KR100611843B1 - 가열로를 사용한 광섬유 모재 제조시 튜브 외경 제어 시스템 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 가열로를 사용한 광섬유 모재 제조시 튜브 외경 제어 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 외경 제어 시스템은, MCVD 공정에 따라 광섬유 모재 튜브 내부에 레이어 단위로 반복적으로 증착층을 증착시키면서 광섬유 모재 튜브의 외경을 제어하는 시스템으로서, 종축을 중심으로 회전되며 수트 생성 가스, 산소 가스, 및 내압 조절용 가스가 주입되는 광섬유 모재 튜브, 광섬유 모재 튜브를 둘러싸며 증착시 광섬유 모재 튜브의 길이 방향을 이동하면서 가열하고, 내주면과 외주면을 관통하는 소정의 개방 공간이 형성된 가열로, 개방 공간에 결합되고 내주면에는 복사열 차단층이 구비되어 가열로부터의 복사열을 차단하는 연결 부재, 연결 부재에 결합되어 광섬유 모재 튜브 내부에서 증착이 이루어지는 동안 상기 가열로와 함께 광섬유 모재 튜브의 길이 방향으로 이동하며 광섬유 모재 튜브의 외경을 측정하는 외경 측정기, 및 상기 외경 측정기로부터 실시간 외경 데이터를 전송받아 이를 기초로 광섬유 모재 튜브의 내압을 제어하여 광섬유 모재 튜브의 외경을 소정의 목표 레벨로 제어하는 외경 제어기를 포함한다. 본 발명에 의하면, MCVD 공정에 따른 광섬유 모재 제조시에 가열로에 의해 둘러싸여 가열되는 광섬유 모재 튜브의 외경을 실시간으로 측정하고, 이를 이용하여 튜브의 외경이 균일하도록 제어함으로써 양질의 광섬유 모재의 제조가 가능하다.
MCVD, 외경 제어, 가열로
Description
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 종래의 튜브 외경 제어 시스템의 개략적인 구성도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 튜브 외경 제어 시스템의 개략적인 구성도.
본 발명은 MCVD 공법에 따른 광섬유 모재 제조시 모재 튜브의 외경을 제어하는 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가열로에 의해 둘러싸여 가열되는 모재 튜브의 외경을 제어하는 튜브 외경 제어 시스템 및 방법에 관한 것이다.
수정화학기상증착(Modified Chemical Vaper Deposition; 이하 'MCVD' 라고 한다) 공법은 광섬유 모재 튜브 내부에 수트 생성 가스와 함께 산소 가스를 주입하고, 열원을 이용하여 튜브를 가열하여 튜브 내부에서 열산화 반응으로 인한 증착이 레이어 단위로 반복적으로 이루어지도록 하여 클래딩층 및 코어층을 형성시키는 광섬유 모재 제조 공법이다. 이와 같은 MCVD 공법에서는 튜브 외부를 가열하기 위한 가열 장치가 사용된다.
종래에 가열 장치로는 수소 및 산소의 혼합 가스 또는 수소 가스를 연료로 이용하는 버너가 사용되었다. 하지만, 버너를 이용하여 튜브를 가열하면 수분과 같은 수소 불순물이 연소반응의 부산물로 파생되고, 이로 인해 튜브내에 수산기가 침투되어 수산기 흡수 손실을 야기하는 문제가 있다.
따라서, 최근에는 버너를 이용하지 않고 가열로를 이용하여 튜브를 가열하는 방법이 제안되었다. 이 방법에 따르면, 튜브외부를 둘러싸도록 설치된 가열로는 외부로부터 소정의 전원을 공급받고, 튜브 길이 방향으로 이동하면서 튜브 내부에 실리카 수트를 증착시킨다. 한편, 튜브는 왕복 이송되는 가열로에 의해 1600℃ 이상의 고온으로 가열되므로, 가열로에 의해 직접적으로 가열되는 튜브 영역은 연화가 이루어져 유동성을 가지게 된다.
