are connected to the external circuit device. It is not essential to serve to complement the adhesion and to protect the pads 22 and 63.

이러한 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법에 대하여 간략히 설명한다. The manufacturing method of such a thin film transistor substrate is briefly described.

먼저, 기판(10) 위에 게이트 배선용 도전체층을 증착하고 패터닝하여 게이트 배선(20, 21, 22)을 형성한다. 게이트 배선(20, 21, 22) 위에 게이트 절연막(30)과 반도체층, 저항성 접촉층을 차례로 증착하고 패터닝하여 반도체 패턴(40) 및 저항성 접촉층 패턴을 형성한다. 이어, 게이트 절연막(30)과 저항성 접촉층 패턴 위에 데이터 배선용 도전체층을 증착하고 패터닝하여 데이터 배선(60, 61, 62, 63)을 형성하고, 소스 및 드레인 전극(61, 62) 사이에 드러난 저항성 접촉층 패턴을 제거하여 저항성 접촉층 패턴(51, 52)으로 분리하고 반도체 패턴(40)을 드러낸다. 이어, 보호막(70)을 증착하고 패터닝하여 드레인 전극(62) 및 게이트 패드(22), 데이터 패드(63)를 각각 드러내는 접촉 구멍(71, 72, 73)을 형성한다. 이어, ITO와 같은 투명 도전 물질을 증착하고 패터닝하여 화소 전극(80) 및 보조 게이트 패드(82), 보조 데이터 패드(83)를 형성한다.First, a gate wiring conductor layer is deposited on the substrate 10 and patterned to form gate wirings 20, 21, and 22. The gate insulating layer 30, the semiconductor layer, and the ohmic contact layer are sequentially deposited and patterned on the gate lines 20, 21, and 22 to form the semiconductor pattern 40 and the ohmic contact layer pattern. Subsequently, the data wiring conductor layer is deposited and patterned on the gate insulating layer 30 and the ohmic contact layer pattern to form the data wirings 60, 61, 62, and 63, and the resistivity exposed between the source and drain electrodes 61 and 62. The contact layer pattern is removed to separate the resistive contact layer patterns 51 and 52 and the semiconductor pattern 40 is exposed. Next, the passivation layer 70 is deposited and patterned to form contact holes 71, 72, and 73 that expose the drain electrode 62, the gate pad 22, and the data pad 63, respectively. Subsequently, a transparent conductive material such as ITO is deposited and patterned to form the pixel electrode 80, the auxiliary gate pad 82, and the auxiliary data pad 83.

이러한 박막 트랜지스터 기판이 만들어지면 대향 기판과 함께 결합시키고 액정 물질을 주입한 후 액정 표시 장치를 구동하기 위한 구동 집적 회로를 박막 트랜지스터 기판에 전기적으로 연결하여야 한다. When such a thin film transistor substrate is made, a driving integrated circuit for driving the liquid crystal display device after coupling with an opposing substrate, injecting a liquid crystal material, and electrically connecting the thin film transistor substrate must be electrically connected to the thin film transistor substrate.

이와 같은 공정에 대하여 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명한다. 도 4는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 주변 영역과 TCP를 함께 도시한 도면이고, 도 5는 TCP와 박막 트랜지스터 기판의 일부를 도시한 배치도이고, 도 6은 도 5의 Ⅵ 부분을 확대하여 도시한 배치도이고, 도 7은 도 4의 Ⅶ 부분의 보조 데이터 패드 및 TCP 패드를 확대하여 도시한 단면도이다.Such a process will be described with reference to FIGS. 4 to 7. FIG. 4 is a diagram illustrating a TCP and a peripheral region of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display, FIG. 5 is a layout view of a portion of the TCP and a thin film transistor substrate, and FIG. 6 is an enlarged view of part VI of FIG. 5. FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of an auxiliary data pad and a TCP pad in the Ⅶ portion of FIG. 4.

