KR100632964B1

KR100632964B1 - 폴리우레탄과 연마제를 포함하여 이루어지며 탄성 및경도를 높인 폴리우레탄 연마패드

Info

Publication number: KR100632964B1
Application number: KR1020040070809A
Authority: KR
Inventors: 안경철; 이승현; 김태경
Original assignee: (주)피에스텍
Priority date: 2004-09-06
Filing date: 2004-09-06
Publication date: 2006-10-11
Also published as: KR20060022044A

Abstract

본 발명은 STN-LCD, TFT-LCD, OLED와 같은 평판 디스플레이의 고화질화, 아노딕(anodic) 본딩 기판의 고품질화, 각종 글래스 필터 및 센서의 고기능성화 등의 추세에 대응할 수 있는 고경도 및 고탄성 폴리우레탄 연마패드를 제공하고자 한다. 폴리우레탄 연마패드를 이루는 구성 물질인 폴리올, 이소시아네이트, 실리콘 정포제, 촉매, 발포제, 연마제를 적절히 배합하고, 각각의 구성 물질의 점도, 분자량, 크기 등을 적절히 조정하여 고경도 및 고탄성을 가지는 연마패드를 통하여 달성될 수 있다.

연마패드, 폴리올, 이소시아네이트, 실리콘 정포제, 촉매, 발포제, 연마제, 폴리우레탄, PPG, PTMG, PEG, TDI, 세리아계, 탄성, 경도, 평탄도, 평균 연마속도

Description

폴리우레탄과 연마제를 포함하여 이루어지며 탄성 및 경도를 높인 폴리우레탄 연마패드{POLISHING PAD WITH HIGH ELASTICITY AND HARDNESS COMPRISING POLYURETHANE AND POLISHING AGENT}

본 발명은 폴리우레탄 연마패드의 구성 물질을 적절히 배합하여 고경도와 함께 높은 탄성을 지니게 한다.

최근 평판 디스플레이(STN-LCD, TFT-LCD, OLED) 장치의 고화질화, 아노딕(anodic) 본딩 기판의 고품질화, 각종 글래스 필터(GLASS FILTER) 및 센서의 고기능성화 등이 요구되는 현실에서, 아노딕 본딩 기판의 연마를 위한 연마패드도 고경도 및 고탄성이 요청되고 있다.

연마패드는 폴리우레탄 발포체로부터 제조될 수 있다.

종래의 폴리우레탄 발포체를 제조하는 기술에서는 단일의 활성화 수소기 함유 화합물과 이소시아네이트를 사용하여 높은 경도를 얻었다. 하지만 높은 경도를 얻는 대신 탄성이 부족하게 되었고, 활성화 수소기 함유 화합물을 사용하는 경우는 탄성은 향상되나 경도는 원하는 수준에 미치지 못하여 이로 인하여 고품질의 유리기판 등의 연마특성 목표에 도달하는데 어려움이 있다.

본 발명의 기술적 과제는 STN-LCD, TFT-LCD, OLED 등과 같은 평판 디스플레이의 고화질화, 아노딕(anodic) 본딩 기판의 고품질화, 각종 글래스 필터 및 센서의 고기능성화 등의 추세에 대응할 수 있는 고경도 및 고탄성 폴리우레탄 연마패드를 제공하는데 있다.

이러한 기술적 과제는 폴리우레탄 연마패드를 이루는 구성 물질인 폴리올, 이소시아네이트, 실리콘 정포제, 촉매, 발포제, 연마제를 적절히 배합하고, 각각의 구성 물질의 점도, 분자량, 크기 등을 적절히 조정하여 고경도 및 고탄성 연마패드를 통하여 달성될 수 있다.

본 발명에 의한 폴리우레탄 연마패드의 구성과 실시예를 중심으로 설명한다.

폴리우레탄 연마패드는 폴리우레탄를 제조하기 위한 원료인 폴리올, 이소시아네이트, 실리콘 정포제, 촉매 및 발포제와 연마제를 첨가되어 제조된다.

이하 본 발명에 의한 연마패드의 구성 물질에 대하여 설명한다.

