KR100330096B1 - LCD Display - Google Patents

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Abstract

투명한 절연 기판 위에 가로 방향의 게이트선 및 게이트 전극으로 이루어진 게이트 배선과 화소 영역 내에 다수의 공통 전극 및 이들을 연결하는 공통 전극선으로 이루어진 공통 배선이 형성되어 있다. 이들을 덮는 게이트 절연막 위에는 게이트선과 교차하여 화소를 정의하는 데이터선 및 소스 및 드레인 전극으로 이루어진 데이터 배선 및 드레인 전극으로부터 연장되어 있는 화소 연결부가 형성되어 있다. 또한, 보호막 위에는 보호막에 형성된 접촉 구멍을 통하여 화소 연결부와 연결되어 있는 화소 전극이 공통 전극과 교대로 형성되어 있으며, 보호막에 형성된 접촉 구멍을 통하여 게이트선과 연결되어 있는 보조 게이트선이 게이트선과 중첩되어 나란히 형성되어 있다.On the transparent insulating substrate, a gate line formed of a horizontal gate line and a gate electrode and a common line formed of a plurality of common electrodes and a common electrode line connecting them are formed in a pixel area. A pixel connection portion extending from the data line and the drain electrode formed of a data line and a source and drain electrode defining a pixel crossing the gate line and crossing the gate line is formed on the gate insulating film covering the gate insulating film. In addition, a pixel electrode connected to the pixel connection part is alternately formed with the common electrode through a contact hole formed in the passivation layer, and an auxiliary gate line connected to the gate line is overlapped with the gate line through the contact hole formed in the passivation layer. Formed.

Description

액정 표시 장치Liquid crystal display

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device.

표시 장치 특히, 액정 표시 장치가 대형화가 진행됨에 따라 배선은 신호가 전달되는 수단으로 사용되므로 신호 지연 및 단선을 억제하는 것이 요구된다.As the display device, in particular, the liquid crystal display, increases in size, wiring is used as a means for transmitting signals, and therefore, it is required to suppress signal delay and disconnection.

신호 지연을 방지하는 방법으로는 저저항을 가지는 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Al alloy) 또는 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금 등과 같은 물질을 사용해야한다. 그러나, 이러한 물질들은 내산성이 취약하기 때문에 액정 표시 장치의 제조 공정 또는 세정 공정에서 사용되는 식각액 또는 세정액에 의해 쉽게 침식된다. 이를 방지하기 위하여 배선, 특히 주사 신호를 인가하는 게이트선은 질화 규소 또는 산화 규소로 이루어진 절연막 또는 반도체층으로 사용되는 비정질 규소층으로 덮이도록 형성한다. 그러나, 절연막이나 비정질 규소층에 결함이 발생하는 경우에는 결함을 통하여 화학 물질이 침투하여 게이트선을 부식시키게 되며, 이로 인하여 게이트선이 단선되는 문제점이 발생한다.As a method of preventing signal delay, a material such as aluminum (Al) or aluminum alloy (Al alloy) or molybdenum or molybdenum alloy having low resistance should be used. However, since these materials are poor in acid resistance, they are easily eroded by the etching liquid or the cleaning liquid used in the manufacturing process or the cleaning process of the liquid crystal display device. In order to prevent this, the wiring, in particular the gate line to which the scan signal is applied, is formed to be covered with an amorphous silicon layer used as an insulating film or semiconductor layer made of silicon nitride or silicon oxide. However, when a defect occurs in the insulating film or the amorphous silicon layer, chemicals penetrate through the defect to corrode the gate line, which causes a problem that the gate line is disconnected.

본 발명에 과제는 게이트선의 단선을 장지하기 위한 것이다.An object of the present invention is to prevent disconnection of a gate line.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타낸 배치도이며,1 is a layout view of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3은 도 1에서 박막 트랜지스터부를 포함하는 II-II 선을 따라 절단한 단면도이고,2 and 3 are cross-sectional views taken along the line II-II including the thin film transistor unit in FIG. 1,

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 구조를 도시한 배치도이고,4 is a layout view illustrating a structure of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 도 4에서 박막 트랜지스터부를 포함하는 V-V 선을 따라 절단한 단면도이고,FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line V-V including the thin film transistor unit of FIG. 4.

도 6은 도 4에서 화소부를 포함하는 VI-VI 선을 따라 절단한 단면도이다.6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI including the pixel unit in FIG. 4.

