KR100615709B1 - 연마공구 및 절삭공구의 제조방법 및 그 공구 - Google Patents

연마공구 및 절삭공구의 제조방법 및 그 공구 Download PDF

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Abstract

본 발명은 연마공구 또는 절삭공구에 관한 것으로, 보다 상세하게는 연삭공구 또는 절삭공구 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명은 모재에 복수개의 연마입자들을 부착하여 연마공구를 제조하는 연마공구 제조방법에 있어서, 상기 모재 상에 상기 복수개의 연마입자들을 결합시키기 위한 결합재를 도포하는 결합재 도포단계와; 상기 결합재 상에 복수개의 연마입자들을 분포시키는 연마입자 분포단계와; 레이저 가열에 의하여 상기 결합재만을 가열시킴으로써 상기 연마입자들과 모재를 결합시키는 가열결합단계를 포함하는 연마공구 제조방법을 제공한다.
레이저, 가열, CMP, 연마, 절삭

Description

연마공구 및 절삭공구의 제조방법 및 그 공구 {MANUFACTURING METHOD FOR GRINDING AND CUTTING TOOL}
도 1은 본 발명에 따른 연마/절삭공구의 구조를 나타내는 일부 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 연마/절삭공구의 제조방법을 보여주는 흐름도이다.
도 3은 본 발명에 따른 연마공구/절삭공구의 제조를 위한 레이저 가열시스템의 구성도이다.
***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *****
10 : 모재 20 : 결합층
21 : 결합재 30 : 연마입자
40 : 코팅층
본 발명은 연마공구 또는 절삭공구에 관한 것으로, 보다 상세하게는 연삭공구 또는 절삭공구 및 그 제조방법에 관한 것이다.
연마란 고체의 표면을 다른 고체의 모서리나 표면으로 문질러 매끈하게 하는을 말한다.
연마는 뜻이 광범위하여, 연마숫돌에 의한 연삭(硏削)도 이에 포함하기도 한다. 이 경우, 연마된 면이나 연마 부스러기도 본래의 재질조직이 그대로 남아 있다. 본래의 조직이 그대로 남지 않고, 망그러지는 경우에는 이것을 탁마(琢磨)라고 한다. 유리면의 연마작업은 이에 속한다. 탁마작업용 기계로는 래핑머신·호닝머신 등이 있다. 표면을 문질렀을 때, 연삭도 아니고 탁마도 아닌 경우가 있는데, 이것을 연마라고 할 때도 있다. 따라서 연마라고 했을 경우에는 연삭 ·탁마 ·연마를 포함해서 말할 때와 좁은 뜻의 연마를 말할 때가 있다.
절삭이란 각종 재료를 절삭공구로 깎는 일을 말하며, 기계가공법의 하나로서 각종 재료를 바이트 등의 절삭공구를 사용해서 가공하여 소정의 치수로 깎는 일을 말한다.
한편, 연마공구 또는 절삭공구는 일반적으로 모재와, 모재 상에 결합되어 연마 또는 절삭 대상을 연마 또는 절삭하는 복수개의 연마입자들과, 연마입자들을 모재에 결합시키기 위한 결합부재로 구성된다.
그리고 상기 모재와 연마입자를 결합시키는 방법으로는 니켈 등에 의하여 전기도금에 의한 방법과, 금속 등으로 이루어진 결합재로 연마입자를 모재 상에 고정시키는 브레이징 방법, 연마입자가 분포된 모재 전체를 소결하는 소결에 의한 소결방법 등이 있다.
브레이징 방법의 경우, 연마입자를 모재 상에 고정시키기 위한 결합재는 일반적으로 금속 분말 및 그 분말에 유동성을 가지도록 바인더 등으로 구성된 페이스트(Paste)로 이루어진다.