연마패드는 유리기판을 미세하게 연마할 수 있도록 강한 경도를 가짐과 동시에 탄성도 만족하여야 한다. 본 발명에서는 연마패드에 탄성을 부여하기 위한 연성 세그먼트(soft segment)로는 폴리올을 사용하였고, 연마에 필요한 경도를 가지기 위하여 강성 세그먼트(hard segment)로는 이소시아네이트를 사용하였다.

연성 세그먼트로 사용되는 폴리올은, 분자중에 수산기(-OH) 혹은 아민기(- NH₂)를 2 이상 갖는 다관능 알콜 또는 방향족 아민 등의 개시제와 산화 프로필렌 또는 산화 에틸렌을 적정 조건하에서 반응시켜 얻을 수 있다.

폴리올은 경질(flexible), 반경질(semi-rigid), 연질(rigid)로 구분된다. 연질의 경우 작용기 3개를 갖는, 예를 들면 분자량이 6000g/mol정도의 글리세롤(glycerol), 트리메틸올프로판(trimethylolpropane) 등을 사용하는 것이 바람직하고, 경질의 경우 체인 길이가 짧고 더 많은 작용기를 갖는 폴리올이 사용된다. 반경질은 연질과 경질의 중간 성질에 속하는 압축강도와 충격흡수를 갖는다.

본 발명에서의 폴리올은 경도를 높임과 동시에 전체적으로 연마패드의 탄성을 동시에 만족시키기 위하여 경질과 반경질을 적절히 배합하는 것이 중요하다.

폴리올은 두 가지 이상의 활성화 수소기를 함유하는 폴리올을 사용하는 것이 바람직하다. 다만, 단일 활성화 수소기를 가진다고 하더라도 동일한 작용 효과를 가진다면 폴리올은 활성화 수소기의 종류에 제한받지 않는다.

폴리올의 분자량은 500 내지 2000 이 바람직하다. 본 발명에서의 폴리올은 폴리프로필렌 글리콜(polypropylene glycol, 이하 'PPG'라 함), 폴리테트라메틸렌 에테르 글리콜(polytetramethylene ether glycol, 이하 'PTMG'라 함), 폴리에틸렌 글리콜(polyethylene glycol, 이하 'PEG'라 함) 등의 폴리에테르계 폴리올을 단독 또는 2 이상 사용한다.

하지만, 이에 한정하지 않고 동일한 작용 효과를 나타낸다면 폴리에스테르계 폴리올을 사용할 수도 있으며, 경우에 따라서는 폴리에테르계와 폴리에스테르계를 함께 사용 가능하다. 폴리에스테르계 폴리올은 폴리카프로락탐 폴리올, 폴리카보네이트 폴리올, 폴리부타디엔 폴리올, 아크릴릭 폴리올 등을 단독 또는 2 이상 혼합하여 사용한다.

강성 세그먼트로 사용되는 이소시아네이트는 NCO 관능기의 차이에 따라 여러 종류로 분류되며, 본 발명에서 사용하는 이소시아네이트는 방향족 이소시아네이트와 지방-환상족 이소시아네이트로 나뉜다.

방향족 이소시아네이트로는 4,4'-디페닐메탄 디이소시아네이트(4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 이하 'MDI'라 함), 톨루엔 디이소시아네이트(toluene diisocyanate, 이하 'TDI'라 함) 등이 있고 MDI는 다시 모노메릭 MDI(monomeric MDI), 폴리메릭 MDI(polymeric MDI), 변형 MDI(modified MDI) 등이 사용되고, TDI는 2,4-TDI(2,4-toluene diiscyanate) 또는 2,6-TDI(2,6-toluene diiscyanate) 이성질체 등을 단독 또는 2 이상 혼합하여 사용한다.

지방-환상족 이소시아네이트는 1,6-헥산메틸렌 디이소시아네이트(1,6-hexanemethylene diisocyanate, 이하 'HDI'라 함), 4,4'-디시클로헥실메탄 디이소이사네이트(4,4'-dicyclohexylmethane diisocyanate, 이하 'H₁₂MDI'라 함), 3-이소시아네이토메틸-3,5,5-트리메틸시클로헥실 이소시아네이트[3-isocyanatomethyl- 3,5,5-trimethylcyclohexyl isocyanate(isophorone diisocyanate), 이하 'IPDI'라 함] 등을 단독 또는 2 이상 혼합하여 사용한다.

