KR100591589B1 - 진공흡착장치 및 그 구동방법 - Google Patents

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Abstract

흡착헤드를 전환밸브로 부압원과 정압원에 서로 접속함으로써, 이 흡착헤드로 경량의 작업물을 흡착하거나 해방하는 흡착장치에 있어서, 작업물을 해방하기 위해서 상기 전환밸브로 흡착헤드와 정압원을 접속했을 때, 상기 흡착헤드에 대기압과 동등이하이며 또한 상기 흡착헤드로부터 작업물이 자중으로 낙하하는 데에 필요한 크기의 해방압이 짧은 시간에 공급되도록 한다.

Description

진공흡착장치 및 그 구동방법{VACUUM SUCTION DEVICE AND DRIVING METHOD THEREOF}
도 1은 본 발명에 관한 진공흡착장치의 일실시예를 나타내는 모식도.
도 2는 종래의 진공흡착장치를 나타내는 모식도.
본 발명은 전자칩부품 등의 소형·경량의 작업물, 특히 5g이하인 경량의 작업물을 흡착해서 반송하기에 적합한 진공흡착장치 및 그 구동방법에 관한 것이다.
예를 들면, 반도체 제조관계의 후공정인 테스터나 실장기 등에 있어서는, 전자칩부품을 반송하기 위해서 진공흡착장치가 많이 사용되고 있지만, 요즘, 전자칩부품의 소형·경량화가 진행되고, 예를 들면 20g이하의 전자칩부품을 취급하는 경우가 대단히 많아지고 있고, 경우에 따라서는 O.1g 전후라는 초경량의 전자칩부품을 취급하는 경우도 많다. 이 때문에, 흡착장치의 응답 시간의 단축이나 정밀도의 향상에 대한 요구가 높아져 오고 있다.
도 2는 이러한 전자칩부품을 흡착해서 반송하기 위한 진공흡착장치(1)를 나타내고 있다. 이 흡착장치(1)는 부압의 작용에 의해 전자칩부품(W)을 흡착하는 흡 착헤드(2)와, 진공 펌프 등으로 이루어지는 부압원(3)과, 가압 펌프 등의 정압발생기구(6a) 및 감압밸브(6b)로 이루어지는 정압원(6)과, 이들 부압원(3) 및 정압원(6)을 흡착헤드(2)에 선택적으로 연통시키는 3위치 클로즈드 센터 타입의 더블 솔레노이드형 전자밸브(7)를 구비하고 있다. 그리고, 상기 정압원(6)과 전자밸브(7) 사이의 유로(8)는 교축밸브 등으로 이루어지는 교축장치(9)을 구비하고 있고, 상기 전자밸브(7)와 흡착헤드(2) 사이의 유로(1O)는 에어 중의 먼지를 제거하는 생크션(sanction) 필터(1Oa)를 구비하고 있다.
이러한 흡착장치(1)로 전자칩부품(W)을 반송할 때는, 우선, 전자밸브(7)를 전환하여 부압원(3)과 흡착헤드(2)를 연통시켜, 전자칩부품(W)을 이 흡착헤드(2)에 흡착시킨다. 그리고, 상기 전자칩부품(W)을 원하는 위치에 반송한 후, 이 전자칩부품(W)을 흡착헤드(2)로부터 이탈시키기 위해서, 전자밸브(7)를 전환하여 정압원(6)과 흡착헤드(2)를 연통시킨다. 그러나, 흡착헤드(2)에 정압원(6)으로부터 정압을 공급하면, 비록 그것이 저압이라도, 소형·경량화된 전자칩부품(W)이 흡착헤드(2)로부터 떨어지거나, 위치가 어긋나기 때문에, 이 전자칩부품(W)을 정확한 위치에 공급할 수 없다.