즉, 브레이징 방법은 먼저 모재 상에 금속분말 및 바인더로 이루어진 페이스트를 도포하고, 모재에 도포된 페이스트 상에 연마입자들을 분포시킨 후에, 열을 가하여 소결함으로써 모재상에 연마입자들을 결합시켜 연마/절삭 공구를 제조하게 된다.
상기와 같은 브레이징 방법 중, 페이스트에 열을 가하여 연마입자를 모재에 결합시키는 가열공정은 일반적으로 페이스트가 개재되어 연마입자들이 분포된 모재를 공정로 내에 넣고 설정된 온도와 압력하에 가열함으로써 이루어진다.
그런데 종래의 브레이징 방법은 연마입자를 모재 상에 분포시켜 결합시키기 위하여 페이스트를 사용하며, 가열공정에 있어서 가열의 대상은 페이스트만 그 대상이 된다. 그러나 종래의 브레이징 방법은 가열을 위하여 모재까지 공정로 내에 넣으므로써 불필요한 공간을 필요로 할 뿐만 아니라, 페이스트 만을 가열하는 것이 아니라 모재도 함께 가열됨으로써 열에 의한 변형 등이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여, 모재 및 연마입자는 가열되지 않고 페이스트만 가열됨으로써 열에 의한 변형이 발생하지 않는 연마/절삭공구의 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또다른 목적은 보다 개선된 연마/절삭공구 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로 서, 본 발명은 모재에 복수개의 연마입자들을 부착하여 연마공구를 제조하는 연마공구 제조방법에 있어서, 상기 모재 상에 상기 복수개의 연마입자들을 결합시키기 위한 결합재를 도포하는 결합재 도포단계와; 상기 결합재 상에 복수개의 연마입자들을 분포시키는 연마입자 분포단계와; 레이저 가열에 의하여 상기 결합재만을 가열시킴으로써 상기 연마입자들과 모재를 결합시키는 가열결합단계를 포함하는 연마공구 제조방법을 제공한다.
상기 연마입자들은 규칙적으로 분포되는 것이 바람직하다.
상기 결합재는 니켈, 니켈 합금, 동합금, 은합금 등으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 연마입자는 다이아몬드 또는 큐빅질화붕소(cBN; Cubic Boron Nitride)인 것을 특징으로 한다.
상기 결합재는 유동성을 가지도록 하는 바인더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 모재는 금속인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 한다.
상기 모재는 탄소강 또는 합금강인 것을 특징으로 한다.
상기 가열결합단계는 진공분위기 하에서 상기 결합재를 가열하는 것을 특징으로 한다.
상기 가열결합단계는 가압상태(소정의 압력을 가지는 기체분위기 상태)에서 상기 결합재를 가열하는 것을 특징으로 한다.
상기 가열결합단계는 상기 레이저의 레이저빔을 가열하고자 하는 결합재의 면적 전체에 조사하는 것을 특징으로 한다.
상기 레이저의 레이저빔은 선형라인 형상을 이루어 조사되는 것을 특징으로 한다.
상기 연마공구는 화학적 기계적 연마 패드(Chemical Mechanical Polishing Pad)의 표면을 연마하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 또한 상기와 같은 특징들을 가지는 제조방법에 의하여 제조된 연마공구를 제공한다.
이하, 본 발명에 따른 연마/절삭공구 및 그 제조방법에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 연마/절삭공구의 구조를 나타내는 일부 단면도이다.
본 발명에 따른 연마공구 또는 절삭공구는 연마 또는 절삭 등 사용 용도에 따라서 그 전체적인 외형 및 설계조건이 달라지나, 본 발명에서는 그 제조방법에 특징이 있으므로 편의상 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 연마공구 또는 절삭공구는 도 1에 도시된 바와 같이, 모재(10) 상에 일정한 두께를 가지고 도포되는 결합층(20)과, 상기 결합층(20) 상에 분포되는 복수개의 연마입자(30)들로 이루어진다.