이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 기판에는 게이트선이 서로 중첩되어 이중으로 나란히 형성되어 있다.In the liquid crystal display substrate according to the present invention for solving the above problems, the gate lines overlap each other and are formed in parallel to each other.

이러한 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터에는, 기판 위에 형성되어 있는 게이트선 및 게이트선과 연결되어 있는 게이트 전극으로 이루어진 게이트 배선이 게이트 절연막으로 덮여 있다. 게이트 절연막 위에는 반도체층과 각각 연결되어 있는 소스 및 드레인 전극과 게이트선과 교차하여 화소를 정의하는 데이터선으로 이루어진 데이터 배선이 형성되어 있다. 또한, 데이터선과 반도체층을 덮는 보호막 위에는 보호막에 형성되어 있는 제1 접촉 구멍을 통하여 드레인 전극과 전기적으로 연결되어 있는 화소 전극이 형성되어 있으며, 보호막에 형성되어 있는 제2 접촉 구멍을 통하여 게이트선과 연결되어 있이 게이트 보조선이 게이트선과 나란히 형성되어 있다.In the thin film transistor for a liquid crystal display device according to the present invention, a gate line formed of a gate line formed on a substrate and a gate electrode connected to the gate line is covered with a gate insulating film. A data line is formed on the gate insulating layer, the data line including a source line and a drain electrode connected to the semiconductor layer, and a data line defining a pixel by crossing the gate line. In addition, a pixel electrode electrically connected to the drain electrode is formed on the passivation layer covering the data line and the semiconductor layer, and is connected to the gate line through the second contact hole formed in the passivation layer. The gate auxiliary line is formed in parallel with the gate line.

그러면, 발명에 따른 액정 표시 장치의 실시예에 대하여 도면을 참고로 하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Next, embodiments of the liquid crystal display according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

본 발명의 실시예에서는 각각의 기판에 액정 분자를 구동하기 위한 화소 전극 및 공통 전극이 형성되어 있으며, 나선상으로 비틀린 액정 분자들이 기판에 평행하게 배열되어 있는 TN 방식과 화소 전극 및 공통 전극이 하나의 기판에 형성되어 있는 평면 전계 구동 방식의 구조를 통하여 설명하기로 한다. 물론, 본 발명의 실시예는 앞에 기술한 구조에 한정되지 않으며, 액정 분자를 기판에 대하여 수직으로 배향하는 구조에도 동일하게 적용할 수 있다.In an embodiment of the present invention, a pixel electrode and a common electrode for driving liquid crystal molecules are formed on each substrate, and a TN method and a pixel electrode and a common electrode in which spirally twisted liquid crystal molecules are arranged in parallel to the substrate are provided. It will be described through the structure of the planar electric field driving method formed on the substrate. Of course, the embodiment of the present invention is not limited to the structure described above, and the same applies to the structure in which the liquid crystal molecules are oriented perpendicular to the substrate.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 TN 방식의 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조를 도시한 배치도이며, 도 2 및 도 3은 도 1에서 박막 트랜지스터부를 포함하는 II-II 선을 따라 절단한 단면도이다. 이때, 화소 전극의 단위 화소에 하나씩 일체로 형성되어 있다.FIG. 1 is a layout view illustrating a structure of a thin film transistor substrate for a TN type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are along a line II-II including a thin film transistor unit in FIG. 1. It is a cut section. At this time, one unit pixel of the pixel electrode is integrally formed.

절연 기판(10) 위에 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선(22) 및 게이트선(22)의 분지인 박막 트랜지스터의 게이트 전극(24)을 포함하는 게이트 배선이 형성되어 있다. 여기서, 도 2는 이후에 화소 전극으로 형성되는 ITO(indium tin oxide)와의 접촉 신뢰도가 좋은 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금의 단일막으로 게이트 배선(22, 24)을 형성한 경우이고, 도 3은 알루미늄 또는 알루미늄 합금막을 상부막(222, 242)으로 형성하고, 크롬, 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금을 하부막(221, 241)으로형성하는 경우이다.A gate wiring including a gate line 22 extending in the horizontal direction and a gate electrode 24 of a thin film transistor, which is a branch of the gate line 22, is formed on the insulating substrate 10. 2 illustrates a case in which gate wirings 22 and 24 are formed of a single layer of molybdenum or molybdenum alloy having good contact reliability with indium tin oxide (ITO), which is later formed as a pixel electrode, and FIG. In this case, the alloy film is formed of the upper films 222 and 242, and the chromium, molybdenum or molybdenum alloy is formed of the lower films 221 and 241.

