KR100596050B1 - Glass substrate transferring system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 수평으로 로딩되는 유리기판을 경사지게 세워서 언로딩시킬 수 있는 유리기판의 이송시스템을 개시한다. 본 발명은 시스템보디와, 시스템보디에 유리기판의 양단 가장자리를 지지하여 수평으로 이송시킬 수 있도록 설치되는 수평이송수단과, 수평이송수단에 놓여지는 유리기판을 공기의 블로잉에 의하여 부양시키는 에어플로팅수단과, 수평이송수단에 놓여지는 유리기판을 경사지게 세울 수 있도록 수평이송수단과 에어플로팅수단을 틸팅시키는 틸팅수단과, 틸팅수단에 경사지게 세워지는 유리기판의 하단을 지지하여 이송시킬 수 있도록 설치되는 경사이송수단으로 구성된다. 본 발명에 의하면, 세정스테이션에서 수평으로 로딩되는 유리기판을 검사스테이션으로 경사지게 세워서 연속적으로 언로딩시킬 수 있으며, 유리기판의 물리적 접촉을 최소화할 수 있으면서도 유리기판의 자세를 수평상태에서 경사상태로 안정적이고 원활하게 전환시킬 수 있는 구조에 의하여 유리기판의 이송라인을 인라인으로 구성할 수 있다. 또한, 간편한 잡체인지에 의하여 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있는 유연성생산시스템으로의 전환을 매우 간편하고 효율적으로 실시할 수 있다. 그리고 유리기판의 이송라인을 인라인화하여 생산성을 향상시키고, 레이아웃을 단순화시켜 생산비를 크게 절감할 수 있다.The present invention discloses a transport system of a glass substrate which can be unloaded by tilting the glass substrate loaded horizontally. The present invention provides a system body, a horizontal conveying means installed to support the both ends of the glass substrate in the system body to be horizontally transported, and an air floating means for supporting the glass substrate placed in the horizontal conveying means by blowing of air And tilting means for tilting the horizontal conveying means and the air floating means so that the glass substrate placed on the horizontal conveying means is inclined, and inclined conveying which is installed to support and transport the lower end of the glass substrate which is inclined to the tilting means. Means. According to the present invention, the glass substrate loaded horizontally from the cleaning station can be unloaded continuously by tilting it to the inspection station, and the posture of the glass substrate is stable from the horizontal state to the inclined state while minimizing physical contact of the glass substrate. By the structure that can be switched smoothly and can be configured inline the transfer line of the glass substrate. In addition, it is possible to perform a very simple and efficient conversion to a flexible production system that can inspect glass substrates of various sizes by a simple miscellaneous paper. In addition, the production line of glass substrates can be inlined to improve productivity, and layout can be simplified to greatly reduce production costs.

Description

유리기판의 이송시스템{GLASS SUBSTRATE TRANSFERRING SYSTEM}Glass Substrate Transfer System {GLASS SUBSTRATE TRANSFERRING SYSTEM}

도 1은 본 발명에 따른 이송시스템의 구성을 나타낸 정면도,1 is a front view showing the configuration of a transport system according to the present invention,

도 2는 본 발명에 따른 이송시스템의 구성을 나타낸 평면도,2 is a plan view showing the configuration of a transport system according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 이송시스템의 구성을 나타낸 측면도,Figure 3 is a side view showing the configuration of the transfer system according to the present invention,

도 4는 본 발명에 따른 이송시스템에서 틸팅장치가 유리기판의 경사위치에 틸팅되어 있는 상태를 나타낸 정면도,4 is a front view showing a state in which the tilting device is tilted in the inclined position of the glass substrate in the transfer system according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 이송시스템에서 수평이송장치의 구성을 나타낸 평면도,5 is a plan view showing the configuration of a horizontal transfer apparatus in a transfer system according to the present invention;

도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 이송시스템에서 에어플로팅장치의 에어블로잉파이프를 나타낸 정면도 및 단면도,6a and 6b is a front view and a cross-sectional view showing an air blowing pipe of the air floating device in the conveying system according to the present invention,

도 7은 본 발명에 따른 이송시스템에서 로터리인코더의 구성을 나타낸 정면도,7 is a front view showing the configuration of the rotary encoder in the transport system according to the present invention,

도 8은 본 발명에 따른 이송시스템에서 간격조절장치와 제5 벨트전동장치의 구성을 나타낸 정면도,8 is a front view showing the configuration of the gap adjusting device and the fifth belt transmission device in the transport system according to the present invention,

도 9는 본 발명에 따른 이송시스템에서 수평이송장치와 간격조절장치의 다른 예를 부분적으로 나타낸 측면도,9 is a side view partially showing another example of a horizontal feeder and a gap adjusting device in a transfer system according to the present invention;

도 10은 도 9의 평면도이다. 10 is a plan view of FIG. 9.

♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣ ♣ Explanation of symbols for the main parts of the drawing ♣

1: 유리기판 10: 시스템보디1: glass substrate 10: system body

20: 수평이송장치 21: 제1 컨베이어20: horizontal transfer device 21: the first conveyor

22: 제2 컨베이어 23: 제1 구동장치22: second conveyor 23: first drive device

24: 서보모터 25: 원동샤프트24: servomotor 25: prime shaft

26: 제1 벨트전동장치 27: 제2 벨트전동장치 26: first belt transmission 27: second belt transmission

28: 제3 벨트전동장치 29: 종동샤프트28: third belt transmission 29: driven shaft

30: 스토핑유닛 31: 스토퍼30: stopper unit 31: stopper

32: 액츄에이터 40: 에어플로팅장치32: actuator 40: air floating device

41: 에어블로잉파이프 43: 에어공급장치41: air blowing pipe 43: air supply device

44: 에어블로워 50: 틸팅장치44: air blower 50: tilting device

51: 틸팅프레임 54: 제2 구동장치51: tilting frame 54: second drive device

55: 서보모터 56: 제4 벨트전동장치55: servomotor 56: fourth belt transmission device

57: 로터리인코더 60: 경사이송장치57: rotary encoder 60: inclined feeder

61: 제3 컨베이어 62: 제3 구동장치61: third conveyor 62: third drive device

63: 서보모터 64: 샤프트63: servomotor 64: shaft

65: 기어장치 70: 간격조절장치65 gear unit 70 spacer

74: 서보모터 75: 제5 벨트전동장치74: servomotor 75: fifth belt transmission

80: 진입측 수평이송장치 90: 배출측 경사이송장치80: horizontal feed device for entry side 90: inclined feed device for discharge side

100: 컨트롤러 120: 수평이송장치100: controller 120: horizontal feeder

170: 간격조절장치 171: 서보모터170: spacing device 171: servo motor

본 발명은 유리기판의 이송시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 수평으로 로딩되는 유리기판을 경사지게 세워서 언로딩시킬 수 있는 유리기판의 이송시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate transfer system, and more particularly, to a glass substrate transfer system that can be unloaded by tilting the glass substrate horizontally loaded.

주지하고 있는 바와 같이, TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조분야에서 사용되는 유리기판은 유리용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 용해유리를 평판으로 성형하는 성형공정과 일차 규격에 맞도록 절단하는 절단공정을 통하여 제조한 후, 세정과 검사공정을 통하여 양품과 불량품으로 선별하고 있다. As is well known, glass substrates used in the manufacture of flat panel displays, such as thin film transistor-liquid crystal displays (TFT-LCDs), plasma display panels (PDPs), and electro luminescent (EL), After melting the glass melted in a glass melting furnace) to form a flat plate and a cutting process to meet the primary standards, it is selected as good or defective through cleaning and inspection process.

일례로 본 출원인의 한국 특허출원 제2002-30386호를 살펴보면, 유리기판의 세정스테이션(Cleaning Station)에서는 세정공정을 거친 유리기판을 카세트 (Cass ette)라고도 부르고 있는 컨테이너(Container)에 수납하여 검사스테이션 (Inspect ion station)으로 운반하고, 컨테이너에 수납되어 있는 유리기판은 핸들러 (Han dler)에 의하여 언로딩(Unloading)하여 검사스테이션에 로딩(Loading)하고 있다. 검사스테이션에서는 유리기판에 존재하는 기포(Blister), 스톤(Stone) 등 이물의 혼입(Inclusion), 오염(Stain), 긁힘(Scratch), 베벨칩(Bevel chip), 커팅칩 (Cutt ing chip), 크랙(Crack) 등의 결점을 검사하고 있다. For example, in Korean Patent Application No. 2002-30386 filed by the present applicant, in a cleaning station of a glass substrate, a glass substrate subjected to a cleaning process is stored in a container, also called a cassette, in an inspection station. The glass substrate, which is transported to the inspection ion station and stored in the container, is unloaded by a handler (Han dler) and loaded into the inspection station. In the inspection station, inclusion, contamination, scratch, bevel chip, cutting chip, and other foreign substances such as bubbles, stones, etc. Checking for defects such as cracks.

그런데 유리기판의 세정스테이션과 검사스테이션은 유리기판의 오염을 방지하기 위하여 클린룸(Clean room)으로 구성하고 있는 바, 컨테이너와 핸들러의 사용으로 클린룸의 레이아웃(Lay out)이 복잡해지고, 작업자와 컨테이너의 동선을 확보하기 위하여 클린룸의 면적을 필요 이상으로 증가시켜야 하는 문제가 있다. 뿐만 아니라, 작업자와 핸들러의 동작으로 인하여 클린룸에 발생되는 난류의 영향으로 유리기판에 미립자(Particle)가 오염되면서 불량률을 증가시켜 생산성을 저하시키고 생산비를 상승시키는 문제가 있다. However, the cleaning and inspection stations of glass substrates are composed of clean rooms to prevent contamination of glass substrates. The layout of the clean rooms is complicated by the use of containers and handlers. There is a problem that the area of the clean room needs to be increased more than necessary in order to secure the copper wire of the container. In addition, due to the turbulence generated in the clean room due to the operation of the operator and the handler, particles are contaminated on the glass substrate, thereby increasing the defective rate, thereby lowering productivity and increasing production costs.