상기 모재(10)는 이미 설명한 바와 같이 용도에 따라서 다양한 재질과 형상을 가지도록 구성되며, 그 재질은 바람직하게는 금속 재질을, 보다 바람직하게는 스테인레스(STS, SUS304, SUS420), SM45C, STC5(SK5) 등과 같은 탄소강, SCM435 등과 같는 구조용 합금강, SKH 등과 같는 고속도강, STS(SKS)와 같은 합금공구강, 쾌 삭강 등이 사용된다.
상기 결합층(20)은 연마입자(30)와 모재(10)를 결합시키기 위한 역할로서, 본 발명에서는 금속분말과 그 금속분말에 유동성을 주기 위한 바인더(binder)의 혼합으로 이루어진 페이스트로 이루어진다. 상기 페이스트는 바인더 이외에도 용제(solvent)도 포함된다.
상기 페이스트의 금속분말은 여러가지가 사용될 수 있으나, 일반적으로 니켈또는 니켈 합금이 사용되며, 동(Cu) 합금, 은(Ag) 합금 등도 사용될 수 있다.
한편 상기 결합층(20)에는 연마 또는 절삭시에 유입되는 산화성 물질 등이 모재로 침입하여 모재(10)가 손상되지 않도록 모재(10) 상에 산화규소(SiO2)로 이루어진 산화방지층이 추가로 형성될 수 있다.
그리고 연마입자(30)들이 분포된 층의 상측에는 그 보호를 위하여 디.엘.씨 (DLC; Diamond Like Carbon) 또는 크롬(Cr) 등으로 이루어진 코팅층(40)으로 코팅될 수 있다. 상기 코팅층(40)은 약 1㎛ 정도가 바람직하며, 코팅층(40)이 크롬인 경우 화학적 증착방법 (CVD) 또는 스퍼터링 등의 물리적 증착방법(PVD)에 의하여 코팅이 가능하다. 특히 상기 코팅층(40)의 두께는 크롬인 경우에는 0.3~0.5㎛ 사이인 것이 바람직하다. 두께가 0.3㎛이하인 경우에는 너무 얇아 침식이 되며, 0.5㎛이상인 경우에는 크롬 자체의 응력으로 갈라짐 현상으로 심하면 박리현상이 일어나기 때문이다.
그리고 상기 연마입자(30)들은 균일하게 또는 일정한 패턴을 가지고 분포되 는 것이 바람직하며, 일정한 패턴을 가지고 분포되도록 메쉬 또는 다수개의 구멍이 형성된 형틀(template)을 사용하여 분포시키는 것이 바람직하다.
상기 연마입자(30)는 다이아몬드 또는 큐빅질화붕소(cBN; Cubic Boron Nitride)로 이루어진다.
그리고 본 발명에 따른 연마/절삭 공구는 연삭공구, 절삭공구 등은 물론 반도체 제조공정에서 사용되는 화학적 기계적 연마 패드(Chemical Mechanical Polishing Pad)를 연마하는, 소위 CMP 패드 드래서(dresser)가 있다.
이하 상기와 같은 구성을 가지는 연마공구 또는 절삭공구의 제조방법에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 연마공구/절삭공구의 제조방법을 보여주는 흐름도이고, 도 3은 본 발명에 따른 연마공구/절삭공구의 제조를 위한 레이저 가열시스템의 구성도이다.
본 발명에 따른 연마/절삭공구의 제조방법은 도 2에 도시된 바와 같이, 모재(10)에 복수개의 연마입자(30)들을 부착하여 연마공구를 제조하는 연마/절삭공구 제조방법에 있어서, 상기 모재(10) 상에 상기 복수개의 연마입자(30)들을 결합시키기 위한 결합재(21)를 도포하는 결합재 도포단계(S10)와; 상기 결합재(21) 상에 복수개의 연마입자(30)들을 분포시키는 연마입자 분포단계(S20)와; 레이저 가열에 의하여 상기 결합재(21) 만을 가열시킴으로써 상기 연마입자(30)들과 모재(10)를 결합시키는 가열결합단계(S30)를 포함하여 구성된다.