기판(10) 위에는 질화규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(30)이 게이트 배선(22, 24)을 덮고 있으며, 게이트 배선(22, 24) 상부의 게이트 절연막(30) 위에는 반도체층(40)이 각각 형성되어 있다. 반도체층(40)의 상부에는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 접촉층(52, 54)이 각각 형성되어 있으며, 접촉층(52, 54) 각각 위에는 크롬(Cr)이나 몰리브덴-텅스텐 합금 따위로 이루어진 소스 및 드레인 전극(62, 64)이 형성되어 있다. 여기서, 소스 전극(62)은 세로 방향으로 형성되어 게이트선(22)과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터선(60)의 분지이다.The gate insulating film 30 made of silicon nitride (SiN x ) covers the gate wirings 22 and 24 on the substrate 10, and the semiconductor layer 40 is disposed on the gate insulating film 30 on the gate wirings 22 and 24. These are formed, respectively. Contact layers 52 and 54 made of a material such as n + hydrogenated amorphous silicon doped with a high concentration of n-type impurities are formed on the semiconductor layer 40, respectively. Source and drain electrodes 62 and 64 made of Cr) or a molybdenum-tungsten alloy are formed. Here, the source electrode 62 is a branch of the data line 60 formed in the vertical direction and crossing the gate line 22 to define the pixel region.

데이터 배선(60, 62, 64), 데이터 배선으로 가리지 않는 반도체층(40) 상부에는 보호막(70)이 형성되어 있으며, 보호막(70)에는 드레인 전극(64) 및 게이트선(22)에 접촉 구멍(72, 74)이 형성되어 있다. 도 3에서 보는 바와 같이, 게이트선(22)이 이중막(221, 222)으로 형성되어 있는 경우에는 접촉 구멍(74)을 통하여 하부막(221)이 노출된다.A passivation layer 70 is formed on the data lines 60, 62, and 64 and the semiconductor layer 40 not covered by the data line, and the passivation layer 70 has contact holes in the drain electrode 64 and the gate line 22. (72, 74) are formed. As shown in FIG. 3, when the gate line 22 is formed of the double layers 221 and 222, the lower layer 221 is exposed through the contact hole 74.

화소 영역의 보호막(70)위에는 접촉 구멍(72)을 통하여 드레인 전극(64)과 연결되며 투명한 도전 물질인 ITO로 이루어진 화소 전극(80)이 형성되어 있다. 또한, 보호막(70) 위에는 ITO로 이루어져 있으며, 게이트선(22)과 나란히 중첩되어 있으며 접촉 구멍(74)을 통하여 게이트선(22)과 연결되어 있는 보조 게이트선(82)이 형성되어 있다.On the passivation layer 70 of the pixel region, a pixel electrode 80 made of ITO, which is connected to the drain electrode 64 through a contact hole 72 and is formed of a transparent conductive material, is formed. Further, an auxiliary gate line 82 formed of ITO, overlapping with the gate line 22, and connected to the gate line 22 through the contact hole 74 is formed on the passivation layer 70.

도 3에서 보는 바와 같이, 보조 게이트선(82)은 게이트선(22)의 하부막(221)인 크롬, 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금막과 접하게 되므로 전기 화학적 반응이 발생하지 않는다.As shown in FIG. 3, the auxiliary gate line 82 is in contact with the chromium, molybdenum or molybdenum alloy layer, which is the lower layer 221 of the gate line 22, and thus, an electrochemical reaction does not occur.

또한, 게이트선(22)에서 단선이 발생하더라도 보조 게이트선(82)을 통하여 주사 신호가 전달된다.In addition, even if disconnection occurs in the gate line 22, the scan signal is transmitted through the auxiliary gate line 82.

이때, 보조 게이트선(82)은 접촉 구멍(74)을 충분히 덮도록 형성하는 것이 바람직하며, 게이트선(22)의 상부에 형성되어 있는 접촉 구멍(74)은 하나의 화소마다 형성될 수도 있으며, 하나 이상의 화소를 단위로 형성될 수도 있다.In this case, the auxiliary gate line 82 may be formed to sufficiently cover the contact hole 74. The contact hole 74 formed on the gate line 22 may be formed for each pixel. One or more pixels may be formed as a unit.