도 4에서와 같이 박막 트랜지스터 기판(10)과 색 필터 기판(11)을 포개면 색 필터 기판(11)의 크기가 작아서 박막 트랜지스터 기판(10)의 주변 영역이 드러난다. 여기서는 드러난 주변 영역 중에 데이터 패드 영역(6)만을 도시하였다. 데이터 패드 영역(6)에는 데이터선(60) 및 보조 데이터 패드(83)가 형성되어 있으며, 더미 배선(65), 더미 패드(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 더미 배선(65) 및 더미 패드에는 공통 신호 따위의 독립된 신호가 인가된다. 데이터 패드 영역(6)에는 이방성 도전막(3)이 형성되어 있고, 이방성 도전막(3) 위에는 TCP(1)가 정렬되어 있다. TCP(1)에는 구동 집적 회로(2)가 장착되어 있으며, 구동 집적 회로(2)에서 방사형으로 퍼져 나와 박막 트랜지스터 기판(10)의 데이터선(60)과 PCB(printed circuit board)와 각각 연결되는 TCP 배선(13, 12)이 형성되어 있다. 또한, TCP(1)에는 더미 배선(65)과 연결되는 TCP 더미 배선(19)이 형성되어 있다.As shown in FIG. 4, when the thin film transistor substrate 10 and the color filter substrate 11 are overlapped with each other, the size of the color filter substrate 11 is small to expose the peripheral area of the thin film transistor substrate 10. Here, only the data pad area 6 is shown among the exposed peripheral areas. A data line 60 and an auxiliary data pad 83 are formed in the data pad region 6, and a dummy wiring 65 and a dummy pad (not shown) are formed. Independent signals such as a common signal are applied to the dummy wiring 65 and the dummy pad. An anisotropic conductive film 3 is formed in the data pad region 6, and TCP 1 is aligned on the anisotropic conductive film 3. The TCP 1 is equipped with a driving integrated circuit 2, which is radiated from the driving integrated circuit 2 and connected to the data line 60 and the printed circuit board (PCB) of the thin film transistor substrate 10, respectively. TCP wirings 13 and 12 are formed. In addition, the TCP dummy wiring 19 connected to the dummy wiring 65 is formed in TCP1.

이러한 TCP(1)와 박막 트랜지스터 기판(10)을 확대하여 도 5에 나타내었다.The TCP 1 and the thin film transistor substrate 10 are enlarged and shown in FIG. 5.

도 5에서와 같이, TCP(1) 위에는 구동 집적 회로(2)가 중앙에 장착되어 있으며, 구동 집적 회로(2)와 연결되어 있는 TCP 배선(12, 13)이 형성되어 있다. TCP 배선(12, 13)의 끝에는 각각 TCP 패드(14, 4)가 연결되어 있으며, TCP 패드(14)는 PCB와 연결되며, TCP 패드(4)는 박막 트랜지스터 기판(10)의 데이터 패드(도시하지 않음)와 접착되어 데이터선(60)과 연결되어 있다. TCP(1)에는 또한 TCP 더미 배선(19)과 TCP 더미 패드(17)가 형성되어 있는데, TCP 더미 패드(17)는 박막 트랜지스터 기판(10)의 더미 패드(도시하지 않음)와 접착되어 있어 공통 신호 따위의 독립된 신호가 인가될 수 있다. As shown in FIG. 5, the driver integrated circuit 2 is mounted on the center of the TCP 1, and the TCP wirings 12 and 13 connected to the driver integrated circuit 2 are formed. TCP pads 14 and 4 are connected to ends of the TCP wires 12 and 13, respectively, TCP pads 14 are connected to the PCB, and TCP pads 4 are data pads of the thin film transistor substrate 10 (not shown). Not connected to the data line 60. TCP dummy wires 19 and TCP dummy pads 17 are also formed in the TCP 1, and the TCP dummy pads 17 are bonded to the dummy pads (not shown) of the thin film transistor substrate 10 and are commonly used. Independent signals such as signals may be applied.

여기서, 도 5의 Ⅵ 부분을 확대하여 도 6에 나타내었다. Here, part VI of FIG. 5 is enlarged and shown in FIG. 6.

도 6은 도 5의 TCP 더미 패드(17) 및 TCP 패드(4)와 각각 접착되어 있는 박막 트랜지스터 기판(10)의 더미 패드(85) 및 보조 데이터 패드(83)와 더미 배선(65) 및 데이터선(60)을 도시한 것이다. 여기서, 보조 데이터 패드(83)의 폭(x)보다 더미 패드(85)의 폭(v)이 더 넓다.6 illustrates a dummy pad 85, an auxiliary data pad 83, a dummy wiring 65 and data of the thin film transistor substrate 10 bonded to the TCP dummy pad 17 and the TCP pad 4 of FIG. 5, respectively. Line 60 is shown. Here, the width v of the dummy pad 85 is wider than the width x of the auxiliary data pad 83.