또한, 핸들러에 의한 유리기판의 로딩과 언로딩시 물리적 접촉과 충격에 의하여 유리기판의 긁힘, 크랙 등이 발생할 우려가 매우 높은 단점이 있으며, 낭비시간(Dead time)이 많이 소요되어 생산성이 저하되는 문제가 있다. 특히, 핸들러의 그리퍼(Gripper)에 의하여 척킹할 수 있는 유리기판의 척킹영역(Chucking area)은 각 에지(Edge)로부터 8mm 이내로 허용하고 있는 바, 대형·박형 유리기판의 경우 그리퍼의 척킹에 의해서는 유리기판의 중량을 지탱하기 곤란하고, 유리기판이 휨변형에 의하여 쉽게 깨지면서 안전사고를 유발시키는 문제가 수반되고 있다. 따라서, 세정스테이션으로부터 검사스테이션으로 유리기판을 인라인(In-line)으로 이송할 수 있는 기술의 개발이 절실히 요구되고 있으나, 유리기판을 안정적으로 이송할 수 있는 이송라인의 인라인화 기술은 개발되지 못하고 있는 실정이다.In addition, when loading and unloading the glass substrate by the handler, there is a high possibility that the glass substrate may be scratched or cracked due to physical contact and impact, and the productivity is reduced due to the large dead time. there is a problem. In particular, the chucking area of the glass substrate that can be chucked by the gripper of the handler is allowed within 8 mm from each edge. In the case of large and thin glass substrates, the chucking area of the glass substrate is allowed to be chucked. It is difficult to support the weight of the glass substrate, and the glass substrate is easily broken due to the bending deformation, thereby causing a safety accident. Therefore, there is an urgent need to develop a technology for transferring glass substrates in-line from the cleaning station to the inspection station. However, the inline technology of the transfer line for stably transferring the glass substrates has not been developed. There is a situation.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 여러 가지 문제점을 해결하기 위하 여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 수평으로 로딩되는 유리기판을 경사지게 세워서 언로딩시킬 수 있는 유리기판의 이송시스템을 제공하는데 있다. The present invention has been made to solve the various problems of the prior art as described above, an object of the present invention is to provide a transport system of a glass substrate that can be unloaded by tilting the glass substrate loaded horizontally. .

본 발명의 다른 목적은 유리기판의 물리적 접촉을 최소화할 수 있으면서도 유리기판의 자세를 수평상태에서 경사상태로 안정적이고 원활하게 전환할 수 있는 유리기판의 이송시스템을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a glass substrate transfer system capable of stably and smoothly switching the posture of a glass substrate from a horizontal state to an inclined state while minimizing physical contact of the glass substrate.

본 발명의 또 다른 목적은 간편한 잡체인지(Job change)에 의하여 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있는 유연성생산시스템으로의 전환을 매우 간편하고 효율적으로 실시할 수 있는 유리기판의 이송시스템을 제공하는데 있다.Another object of the present invention to provide a transfer system of a glass substrate that can be carried out very easily and efficiently switch to a flexible production system that can inspect glass substrates of various sizes by a simple change (Job change) have.

본 발명의 또 다른 목적은 유리기판의 이송라인을 인라인화하여 생산성을 향상시키고, 레이아웃을 단순화시켜 생산비를 크게 절감할 수 있는 유리기판의 이송시스템을 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a transfer system of a glass substrate that can increase the productivity by inlining the transfer line of the glass substrate and simplify the layout to greatly reduce the production cost.

이와 같은 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 유리기판의 이송방향을 따라 설치되어 있는 시스템보디와; 시스템보디의 전방에 유리기판의 이송방향을 따라 설치되며, 유리기판의 일단 가장자리를 지지하는 다수의 롤러들을 갖는 제1 컨베이어와; 시스템보디의 후방에 제1 컨베이어와 평행하도록 설치되고, 제1 컨베이어와 협동하여 유리기판을 수평으로 이송시킬 수 있도록 유리기판의 타단 가장자리를 지지하는 다수의 롤러들을 갖는 제2 컨베이어와; 제1 및 제2 컨베이어의 롤러들을 회전시키는 제1 구동수단과; 제1 및 제2 컨베이어 사이에 유리기판의 이송방향을 따라 공기를 블로잉하여 유리기판을 부양시킬 수 있도록 설치되는 복수의 에어블로잉파이프와; 제1 및 제2 컨베이어에 놓여지는 유리기판을 경사지게 세울 수 있도록 제1 및 제2 컨베이어, 제1 구동수단과 에어블로잉파이프를 틸팅시키는 틸팅수단과; 틸팅수단에 경사지게 세워지는 유리기판의 하단을 다수의 롤러들에 의하여 지지하여 이송시킬 수 있도록 설치되는 제3 컨베이어를 갖는 경사이송수단과; 틸팅수단의 상부에 자유롭게 회전할 수 있도록 서로 평행하게 장착되는 제1 리드스크루 및 제2 리드스크루와, 제1 및 제2 리드스크루를 따라 나사운동할 수 있도록 각각 장착되며 제2 컨베이어에 고정되는 볼부시들과, 제2 컨베이어의 직선운동을 가이드하는 리니어모션가이드와, 틸팅수단에 장착되어 구동력을 제공하는 서보모터와, 서보모터의 구동력을 제1 및 제2 리드스크루에 전달하는 제5 벨트전동장치로 구성되어 제1 및 제2 컨베이어 사이의 간격을 조절할 수 있도록 제1 컨베이어에 대하여 제2 컨베이어를 직선운동시키는 간격조절수단으로 이루어지는 유리기판의 이송시스템에 있다.Features of the present invention for achieving the above object, the system body is installed along the conveying direction of the glass substrate; A first conveyor installed along the conveying direction of the glass substrate in front of the system body and having a plurality of rollers supporting one edge of the glass substrate; A second conveyor disposed parallel to the first conveyor at the rear of the system body and having a plurality of rollers supporting the other end edge of the glass substrate so as to cooperate with the first conveyor to horizontally transport the glass substrate; First driving means for rotating the rollers of the first and second conveyors; A plurality of air blowing pipes installed to support the glass substrates by blowing air along the conveying direction of the glass substrates between the first and second conveyors; Tilting means for tilting the first and second conveyors, the first driving means and the air blowing pipe to tilt the glass substrates placed on the first and second conveyors; An inclined conveying means having a third conveyor installed to support and transport the lower end of the glass substrate which is inclined to the tilting means by a plurality of rollers; A first lead screw and a second lead screw mounted in parallel with each other so as to freely rotate on an upper part of the tilting means, and balls respectively mounted to be screwed along the first and second lead screws and fixed to the second conveyor. Bushes, a linear motion guide for guiding the linear movement of the second conveyor, a servomotor mounted on the tilting means to provide driving force, and a fifth belt transmission for transmitting the driving force of the servomotor to the first and second lead screws. In the conveying system of the glass substrate consisting of a device consisting of a gap adjusting means for linearly moving the second conveyor relative to the first conveyor so as to adjust the distance between the first and second conveyor.

이하, 본 발명에 따른 유리기판의 이송시스템에 대한 바람직한 실시예를 첨 부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the glass substrate transfer system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 이송시스템에 의해서는 유리기판(1)의 세정스테이션과 검사스테이션 사이에 유리기판(1)의 이송라인을 인라인(In-line)으로 구성할 수 있으며, 예를 들어 세로(mm)×가로(mm)의 크기가 370×470∼1,500 ×1,800 정도이고 두께가 0.4∼1.1mm 정도인 유리기판(1)을 이송시킬 수 있다. First, referring to FIG. 1, the transfer system of the glass substrate 1 may be configured in-line between the cleaning station and the inspection station of the glass substrate 1 by the transfer system of the present invention. For example, the glass substrate 1 having a size of about 370 × 470 to 1,500 × 1,800 and a thickness of about 0.4 to 1.1 mm can be transported.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 이송시스템은 유리기판(1)의 이송방향을 따라 설치되는 시스템보디(10)를 구비하며, 시스템보디(10)의 상부에는 유리기판(1)의 양단을 지지하여 수평으로 이송시킬 수 있도록 수평이송장치(20)가 설치되어 있다. 수평이송장치(20)는 시스템보디 (10)의 전후방에 설치되어 있는 제1 컨베이어(21)와 제2 컨베이어(22)로 구성되어 있다. 제1 및 제2 컨베이어(21, 22) 각각의 컨베이어프레임(21a, 22a)은 시스템보디(10)의 상부 전후방에 유리기판(1)의 이송방향(2)을 따라 평행하게 설치되어 있으며, 컨베이어프레임(21a, 22a)에는 유리기판(1)의 양단, 즉 유리기판(1)을 세울 때 하단(1a)과 상단(1b) 가장자리를 지지하는 다수의 롤러(21b, 21b-1, 21b-2, 22b, 22b-1, 22b-2)들이 샤프트(21c, 22c)를 중심으로 일정한 간격을 두고 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. 1 to 5, the transfer system of the present invention has a system body 10 is installed along the conveying direction of the glass substrate 1, the upper portion of the system body 10 of the glass substrate (1) A horizontal transfer device 20 is installed to support both ends and to transfer horizontally. The horizontal conveying apparatus 20 is comprised by the 1st conveyor 21 and the 2nd conveyor 22 which are provided in front and front of the system body 10. As shown in FIG. Conveyor frames 21a and 22a of each of the first and second conveyors 21 and 22 are installed in parallel along the conveying direction 2 of the glass substrate 1 at the front and rear of the system body 10 and on the conveyor. In the frames 21a and 22a, a plurality of rollers 21b, 21b-1 and 21b-2 supporting both edges of the glass substrate 1, that is, the edges of the lower end 1a and the upper end 1b when the glass substrate 1 is erected. , 22b, 22b-1, 22b-2 are mounted to rotate freely at regular intervals about the shafts 21c and 22c.