실리콘 정포제는 본 발명에 의한 폴리우레탄 연마패드 제조시 유화작용을 통하여 연마패드의 원료 혼합을 용이하게 하는 특성이 있다. 연마패드 제조시 발생하는 기포가 한 곳에 뭉치지 않게 하고, 우레탄 셀이 커지고 불균일화되는 현상을 방지한다. 본 발명에서 사용하는 실리콘 정포제는 실리콘 글리콜 공중합체(silicone glycol copolymer)로서 아세톡시(acetoxy) 말단기를 가지고 5% 미만이 물에 용해 가능한 특성이 있다.

촉매는 아민계열을 사용한다. 촉매의 사용량에 따라 반응성, 반응 혼합물의 유동성, 폼 생성물의 표면, 코아(core) 층 형성 등 공정 환경 및 생성물의 물성이 달라진다. 폴리우레탄 연마패드의 제조 반응에서는 가스발생 속도와 폼의 경화(crosslinking) 속도의 균형을 유지하는 것이 중요하다. 본 발명에서 사용되는 촉매는 초기 생성 폼이 가라 앉는 것을 막는다. 촉매는 3차 아민(tertiary amine) 화합물을 단독 또는 2 이상 사용한다. 본 발명에서 사용되는 촉매인 3차 아민 화합물을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적으로 사용가능한 촉매를 지칭하며, 동일한 작용 효과를 나타내는 촉매라면 본 발명에서 사용하는 촉매의 권리범위에 해당한다 할 것이다.

3차 아민 화합물에는 디메틸시클로헥실아민(dimethylcyclohexylamine, 이하 'DMCHA'라 함), 테트라메틸렌디아민(tetramethylenediamine, 이하 'TMHDA'), 펜타메틸렌디아민 디아민(pentamethylenediethylene diamine, 이하 'PMDETA'라 함), 테 트라에틸렌 디아민(tetraethylene diamine, 이하 'TEDA'라 함)을 단독 또는 2 이상 혼합하여 사용한다.

발포제는 폼의 경화속도를 조절하여 폼의 가라앉음을 방지하고 발포된 폼이 취급가능하고 치수 안정성을 유지하도록 가스를 형성케 한다. 본 발명에서 사용하는 발포는 화학적인 발포를 사용하는 것이 일반적이나, 물리적인 발포도 사용할 수 있다.

화학적인 발포제로는 물 또는 카르복실릭 산(carboxylic acid) 등을 폴리올에 첨가하고, 이 혼합물이 이소시아네이트와 반응하면서 이산화탄소(CO₂) 또는 일산화탄소(CO) 등을 발생하게 한다.

물리적인 발포제는 반응열에 의하여 끓는 점이 낮은 물질로 모노플로로트리클로로 메탄(monofluoro trichloro methane)이나 시클로펜탄(cyclopentane) 등을 단독 또는 2 이상 혼합하여 사용한다. 할로겐족 물질인 염소가 오존층 파괴를 유발하기 때문에 염소 발생을 원하지 않는 적용 분야에서는 시클로펜탄을 사용하는 것이 바람직하다.

본 발명에서 사용하는 연마제는 세리아계 연마제를 사용하는 것이 바람직하다. 연마패드에 있어서 연마제가 차지하는 비용 부담이 크기 때문에 연마제를 과다하게 함유하는 것보다는 폴리우레탄의 구성 물질의 배합비를 조절하여 연마패드의 경도를 증가시키는 것이 효과적이다.

이상 본 발명에 의한 연마패드에서 사용하는 폴리우레탄 연마패드의 구성 물질에 대하여 살펴보았다. 이를 바탕으로 이하에서는 전술한 구성물질의 함량을 중심으로 본 발명을 보다 상세히 설명한다.

본 발명에 의한 연마패드는 폴리우레탄 100중량부에 대하여 일정 함량의 연마제로 구성되며, 폴리우레탄 100 중량부는 폴리올, 이소시아네이트, 실리콘 정포제, 촉매 및 발포제의 합으로 구성된다.

각각의 함량 범위에 대하여 설명한다.