그러한 사태를 막기 위해서, 교축장치(9)로 정압 에어의 유량을 충분히 줄이거나, 정압원(6) 대신에 대기를 도입하는 것도 고려되지만, 흡착헤드(2)에 작용하는 압력이 상승할때 까지 시간이 걸리기 때문에, 전자밸브(7)가 전환되고 나서 전자칩부품(W)이 흡착헤드(2)로부터 이탈할 때까지의 응답 시간에 지연을 초래해 버린다.
그래서, 도 2에 나타내는 진공흡착장치(1)에 있어서는, 흡착헤드(2)에 작용하는 압력이 대기압부근에 도달하기 직전에 상기 전자밸브(7)를 센터 위치로 전환하고, 이 흡착헤드(2)에 공급되는 정압 및 부압을 완전히 차단하고 있다.
그런데, 이러한 종래의 진공흡착장치(1)에 있어서는, 3위치 클로즈드 센터 타입의 전자밸브(7)를 필요로 하고, 또한 그것을 전환하기 위해서는 2개의 솔레노이드를 필요로 하기 때문에, 비용이 높아지게 된다. 또한, 전자밸브(7)를 센터 위치로 전환하여 타이밍이나 교축장치(9) 등을, 전자칩부품(W)이 응답 시간의 지연을 초래하는 일없이 정확하게 흡착헤드(2)로부터 이탈하도록, 균형을 잘 맞춰서 조정하는 것은 대단히 곤란했다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 그 과제는, 구조 및 제어를 간략화해서 가격을 낮게 제한할 수 있고, 또한, 소형·경량화된 작업물이라도 응답 시간의 지연을 초래하는 일없이, 정확하게 흡착헤드로부터 이탈시킬 수 있는 진공흡착을 위한 기술을 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 관한 진공흡착장치는 작업물을 흡착하기 위한 흡착헤드와, 부압원 및 정압원과, 이들 부압원과 정압원을 상기 흡착헤드에 선택적으로 접속하기 위한 1개의 전환밸브와, 이 전환밸브와 상기 흡착헤드(2)를 연결하는 제1유로와, 상기 전환밸브와 상기 부압원을 연결하는 제2유로와, 상기 전환밸브와 상기 정압원을 연결하는 제3유로와, 상기 제3유로 내에 설치된 교축장치를 갖고, 상기 전환밸브는 상기 제3유로를 차단해서 제1유로와 제2유로를 접속하는 제1전환위치와, 상기 제2유로를 차단해서 제1유로와 제3유로를 접속하는 제2전환위치를 갖는 2위치밸브이며, 또한, 상기 제1유로의 총용적을 V1, 상기 제3유로에 있어서의 교축장치로부터 전환밸브에 이르는 주 유로부분의 총용적을 V2, 흡착헤드에 의한 작업물 흡착시의 상기 제1유로 내의 부압을 P1, 마찬가지로 작업물 흡착시의 상기 주 유로부분의 정압을 P2라고 하고, 또한, 흡착헤드가 작업물을 흡착하고 있는 상태에서 상기 전환밸브를 전환해서, 상기 제1유로와 제3유로를 연통시킨 직후의 상기 제1유로와 상기 주 유로부분의 내압을 Ps라고 했을 때, 이하의 관계식에 있어서,
P1×V1+P2×V2=Ps×(V1+V2)
상기 Ps가 대기압과 동등이하이며 또한 상기 흡착헤드로부터 작업물이 자중(自重)으로 낙하하는 데에 필요한 크기가 되도록, 상기 압력(P1, P2) 및 유로용적(V1, V2)이 서로 관계되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
이러한 본 발명의 흡착장치에 따르면, 흡착헤드에 흡착된 작업물을 해방하기 위해서 상기 전환밸브를 제1전환위치로 전환하면, 상기 주 유로부분에 충전되어 있는 압력이 순간적으로 제1유로 내에 흘러 들어옴으로써, 이들 제1유로와 주 유로부분의 내압이 설정된 크기의 해방압이 되어, 작업물이 짧은 시간에 해방된다. 이 때의 해방압은 대기압과 동등이하이기 때문에, 경량의 작업물이라도 떨어지는 일이 없다. 그 후, 교축장치를 통해서 정압원으로부터 정압이 소량씩 공급되기 때문에, 흡착헤드의 압력은 대기압보다 다소 높아지지만, 이 때 이미 작업물는 해방된 뒤이 기 때문에, 이 압력이 악영향을 미치는 일은 없다. 오히려, 상기 제1유로에 생크션 필터가 설치되어 있는 경우에는, 이 정압의 흐름이 크리닝작용을 하여, 막힘 방지에 도움이 되게 된다.