제1 및 제2 컨베이어(21, 22)의 롤러(21b, 22b)들은 제1 구동장치(23)의 작동에 의하여 회전된다. 제1 구동장치(23)는 구동력을 제공하는 서보모터(24)와, 제1 및 제2 컨베이어(21, 22)를 가로질러 자유롭게 회전할 수 있도록 설치되어 있는 원동샤프트(25)와, 서보모터(24)의 구동력을 원동샤프트(25)에 전달하는 제1 벨트전동장치(26)와, 제1 컨베이어(21)의 롤러(21b)들 각각에 원동샤프트(25)의 회전 력을 전달하는 다수의 제2 벨트전동장치(27)들과, 제2 컨베이어(22)의 롤러(22b)들 각각에 원동샤프트(25)의 회전력을 전달하는 제3 벨트전동장치(28)로 구성되어 있다. The rollers 21b and 22b of the first and second conveyors 21 and 22 are rotated by the operation of the first driving device 23. The first drive device 23 includes a servomotor 24 for providing a driving force, a prime shaft 25 installed so as to rotate freely across the first and second conveyors 21 and 22, and the servomotor. The first belt transmission device 26 which transmits the driving force of the 24 to the prime shaft shaft 25, and the plurality of transmitting the rotational force of the prime shaft shaft 25 to each of the rollers 21b of the first conveyor 21 And a third belt transmission device 28 for transmitting the rotational force of the prime shaft shaft 25 to each of the rollers 22b of the second conveyor 22.

도 1에 자세히 도시되어 있는 바와 같이, 제1 벨트전동장치(26)는 서보모터 (24)의 구동에 의하여 회전되는 원동풀리(26a)와, 원동샤프트(25)의 일단에 장착되어 있는 종동풀리(26b)와, 원동풀리(26a)와 종동풀리(26b)에 감아걸리는 벨트(26c)로 구성되어 있다. 도 5에 자세히 도시되어 있는 바와 같이, 제2 벨트전동장치(27)들은 원동샤프트(25)의 회전력을 서로 인접하는 제1 컨베이어(21)의 롤러(21b)들에 번갈아 순차적으로 전달한다. 제2 벨트전동장치(27)들은 원동샤프트(25)와 롤러 (21b)들의 샤프트(21c)에 번갈아 장착되어 있는 다수의 원동풀리(27a)들과, 롤러 (21b)들의 샤프트(21c)에 원동풀리(27a)들과 번갈아 장착되어 있는 다수의 종동풀리(27b)들과, 원동풀리(27a)들과 종동풀리(27b)들에 감아걸리는 벨트(27c)들로 구성되어 있다. 도 2, 도 4와 도 5에 보이는 바와 같이, 제3 벨트전동장치(28)는 원동샤프트(25)에 장착되어 있는 원동풀리(28a)와, 롤러(22b)들의 샤프트(22c)에 장착되어 있는 다수의 종동풀리(28b)들과, 원동풀리(28a)와 종동풀리(28b)들에 감아걸리는 벨트(28c)로 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서 제1 내지 제3 벨트전동장치(26, 27, 28) 각각의 원동풀리(26a, 27a, 28a), 종동풀리(26b, 27b, 28b)와 벨트 (26c, 27c, 28c)는 구동타이밍기어, 종동타이밍기어와 타이밍벨트로 대신할 수도 있다. 또한, 제2 및 제3 벨트전동장치(27, 28)는 원동스프로킷, 종동스프로킷과 체인으로 구성되는 체인전동장치로 대신할 수도 있다. 도 2, 도 4와 도 5에는 원동샤 프트(25)가 제1 및 제2 컨베이어(21, 22)의 롤러(21b, 22b)들 중 어느 하나, 예를 들어 최하류 롤러(21b-2, 22b-2)의 샤프트(21c, 22c)를 일체로 연결하도록 구성되어 있으며, 최상류 롤러(22b-1, 22b-1)의 샤프트(21c, 22c)는 종동샤프트(29)에 의하여 일체로 연결되어 있는 것이 나타나 있다. 본 실시예에 있어서 제1 및 제2 컨베이어(21, 22)의 컨베이어프레임(21a, 22a) 각각에 잘 알려진 베어링을 장착하고, 원동샤프트(25)와 종동샤프트(29) 각각의 양단은 베어링에 지지시켜 설치할 수도 있다. As shown in detail in FIG. 1, the first belt transmission device 26 includes a driven pulley 26a rotated by the drive of the servomotor 24 and a driven pulley mounted to one end of the driven shaft 25. 26b and a belt 26c wound around the prime pulley 26a and the driven pulley 26b. As shown in detail in FIG. 5, the second belt transmission devices 27 sequentially transfer the rotational force of the prime shaft 25 alternately to the rollers 21b of the first conveyor 21 adjacent to each other. The second belt transmissions 27 are primed on a plurality of prime pulleys 27a alternately mounted on the prime shaft 25 and the shaft 21c of the rollers 21b, and on the shaft 21c of the rollers 21b. It consists of a plurality of driven pulleys 27b alternately mounted with pulleys 27a and belts 27c wound around the driven pulleys 27a and driven pulleys 27b. As shown in Figs. 2, 4 and 5, the third belt transmission 28 is mounted on the prime pulley 28a mounted on the prime shaft 25 and on the shaft 22c of the rollers 22b. A plurality of driven pulleys 28b and a belt 28c wound around the driven pulleys 28a and driven pulleys 28b. In this embodiment, the primary pulleys 26a, 27a, 28a, the driven pulleys 26b, 27b, 28b and the belts 26c, 27c, 28c of the first to third belt transmission devices 26, 27, 28, respectively. May be substituted for the driving timing gear, the driven timing gear and the timing belt. Further, the second and third belt transmissions 27 and 28 may be replaced by a chain transmission consisting of a primary sprocket, a driven sprocket and a chain. 2, 4 and 5, the primary shaft 25 is one of the rollers 21b, 22b of the first and second conveyors 21, 22, for example, the downstream roller 21b-2, 22b-2 is integrally connected to the shafts 21c and 22c, and the shafts 21c and 22c of the uppermost rollers 22b-1 and 22b-1 are integrally connected by the driven shaft 29 It is shown. In this embodiment, a well-known bearing is mounted on each of the conveyor frames 21a and 22a of the first and second conveyors 21 and 22, and both ends of each of the prime shaft 25 and the driven shaft 29 are attached to the bearings. It can also be supported.

도 2와 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명의 이송시스템은 수평이송장치(20)에 의하여 이송되는 유리기판(1)을 구속하여 정렬시키는 스토핑유닛(Sto pping unit: 30)을 구비한다. 스토핑유닛(30)은 수평이송장치(20)의 하류 양측에 유리기판(1)의 이송방향선단 양측을 구속할 수 있도록 각각 장착되어 있는 스토퍼 (31)와, 유리기판(1)의 이송방향선단을 구속하는 구속위치와 유리기판(1)의 이송을 허용하는 해제위치 사이에서 스토퍼(31)를 회전운동시키는 액츄에이터(Actuator: 32)로 구성되어 있다.As shown in Figures 2 and 5, the transport system of the present invention is provided with a stopping unit (30) for restraining and aligning the glass substrate (1) conveyed by the horizontal transfer device (20) do. The stopper unit 30 is a stopper 31 and the conveying direction of the glass substrate 1, respectively mounted to both sides downstream of the horizontal conveying apparatus 20 so as to restrain both sides of the feed direction leading end of the glass substrate (1) It consists of an actuator 32 which rotates the stopper 31 between the restraint position that restrains the tip and the release position that allows the transfer of the glass substrate 1.

도 2, 도 3과 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 본 발명의 이송시스템은 제1 및 제2 컨베이어(21, 22)의 롤러(21b, 22b)들에 의하여 하단(1a)과 상단(1b)이 지지되어 이송되는 유리기판(1)을 롤러(21b, 22b)들로부터 부양시키는 에어플로팅장치 (Air floating device: 40)를 구비한다. 에어플로팅장치(40)는 유리기판(1)의 이송방향을 따라 설치되어 있으며 유리기판(1)에 대하여 공기를 분출하는 다수의 노즐구멍(41a)이 길이방향을 따라 형성되어 있는 복수의 에어블로잉파이프(Air blowing pipe: 41)들을 갖추고 있다. 복수의 에어블로잉파이프(41)들은 베이스플레이트(42)의 상면에 임의의 수평평면에 정렬되도록 설치되어 있다. 도 2와 도 3에는 5개의 에어블로잉파이프(41)들이 등간격을 이루도록 배치되어 있는 것이 도시되어 있으나 이는 예시적인 것으로 에어블로잉파이프(41)들의 숫자 및 위치는 유리기판(1)을 안정적으로 부양시킬 수 있도록 적절하게 변경할 수 있다.2, 3 and 6a and 6b, the conveying system of the present invention is the lower end (1a) and the upper end (1b) by the roller (21b, 22b) of the first and second conveyors (21, 22) ) Is provided with an air floating device (40) for supporting the glass substrate 1, which is supported and transported, from the rollers 21b and 22b. The air floating apparatus 40 is provided along the conveying direction of the glass substrate 1 and has a plurality of air blowing holes in which a plurality of nozzle holes 41a for ejecting air with respect to the glass substrate 1 are formed along the longitudinal direction. Air blowing pipes (41) are provided. The plurality of air blowing pipes 41 are installed on the upper surface of the base plate 42 so as to be aligned with an arbitrary horizontal plane. 2 and 3 show that five air blowing pipes 41 are arranged at equal intervals, but this is merely an example, and the numbers and positions of the air blowing pipes 41 stably support the glass substrate 1. You can change it as appropriate.

도 1과 도 6b에 도시되어 있는 바와 같이, 에어플로팅장치(40)의 에어블로잉파이프(41)에는 공기를 공급하는 에어공급장치(43)가 연결되어 있다. 에어공급장치 (43)는 공기를 발생하는 에어블로워(Air blower: 44)와, 에어블로워(44)로부터의 공기를 여과하여 에어블로잉파이프(41)에 공급하는 에어필터(Air filter: 45)로 구성되어 있다. 에어블로워(44)는 구동력을 제공하는 모터(44a)와, 이 모터(44a)의 구동에 의하여 회전하는 임펠러(44b)로 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서 에어필터(45)는 0.3㎛ 정도의 미세입자를 여과하는 헤파필터(HEPA; High efficiency particulate air filter)로 구성할 수 있다. 또한, 에어공급장치(40)의 에어블로워 (44)는 잘 알려진 에어컴프레서(Air compressor)와, 공기의 유량과 압력을 제어하는 에어컨트롤유닛(Air control unit)으로 대신할 수 있다. As shown in FIG. 1 and FIG. 6B, an air supplying device 43 for supplying air is connected to the air blowing pipe 41 of the air floating device 40. The air supply device 43 is an air blower 44 for generating air, and an air filter 45 for filtering the air from the air blower 44 and supplying the air to the air blowing pipe 41. Consists of. The air blower 44 is comprised by the motor 44a which provides a driving force, and the impeller 44b which rotates by the drive of this motor 44a. In the present embodiment, the air filter 45 may be configured as a high efficiency particulate air filter (HEPA) for filtering fine particles of about 0.3 μm. In addition, the air blower 44 of the air supply device 40 may be replaced with a well-known air compressor and an air control unit that controls the flow rate and pressure of the air.