이에 따라 튜브의 외경은 튜브의 내압, 가열로의 이송속도, 튜브의 가열 온도 등의 영향을 받아 광섬유 모재 제조공정이 진행되는 과정에서 길이 방향으로의 균일성을 상실하게 된다. 이러한 튜브 외경의 불균일성은 일단 발생되면 광섬유 모재 제조 공정이 진행되면 될수록 심화되며 종국에는 광섬유 모재의 품질을 저하시키는 일 요인으로 작용하게 된다.
따라서 MCVD 공법을 진행하는 과정에서는 튜브의 외경을 모니터링하여 상기한 인자에 의한 외경의 영향을 엄밀하게 분석하고 그 결과를 공정에 반영함으로써 튜브의 외경이 길이 방향을 따라 균일성을 가지도록 할 필요가 있다.
도 1은 종래의 튜브 외경 제어 시스템(10)의 개략적인 구성도이다. 도면을 참조하면, 종래의 튜브 외경 제어 시스템(10)은 내부에 실리카 수트가 증착되는 광섬유 모재 튜브(11), 광섬유 모재 튜브(11)를 가열하는 가열로(12), 광섬유 모재 튜브(11)의 외경을 측정하는 외경 측정기(13), 및 외경 측정기(13)와 전기적으로 연결되어 광섬유 모재 튜브(11)의 외경을 제어하는 외경 제어기(14)를 구비한다.
상기와 같이 구성된 종래의 튜브 외경 제어 시스템(10)의 동작을 설명하면, 가열로(12)가 튜브(11)의 길이 방향으로 이동하면서 가열하여 튜브(11)의 내벽에 실리카 수트를 증착시키는 동안 튜브(11)를 외부에 설치된 외경 측정기(13)가 튜브(11)와 함께 이동하면서 튜브(11)의 외경을 측정한다. 그러면, 튜브(11)의 외경 데이터가 외경 측정기(13)로부터 외경 제어기(14)로 전송되고, 외경 제어기(14)는 튜브(11) 내부로 유입되는 가스량 조절에 의해 내압을 제어하여 튜브(11)의 외경을 일정 수준으로 유지시킨다.
하지만, 종래기술에 따르면 가열되는 튜브(11) 부분은 가열로(12)에 의해 완전히 둘러싸여 있기 때문에 가열되는 튜트(11)의 외경을 실시간으로 측정하여 공정에 반영할 수가 없어 튜브(11)의 외경을 제어하는데 곤란한 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하고자 창안된 것으로서, MCVD 공정에 따 라 가열로를 사용하여 증착 공정을 수행하는 경우에 가열로에 의해 둘러싸여 가열되는 광섬유 모재 튜브의 외경을 측정하여 실시간으로 공정에 반영함으로써 정확한 외경 제어가 가능한 튜브 외경 제어 시스템 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 가열로를 사용한 광섬유 모재 제조시 튜브 외경 제어 시스템은, MCVD 공정에 따라 광섬유 모재 튜브 내부에 레이어 단위로 반복적으로 증착층을 증착시키면서 광섬유 모재 튜브의 외경을 제어 하는 시스템으로서, 종축을 중심으로 회전되며 수트 생성 가스, 산소 가스, 및 내압 조절용 가스가 주입되는 광섬유 모재 튜브, 광섬유 모재 튜브를 둘러싸며 증착시 광섬유 모재 튜브의 길이 방향을 이동하면서 가열하고, 내주면과 외주면을 관통하는 소정의 개방 공간이 형성된 가열로, 개방 공간에 결합되고 내주면에는 복사열 차단층이 구비되어 가열로의 복사열을 차단하는 연결 부재, 연결 부재에 결합되어 광섬유 모재 튜브 내부에서 증착이 이루어지는 동안 상기 가열로와 함께 광섬유 모재 튜브의 길이 방향으로 이동하며 광섬유 모재 튜브의 외경을 측정하는 외경 측정기, 및 외경 측정기로부터 실시간 외경 데이터를 전송받아 이를 기초로 광섬유 모재 튜브의 내압을 제어하여 상기 광섬유 모재 튜브의 외경을 소정의 목표 레벨로 제어하는 외경 제어기를 포함한다.