상기 결합재 도포단계(S10)는 바인더 및 금속분말의 혼합비를 적절하게 조 절함으로써 그 유동성을 조절할 수 있다. 또한 후술할 가열결합단계(S30) 이전에 결합재(21)의 유동성으로 연마입자(30)들의 균일한 분포가 손상될 수 있으므로, 결합재(21)를 낮은 온도로 가열하는 단계를 추가적으로 포함하여 그 유동성을 줄이는 것이 바람직하다. 상기 결합층(20)의 두께는 연마입자(30)의 크기 등에 의하여 달라지게 된다.
한편 상기 결합재 도포단계(S10)는 먼저 결합재(21)를 모재(10) 상에 균일하게 도포하여 제 1 결합층을 형성하는 제 1 결합층 형성단계와, 상기 제 1 결합층을 가열시키는 제 1 보조 가열건조단계와, 상기 제 1 결합층 상에 액상의 결합재를 다시 도포하여 제 2결합층을 형성하는 제 2 결합층 형성단계를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제 1 결합층 형성단계는 연마입자(30)의 크기에 따라서 수 ㎛부터 수천 ㎛의 두께로 균일하게 도포하여 제 1 결합층을 형성하게 된다.
상기 제 1 보조 가열건조단계는 공업용 드라이어(Dryer; 미도시)를 사용하여 300~600°C 사이의 열풍을 제 1 결합층에 가하여 약 5분씩 여러 차례 나누어 결합층을 이루는 바인더 및 용제가 올라오지 않을 때까지 가열하게 된다.
상기 제 2결합층 형성단계는 연마입자(30)들과 접착될 수 있도록 액상의 결합재(21)를 연마입자(30)의 크기를 고려하여 일정한 두께(본 발명의 실시예에서는 30㎛~500㎛정도)의 제 2 결합층을 형성하게 된다.
한편 모재(10) 상에 도포된 결합층(20)의 두께는 연마입자(30) 및 연마/절삭공구의 사용조건에 따라서 달라질 수 있는데 본 발명의 실시예에서는 200~500㎛ 가 바람직하며, 일반적으로 500㎛이하가 바람직하나 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고 결합재(21)를 모재(10) 상에 도포시킨 후에 도포된 결합재(21)가 롤러(미도시) 등을 사용하여 모재(10) 쪽으로 눌러줌으로써 상기 결합층(20)이 일정한 두께를 가지도록 하는 것이 바람직하다.
상기 연마입자 분포단계(S20)는 다이아몬드 또는 큐빅질화붕소 등으로 이루어진 연마입자(30)들을 상기 결합재(21)로 이루어진 결합층(20) 상에 분포시키는 단계로서, 균일하게 또는 일정한 패턴으로 분포될 수 있도록 메쉬(미도시) 또는 연마입자들보다 약간 큰 치수를 가지는 다수개의 구멍이 형성된 형틀(미도시) 등을 사용하여 분포시킬 수 있다. 물론 상기 메쉬(mesh) 또는 형틀은 연마입자(30)들의 분포 후에 제거하는 것이 바람직하나 반드시 제거할 필요는 없다. 상기 메쉬는 연마입자(30)의 크기에 따른 메쉬크기를 가지며, 그 취급이 용이하도록 천연섬유 또는 합성수지 등에 의하여 제작될 수 있다. 또한 상기 메쉬는 연마입자(30)들이 분포될 수 있도록 장력을 주어 상기 결합층(20) 상에 위치된다.
한편 상기 연마입자 분포단계(S20) 후에, 분포된 연마입자(30)들이 결합재(21)의 유동성으로 불규칙하게 유동할 수 있으므로, 연마입자(30)들의 메쉬 또는 형틀을 유지시킨 상태에서 약한 열을 가함으로써 유동성을 제거하여 연마입자(30)들이 유동되는 것을 방지할 수도 있다.