도 1 내지 도 5와 도 7을 참조하면, 본 발명의 이송시스템은 수평이송장치 (20)에 수평으로 놓여지는 유리기판(1)을 경사지게 세울 수 있도록 시스템보디(10)에 대하여 수평이송장치(20)와 에어플로팅장치(40)를 틸팅(Tilting)시키는 틸팅장치(50)를 구비한다. 틸팅장치(50)는 수평이송장치(20)의 제1 및 제2 컨베이어(21, 22), 제1 구동장치(23)와 에어플로팅장치(40)의 베이스플레이트(42)가 탑재되어 있 는 틸팅프레임(51)과, 시스템보디(10)에 대하여 틸팅프레임(51)의 회전운동을 지지할 수 있도록 베어링(52)에 의하여 지지되어 있는 샤프트(53)로 구성되어 있다. 1 to 5 and 7, the transfer system of the present invention is a horizontal transfer apparatus with respect to the system body 10 so that the glass substrate 1 placed horizontally on the horizontal transfer apparatus 20 can be inclined. 20 and a tilting device 50 for tilting the air floating device 40. The tilting device 50 is equipped with the first and second conveyors 21 and 22 of the horizontal feeder 20, the first driving device 23 and the base plate 42 of the air floating device 40. It consists of a tilting frame 51 and a shaft 53 supported by a bearing 52 so as to support the rotational movement of the tilting frame 51 with respect to the system body 10.

틸팅장치(50)의 샤프트(53)는 제2 구동장치(54)에 의하여 회전운동한다. 제2 구동장치(54)는 시스템보디(10)에 장착되어 구동력을 제공하는 서보모터(Servo motor: 55)와, 서보모터(55)의 구동력을 샤프트(53)에 전달하는 제4 벨트전동장치 (56)와, 서보모터(55)의 구동을 제어할 수 있도록 샤프트(53)의 회전각도를 검출하는 로터리인코더(rotary encoder: 57)로 구성되어 있다. 제4 벨트전동장치(56)는 서보모터(55)의 구동에 의하여 회전할 수 있도록 장착되어 있는 원동타이밍기어 (56a)와, 샤프트(53)에 장착되어 있는 종동타이밍기어(56b)와, 원동타이밍기어 (56a)와 종동타이밍기어(56b)에 감아걸리는 타이밍벨트(56c)로 구성되어 있다. The shaft 53 of the tilting device 50 rotates by the second driving device 54. The second drive unit 54 is a servo motor 55 mounted on the system body 10 to provide a driving force, and a fourth belt drive unit transferring the driving force of the servo motor 55 to the shaft 53. And a rotary encoder 57 which detects the rotational angle of the shaft 53 so as to control the drive of the servomotor 55. As shown in FIG. The fourth belt transmission device 56 includes a prime timing gear 56a mounted to rotate by driving of the servomotor 55, a driven timing gear 56b mounted to the shaft 53, and a prime mover. A timing belt 56c is wound around the timing gear 56a and the driven timing gear 56b.

도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 로터리인코더(57)는 광을 발광하는 발광센서(57a)와, 이 발광센서(57a)로부터 투사되는 광을 수광하는 수광센서(57b)와, 그리고 발광센서(57a)와 수광센서(57b) 사이에 배치되도록 샤프트(53)에 장착되어 있으며 광축에 정렬되는 슬릿(57c)을 갖는 로터리디스크(57d)로 구성되어 있다. 도 7 에는 샤프트(53)의 회전각도에 따라 유리기판(1)의 수평위치와 경사위치를 제어할 수 있도록 4개의 로터리인코더(57)가 설치되어 있는 것이 도시되어 있으나 로터리인코더(57)의 숫자는 적절하게 변경할 수 있다. 본 실시예에 있어서 틸팅장치(50)는 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 유리기판(1)을 수직축선(58)에 대하여 5∼20° 정도의 경사각도(θ)로 틸팅시키며, 바람직하기로는 10° 정도의 경사각도(θ)로 틸팅시킨다. As shown in Fig. 7, the rotary encoder 57 includes a light emitting sensor 57a for emitting light, a light receiving sensor 57b for receiving light projected from the light emitting sensor 57a, and a light emitting sensor ( It consists of a rotary disk 57d having a slit 57c mounted on the shaft 53 so as to be disposed between the 57a) and the light receiving sensor 57b and aligned with the optical axis. 7 shows that four rotary encoders 57 are installed to control the horizontal position and the inclined position of the glass substrate 1 according to the rotation angle of the shaft 53. However, the number of the rotary encoders 57 is shown. Can be changed as appropriate. In the present embodiment, the tilting device 50 tilts the glass substrate 1 at an inclination angle θ of about 5 to 20 degrees with respect to the vertical axis 58, as shown in FIG. Tilt at an inclination angle θ of about 10 °.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 이송시스템은 유리기판(1)의 하단 (1a)을 지지하여 이송시키는 경사이송장치(60)를 구비하며, 경사이송장치(60)의 제3 컨베이어(61)는 틸팅장치(50)의 틸팅프레임(51)에 제1 컨베이어(21)와 평행하도록 설치되어 있다. 제3 컨베이어(61)의 컨베이어프레임(61a)은 틸팅장치(50)의 틸팅프레임(51)에 제1 컨베이어(21)와 근접하도록 유리기판(1)의 이송방향(2)을 따라 평행하게 설치되어 있으며, 컨베이어프레임(61a)에는 유리기판(1)의 다수의 롤러(61b)들이 샤프트(61c)를 중심으로 일정한 간격을 두고 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. 롤러(61b)들의 외면에는 유리기판(1)의 하단(1a)을 안정적으로 수용하여 이탈을 방지할 수 있는 "V"자형 홈(61d)이 형성되어 있다. 1 to 4, the conveying system of the present invention includes an inclined conveying apparatus 60 for supporting and transporting a lower end 1a of the glass substrate 1, and a third conveyor of the inclined conveying apparatus 60. 61 is installed in the tilting frame 51 of the tilting device 50 in parallel with the first conveyor 21. The conveyor frame 61a of the third conveyor 61 is installed parallel to the tilting frame 51 of the tilting device 50 along the conveying direction 2 of the glass substrate 1 so as to be close to the first conveyor 21. In the conveyor frame 61a, a plurality of rollers 61b of the glass substrate 1 are mounted to rotate freely at regular intervals about the shaft 61c. On the outer surface of the rollers 61b, a “V” shaped groove 61d is formed to stably receive the lower end 1a of the glass substrate 1 and prevent the separation thereof.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 제3 컨베이어(61)의 롤러(61b)들은 제3 구동장치(62)의 작동에 의하여 회전된다. 제3 구동장치(62)는 구동력을 제공하는 서보모터(63)와, 서보모터(63)의 구동에 의하여 자유롭게 회전할 수 있도록 롤러(61b)들에 근접하여 컨베이어프레임(61a)의 길이방향을 따라 장착되어 있는 샤프트(64)와, 샤프트(64)의 회전력을 제3 컨베이어(61)의 롤러(61b)들 각각에 전달하는 기어장치 (65)로 구성되어 있다. 기어장치(65)는 롤러(61b)들 각각에 근접하는 위치의 샤프트(64)에 장착되어 있는 다수의 원동기어(65a)들과, 롤러(61b)들 각각의 샤프트 (61c)에 원동기어(65a)들과 이맞물림되도록 장착되어 있는 다수의 종동기어(65b)들로 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서 제3 컨베이어(61)는 제3 구동장치(62)에 의하여 회전할 수 있도록 컨베이어프레임(61a)의 일측에 장착되는 원동풀리와, 컨베이어프레임(61a)의 타측에 장착되는 구동풀리와, 원동풀리와 구동풀리에 감아걸리 는 벨트로 구성할 수도 있다. 또한, 제3 구동장치(62)의 샤프트(64)와 기어장치 (65)는 서보모터(63)의 구동력을 롤러(61b)들에 전달하는 벨트전동장치로 대신할 수도 있다.2 to 5, the rollers 61b of the third conveyor 61 are rotated by the operation of the third driving device 62. The third drive device 62 is a servo motor 63 providing a driving force, and the longitudinal direction of the conveyor frame 61a in close proximity to the rollers 61b so as to be free to rotate by the drive of the servomotor 63. It consists of the shaft 64 attached along, and the gear device 65 which transmits the rotational force of the shaft 64 to each of the rollers 61b of the 3rd conveyor 61. As shown in FIG. The gear device 65 includes a plurality of motive gears 65a mounted on the shaft 64 in a position proximate to each of the rollers 61b, and a motive gear on the shaft 61c of each of the rollers 61b. It consists of a plurality of driven gears 65b which are mounted to mesh with 65a). In the present embodiment, the third conveyor 61 is a driving pulley mounted on one side of the conveyor frame 61a so as to be rotated by the third driving device 62, and a drive mounted on the other side of the conveyor frame 61a. It can also consist of a pulley, a belt that is wound around a motive pulley and a driving pulley. In addition, the shaft 64 and the gear device 65 of the third drive device 62 may be replaced by a belt drive that transmits the driving force of the servomotor 63 to the rollers 61b.