폴리올은 39 중량부 내지 77 중량부를 포함하는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 48 중량부 내지 68 중량부를 포함한다. 폴리올이 39 중량부보다 작으면 본 발명에 의한 연마패드에서 연성 세그먼트로써 기능할 수 없고, 77 중량부보다 크면 폴리올의 연성 성질이 지나쳐, 연마패드가 본래의 목적인 연마 기능을 다하지 못한다. 또한 폴리올은 폴리에테르계 또는 폴리에스테르계를 단독 또는 혼합하여 사용할 수도 있다.

폴리올 100 중량부는 경질 폴리올을 15 중량부 내지 35 중량부, 그리고 나머지는 반경질 폴리올을 포함하는 것이 바람직하다. 경질이 15 중량부보다 작을 때는 본 발명의 폴리우레탄 연마패드가 목적하는 경도는 가질 수 없으며, 35 중량부보다 클 때는 지나치게 경도가 높아 탄성이 떨어진다.

본 발명에서는 경질 폴리올과 반경질 폴리올을 적절히 배합하여 높은 경도의 연마패드를 얻음과 동시에 탄성도 유지하게 하는 것이 주요 기술적 특징 중의 하나이다.

폴리올은 하이드록시 값(hydroxyl value)이 50 mg KOH/g 내지 700 mg KOH/g 이고, 산성값(acid value) 1 mg KOH/g 보다 작으며, 25℃에서 점도가 2,000cps 내지 7,000cps 이고, 수분함량이 1% 보다 작은 것이 바람직하다.

폴리올의 하이드록시 값이 50 mg KOH/g 보다 작으면 폴리올의 수산기 또는 아민기가 폴리우레탄 제조시 충분히 반응하지 못하고, 700 mg KOH/g 보다 크면 연성이 강하여 경도가 낮아지는 단점이 있다. 또한, 점도가 2,000cps 보다 작으면 쉽게 흘러내려 폴리우레탄 제조시 취급하기가 힘들고, 7,000cps 보다 크면 다른 원료와 섞임이 용이하지 않다. 수분함량이 1% 보다 크면 함유 수분에 의하여 원치 않는 부반응(side reaction)이 일어날 수 있으며, 산성값이 1 mg KOH/g 보다 크지 않게 하여 원료의 지나친 산성화를 방지한다.

이소시아네이트는 22 중량부 내지 53 중량부인 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 27 중량부 내지 48 중량부를 포함한다. 이소시아네이트가 22 중량부보다 작으면 폴리우레탄 반응에서 강성 세그먼트의 역할을 할 수 없고, 53 중량부보다 크면 경도는 증가하나 셀 크기가 균일하지 못하게 된다.

이소시아네이트는 NCO 함량이 15중량% 내지 45중량%이고, 25℃에서의 점도는 20cps 내지 250cps이다. 또한, 산성 함량은 최대 1% 미만이고, 비중은 1.20 내지 1.30이며, 분자량은 200 내지 500이다.

이소시아네이트의 NCO 함량이 15중량% 보다 작으면 연성 세그먼트인 폴리올과 충분히 반응하지 못하고, 45중량%보다 크면 폴리올의 적정 수산기가 부족하여 과반응하거나 수산기를 가진 다른 원료들과 반응할 우려가 있다.

이소시아네이트의 점도가 20cps 보다 작으면 공정을 제어하기 힘들고, 250cps 보다 크면 혼합에 어려움이 있다. 원치 않는 반응을 방지하기 위하여 이소시아네이트의 산성 함량은 1% 보다 작은 것이 바람직하다. 본 발명에서 사용되는 이소시아네이트의 비중과 분자량은 폴리올과 다른 원료 물질과의 반응성을 고려하여 위와 같이 정하는 것이 바람직하다.

실리콘 정포제는 0.1 중량부 내지 7 중량부를 사용하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 0.5 중량부 내지 5 중량부를 포함한다. 실리콘 정포제가 0.1 중량부보다 작으면 발포에 의한 가스의 확산을 막을 수 없으며, 7 중량부 이상이 되면 반응물의 표면 장력을 낮춰 폐쇄셀(closed cell) 구조가 무너짐을 방지하는 효과는 크게 차이가 나지 않는다.

실리콘 정포제의 점도는 100cst 내지 2000cst이고, 분자량은 3,000g/mol 내지 7,000g/mol 이 바람직하다.

실리콘 정포제와 다른 원료 물질과의 반응시 물질간의 적합성 및 반응성 등을 고려하여 점도와 분자량을 위와 같이 한다.