여기서, 상기 복사열 차단층은 플루오르 칼슘층인 것이 바람직하다.
그리고, 상기 연결 부재 내부로 냉각가스를 주입 및 배출하도록 상기 연결 부재의 일측에 냉각가스 주입 라인 및 냉각가스 배출 라인이 구비된 것이 바람직하 다.
또한, 상기 가열로는 저항식 전기로 또는 유도식 전기로인 것이 바람직하다.
또한, 상기 개방 공간은 환형 띠 형상으로서, 폭이 5~20mm이고, 길이는 광섬유 모재 튜브 직경의 130~200%인 것이 바람직하다.
한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 가열로를 사용한 광섬유 모재 제조시 튜브 외경 제어 방법은, MCVD 공정에 따른 증착 공정시 종축을 중심으로 회전되는 광섬유 모재 튜브를 내주면과 외주면을 관통하는 소정의 개방 공간이 형성된 가열로와 개방 공간에 연결된 연결 부재에 결합된 외경 측정기를 광섬유 모재 튜브의 길이 방향을 따라 이동시키면서 광섬유 모재 튜브의 외경을 제어하는 방법으로서, (a) 가열로가 광섬유 모재 튜브의 길이 방향으로 이동함에 따라 연결 부재의 내주면에 구비된 복사열 차단층을 이용하여 가열로부터의 복사열을 차단하면서 외경 측정기를 이용하여 광섬유 모재 튜브의 외경을 측정하는 단계, 및 (b) 외경 측정기로부터 실시간 외경 데이터를 전송받아 이를 기초로 광섬유 모재 튜브의 내압을 제어하여 광섬유 모재 튜브의 외경을 소정의 목표 레벨로 제어하는 단계를 포함한다.
여기서, (a) 단계에서, 가열로가 광섬유 모재 튜브의 길이 방향으로 이동함에 따라 연결 부재의 내부로 소정의 냉각가스를 주입하여 가열로부터의 복사열을 차단하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설 명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거 나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 가열로를 사용한 광섬유 모재 제조시 튜브 외경 제어 시스템(20)의 개략적인 구성도이다.
본 발명에 따른 튜브(21) 외경 제어 시스템(20)은 MCVD 공법에 따른 광섬유 모재의 제조에 적용된다. 상기 외경 제어 시스템(20)은 광섬유 모재 튜브(21) 내에 레이어 단위로 클래드 또는 코어 증착층을 반복적으로 증착시키는 과정에 광섬유 모재 튜브(21)의 외경을 실시간으로 제어한다.
도 2를 참조하면, 튜브(21) 외경 제어 시스템(20)은 광섬유 모재 튜브(21), 가열로(22), 연결 부재(23), 외경 측정기(24), 및 외경 제어기(25)를 구비한다.
상기 광섬유 모재 튜브(21)는 석영으로 이루어지고, 레이어 단위로 반복적으로 튜브(21) 내부에 증착되는 증착층에 의해 클래드층 및 코어층이 형성된다. 증착과정에서 광섬유 모재 튜브(21)는 종축을 중심으로 회전된다.
상기 가열로(22)는 광섬유 모재 튜브(21)를 감싸면서 광섬유 모재 튜브(21)의 길이 방향으로 이동하면서 광섬유 모재 튜브(21)의 표면을 가열한다. 가열로 (22)의 중앙에는 후술하는 외경 측정기(24)에 의해 튜브(21)의 외경이 측정되도록 환형 띠 형상의 개방 공간(26)이 형성되어 있다. 따라서, 가열로(22)에 의해 둘러싸여 가열이 이루어져 공정이 실제 진행되는 지점에서 튜브(21)의 외경 측정이 가능하게 된다. 상기 가열로(22)는 저항식 전기로 또는 유도식 전기로가 사용될 수 있다.