도 2 내지 도 5와 도 8을 참조하면, 본 발명의 이송시스템은 제1 컨베이어 (21)와 제2 컨베이어(22) 사이의 간격을 조절할 수 있도록 제1 컨베이어(21)에 대하여 제2 컨베이어(22)를 운동시키는 간격조절장치(70)를 구비하며, 간격조절장치 (70)에 의하여 제1 컨베이어(21)와 제2 컨베이어(22)의 간격을 조절하는 것에 의해서는 크기가 다른 유리기판(1)의 하단(1a)과 상단(1b)을 지지하여 이송시킬 수 있다. 간격조절장치(70)는 틸팅프레임(51)의 상부에 자유롭게 회전할 수 있도록 서로 평행하게 장착되어 있는 제1 및 제2 리드스크루(Lead screw: 71a, 71b)와, 제1 및 제2 리드스크루(71a, 71b)를 따라 나사운동할 수 있도록 장착되어 있으며 제2 컨베이어(22)의 컨베이어프레임(22a)에 고정되어 있는 볼부시(Ball bush: 72)와, 컨베이어프레임(22a)의 직선운동을 가이드하는 리니어모션가이드(Linear motion guide: 73)와, 제1 및 제2 리드스크루(71a, 71b)를 회전시킬 수 있는 구동력을 제공하는 서보모터(74)와, 서보모터(74)의 구동력을 제1 및 제2 리드스크루(71a, 71b)에 전달하는 제5 벨트전동장치(75)로 구성되어 있다.2 to 5 and 8, the transfer system of the present invention is a second conveyor (1) relative to the first conveyor 21 to adjust the distance between the first conveyor 21 and the second conveyor (22) 22 is provided with a gap adjusting device 70 for moving the glass substrate, and by adjusting the gap between the first conveyor 21 and the second conveyor 22 by the gap adjusting device 70 ( The lower end 1a and the upper end 1b of 1) can be supported and transported. The gap adjusting device 70 includes first and second lead screws 71a and 71b mounted parallel to each other so as to freely rotate on an upper portion of the tilting frame 51, and the first and second lead screws. Ball bush 72 is mounted to be screwed along (71a, 71b) and fixed to the conveyor frame 22a of the second conveyor 22, and the linear motion of the conveyor frame 22a The linear motion guide 73 for guiding, the servomotor 74 for providing the driving force for rotating the first and second lead screws 71a and 71b, and the driving force for the servomotor 74 are measured. It consists of the 5th belt transmission apparatus 75 which transmits to the 1st and 2nd lead screws 71a and 71b.

제1 및 제2 리드스크루(71a, 71b)의 선단은 틸팅프레임(51)에 장착되는 마운팅브래킷(76)의 베어링(77)에 지지되어 있다. 리니어모션가이드(73)는 제2 컨베이어(22)의 직선운동을 허용할 수 있도록 제2 컨베이어(22)의 컨베이어프레임(22a)과 마운팅브래킷(76)을 관통하여 서로 평행하도록 설치되는 복수의 가이드바(73a)들 과, 제2 컨베이어(22)의 컨베이어프레임(22a)과 가이드바(73a)들 사이에 개재되어 있는 볼부시(73b)로 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서 리니어모션가이드(73)는 틸팅프레임(51)의 상면에 평행하게 장착되는 한쌍의 가이드레일들과, 이 가이드레일들을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 컨베이어프레임(22a)의 하면에 장착되는 한쌍의 슬라이드들로 구성할 수 있다. Front ends of the first and second lead screws 71a and 71b are supported by bearings 77 of the mounting bracket 76 mounted on the tilting frame 51. The linear motion guide 73 passes through the conveyor frame 22a and the mounting bracket 76 of the second conveyor 22 so as to allow linear movement of the second conveyor 22. The bar 73a and the ball bush 73b interposed between the conveyor frame 22a of the second conveyor 22 and the guide bars 73a. In this embodiment, the linear motion guide 73 is mounted on a pair of guide rails mounted parallel to the upper surface of the tilting frame 51 and on the lower surface of the conveyor frame 22a so as to slide along the guide rails. It can consist of a pair of slides.

제5 벨트전동장치(75)는 서보모터(74)의 구동에 의하여 회전되는 원동풀리 (75a)와, 제1 및 제2 리드스크루(71a, 71b) 각각에 장착되어 있는 제1 및 제2 종동풀리(75b, 75c)와, 원동풀리(75a)와 제1 종동풀리(75b)에 감아걸리는 제1 벨트 (75d)와, 제1 및 제2 종동풀리(75b, 75d)에 감아걸리는 제2 벨트(75e)로 구성되어 있다. 도 2, 도 4와 도 5에는 제1 및 제2 리드스크루(71a, 71b)와 3개의 가이드바 (73a)들이 번갈아 장착되어 있는 것이 도시되어 있으나 가이드바(73a)들의 숫자는 적절하게 변경할 수 있다.The fifth belt transmission device 75 includes a first pulley 75a which is rotated by the drive of the servomotor 74 and first and second driven members mounted on the first and second lead screws 71a and 71b, respectively. Pulleys 75b and 75c, first belt 75d wound around prime pulley 75a and first driven pulley 75b, and second belt wound around first and second driven pulleys 75b and 75d. It consists of 75e. 2, 4 and 5 show that the first and second lead screws 71a and 71b and the three guide bars 73a are alternately mounted, but the number of guide bars 73a can be changed as appropriate. have.

도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 이송시스템은 유리기판(1)의 연속적인 이송을 위하여 시스템보디(10)의 상류에 설치되는 진입측 수평이송장치(80)와, 시스템보디(10)의 하류에 설치되는 배출측 경사이송장치(90)를 구비한다. 진입측 수평이송장치(80)는 세정스테이션으로부터의 유리기판(1)을 수평으로 이송시킬 수 있도록 수평이송장치(20)의 제1 및 제2 컨베이어(21, 22)와 동일한 컨베이어(81, 82)로 구성할 수 있다. 배출측 경사이송장치(90)는 경사이송장치(61)로부터 유리기판 (1)을 인수하여 경사지게 이송시킬 수 있도록 에어플로팅장치(40)의 에어블로잉파이프(41)들, 경사이송장치(60)의 제3 컨베이어(61)와 동일한 에어블로잉파이프(91) 와 컨베이어(92)로 구성할 수 있다. 1 and 2, the transfer system of the present invention is an entry-side horizontal transfer device 80 and the system body 10 installed upstream of the system body 10 for the continuous transfer of the glass substrate (1) It is provided with a discharge side inclined feeder 90 is installed downstream. The entry side horizontal transfer apparatus 80 is the same conveyor 81 and 82 as the first and second conveyors 21 and 22 of the horizontal transfer apparatus 20 so as to horizontally transfer the glass substrate 1 from the cleaning station. ) Can be configured. The discharge side inclined feeder 90 receives the glass substrate 1 from the inclined feeder 61 and inclinedly conveys the air blowing pipes 41 and the inclined feeder 60 of the air floating apparatus 40. The same as the 3rd conveyor 61 of the air blowing pipe 91 and the conveyor 92 can be comprised.

도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명의 이송시스템은 시스템의 제어를 위한 제어수단으로 컨트롤러(100)를 구비하며, 컨트롤러(100)는 프로그램가능논리제어(Programmable logic control)에 의하여 수평이송장치(20), 스토핑유닛(30), 에어플로팅장치(40), 틸팅장치(50), 경사이송장치(60), 간격조절장치(70) 등 시스템의 작동을 제어한다. 컨트롤러(100)는 유리기판(1)의 이송라인에 구성되는 잘 알려진 컴퓨터와 인터페이스시키고, 컴퓨터의 네트워킹(Networking)에 의하여 이송라인 전체에서 유리기판(1)의 이송을 일괄적으로 제어하고 관리할 수 있다. As shown in FIG. 7, the transfer system of the present invention includes a controller 100 as a control means for controlling the system, and the controller 100 is a horizontal transfer apparatus by programmable logic control. 20, the stopper unit 30, the air floating device 40, the tilting device 50, the inclined feeder 60, the interval control device 70 and the like to control the operation of the system. The controller 100 interfaces with a well-known computer configured in the transfer line of the glass substrate 1 and collectively controls and manages the transfer of the glass substrate 1 in the entire transfer line by networking of the computer. Can be.

도 9와 도 10에는 본 발명의 이송시스템에 적용되는 다른 예의 수평이송장치가 도시되어 있다. 도 9와 도 10을 참조하면, 다른 예의 수평이송장치(120)는 틸팅장치(50)의 틸팅프레임(51)으로부터 분리되어 시스템보디(10)에 설치되는 제2 컨베이어(122)를 구비한다. 제2 컨베이어(122)의 컨베이어프레임(122a)은 시스템보디 (10)의 상부에 운동할 수 있도록 설치되어 있으며, 컨베이어프레임(122a)에는 유리기판(1)의 상단(1b) 가장자리를 지지하는 다수의 롤러(122b)들이 샤프트(122c)를 중심으로 일정한 간격을 두고 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. 롤러 (122b)들의 외면에는 유리기판(1)의 상단(1b)을 지지하여 정렬할 수 있도록 플랜지 (122d)가 형성되어 있다. 그리고 제1 및 제2 컨베이어(21, 122)의 롤러(21b, 122b)들은 구동력을 제공하는 구동장치(123)에 의하여 회전시킬 수 있으며, 구동장치 (123)는 앞에서 설명한 제3 구동장치(62)와 동일하게 구성할 수 있다. 구동장치 (123)의 구성과 작동의 설명은 제3 구동장치(62)의 구성과 작동을 참고로 한다.9 and 10 show another example of a horizontal transfer apparatus applied to the transfer system of the present invention. 9 and 10, another horizontal transfer device 120 includes a second conveyor 122 that is separated from the tilting frame 51 of the tilting device 50 and installed in the system body 10. The conveyor frame 122a of the second conveyor 122 is installed to move on the upper part of the system body 10, and the conveyor frame 122a supports a plurality of edges of the upper end 1b of the glass substrate 1. Rollers 122b are mounted to rotate freely at regular intervals about the shaft 122c. On the outer surface of the rollers 122b, a flange 122d is formed to support and align the upper end 1b of the glass substrate 1. The rollers 21b and 122b of the first and second conveyors 21 and 122 may be rotated by a driving device 123 providing a driving force, and the driving device 123 may be the third driving device 62 described above. ) Can be configured in the same way. Description of the configuration and operation of the drive device 123 refers to the configuration and operation of the third drive device (62).