즉, 본 발명에 따른 연마/절삭공구 제조방법은 상기 연마입자 분포단계(S20) 이후에 상기 제 1 보조 가열건조단계와 같은 조건으로 가열하는 제 2 보조 가열건조단계를 추가적으로 포함할 수 있다. 상기 제 2 보조 가열건조단계 에 의하여 결합층(20)의 유동성을 방지하여 연마입자(30)의 분포가 훼손되는 일을 방지할 수 있다.
또한 모재(10) 상에 분포된 연마입자(30)들이 모재(10) 상에 일정한 두께를 가지면서 상기 결합재(21)로 이루어진 결합층(20) 내에 삽입되도록 상기 연마입자(30)들을 눌러주는 단계를 추가적으로 포함할 수 있다.
상기 가열결합단계(S30)는 레이저 가열시스템(50)에 의하여 상기 결합재(21) 만을 가열시키는 단계로서, 공정로(200) 내에서 상기 결합재(21)를 가압 상태(소정의 압력을 가지는 기체분위기 상태) 또는 진공상태로 가열시켜 소결함으로써 이루어진다.
또한 상기 공정로(200) 내의 압력은 고진공 이외에도 로터리(rotary) 펌프 등을 사용하여 10-3 torr이하의 저진공 상태를 유지하면서 아르곤(Ar)과 같은 불활성가스 또는 질소(N2)가스를 주입하여 압력 및 가열상태를 조절하게 된다. 여기서 공정로(200) 내부를 고진공이 아닌 저진공상태를 활용하게 되면 공정비용이 고전공에 비하여 저렴하다는 이점이 있다.
또한 상기 가열결합단계(S30)는 상기 결합재(21)에 포함된 바인더를 제거하는 바인더 제거단계를 결합재를 소결시키는 브레이징 단계와 동시에 수행하거나, 별도로 수행할 수 있다.
상기 바인더 제거단계는 별도로 수행하는 경우, 가열로(미도시) 등 내에 넣고 100℃를 유지하면서 약 10시간 이상 건조하는 제 3 보조 가열건조단계와, 공정로(200) 내에 잔류 바인더를 제거하기 위하여 가열하여 잔류 바인더를 제거하는 잔 류 바인더 제거단계를 포함하여 구성된다. 상기 잔류 바인더제거단계는 약 500℃ 이상(통상 450℃~550℃)의 온도에서 1시간 이상 가열함으로써 잔류 바인더를 완벽하게 제거할 수 있다.
상기 레이저 가열시스템(50)은 도 3에 도시된 바와 같이, 연마입자(30)들이 분포된 모재(10)로 구성된 공정대상(100)을 가열하기 위한 내부공간을 가지는 공정로(200)와, 공정대상(100)에 레이저 빔을 조사하기 위한 레이저빔(320)을 발생시키는 레이저장치(300)와, 상기 레이저장치(300)로부터 상기 공정로(200) 내의 공정대상(100)에 레이저빔(320)을 안내하기 위한 광학계(310)와, 공정로(200)과 연결설치되어 공정로(200) 내의 압력 및 온도를 조절하기 위한 분위기조절장치(400)와, 레이저장치(300) 및 분위기조절장치(400)을 제어하기 위한 제어장치(500)을 포함하여 구성된다.
상기 레이저장치(300)는 공정대상(100)의 결합재(21)를 가열하여 소결시키는데 충분한 열을 발생시킬 수 있는 출력을 가지는 것이 바람직하며, 가열결합단계(S30)에 소요되는 시간을 줄이기 위하여 레이저빔을 가열하고자 하는 결합재의 면적 전체에 조사할 수 있다.
또한 상기 레이저장치(300)의 레이저빔(320)은 선형라인 형상을 이루어 조사될 수도 있다.
상기 가열온도 및 가열시간은 사용되는 결합재(21)의 재질 및 그 층의 두께에 따라서 달라진다.