한편, 상기 환형 띠 형상의 개방 공간(26)의 폭이 너무 넓으면 가열로(22)의 열 손실이 증가하는 문제가 있고, 그 폭이 너무 좁으면 상기 외경 측정기(24)가 튜브(21)의 외경을 제대로 측정할 수 없는 문제가 있으므로, 개방 공간(26)은 5~20mm의 폭으로 개방되는 것이 바람직하다. 그리고, 환형 띠 형상의 개방 공간(26)의 길이가 너무 길면 상술한 바와 같이 가열로(22)의 열 손실이 증가하고, 길이가 너무 짧으면 튜브(21)가 휘어질 경우 회전 중심인 종축으로부터 벗어나 회전하는 경우에 튜브(21)의 외경을 제대로 측정할 수 없는 문제가 있으므로, 개방 공간(26)은 튜브(21) 직경의 130%~200%의 길이로 개방되는 것이 바람직하다.
상기 연결 부재(23)는 소정의 길이로 연장된 형상으로 가열로(22)의 개방 공간(26)에 결합되어 고온인 가열로(22)로부터 외경 측정기(24)를 소정거리 이격시켜 외경 측정기(24)를 보호한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 연결 부재(23)는 별도의 결합 부재(27)를 개재하여 가열로(22)의 개방 공간(26)에 연결될 수도 있다. 그리고, 상기 연결 부재(23)의 내주면에는 투명한 재질의 복사열 차단층(28)이 구비되어 있고, 이로 인해 가열로(22)부터의 복사열이 차단되어 외경 측정기(24)가 보호된다. 한편, 외경 측정기(24)에는 고온계(pyrometer)(미도시)가 더 설치되어 가열 로(22)로부터 복사되는 열의 파장을 분석하여 가열로(22)의 온도를 측정한다. 그러므로, 고온의 가열로(22)로부터 복사되는 단파장 대역만을 통과시키도록 상기 복사열 차단층(28)으로 플루오르 칼슘층(CaF2)이 사용되는 것이 바람직하다.
또한, 연결 부재(23)의 내부를 냉각가스 분위기로 형성하도록 연결 부재(23)에는 냉각가스 주입 라인(29a) 및 냉각가스 배출 라인(29b)이 구비되는 것이 바람직하다. 상기 냉각가스 주입 라인(29a)을 통해 소정의 냉각가스를 연결 부재(23)의 내부로 유입시켜 연결 부재(23)의 내부를 냉각가스 분위기로 형성함으로써 가열로(22)에서 발생되는 복사열을 효과적으로 차단하여 외경 측정기(24)를 보호할 수 있다.
상기 외경 측정기(24)는 연결 부재(23)에 결합되어 가열로(22)와 함께 이동하면서 가열로(22)의 개방 공간(26)을 통해 현재 가열되는 광섬유 모재 튜브(21)의 외경 데이터를 후술된 외경 제어기(25)에 제공하는 장치이다. 상기 외경 측정기(24)로는 카메라 또는 레이저 측정기가 사용될 수 있다. 상술한 바와 같이, 외경 측정기(24)는 연결 부재(23)에 구비된 복사열 차단층(28)과 연결 부재(23) 내부로 유입되는 냉각가스로 인해 가열로(22)의 복사열로부터 보호된다.
상기 외경 제어기(25)는 상기 외경 측정기(24)로부터 실시간 외경 데이터를 입력받고, 이를 저장된 기준 외경과 비교하여 튜브(12)의 내압을 조절하여 튜브(12)의 외경을 제어한다. 즉, 외경 제어기(25)에는 증착 공정별 및 위치별 목표 제어 외경과 이를 달성하기 위한 튜브(12)의 내압이 저장되어 있어, 외경 측정기(24) 로부터 외경 데이터를 수신하여 차이를 계산하고, 그 차이를 보상하기 위한 궤환 제어(feedback control)를 수행한다.
예를 들어, 실시간 측정된 외경이 기준 외경보다 크면 내압을 낮추고, 측정된 외경이 기준 외경보다 크면 내압을 증가시켜 목표 외경에 이르도록 제어한다. 이를 위해, 외경 제어기(25)는 튜브(21)의 출구에서 유입되는 내압 조절용 가스(예를 들어, N2)량을 통해 조절된다. 내압 변동폭은 내압 변동량 대비 외경 변동량 비율인 공정 gain에 의해 외경 제어기(25)가 계산한다. 상기 공정 gain은 경험적으로 계산되어 미리 외경 제어기(25)의 메모리에 저장되거나, 외경 제어가 이미 이루어진 지점에서 실시간으로 계산되어 외경 제어기(25)의 메모리에 저장된 것일 수 있다.