수평이송장치(20)는 제1 컨베이어(21)에 대하여 제2 컨베이어(122)의 간격을 조절할 수 있도록 운동시키는 간격조절장치(170)를 구비한다. 간격조절장치(170)는 시스템보디(10)의 상면에 설치되어 구동력을 제공하는 서보모터(171)와, 서보모터 (171)의 구동에 의하여 회전하는 원동타이밍기어(172)와, 유리기판(1)의 이송방향 (2)의 폭방향으로 배치되어 있는 종동타이밍기어(173)와, 원동타이밍기어(172)와 종동타이밍기어(173)에 감아걸리는 타이밍벨트(174)와, 제2 컨베이어(122)의 컨베이어프레임(122a)과 타이밍벨트(174)를 고정시키는 조인트(175)와, 시스템보디(10)에 대하여 컨베이어프레임(122a)의 직선운동을 가이드하는 리니어모션가이드(176)로 구성되어 있다. 리니어모션가이드(176)는 시스템보디(10)의 상면에 유리기판(1)의 이송방향(2)의 폭방향으로 장착되어 있는 한쌍의 가이드레일(176a)과, 이 가이드레일(176a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 컨베이어프레임(122a)의 하면에 장착되어 있는 한쌍의 슬라이드(176b)로 구성되어 있다. The horizontal transfer apparatus 20 includes a gap adjusting device 170 that moves to adjust the gap of the second conveyor 122 with respect to the first conveyor 21. The interval adjusting device 170 is installed on the upper surface of the system body 10 to provide a driving force, a servo motor 171, a motive timing gear 172 rotating by driving the servo motor 171, and a glass substrate ( 1, the timing belt 174 wound around the driven timing gear 173, the driven timing gear 172 and the driven timing gear 173 arranged in the width direction of the conveying direction 2 of 1), and the 2nd conveyor ( A joint 175 for fixing the conveyor frame 122a and the timing belt 174 of the 122 and a linear motion guide 176 for guiding the linear motion of the conveyor frame 122a with respect to the system body 10. have. The linear motion guide 176 is provided with a pair of guide rails 176a mounted on the upper surface of the system body 10 in the width direction of the transfer direction 2 of the glass substrate 1 and along the guide rails 176a. It is composed of a pair of slides (176b) mounted on the lower surface of the conveyor frame (122a) to allow the sliding movement.

지금부터는 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 유리기판의 이송시스템에 대한 작용을 설명한다.The following describes the operation of the glass substrate transfer system according to the present invention having such a configuration.

도 1, 도 2와 도 5를 참조하면, 틸팅장치(50)의 틸팅프레임(51)이 수평으로 유지되어 제1 및 제2 컨베이어(21, 22)의 롤러(21b, 22b)들이 동일 평면에 배치되어 있는 상태에서 진입측 수평이송장치(80)의 컨베이어(81, 82)에 의하여 수평으로 이송되는 유리기판(1)은 제1 및 제2 컨베이어(21, 22)로 인계되고, 유리기판(1)의 하단(1a)과 상단(1b) 가장자리는 최상류 롤러(21b-1, 22b-1)에 지지된다. 제1 구동장치(23)의 서보모터(24)가 구동되면, 서보모터(24)의 구동력은 제1 벨트전동장치 (26)의 원동풀리(26a), 종동풀리(26b)와 벨트(26c)에 의하여 원동샤프트(25)에 전달되며, 원동샤프트(25)는 최하류 롤러(21b-2, 22b-2)를 회전시킨다. 최하류 롤러 (21b-2, 22b-2)의 회전력은 제2 벨트전동장치(27)들의 원동풀리(27a)들, 종동풀리 (27b)들, 벨트(27c)들과 제3 벨트전동장치(28)의 원동풀리(28a), 종동풀리(28b)들, 벨트(28c)에 의하여 롤러(21b, 22b)들 각각에 전달되고, 회전되는 롤러(21b, 22b)들은 유리기판(1)을 구름운동에 의하여 수평으로 이송시킨다. 1, 2 and 5, the tilting frame 51 of the tilting device 50 is kept horizontal so that the rollers 21b and 22b of the first and second conveyors 21 and 22 are in the same plane. The glass substrate 1, which is horizontally transferred by the conveyors 81 and 82 of the entry-side horizontal transfer apparatus 80 in the state of being disposed, is turned over to the first and second conveyors 21 and 22, and the glass substrate ( The edges of the lower end 1a and the upper end 1b of 1) are supported by the most upstream rollers 21b-1 and 22b-1. When the servomotor 24 of the first drive device 23 is driven, the driving force of the servomotor 24 is driven by the driven pulley 26a, driven pulley 26b and belt 26c of the first belt transmission device 26. Is transmitted to the prime shaft 25, and the prime shaft 25 rotates the downstream rollers 21b-2 and 22b-2. The rotational force of the most downstream rollers 21b-2 and 22b-2 is driven by the pulleys 27a, the driven pulleys 27b, the belts 27c and the third belt transmission device (27) of the second belt transmission devices (27). It is transmitted to each of the rollers 21b and 22b by the prime pulley 28a, the driven pulleys 28b, and the belt 28c of 28, and the rotating rollers 21b and 22b roll the glass substrate 1. It moves horizontally by movement.

한편, 도 6a 및 도 6b에 도시되어 있는 바와 같이, 에어공급장치(43)의 에어블로워(44)가 작동되어 에어플로팅장치(40)의 에어블로잉파이프(41)들에 공기를 공급하면, 유리기판(1)은 에어블로잉파이프(41)들의 노즐구멍(41a)들을 통하여 블로잉되는 공기력에 의하여 제1 및 제2 컨베이어(21, 22)의 롤러(21b, 22b)들로부터 예를 들어 0.5mm 정도 부양되면서 이송된다. 따라서, 유리기판(1)은 하단(1a)과 상단(1b)을 제외한 부분의 물리적 접촉이 없는 상태로 이송시킬 수 있으므로, 물리적 접촉에 의하여 유리기판(1)에 발생하는 결점, 예를 들어 긁힘, 크랙 등을 효과적으로 방지할 수 있다. 그리고 대형 유리기판(1), 예를 들어 세로(mm)×가로(mm)의 크기가 730×920 정도 이상인 유리기판(1)의 휨변형을 효과적으로 방지할 수 있다.6A and 6B, when the air blower 44 of the air supply device 43 is operated to supply air to the air blowing pipes 41 of the air floating device 40, the glass The substrate 1 is, for example, about 0.5 mm from the rollers 21b and 22b of the first and second conveyors 21 and 22 by the air force blown through the nozzle holes 41a of the air blowing pipes 41. It is transported as a flotation. Therefore, since the glass substrate 1 can be transported without the physical contact of the portions except the lower end 1a and the upper end 1b, defects occurring in the glass substrate 1 due to physical contact, for example, scratches And cracks can be effectively prevented. In addition, it is possible to effectively prevent bending deformation of the large glass substrate 1, for example, the glass substrate 1 having a size of about 730 × 920 or more in length (mm) × width (mm).

도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 수평이송장치(20)의 제1 및 제2 컨베이어 (21, 22)와 에어플로팅장치(40)에 의하여 수평으로 이송되던 유리기판(1)의 이송방향선단은 구속위치에 위치되어 있는 스토핑유닛(30)의 스토퍼(31)에 걸려 정지되고, 제1 구동장치(23)의 서보모터(24)는 정지된다. 제2 구동장치(54)의 서보모터 (55)가 구동되면, 서보모터(55)의 구동력은 제4 벨트전동장치(56)의 원동타이밍기 어(56a), 종동타이밍기어(56b)와 타이밍벨트(56c)에 의하여 샤프트(53)에 전달되고, 베어링(52)에 지지되어 회전되는 샤프트(53)는 틸팅프레임(51)을 도 3에 화살표 "A"로 나타낸 바와 같이 수평위치에서 경사위치로 틸팅시킨다. 도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 샤프트(53)의 회전각도는 로터리인코더(57)에 의하여 검출되며, 로터리인코더(57)의 검출신호는 컨트롤러(100)에 입력된다. 컨트롤러(100)는 로터리인코더(57)로부터 입력되는 검출신호에 따라 모터(44a)의 구동속도를 제어하여 블로잉파이프(41)들의 노즐구멍(41a)들을 통하여 블로잉되는 공기력을 제어한다. 즉, 틸팅장치(50)의 틸팅운동에 의하여 경사지게 세워지는 유리기판(1)이 제1 및 제2 컨베이어(21, 22)로부터 이탈되지 않도록 유리기판(1)의 경사각도(θ)에 대응하도록 공기력을 점진적으로 감소시킨다. As shown in FIG. 2, the feed direction front ends of the glass substrates 1 horizontally transferred by the first and second conveyors 21 and 22 and the air floating apparatus 40 of the horizontal transfer apparatus 20 are The stopper 31 of the stopping unit 30 positioned at the restraint position is caught and stopped, and the servomotor 24 of the first drive device 23 is stopped. When the servomotor 55 of the second drive device 54 is driven, the driving force of the servomotor 55 is timing with the motive timing gear 56a and the driven timing gear 56b of the fourth belt transmission device 56. The shaft 53, which is transmitted to the shaft 53 by the belt 56c and is supported and rotated by the bearing 52, tilts the tilting frame 51 in the horizontal position as indicated by the arrow " A " Tilt with. As shown in FIG. 7, the rotation angle of the shaft 53 is detected by the rotary encoder 57, and the detection signal of the rotary encoder 57 is input to the controller 100. The controller 100 controls the driving speed of the motor 44a according to the detection signal input from the rotary encoder 57 to control the air force blown through the nozzle holes 41a of the blowing pipes 41. That is, the glass substrate 1, which is erected inclined by the tilting motion of the tilting device 50, corresponds to the inclination angle θ of the glass substrate 1 such that the glass substrate 1 does not escape from the first and second conveyors 21 and 22. Gradually decrease the aerodynamic force.