도 6에서와 같이, 보조 데이터 패드(83)의 폭(x)과 보조 데이터 패드(83) 간의 간격(y)이 1:(1+α)(α

Figure 111999017370918-pat00001
0)이 되도록 보조 데이터 패드(83)의 간격(y)을 충분히 넓게 형성한다. 한편, 더미 패드(85)의 폭(v)과 더미 패드(85) 간의 간격(w) 또한, 1:(1+α)(α
Figure 111999017370918-pat00002
0)이 되도록 더미 패드(85)의 간격(w)을 충분히 넓게 형성한다. 여기서, 더미 배선(65)은 연결부(66)를 통해 두 개 이상씩 서로 연결될 수도 있다.As shown in FIG. 6, the interval y between the width x of the auxiliary data pad 83 and the auxiliary data pad 83 is 1: (1 + α) (α
Figure 111999017370918-pat00001
The interval y of the auxiliary data pads 83 is sufficiently wided to be 0). On the other hand, the distance w between the width v of the dummy pad 85 and the dummy pad 85 is also 1: (1 + α) (α
Figure 111999017370918-pat00002
The space | interval w of the dummy pad 85 is formed wide enough so that it may become 0). Here, two or more dummy wires 65 may be connected to each other through the connection part 66.

그러면, 보조 데이터 패드(83)와 TCP 패드(4)를 연결하는 과정에 대하여 도 7을 참조하여 설명한다.Next, a process of connecting the auxiliary data pad 83 and the TCP pad 4 will be described with reference to FIG. 7.

도 7에서와 같이, 기판(10) 위의 보호막(70)과 그 위에 형성되어 있는 보조 데이터 패드(83) 위에 이방성 도전막(3)을 도포한다. 여기서, 이방성 도전막(3)은 압착 수지와 미세 도전구(5)가 혼재되어 있는 것을 말한다. 이방성 도전막(3) 위에 TCP 패드(4)를 보조 데이터 패드(83)와 하나씩 연결되도록 정렬한다. 이어, 열압착을 하면 이방성 도전막(3)이 눌려지고 도전구(5)들에 의해 접촉되어 TCP 패드(4)와 보조 데이터 패드(83)가 서로 도통된다. 이렇게 하면, TCP(1) 위의 구동 집적 회로에서 나온 신호가 액정 패널에 전달될 수 있다. As shown in FIG. 7, the anisotropic conductive film 3 is coated on the passivation film 70 on the substrate 10 and the auxiliary data pad 83 formed thereon. Here, the anisotropic conductive film 3 means that the crimping resin and the fine conductive sphere 5 are mixed. The TCP pads 4 are arranged on the anisotropic conductive film 3 so as to be connected with the auxiliary data pads 83 one by one. Subsequently, upon thermal compression, the anisotropic conductive film 3 is pressed and contacted by the conductive spheres 5 so that the TCP pad 4 and the auxiliary data pad 83 are connected to each other. In this way, a signal from the driver integrated circuit over TCP (1) can be transmitted to the liquid crystal panel.

여기서는 도시하지 않았지만, 더미 패드(85) 위에도 이방성 도전막(3)을 도포하고 그 위에 TCP 더미 패드(17)를 정렬한 후 열압착을 하면 더미 패드(85)와 TCP 더미 패드(17)가 전기적으로 연결된다.Although not shown here, when the anisotropic conductive film 3 is also applied on the dummy pad 85, the TCP dummy pads 17 are aligned on the dummy pads 85, and thermally crimped, the dummy pads 85 and the TCP dummy pads 17 are electrically connected. Is connected.

이렇게 하면 보조 데이터 패드(83) 간의 간격 및 더미 패드(85) 간의 간격이 충분히 넓게 형성되어 있으므로 보조 데이터 패드(83)와 TCP 패드(4)의 오정렬이 발생하더라도 열압착 시에 이웃하는 보조 데이터 패드(83)와의 단락을 방지할 수 있으며, 더미 패드(85)와 TCP 더미 패드(17)의 오정렬이 발생하더라도 열압착 시에 이웃하는 더미 패드(85) 간의 단락을 방지할 수 있다. In this case, the distance between the auxiliary data pads 83 and the dummy pads 85 is sufficiently wide, so that even if misalignment of the auxiliary data pads 83 and the TCP pads 4 occurs, the auxiliary data pads adjacent to each other during thermocompression bonding are generated. The short circuit with the 83 can be prevented, and even if misalignment of the dummy pad 85 and the TCP dummy pad 17 occurs, a short circuit between neighboring dummy pads 85 can be prevented at the time of thermocompression bonding.

한편, 게이트 패드(22) 및 데이터 패드(63) 위에 보조 게이트 패드(82) 및 보조 데이터 패드(83)가 형성되지 않을 수도 있다. Meanwhile, the auxiliary gate pad 82 and the auxiliary data pad 83 may not be formed on the gate pad 22 and the data pad 63.