다음은, 액정 분자를 구동하기 위한 전계를 형성하는 공통 전극 및 화소 전극이 하나의 기판에 형성된 구조에 대하여 상세하게 설명하기로 한다. 이때, 공통 전극 및 화소 전극의 하나의 단위 화소에 서로 평행하게 하나 이상으로 형성되어 있다.Next, a structure in which a common electrode and a pixel electrode forming an electric field for driving liquid crystal molecules are formed on one substrate will be described in detail. At this time, one or more unit pixels of the common electrode and the pixel electrode are formed in parallel with each other.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 구조를 도시한 배치도이고, 도 5는 도 4에서 박막 트랜지스터부를 포함하는 V-V 선을 따라 절단한 단면도이고, 도 6은 도 4에서 화소부를 포함하는 VI-VI 선을 따라 절단한 단면도이다.4 is a layout view illustrating a structure of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along a line VV including a thin film transistor unit in FIG. 4, and FIG. 6 is a pixel in FIG. 4. Sectional drawing taken along the line VI-VI containing the part.

도 4 내지 도 6에 나타난 바와 같이, 하부의 투명한 절연 기판(10) 위에 가로 방향으로 게이트선(22)이 형성되어 있고, 게이트선(22)의 일부는 게이트 전극(21)이 된다. 게이트선(22)과 평행하게 공통 전극선(24)이 형성되어 있으며, 화소 영역 내에는 공통 전극선(24)과 연결되어 공통 전극선(24)으로부터 공통 신호를 전달받는 다수의 공통 전극(26)이 세로 방향으로 서로 평행하게 형성되어 있다. 여기서, 게이트 배선(21, 22)용 및 공통 배선(24, 26)용 금속으로는 여러 가지 도전 물질이 이용될 수 있으며 크롬, 몰리브덴, 몰리브덴 합금 등의 단일막을 이용하거나, 이들과 알루미늄, 알루미늄 합금을 조합한 이중막으로 형성할 수도 있다.4 to 6, the gate line 22 is formed in the horizontal direction on the lower transparent insulating substrate 10, and a part of the gate line 22 becomes the gate electrode 21. The common electrode line 24 is formed in parallel with the gate line 22, and a plurality of common electrodes 26 connected to the common electrode line 24 to receive a common signal from the common electrode line 24 in the pixel area are vertical. It is formed parallel to each other in the direction. Here, a variety of conductive materials may be used as the metals for the gate wirings 21 and 22 and the common wirings 24 and 26, and a single film such as chromium, molybdenum, and molybdenum alloys may be used, or aluminum and aluminum alloys may be used. It is also possible to form a double film combining these.

게이트 배선(21, 22)과 공통 배선(24, 26) 위를 질화 규소 등으로 이루어진 게이트 절연막(30)이 덮고 있다.The gate insulating film 30 made of silicon nitride or the like is covered on the gate wirings 21 and 22 and the common wirings 24 and 26.

게이트 전극(21) 위의 게이트 절연막(30) 위에는 비정질 규소로 이루어진 박막 트랜지스터의 반도체층(40)이 섬 모양으로 형성되어 있고, 비정질 규소층(40) 위에는 인(P) 등으로 고농도 도핑된 비정질 규소로 이루어진 저항 접촉층(51, 52)이 게이트 전극(21)을 중심으로 양쪽으로 형성되어 있다.The semiconductor layer 40 of the thin film transistor made of amorphous silicon is formed on the gate insulating layer 30 on the gate electrode 21 in an island shape, and the amorphous silicon layer 40 is heavily doped with phosphorus (P) on the amorphous silicon layer 40. The ohmic contacts 51 and 52 made of silicon are formed on both sides of the gate electrode 21.

저항 접촉층(51, 52) 위에는 금속으로 이루어진 소스 전극(61)과 드레인 전극(62)이 각각 형성되어 있는데, 소스 전극(61)은 게이트 절연막(30) 위에 세로 방향으로 형성되어 게이트선(22)과 화소 영역을 정의하는 데이터선(60)과 연결되어 있으며, 드레인 전극(62)은 화소 영역 내에 가로 방향으로 연장되어 있는 화소 연결부(64)와 연결되어 있다.A source electrode 61 and a drain electrode 62 made of metal are formed on the ohmic contact layers 51 and 52, respectively, and the source electrode 61 is formed in the vertical direction on the gate insulating layer 30 to form the gate line 22. ) And the data line 60 defining the pixel area, and the drain electrode 62 is connected to the pixel connection part 64 extending in the horizontal direction in the pixel area.