도 3과 도 4를 참조하면, 틸팅장치(50)의 틸팅운동에 의하여 경사지게 세워지는 유리기판(1)은 자중에 의하여 제1 및 제2 컨베이어(21, 22)의 롤러(21b, 22b)들을 타고 슬라이딩되면서 하강된다. 하강되는 유리기판(1)의 하단은 제3 컨베이어 (61)의 롤러(61b)들에 형성되어 있는 홈(61d)에 수용되면서 지지된다. 이때, 유리기판(1)의 유리기판(1)의 하단(1a)과 상단(1b) 가장자리는 하단(1a)과 상단(1b)으로부터 제1 컨베이어(21)의 롤러(21b)들에 척킹영역으로 허용되어 있는 8mm 이내의 범위에서 접촉된다. 3 and 4, the glass substrate 1 erected inclined by the tilting motion of the tilting device 50 may move the rollers 21b and 22b of the first and second conveyors 21 and 22 by its own weight. Sliding down the boat. The lower end of the lowered glass substrate 1 is supported while being accommodated in the groove 61d formed in the rollers 61b of the third conveyor 61. At this time, the edges of the lower end 1a and the upper end 1b of the glass substrate 1 of the glass substrate 1 are chucked from the lower end 1a and the upper end 1b to the rollers 21b of the first conveyor 21. Contact is made within the range of 8mm allowed.

도 1과 도 3을 참조하면, 제3 컨베이어(61)의 롤러(61b)들에 유리기판(1)의 하단(1a)이 지지되면, 컨트롤러(100)의 제어에 의하여 스토핑유닛(30)의 액츄에이터(32)가 구동되어 스토퍼(31)를 구속위치로부터 해제위치로 회전시킨다. 제3 구동 장치(62)의 서보모터(63)가 구동되면, 서보모터(63)의 구동에 의하여 샤프트(64)가 회전된다. 샤프트(64)의 회전력은 기어장치(65)의 원동기어(65a)들과 종동기어 (65b)들에 의하여 제3 컨베이어(61)의 롤러(61b)들에 전달되고, 회전하는 롤러 (61b)들은 구름운동에 의하여 경사지게 세워져 있는 유리기판(1)을 하류로 이송한다. 1 and 3, when the lower end 1a of the glass substrate 1 is supported by the rollers 61b of the third conveyor 61, the stopper unit 30 is controlled by the controller 100. Actuator 32 is driven to rotate the stopper 31 from the restraint position to the release position. When the servomotor 63 of the third driving device 62 is driven, the shaft 64 is rotated by the driving of the servomotor 63. The rotational force of the shaft 64 is transmitted to the rollers 61b of the third conveyor 61 by the motive gears 65a and the driven gears 65b of the gear device 65 and rotates the roller 61b. They convey the glass substrate (1) which is inclined by the rolling motion downstream.

다음으로, 경사이송장치(60)의 제3 컨베이어(61)에 의하여 이송되는 유리기판(1)은 시스템보디(10)의 하류에 연속하는 배출측 경사이송장치(90)에 인수되고, 배출측 경사이송장치(90)는 에어블로잉파이프(91)와 컨베이어(92)에 의하여 유리기판(1)을 검사스테이션으로 이송한다. 이와 같이 시스템보디(10)의 상류에서 수평으로 인수받은 유리기판(1)을 경사지게 세워져 하류에 인계하는 이송동작에 의하여 세정스테이션과 검사스테이션 사이에서 유리기판(1)의 흐름을 단절됨이 없이 연속적으로 유지할 수 있으므로, 유리기판(1)의 생산성을 향상시킬 수 있다.Next, the glass substrate 1 conveyed by the third conveyor 61 of the inclined feeder 60 is taken over by the discharge side inclined feeder 90 which is downstream of the system body 10 and discharged. The inclined feeder 90 transfers the glass substrate 1 to the inspection station by the air blowing pipe 91 and the conveyor 92. In this way, the glass substrate 1 received horizontally upstream of the system body 10 is inclined to be turned upside down, so that the flow of the glass substrate 1 between the cleaning station and the inspection station is continuously maintained without being interrupted. Since it can hold | maintain, productivity of the glass substrate 1 can be improved.

도 4와 도 5를 참조하면, 본 발명의 검사시스템에 의하여 유리기판(1)의 크기를 변경하여 이송하고자 할 경우에는, 유리기판(1)의 크기에 부합하도록 제1 컨베이어(21)과 제2 컨베이어(22) 사이의 간격을 간격조절장치(70)에 의하여 조절하는 잡체인지를 실시한다. 간격조절장치(70)의 서보모터(74)가 구동되면, 서보모터 (74)의 구동력은 제5 벨트전동장치(75)의 원동풀리(75a), 제1 및 제2 종동풀리 (75b, 75c)와 제1 및 제2 벨트(75d, 75e)에 의하여 제1 및 제2 리드스크루(71a, 71b)에 전달된다. 제1 및 제2 리드스크루(71b, 71b)는 마운팅브래킷(76)의 베어링 (77)에 지지되어 회전되고, 회전되는 제1 및 제2 리드스크루(71b, 71b)를 따라 나 사운동하는 볼부시(72)는 제1 컨베이어(21)에 대하여 제2 컨베이어(22)를 운동시켜 제1 및 제2 컨베이어(21, 22) 사이의 간격을 조절한다. 이때, 리니어모션가이드 (73)의 볼부시(73b)들은 가이드바(73a)들을 따라 슬라이딩운동되면서 제2 컨베이어 (22)의 직선운동을 안내한다. 이와 같이 유리기판(1)의 크기에 부합하도록 제1 및 제2 컨베이어(21, 22) 사이의 간격을 조절하는 잡체인지에 의하여 유연성생산시스템으로의 전환을 매우 간편하고 효율적으로 실시할 수 있다.4 and 5, when changing the size of the glass substrate 1 by the inspection system of the present invention, the first conveyor 21 and the first conveyor 21 to match the size of the glass substrate (1) 2 It is carried out the miscellaneous material which adjusts the space | interval between the conveyors 22 by the space adjusting device 70. When the servomotor 74 of the gap adjusting device 70 is driven, the driving force of the servomotor 74 is driven by the driven pulley 75a, first and second driven pulleys 75b, 75c of the fifth belt transmission 75. ) And the first and second belts 75d and 75e are transmitted to the first and second lead screws 71a and 71b. The first and second lead screws 71b and 71b are supported by the bearing 77 of the mounting bracket 76 and rotated, and the balls move along the rotated first and second lead screws 71b and 71b. The bush 72 adjusts the distance between the first and second conveyors 21 and 22 by moving the second conveyor 22 with respect to the first conveyor 21. At this time, the ball bushes 73b of the linear motion guide 73 guide the linear motion of the second conveyor 22 while sliding along the guide bars 73a. In this way, the switch to the flexible production system can be carried out very easily and efficiently by a miscellaneous material which adjusts the distance between the first and second conveyors 21 and 22 to match the size of the glass substrate 1.

도 9와 도 10을 참조하면, 틸팅장치(50)의 틸팅운동에 의해서는 틸팅프레임 (51)에 탑재되어 있는 제1 컨베이어(21), 에어플로팅장치(40)의 에어블로잉파이프 (41)들과 제3 컨베이어(61)가 틸팅되고, 제2 컨베이어(122)는 시스템보디(10)에 고정되어 있게 된다. 제2 컨베이어(122)의 롤러(122b)들에 형성되어 있는 플랜지 (122d)에는 제1 및 제2 컨베이어(21, 122)의 롤러(21b, 122b)들의 구름운동에 의하여 이송되는 유리기판(1)의 상단(1b)이 지지되어 정렬된다. 9 and 10, by the tilting motion of the tilting device 50, the first conveyor 21 mounted on the tilting frame 51 and the air blowing pipes 41 of the air floating device 40. And the third conveyor 61 is tilted, and the second conveyor 122 is fixed to the system body 10. The glass substrate 1 conveyed by the rolling motion of the rollers 21b and 122b of the first and second conveyors 21 and 122 to the flange 122d formed on the rollers 122b of the second conveyor 122. The top 1b of) is supported and aligned.

간격조절장치(170)의 서보모터(171)가 구동되어 원동타이밍기어(172)가 회전되면, 원동타이밍기어(172)와 종동타이밍기어(173)에 감아걸려 있는 타이밍벨트 (174)가 주행되고, 주행되는 타이밍벨트(174)와 조인트(175)에 의하여 연결되어 있는 제2 컨베이어(122)의 컨베이어프레임(122a)이 도 9의 화살표 "B"로 나타낸 바와 같이 타이밍벨트(174)와 함께 연동된다. 리이어모션가이드(176)의 슬라이드(176b)는 가이드레일(176a)을 따라 슬라이딩운동되면서 제2 컨베이어(122)의 직선운동을 가이드한다. 따라서, 유리기판(1)의 크기에 부합하도록 제1 및 제2 컨베이어(21, 122) 사이의 간격을 조절하는 잡체인지를 간편하고 효율적으로 실시할 수 있다.When the servomotor 171 of the gap adjusting device 170 is driven to rotate the prime timing gear 172, the timing belt 174 wound around the prime timing gear 172 and the driven timing gear 173 is driven. In addition, the conveyor frame 122a of the second conveyor 122 connected by the driving timing belt 174 and the joint 175 is interlocked with the timing belt 174 as indicated by the arrow “B” of FIG. 9. do. The slide 176b of the rear motion guide 176 slides along the guide rail 176a and guides the linear motion of the second conveyor 122. Therefore, it is possible to easily and efficiently carry out a miscellaneous material for adjusting the gap between the first and second conveyors 21 and 122 to match the size of the glass substrate 1.

이상의 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다. The above embodiments are merely illustrative of preferred embodiments of the present invention, and the scope of the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications may be made by those skilled in the art within the technical spirit and claims of the present invention. Modifications, variations, or substitutions may be made, and such embodiments are to be understood as being within the scope of the present invention.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 유리기판의 이송시스템에 의하면, 세정스테이션에서 수평으로 로딩되는 유리기판을 검사스테이션으로 경사지게 세워서 연속적으로 언로딩시킬 수 있으며, 유리기판의 물리적 접촉을 최소화할 수 있으면서도 유리기판의 자세를 수평상태에서 경사상태로 안정적이고 원활하게 전환시킬 수 있는 구조에 의하여 하여 유리기판의 이송라인을 인라인으로 구성할 수 있다. 또한, 간편한 잡체인지에 의하여 다양한 크기의 유리기판을 검사할 수 있는 유연성생산시스템으로의 전환을 매우 간편하고 효율적으로 실시할 수 있다. 그리고 유리기판의 이송라인을 인라인화하여 생산성을 향상시키고, 레이아웃을 단순화시켜 생산비를 크게 절감할 수 있다.As described above, according to the transfer system of the glass substrate according to the present invention, the glass substrate loaded horizontally in the cleaning station can be unloaded continuously by inclining the inspection station, while minimizing physical contact of the glass substrate. By the structure that can stably and smoothly switch the position of the glass substrate from the horizontal state to the inclined state, the transfer line of the glass substrate can be configured inline. In addition, it is possible to perform a very simple and efficient conversion to a flexible production system that can inspect glass substrates of various sizes by a simple miscellaneous paper. In addition, the production line of glass substrates can be inlined to improve productivity, and layout can be simplified to greatly reduce production costs.