이때는 이방성 도전막(3)을 통해 TCP 패드(4)와 직접 연결되는 부분이 데이터 패드(63)가 되며, 데이터 패드(63)를 드러내는 접촉 구멍(73)의 폭보다 접촉 구멍(73) 간의 간격이 크게 형성되어야 데이터 패드(63)와 TCP 패드(4)의 오정렬로 인한 단락을 방지할 수 있다.In this case, the portion directly connected to the TCP pad 4 through the anisotropic conductive film 3 becomes the data pad 63, and the distance between the contact holes 73 is greater than the width of the contact hole 73 exposing the data pad 63. This should be large to prevent a short circuit due to misalignment of the data pad 63 and the TCP pad 4.

따라서, 접촉 구멍(73)의 폭이 접촉 구멍(73) 사이의 간격과 같거나 그보다 작게 한다. Therefore, the width of the contact hole 73 is equal to or smaller than the gap between the contact holes 73.

한편, 보조 게이트 패드(82) 사이의 간격이 보조 게이트 패드(82)의 폭 이상일 수 있으며, 보조 게이트 패드(82)를 형성하지 않는 경우 접촉 구멍(72) 사이의 간격이 접촉 구멍(72)의 폭 이상이 되도록 할 수도 있다.On the other hand, the spacing between the auxiliary gate pads 82 may be greater than or equal to the width of the auxiliary gate pads 82, and when the auxiliary gate pads 82 are not formed, the spacing between the contact holes 72 may be defined by the contact holes 72. It may be larger than the width.

이와 같이 본 발명에서는 보조 데이터 패드의 폭보다 보조 데이터 패드 간의 간격이 넓게 형성되어 열압착 공정 시 오정렬로 인한 패드 간의 단락을 방지할 수 있다.As described above, in the present invention, the spacing between the auxiliary data pads is wider than the width of the auxiliary data pads, thereby preventing a short circuit between the pads due to misalignment during the thermocompression bonding process.

Claims (10)