이때, 데이터 배선(60, 61, 62) 및 화소 연결부(64)는 크롬 혹은 알루미늄 혹은 알루미늄 합금 혹은 몰리브덴 혹은 몰리브덴 합금 등의 금속층으로 형성할 수 있다.In this case, the data wires 60, 61, and 62 and the pixel connection part 64 may be formed of a metal layer such as chromium, aluminum, an aluminum alloy, molybdenum, or molybdenum alloy.

여기서 게이트 전극(21), 게이트 절연막(30), 비정질 규소층(40), 저항 접촉층(51, 52), 소스 및 드레인 전극(61, 62)은 박막 트랜지스터를 이루며, 박막 트랜지스터와 나머지 데이터 배선(60, 61, 62) 및 화소 연결부(64)를 덮는 보호막(70)이 질화 규소 등으로 형성되어 있다.The gate electrode 21, the gate insulating film 30, the amorphous silicon layer 40, the ohmic contact layers 51 and 52, the source and drain electrodes 61 and 62 form a thin film transistor, and the thin film transistor and the remaining data wirings. A protective film 70 covering the 60, 61, 62 and the pixel connection portion 64 is formed of silicon nitride or the like.

보호막(70)에는 화소 연결부(64)를 드러내는 접촉 구멍(72)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(30)과 함께 게이트선(22)을 드러내는 접촉 구멍(74)이 형성되어 있다.In the passivation layer 70, a contact hole 72 exposing the pixel connection part 64 is formed, and a contact hole 74 exposing the gate line 22 is formed together with the gate insulating layer 30.

보호막(70) 위에는 게이트선(22)을 따라 가로 방향으로 형성되어 있으며, 보호막(70)에 형성되어 있는 접촉 구멍(74)을 통해 게이트선(22)과 연결되어 있는 보조 게이트선(80)이 형성되어 있다. 또한, 보호막(70) 위에는 공통 전극(26)과 교대로 형성되어 있으며, 접촉 구멍(72)을 통하여 화소 연결부(64)와 연결되어 있는 화소 전극(82)이 서로 평행하게 형성되어 있다.The auxiliary gate line 80 is formed on the passivation layer 70 in the horizontal direction along the gate line 22 and connected to the gate line 22 through the contact hole 74 formed in the passivation layer 70. Formed. In addition, the passivation layer 70 is alternately formed with the common electrode 26, and the pixel electrodes 82 connected to the pixel connection unit 64 through the contact hole 72 are formed in parallel with each other.

여기서, 게이트 보조선(80)은 게이트선(22)과 중첩되어 있으나, 박막 트랜지스터와는 중첩되지 않도록 굴곡되어 있다.Here, the gate auxiliary line 80 overlaps the gate line 22, but is bent so as not to overlap the thin film transistor.

이러한 구조에서는, 게이트선(22)에 인가된 주사 신호는 게이트선(22)이 단선되더라도 보조 게이트선(80)을 통하여 전달된다.In this structure, the scan signal applied to the gate line 22 is transmitted through the auxiliary gate line 80 even if the gate line 22 is disconnected.

화소 전극(82) 및 보조 게이트선(80)은 크롬, 몰리브덴, 몰리브덴 합금 또는 ITO의 단일막 또는 이들로 이루어진 복수의 막으로 형성할 수 있다.The pixel electrode 82 and the auxiliary gate line 80 may be formed of a single film of chromium, molybdenum, molybdenum alloy, or ITO, or a plurality of films made thereof.

여기서도, 화소 전극(82)과 화소 연결부(64) 또는 드레인 전극(62)의 접촉 및 보조 게이트선(80)과 게이트선(22)의 접촉에서 크롬, 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금막과 ITO막과의 접촉에서 전기 화학적 반응이 발생하지 않도록 한다.Here too, the contact between the chromium, molybdenum or molybdenum alloy film and the ITO film at the contact between the pixel electrode 82 and the pixel connection portion 64 or the drain electrode 62 and the contact between the auxiliary gate line 80 and the gate line 22. Avoid the electrochemical reaction at

또한, 화소 전극(82)의 두께는 약 1,000Å 이하로 형성하는 것이 빛샘을 방지하기 위한 면에서 유리하다.In addition, it is advantageous to form the thickness of the pixel electrode 82 to about 1,000 mW or less in terms of preventing light leakage.