Claims (13)

  1. 유리기판의 이송방향을 따라 설치되어 있는 시스템보디와;A system body installed along the conveying direction of the glass substrate;
    상기 시스템보디의 전방에 상기 유리기판의 이송방향을 따라 설치되며, 상기 유리기판의 일단 가장자리를 지지하는 다수의 롤러들을 갖는 제1 컨베이어와;A first conveyor installed along the conveying direction of the glass substrate in front of the system body and having a plurality of rollers supporting one edge of the glass substrate;
    상기 시스템보디의 후방에 상기 제1 컨베이어와 평행하도록 설치되고, 상기 제1 컨베이어와 협동하여 상기 유리기판을 수평으로 이송시킬 수 있도록 상기 유리기판의 타단 가장자리를 지지하는 다수의 롤러들을 갖는 제2 컨베이어와;A second conveyor installed at the rear of the system body in parallel with the first conveyor and having a plurality of rollers supporting the other end edge of the glass substrate so as to cooperate with the first conveyor to horizontally transport the glass substrate; Wow;
    상기 제1 및 제2 컨베이어의 롤러들을 회전시키는 제1 구동수단과;First driving means for rotating the rollers of the first and second conveyors;
    상기 제1 및 제2 컨베이어 사이에 상기 유리기판의 이송방향을 따라 공기를 블로잉하여 상기 유리기판을 부양시킬 수 있도록 설치되는 복수의 에어블로잉파이프와;A plurality of air blowing pipes installed between the first and second conveyors so as to support the glass substrates by blowing air along the conveying direction of the glass substrates;
    상기 제1 및 제2 컨베이어에 놓여지는 상기 유리기판을 경사지게 세울 수 있도록 상기 제1 및 제2 컨베이어, 제1 구동수단과 에어블로잉파이프를 틸팅시키는 틸팅수단과;Tilting means for tilting the first and second conveyors, the first driving means and the air blowing pipe to tilt the glass substrates placed on the first and second conveyors;
    상기 틸팅수단에 경사지게 세워지는 상기 유리기판의 하단을 다수의 롤러들에 의하여 지지하여 이송시킬 수 있도록 설치되는 제3 컨베이어를 갖는 경사이송수단과;An inclined conveying means having a third conveyor installed to support and transport a lower end of the glass substrate which is inclined to the tilting means by a plurality of rollers;
    상기 틸팅수단의 상부에 자유롭게 회전할 수 있도록 서로 평행하게 장착되는 제1 리드스크루 및 제2 리드스크루와, 상기 제1 및 제2 리드스크루를 따라 나사운동할 수 있도록 각각 장착되며 상기 제2 컨베이어에 고정되는 볼부시들과, 상기 제2 컨베이어의 직선운동을 가이드하는 리니어모션가이드와, 상기 틸팅수단에 장착되어 구동력을 제공하는 서보모터와, 상기 서보모터의 구동력을 상기 제1 및 제2 리드스크루에 전달하는 제5 벨트전동장치로 구성되어 상기 제1 및 제2 컨베이어 사이의 간격을 조절할 수 있도록 상기 제1 컨베이어에 대하여 상기 제2 컨베이어를 직선운동시키는 간격조절수단으로 이루어지는 유리기판의 이송시스템.A first lead screw and a second lead screw mounted in parallel with each other so as to freely rotate on an upper portion of the tilting means, and mounted on the second conveyor so as to be screwed along the first and second lead screws. The first and second lead screws are provided with fixed ball bushes, a linear motion guide for guiding the linear motion of the second conveyor, a servo motor mounted on the tilting means to provide a driving force, and a driving force of the servo motor. And a fifth belt transmission device configured to transfer the glass substrate to the first conveyor and the second conveyor to adjust linearly the second conveyor with respect to the first conveyor so as to adjust the distance between the first and second conveyors.
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  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 구동수단은,The method of claim 1, wherein the first drive means,
    상기 틸팅수단에 장착되어 구동력을 제공하는 서보모터와;A servo motor mounted to the tilting means to provide a driving force;
    상기 제1 및 제2 컨베이어를 가로질러 회전할 수 있도록 설치되는 원동샤프트와;A prime shaft installed to rotate across the first and second conveyors;
    상기 서보모터의 구동력을 상기 원동샤프트에 전달하는 제1 벨트전동장치와;A first belt transmission device for transmitting a driving force of the servomotor to the driving shaft;
    서로 인접하는 상기 제1 컨베이어의 롤러들에 상기 원동샤프트의 회전력을 번갈아 순차적으로 전달하는 다수의 제2 벨트전동장치들과;A plurality of second belt transmission devices which sequentially transfer rotational force of the prime shaft to rollers of the first conveyor adjacent to each other;
    상기 제2 컨베이어의 롤러들에 상기 원동샤프트의 회전력을 전달하는 제3 벨트전동장치로 구성되는 유리기판의 이송시스템.And a third belt transmission device for transmitting the rotational force of the prime shaft to the rollers of the second conveyor.
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  6. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 컨베이어에 의하여 이송되는 상기 유리기판을 구속하여 정렬시키는 스토핑유닛을 더 구비하며, 상기 스토핑유닛은 상기 제1 및 제2 컨베이어의 하류 양측에 상기 유리기판의 이송방향선단 양측을 구속할 수 있도록 각각 장착되어 있는 스토퍼와, 상기 유리기판의 이송을 구속하는 구속위치와 이송을 허용하는 해제위치 사이에서 상기 스토퍼를 회전운동시키는 액츄에이터로 구성되는 유리기판의 이송시스템.The method of claim 1, further comprising a stopper unit for restraining and aligning the glass substrate conveyed by the first and second conveyors, the stopping unit is provided on both sides of the downstream of the first and second conveyors; A glass substrate comprising a stopper mounted respectively to restrain both sides of the feed direction leading end of the glass substrate, and an actuator for rotating the stopper between a restraining position for restraining the transfer of the glass substrate and a release position for allowing the transfer. Transport system.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 에어플로팅수단은,The method of claim 1, wherein the air floating means,
    상기 틸딩수단의 상부에 상기 유리기판의 이송방향을 따라 설치되며, 상기 유리기판에 대하여 공기를 분출하는 다수의 노즐구멍이 길이방향을 따라 형성되는 복수의 에어블로잉파이프와;A plurality of air blowing pipes installed in an upper portion of the tilting means along a conveying direction of the glass substrate and having a plurality of nozzle holes for ejecting air with respect to the glass substrate along a longitudinal direction;
    상기 에어블로잉파이프에 공급되는 공기를 발생하는 에어블로워와;An air blower for generating air supplied to the air blowing pipe;
    상기 에어블로워로부터의 공기를 여과하여 상기 복수의 에어블로잉파이프에 공급하는 에어필터로 구성되는 유리기판의 이송시스템.And an air filter for filtering air from the air blower and supplying the air to the plurality of air blowing pipes.
  8. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 틸팅수단은,The method of claim 1 or 7, wherein the tilting means,
    상기 제1 및 제2 컨베이어와 상기 에어플로팅수단이 탑재되는 틸팅프레임과;A tilting frame on which the first and second conveyors and the air floating means are mounted;
    상기 시스템보디에 대하여 상기 틸팅프레임의 회전운동을 지지하는 샤프트와;A shaft supporting a rotational movement of the tilting frame with respect to the system body;
    상기 시스템보디에 장착되어 상기 샤프트를 회전시킬 수 있는 구동력을 제공하는 서보모터와, 상기 서보모터의 구동력을 상기 샤프트에 전달하는 제4 벨트전동장치를 갖는 제2 구동수단과;Second driving means mounted to the system body and having a servo motor for providing a driving force capable of rotating the shaft, and a fourth belt transmission device for transmitting the driving force of the servo motor to the shaft;
    상기 제2 구동수단의 서보모터를 제어할 수 있도록 상기 샤프트의 회전각도를 검출하는 로터리인코더로 구성되는 유리기판의 이송시스템.And a rotary encoder detecting a rotational angle of the shaft so as to control the servomotor of the second driving means.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 경사이송수단은 상기 틸팅수단에 장착되어 구동력을 제공하는 서보모터와, 상기 서보모터의 구동에 의하여 회전할 수 있도록 장착되는 샤프트와, 상기 샤프트의 회전력을 상기 제3 컨베이어의 롤러들에 전달하는 기어장치를 갖는 제3 구동수단을 더 구비하는 유리기판의 이송시스템.The third conveyor of claim 1, wherein the inclined transfer means comprises a servo motor mounted to the tilting means to provide a driving force, a shaft mounted to rotate by driving of the servo motor, and a rotational force of the shaft. And a third drive means having a gear device for transmitting to the rollers of the glass substrate.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 시스템보디의 상류에 배치되며 상기 제1 및 제2 컨베이어에 상기 유리기판을 수평으로 로딩하여 인계하는 컨베이어를 갖는 진입측 수평이송수단과, 상기 시스템보디의 하류에 배치되고 상기 경사이송수단으로부터 언로딩되는 상기 유리기판을 인수하는 에어블로잉파이프와 컨베이어를 갖는 배출측 경사이송수단을 더 구비하는 유리기판의 이송시스템.2. The apparatus of claim 1, further comprising: an entry-side horizontal transfer means disposed upstream of the system body and having a conveyor for horizontally loading the glass substrate onto the first and second conveyors and downstream of the system body; And a discharge side inclined conveying means having an air blowing pipe and a conveyor for receiving the glass substrate unloaded from the inclined conveying means.
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