상기 외경 제어기(25)는 튜브(21)의 위치별로 측정된 외경 데이터와 미리 정해진 외경에 따라 튜브(21)의 내압을 조절하는 외경 제어 프로그램이 탑재된 컴퓨터 단말로서, 외경 제어 프로그램을 저장하고 있는 하드 디스크와 같은 저장매체(미도시)와 상기 외경 제어 프로그램을 실행하는 마이크로프로세서(미도시)를 포함한다.
이하, 본 발명에 따른 외경 제어 시스템(20)을 이용한 외경 제어 방법을 상세히 설명한다.
먼저, 외경 제어기(25)가 외경 제어 프로그램에 따라 1차 레이어 증착 공정에서 튜브(21)의 외경 제어를 위해 필요한 1차 기준 외경과 이를 위한 튜브(21) 위 치별 내압을 메모리로부터 독출한 후 1차 레이어 공정을 시작한다.
1차 레이어 공정의 시작 전에 상기 광섬유 모재 튜브(21)는 종축을 중심으로 회전하고 있고, 튜브(21) 입구로는 수트 생성가스 및 산소 가스가 공급되고 있으며, 튜브(21) 출구로는 내압 조절용 가스가 공급되고 있다. 그리고, 튜브(21)를 둘러싸도록 설치된 가열로(22)가 튜브(21)의 내부에서 상기 수트 생성가스의 산화반응이 유발될 수 있도록 고온으로 예열된다. 가열로(22)의 중앙에는 환형 띠 형상의 개방 공간(26)이 형성되어 있고, 상기 개방 공간(26)에 결합된 연결 부재(23)에는 외경 측정기(24)가 장착되어 있다.
1차 공정이 시작되면, 가열로(22)가 튜브(21) 각각의 지점을 지날 때마다 외경 제어기(25)는 해당 지점에서의 튜브(21)의 내압을 제어한다. 즉, 외경 제어기(25)는 가열로(22)와 함께 이송되는 외경 측정기(24)로부터 튜브(21)의 각 지점에서의 실시간 외경 데이터를 전송받고, 이를 저장된 각 지점별 목표 외경과 비교하여, 그 차이에 따라 소정의 유량 제어기를 통해 튜브(21) 내부로 유입되는 내압 조절용 가스량을 조절함으로써 튜브(21)의 외경을 제어한다. 이 때, 튜브(21)의 외경을 측정할 때, 외경 측정기(24)는 연결 부재(23)에 구비된 복사열 차단층(28)과 연결 부재(23) 내부로 유입되는 냉각가스로 인해 가열로(22)에서 발생되는 복사열로부터 보호된다.
가열로(22)가 증착 종료 지점에서 가열을 마치면, 다시 증착 시작 지점으로 복귀한다. 그리고, 메모리에 저장된 2차 기준 외경과 이를 위한 튜브(21) 위치별 내압을 메모리로부터 독출한 후 2차 레이어 공정을 시작한다. 2차 레이어 공정은 상술한 1차 레이어 공정과 동일하게 수행된다.
이상과 같은 기술적 구성에 의해 본 발명의 기술적 과제는 달성되며, 본 발명이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
본 발명에 의하면, MCVD 공정에 따른 광섬유 모재 제조시에 가열로에 의해 둘러싸여 가열되는 광섬유 모재 튜브의 외경을 실시간으로 측정하고, 이를 이용해 튜브의 외경을 균일성을 갖도록 공정을 제어함으로써 양질의 광섬유 모재의 제조가 가능하다.