촉매는 아민계열의 촉매로 3차 아민 화합물을 0.1 중량부 내지 6 중량부 사용하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 0.5 중량부 내지 4 중량부를 포함한다.

촉매가 0.1 중량부보다 작을 때는 본 발명을 위한 반응에서 촉매로써 기대할 수 없으며, 6 중량부보다 클 때는 지나치게 반응이 활발하여 제어하기 힘들다.

발포제는 0.005 중량부 내지 0.1 중량부를 사용하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 0.01 중량부 내지 0.05 중량부를 포함한다. 0.005 중량부보다 작을 때는 발포 효과를 기대하기 힘들고 0.1 중량부보다 클때는 폼의 경화속도를 조절하여 폼의 가라앉음을 방지하기 어렵다.

연마제는 폴리우레탄 100 중량부에 대하여 11 중량부 내지 52 중량부를 사용하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 18 중량부 내지 45 중량부를 포함한다. 연마제를 11 중량부보다 적게 사용하는 경우 원하는 경도를 얻을 수 없으며, 연마제가 52 중량부보다 클 때는 비용 부담이 크기 때문에 증가하는 연마제 함량 만큼의 효과를 거두기 힘들다.

연마제에는 산화희토(rare earth oxide)를 90% 내지 98%, CeO₂를 50% 내지 65%, 플루오르(F)를 3% 내지 8% 함유하며, 평균 크기가 0.85㎛ 내지 2.90㎛ 인 것이 바람직하다. 산화희토, CeO₂ 및 플루오르의 함량이 위 범위를 벗어나는 경우는 연마제로써 기능을 하기가 힘들다. 연마제의 크기가 0.85㎛ 보다 작다면 본 발명이 목적하는 연마패드의 연마 능력을 떨어뜨리고, 크기가 2.90㎛ 이상이면 연마 표면의 미세 흠(micro scratch)이 발생할 수 있다.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 바탕으로 본 발명을 설명한다.

아래의 [표 1]은 본 발명에 의한 연마패드의 실시예와 이와 비교되는 비교예의 함량비를 나타낸 것이다.

	폴리우레탄 연마패드(중량부)
실시예	폴리올(R/SR)	이소시아네이트	실리콘 정포제	촉매	발포제	연마제
실시예 1	64(20/80)	32	2	1.95	0.05	-
실시예 2	61(23/77)	35	2	1.95	0.05	23
실시예 3	70(31/69)	26	2	1.95	0.05	28
실시예 4	65(26/74)	31	3	0.95	0.05	33
실시예 5	62(22/78)	34	3	0.95	0.05	38
실시예 6	63(34/66)	33	3	0.95	0.05	43
비교예	폴리올(R/SR)	이소시아네이트	실리콘 정포제	촉매	발포제	연마제
비교예 1	95(29/71)	32	2	1.95	0.05	23
비교예 2	63(29/71)	65	2	1.95	0.05	23
비교예 3	63(29/71)	32	10	1.95	0.05	23
비교예 4	63(29/71)	32	2	1.95	1.05	23
비교예 5	63(43/57)	32	2	1.95	0.05	23

[표 1]에서 'R'은 경질 폴리올을 나타내며, 'SR'은 반경질 폴리올을 나타낸다. 'R/SR'은 폴리올 100중량부에 대한 경질 폴리올과 반경질 폴리올의 비율을 나타낸다.

[표 1]은 본 발명에 의한 연마패드의 함량을 구분한 것으로, 폴리우레탄 연마패드의 구성 성분인 폴리올, 이소시아네이트, 실리콘 정포제, 촉매 및 발포제의 중량부 합은 100 중량부로 하였다. 또한, 실시예 1은 연마제를 포함하지 않고 있으며 실시예 2 내지 실시예 6은 연마패드의 원료 성분을 변화하면서 연마패드 특성과 연마 특성을 알아보고자 하였다.

[표 1]에서의 비교예 1 내지 비교예 4는 폴리우레탄 연마패드의 구성 물질을 본 발명의 실시예의 범위를 벗어나게 포함케하여 함량비를 구성하였다.

아래의 [표 2]는 본 발명에 의한 연마패드 실시예와 비교예의 연마패드 특성과 연마 특성을 나타낸 것이다.