상기 가열결합단계(S30)를 마친 공정대상(100)은 최종 검사 등에 의하여 완 제품으로 완성된다.
한편, 상기 결합층(20) 상에 코팅층(40)을 형성하는 경우에, 본 발명에 따른 연마/절삭공구 제조방법은 상기 가열결합단계(S30) 후에 디.엘.씨 또는 크롬 등에 의한 코팅층을 형성하는 코팅층 형성단계를 추가로 포함할 수 있다.
특히 상기 코팅층(40)은 크롬 만으로 코팅될 수 있으며, 크롬으로 코팅하고 그 위에 디.엘.씨.로 코팅층을 형성할 수 있다.
본 발명에 따른 연마/절삭공구 제조방법은 제조되는 공구 전체를 가열하지 않고 필요한 부분을 가열함으로써 불필요한 에너지의 낭비를 줄일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 연마/절삭공구의 제조방법은 필요한 부분만을 가열함으로써 전체 가열에 의한 열변형 및 제품의 열화 등을 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims (23)

  1. 모재에 복수개의 연마입자들을 부착하여 연마/절삭공구를 제조하는 연마/절삭공구 제조방법에 있어서,
    상기 모재 상에 상기 복수개의 연마입자들을 결합시키기 위한 결합재를 도포하는 결합재 도포단계와;
    상기 결합재 상에 복수개의 연마입자들을 분포시키는 연마입자 분포단계와;
    레이저 가열에 의하여 상기 결합재만을 가열시킴으로써 상기 연마입자들과 모재를 결합시키는 가열결합단계를 포함하는 연마/절삭공구 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 연마입자들은 규칙적으로 분포되는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 결합재는
    니켈, 니켈 합금, 구리합금 및 은합금으로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 연마입자는
    다이아몬드 또는 큐빅질화붕소(cBN; Cubic Boron Nitride)인 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 결합재는
    유동성을 가지도록 하는 바인더를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  6. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 결합재는
    유동성을 가지도록 하는 바인더를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  7. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 모재는
    금속인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  8. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 모재는
    탄소강 또는 합금강인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  9. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 가열결합단계는
    진공분위기 하에서 상기 결합재를 가열하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 가열결합단계는
    불활성 가스가 주입된 상태에서 상기 결합재를 가열하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  11. 삭제
  12. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 가열결합단계는
    상기 레이저의 레이저빔을 가열하고자 하는 결합재의 면적 전체에 조사하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  13. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 레이저의 레이저빔은 선형라인 형상을 이루어 조사되는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  14. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 연마/절삭공구는 화학적 기계적 연마 패드의 표면를 연마하기 위한 연마/절삭공구인 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  15. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 결합재도포단계 후에 상기 결합재를 가열 건조하는 가열건조단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  16. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 결합재도포단계는
    상기 결합재를 도포하여 제 1 결합층을 형성하는 단계와;
    상기 제 1 결합층을 가열건조하는 단계와;
    상기 건조된 제 1 결합층 상에 결합재로 제 2결합층을 형성하는 단계를 포 함하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  17. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 연마입자 분포단계는
    상기 연마입자를 형틀 또는 메쉬를 사용하여 분포시키는 분포단계와;
    상기 형틀 또는 메쉬를 제거하는 제거단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 분포단계 후에 상기 연마입자들을 눌러주는 단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  19. 제 1항 내지 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 가열결합단계 후에
    상기 결합층 및 연마입자들을 코팅층을 형성하는 코팅단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 연마/절삭공구 제조방법.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 코팅층은
    디.엘.씨 또는 크롬인 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  21. 제 19항에 있어서,
    상기 코팅단계는
    PVD 또는 CVD에 의하여 코팅층을 형성하는 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구 제조방법.
  22. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항의 제조방법에 의하여 제조된 연마/절삭공구.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 연마/절삭공구는
    화학적 기계적 연마 패드의 표면을 연마하기 위한 연마/절삭공구인 것을 특징으로 하는 연마/절삭공구.
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