절연 기판,Insulation board, 상기 기판 위의 동일층에 형성되어 있는 다수의 제1 신호선,A plurality of first signal lines formed on the same layer on the substrate, 상기 제1 신호선에 연결되어 있는 다수의 제1 패드,A plurality of first pads connected to the first signal line; 상기 제1 신호선과 절연되어 교차하여 다수의 화소 영역을 이루며, 동일층에 형성되어 있는 다수의 제2 신호선,A plurality of second signal lines insulated from and intersecting the first signal line to form a plurality of pixel regions and formed on the same layer; 상기 제2 신호선에 연결되어 있는 다수의 제2 패드,A plurality of second pads connected to the second signal line; 상기 화소 영역에 형성되어 있는 화소 전극,A pixel electrode formed in the pixel region, 상기 화소 전극과 상기 제1 및 제2 신호선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터A thin film transistor connected to the pixel electrode and the first and second signal lines 를 포함하며,Including; 상기 제1 패드의 폭이 상기 제1 패드 간의 간격 이하인 The width of the first pad is less than or equal to the gap between the first pads 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판. Thin film transistor substrate for liquid crystal display device. 절연 기판,Insulation board, 상기 기판 위에 형성되어 있으며, 동일층에 형성되어 있는 다수의 게이트선과 상기 게이트선에 연결되어 있는 게이트 전극, 상기 게이트선에 연결되어 외부로부터 주사 신호를 인가받는 다수의 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선,A gate wiring formed on the substrate, the gate wiring including a plurality of gate lines formed on the same layer, a gate electrode connected to the gate line, and a plurality of gate pads connected to the gate line to receive a scan signal from the outside; 상기 게이트 배선을 덮고 있는 게이트 절연막,A gate insulating film covering the gate wiring, 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층,A semiconductor layer formed on the gate insulating film, 상기 반도체층 및 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있으며, 동일층에 형성되어 있는 다수의 데이터선과 상기 데이터선에 연결되어 있는 소스 전극, 상기 소스 전극과 분리되어 있는 드레인 전극, 상기 데이터선에 연결되어 외부로부터 화상 신호를 인가받는 다수의 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선,A plurality of data lines formed on the semiconductor layer and the gate insulating layer and formed on the same layer, a source electrode connected to the data line, a drain electrode separated from the source electrode, and connected to the data line from outside. A data line including a plurality of data pads receiving an image signal, 상기 데이터 배선 및 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있으며 상기 드레인 전극 및 상기 게이트 패드, 상기 데이터 패드를 각각 드러내는 다수의 제1 내지 제3 접촉 구멍을 갖는 보호막,A passivation layer formed on the data line and the gate insulating layer and having a plurality of first to third contact holes respectively exposing the drain electrode, the gate pad, and the data pad; 상기 보호막 위에 상기 제1 접촉 구멍을 통해 상기 드레인 전극과 연결되어 있는 화소 전극,A pixel electrode connected to the drain electrode through the first contact hole on the passivation layer; 상기 보호막 위에 상기 제2 접촉 구멍을 통해 상기 게이트 패드를 덮고 있는 다수의 보조 게이트 패드,A plurality of auxiliary gate pads covering the gate pads through the second contact holes on the passivation layer; 상기 보호막 위에 상기 제3 접촉 구멍을 통해 상기 데이터 패드를 덮고 있는 다수의 보조 데이터 패드A plurality of auxiliary data pads covering the data pads through the third contact holes on the passivation layer; 을 포함하며,Including; 상기 보조 데이터 패드 사이의 간격이 상기 보조 데이터 패드의 폭 이상인 The distance between the auxiliary data pads is greater than or equal to the width of the auxiliary data pads. 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판. Thin film transistor substrate for liquid crystal display device. 제2항에서,In claim 2, 상기 보조 게이트 패드 간의 간격이 상기 보조 게이트 패드의 폭 이상인 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.A thin film transistor substrate for a liquid crystal display device, wherein a distance between the auxiliary gate pads is equal to or greater than a width of the auxiliary gate pads. 제3항에서,In claim 3, 상기 보조 게이트 패드 및 상기 보조 데이터 패드는 상기 화소 전극과 동일한 층으로 이루어진 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.The auxiliary gate pad and the auxiliary data pad are formed on the same layer as the pixel electrode. 제2항에서,In claim 2, 상기 데이터 배선과 상기 게이트 패드 사이에 위치하는 더미 배선과 상기 더미 배선에 연결되어 있는 더미 패드를 더 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.And a dummy pad disposed between the data line and the gate pad and a dummy pad connected to the dummy wire. 제5항에서,In claim 5, 상기 더미 패드 간의 간격이 상기 더미 패드의 폭 이상인 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.A thin film transistor substrate for liquid crystal display devices, wherein the gap between the dummy pads is equal to or greater than the width of the dummy pads. 제5항에서,In claim 5, 상기 더미 배선의 두 개 이상은 서로 연결되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.And at least two of the dummy wires are connected to each other. 절연 기판,Insulation board, 상기 기판 위에 형성되어 있으며, 동일층에 형성되어 있는 다수의 게이트선과 게이트 전극, 다수의 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선,A gate wiring formed on the substrate and including a plurality of gate lines, a gate electrode, and a plurality of gate pads formed on the same layer; 상기 게이트 배선을 덮고 있는 게이트 절연막,A gate insulating film covering the gate wiring, 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층,A semiconductor layer formed on the gate insulating film, 상기 반도체층 및 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있으며, 동일층에 형성되어 있는 다수의 데이터선과 소스 및 드레인 전극, 다수의 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선,A data line formed on the semiconductor layer and the gate insulating layer, the data line including a plurality of data lines, source and drain electrodes, and a plurality of data pads formed on the same layer; 상기 데이터 배선 및 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있으며 상기 드레인 전극 및 상기 게이트 패드, 상기 데이터 패드를 각각 드러내는 다수의 제1 내지 제3 접촉 구멍을 갖는 보호막,A passivation layer formed on the data line and the gate insulating layer and having a plurality of first to third contact holes respectively exposing the drain electrode, the gate pad, and the data pad; 상기 보호막 위에 상기 제1 접촉 구멍을 통해 상기 드레인 전극과 연결되어 있는 화소 전극A pixel electrode connected to the drain electrode through the first contact hole on the passivation layer 을 포함하며,Including; 상기 제3 접촉 구멍 사이의 간격이 상기 제3 접촉 구멍의 폭 이상인 The distance between the third contact holes is equal to or greater than the width of the third contact holes. 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.Thin film transistor substrate for liquid crystal display device. 제8항에서,In claim 8, 상기 제2 접촉 구멍 사이의 간격이 상기 제2 접촉 구멍의 폭 이상인 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.A thin film transistor substrate for liquid crystal display devices, wherein the distance between the second contact holes is equal to or greater than the width of the second contact holes. 제8항에서,In claim 8, 상기 반도체층과 데이터 배선 사이에 형성되어 있는 저항성 접촉층을 더 포 함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.And a ohmic contact layer formed between the semiconductor layer and the data line.
KR1019990058565A 1999-12-17 1999-12-17 a thin film transistor array panel for a liquid crystal display KR100635944B1 (en)

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