	연마패드 성질			연마 특성
실시예	경도(Jis-A)	밀도(g/㎤)	modulus(Mpa)	평탄도(Å)	평균연마속도(Å/min)
실시예 1	74	0.34	13.3	490	5.2
실시예 2	76	0.55	24.4	450	4.8
실시예 3	83	0.54	31.6	500	5.0
실시예 4	53	0.53	1.0	600	4.5
실시예 5	92	0.52	52.2	450	5.5
실시예 6	78	0.47	12.7	450	4.9
비교예	경도(Jis-A)	밀도(g/㎤)	modulus(Mpa)	평탄도(Å)	평균연마속도(Å/min)
비교예 1	39	0.25	0.3	1030	2.3
비교예 2	40	0.20	0.5	1050	2.5
비교예 3	51	0.45	0.9	1000	4.3
비교예 4	42	0.20	0.6	1100	4.0
비교예 5	44	0.30	0.7	1120	3.6

연마패드의 평탄도는 370㎜×470㎜ 크기의 소다라임(sodalime) 유리를 오스카 방식의 단면 연마기(신안에스엔피 제조, SNP-1400, Φ1400)를 이용하여 평탄도를 측정하였다. 평판 유리 4장을 붙여 연마를 실시하였으며, 연마 후 평탄도를 측정하였다.

연마패드의 평균 연마속도는 370㎜×470㎜ 크기의 소다라임(sodalime) 유리를 오스카 방식의 단면 연마기(신안에스엔피 제조, SNP-1400, Φ1400)를 이용하여 평균 연마속도를 측정하였다. 측정 방법은 평탄도와 동일하게 평판 유리 4장을 붙여 연마를 실시하였으며, 연마 후 평균 연마속도를 측정하였다.

연마패드의 탄성을 측정하기 위하여 탄성계수(modulus)를 측정하였다.

앞서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의한 폴리우레탄 연마패드는 높은 경도와 함께 탄성을 가지고 평탄도와 평균 연마속도 및 유리기판의 평탄도에 있어서 만족할 만한 결과를 가져왔으며, 이러한 결과를 바탕으로 본 발명에 의한 연마패드를 이용하여 평판 디스플레이의 고화질화, 아노딕(anodic) 본딩 기판의 고품질화, 각 종 필터 및 센서의 고기능성화 등의 추세에 대응할 수 있다. 또한, 본 발명에 의한 연마패드에서 두 가지 이상의 활성화 수소기를 가지는 폴리올과 기능성 이소시아네이트 화합물을 적절히 배합하여 탄성과 함께 연마패드에서 요구되는 고경도를 얻을 수 있다.

Claims

폴리우레탄과 연마제를 포함하여 이루어지며 탄성 및 경도를 높인 폴리우레탄 연마패드에 있어서,

상기 폴리우레탄 100 중량부는,

폴리올 39 내지 77 중량부;

이소시아네이트 22 내지 53 중량부;

실리콘 정포제 0.1 내지 7 중량부;

촉매 0.1 내지 6 중량부; 및

발포제 0.005 내지 0.1 중량부로 이루어지며,

상기 폴리올 100중량부에 대하여 경질 폴리올과 반경질 폴리올로 이루어지며, 상기 경질 폴리올이 15 중량부 내지 35 중량부, 나머지는 상기 반경질 폴리올로 이루어지고,

상기 연마제는 상기 폴리우레탄 100 중량부에 대하여 11 내지 52 중량부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 폴리우레탄 연마패드.
폴리우레탄과 연마제를 포함하여 이루어지며 탄성 및 경도를 높인 폴리우레탄 연마패드에 있어서,

상기 폴리우레탄 100 중량부는,

폴리올 48 내지 68 중량부;

이소시아네이트 27 내지 48 중량부;

실리콘 정포제 0.5 내지 5 중량부;

촉매 0.5 내지 4 중량부; 및

발포제 0.01 내지 0.05 중량부로 이루어지며,

상기 폴리올 100중량부에 대하여 경질 폴리올과 반경질 폴리올로 이루어지며, 상기 경질 폴리올이 15 중량부 내지 35 중량부, 나머지는 상기 반경질 폴리올로 이루어지고,

상기 연마제는 상기 폴리우레탄 100 중량부에 대하여 18 내지 45 중량부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 폴리우레탄 연마패드.
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