본 발명의 실시예에서와 같이, 이중의 게이트선으로 배선이 단선되는 것을 방지할 수 있는 동시에 게이트선에 인가되는 신호의 지연을 최소화할 수 있다.As in the embodiment of the present invention, it is possible to prevent the wires from being disconnected by the double gate lines and to minimize the delay of the signal applied to the gate lines.

Claims (5)

기판,Board, 상기 기판 위에 형성되어 있으며, 게이트선 및 상기 게이트선과 연결되어 있는 게이트 전극으로 이루어진 게이트 배선,A gate wiring formed on the substrate and comprising a gate line and a gate electrode connected to the gate line, 상기 기판 위에 형성되어 있으며, 상기 게이트선과 나란히 형성되어 있는 공통 전극선 및 상기 공통 전극선에 연결되어 화소에 형성되어 있는 하나 또는 둘 이상으로 배치되어 있는 공통 전극으로 이루어진 공통 배선,A common wiring formed on the substrate, the common wiring including a common electrode line formed in parallel with the gate line and one or more common electrodes connected to the common electrode line and formed in a pixel; 상기 기판 위에 상기 게이트 배선 및 공통 배선을 덮고 있는 게이트 절연막,A gate insulating film covering the gate wiring and the common wiring on the substrate, 상기 게이트 전극 위의 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층,A semiconductor layer formed on the gate insulating film on the gate electrode, 상기 반도체층 위에 상기 게이트 전극을 중심으로 양쪽으로 형성되어 있는 저항 접촉층,An ohmic contact layer formed on both sides of the gate electrode on the semiconductor layer; 상기 저항 접촉층 위에 각각 형성되어 있는 소스 및 드레인 전극 및 상기 소스 전극과 연결되어 있으며, 상기 게이트선과 교차하여 상기 화소를 정의하는 데이터선으로 이루어진 데이터 배선,A data line connected to the source and drain electrodes formed on the ohmic contact layer and the source electrode, and formed of a data line crossing the gate line to define the pixel; 상기 데이터 배선 및 상기 데이터 배선으로 가리지 않는 상기 반도체층을 덮는 보호막,A protective film covering the data line and the semiconductor layer not covered by the data line, 상기 보호막 상부의 상기 화소에 형성되어 있으며, 상기 보호막의 제1 접촉 구멍을 통하여 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되어 있으며 상기 공통 전극과 교대로 배치되어 있는 하나 또는 둘 이상의 화소 전극을 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.A liquid crystal display device including one or more pixel electrodes formed on the pixel on the passivation layer and electrically connected to the drain electrode through the first contact hole of the passivation layer and alternately arranged with the common electrode. Thin film transistor substrate. 제1항에서,In claim 1, 상기 보호막 상부에 상기 게이트선과 중첩되어 나란하게 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막 및 상기 보호막에 형성되어 있는 제2 접촉 구멍을 통하여 상기 게이트선과 연결되어 있는 보조 게이트선을 더 포함하며,And an auxiliary gate line formed on the passivation layer so as to overlap the gate line, and connected to the gate line through the gate insulating layer and the second contact hole formed in the passivation layer. 상기 화소 전극 및 상기 보조 게이트선은 ITO막으로 형성되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.And the pixel electrode and the auxiliary gate line are formed of an ITO film. 제2항에서,In claim 2, 상기 게이트 배선은 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 제1 도전막과 크롬 또는 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금의 제2 도전막으로 이루어진 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.The gate wiring line includes a first conductive film made of aluminum or an aluminum alloy and a second conductive film made of chromium, molybdenum, or molybdenum alloy. 제3항에서,In claim 3, 상기 보조 게이트선은 상기 제2 접촉 구멍을 통하여 상기 제2 도전막과 접촉하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.The auxiliary gate line is in contact with the second conductive layer through the second contact hole. 제2항에서,In claim 2, 상기 제2 접촉 구멍은 하나 또는 적어도 하나 이상의 상기 화소를 단위로 하나씩 형성되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.And one or more second contact holes formed in units of at least one pixel.
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