Claims (8)
- MCVD 공정에 따라 광섬유 모재 튜브 내부에 레이어 단위로 반복적으로 증착층을 증착시키면서 광섬유 모재 튜브의 외경을 제어하는 시스템에 있어서,종축을 중심으로 회전되며 수트 생성 가스, 산소 가스, 및 내압 조절용 가스가 공급되는 광섬유 모재 튜브;상기 광섬유 모재 튜브를 둘러싸며 증착시 상기 광섬유 모재 튜브의 길이 방향을 이동하면서 가열하고, 내주면과 외주면을 관통하는 소정의 개방 공간이 형성된 가열로;상기 개방 공간에 결합되고 내주면에는 복사열 차단층이 구비되어 상기 가열로부터의 복사열을 차단하는 연결 부재;상기 연결 부재에 결합되어 상기 광섬유 모재 튜브 내부에서 증착이 이루어지는 동안 상기 가열로와 함께 상기 광섬유 모재 튜브의 길이 방향으로 이동하며 광섬유 모재 튜브의 외경을 측정하는 외경 측정기; 및상기 외경 측정기로부터 실시간 외경 데이터를 전송받아 이를 기초로 상기 광섬유 모재 튜브의 내압을 제어하여 상기 광섬유 모재 튜브의 외경을 소정의 목표 레벨로 제어하는 외경 제어기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 튜브 외경 제어 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 복사열 차단층은 플루오르 칼슘층인 것을 특징으로 하는 튜브 외경 제어 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 연결 부재 내부로 냉각가스를 주입 및 배출하도록 상기 연결 부재의 일측에 냉각가스 주입 라인 및 냉각가스 배출 라인이 구비된 것을 특징으로 하는 튜브 외경 제어 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 가열로는 저항식 전기로 또는 유도식 전기로인 것을 특징으로 하는 튜브 외경 제어 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 개방 공간은 환형 띠 형상으로서, 개방 공간의 폭이 5~20mm 인 것을 특징으로 하는 튜브 외경 제어 시스템.
- 제 5항에 있어서,상기 개방 공간의 길이는 상기 광섬유 모재 튜브 직경의 130~200%인 것을 특징으로 하는 외경 제어 시스템.
- MCVD 공정에 따른 증착 공정시 종축을 중심으로 회전되는 광섬유 모재 튜브를 내주면과 외주면을 관통하는 소정의 개방 공간이 형성된 가열로와, 상기 개방 공간에 연결된 연결 부재에 결합된 외경 측정기를 상기 광섬유 모재 튜브의 길이 방향을 따라 이동시키면서 상기 광섬유 모재 튜브의 외경을 제어하는 방법에 있어서,(a) 상기 가열로가 상기 광섬유 모재 튜브의 길이 방향으로 이동함에 따라 상기 연결 부재의 내주면에 구비된 복사열 차단층을 이용하여 상기 가열로부터의 복사열을 차단하면서 상기 외경 측정기를 이용하여 상기 광섬유 모재 튜브의 외경을 측정하는 단계;및(b) 상기 외경 측정기로부터 실시간 외경 데이터를 전송받아 이를 기초로 상기 광섬유 모재 튜브의 내압을 제어하여 상기 광섬유 모재 튜브의 외경을 소정의 목표 레벨로 제어하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 튜브 외경 제어 방법.
- 제 7항에 있어서, (a) 단계에서상기 가열로가 상기 광섬유 모재 튜브의 길이 방향으로 이동함에 따라 상기 연결 부재의 내부로 소정의 냉각가스를 주입하여 상기 가열로부터의 복사열을 차단하는 것을 특징으로 하는 튜브 외경 제어 방법.
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KR1020050018843A KR100611843B1 (ko) | 2005-03-07 | 2005-03-07 | 가열로를 사용한 광섬유 모재 제조시 튜브 외경 제어 시스템 및 방법 |
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JPH0930827A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-04 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ母材の製造方法 |
JPH1111970A (ja) | 1997-06-20 | 1999-01-19 | Fujikura Ltd | ガラスロッドの延伸装置及び延伸方法 |
JP2001010839A (ja) | 1999-06-25 | 2001-01-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ガラス母材延伸装置、及びガラス母材延伸方法 |
-
2005
- 2005-03-07 KR KR1020050018843A patent/KR100611843B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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