본 발명에 있어서는, 상기 제2유로의 주 유로부분에, 이 주 유로부분의 용적을 확대하기 위한 탱크를 접속할 수 있다. 또한, 상기 제1유로에는 생크션 필터를 설치할 수도 있다.
본 발명에 있어서 사용되는 상기 전환밸브는 싱글 솔레노이드형의 2위치 전자밸브이다.
또, 본 발명의 진공흡착장치의 구동방법은 상기 진공흡착장치를 사용해서, 상기 전환밸브로 상기 제1유로와 제2유로를 접속함으로써, 상기 흡착헤드로 작업물을 흡착하여 반송하는 제1공정과, 상기 전환밸브로 상기 제1유로와 제3유로를 연통시킴으로써 상기 흡착헤드에 해방압을 공급하고, 상기 흡착헤드로부터 작업물을 해방하는 제2공정을 행하고, 상기 제2공정에서는 상기 전환밸브로 제1유로와 제3유로를 연통시킨 직후에, 상기 제3유로의 교축장치로부터 전환밸브에 이르는 주 유로부분 내에 충전되어 있는 정압이 제1유로 내에 유입함으로써 상기 해방압이 얻어지도록 함과 아울러, 이 해방압의 크기를 대기압과 동등이하이며 또한 상기 흡착헤드로부터 작업물이 자중으로 낙하할 수 있는데 필요한 크기로 하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 본 발명의 구동방법에 있어서는, 상기 제1유로의 총용적을 V1, 상기 주 유로부분의 총용적을 V2, 흡착헤드에 의한 작업물 흡착시의 상기 제1유로 내의 부 압을 P1, 마찬가지로 작업물 흡착시의 상기 주 유로부분 내의 정압을 P2라고 하고 또한, 상기 해방압을 Ps라고 했을 때, 이하의 관계식
P1×V1+P2×V2=Ps×(V1+V2)
가 성립하도록 상기 압력(P1, P2) 및 유로용적(V1, V2)이 설정된다.
(실시예)
본 발명에 관한 진공흡착장치(20)의 일실시예를 도 1을 사용해서 설명한다. 이 흡착장치(20)는 소형이며 경량인 작업물(W)을 흡착해서 원하는 위치에 반송하기 위한 것으로, 상기 작업물(W)을 흡착하기 위한 흡착헤드(21)와, 이 흡착헤드(21)에 부압을 공급하기 위한 부압원(22)과, 정압을 공급하기 위한 정압원(23)과, 이들 부압원(22) 및 정압원(23)을 상기 흡착헤드(21)에 선택적으로 접속시키기 위한 1개의 전환밸브(24)를 구비하고 있다. 상기 작업물(W)로서는, 예를 들면, 5g 이하, 경우에 따라서는 1g 전후, 혹은 그 이하의 경량의 작업물이 대상이다.
상기 흡착헤드(21)는 다른 전환밸브를 통하는 일없이, 제1유로(25)에 의해 상기 전환밸브(24)에 직접 접속되어 있고, 상기 부압원(22) 및 정압원(23)은 다른 전환밸브를 통하는 일없이, 각각 제2유로(26) 및 제3유로(27)에 의해 상기 전환밸브(24)에 직접 접속되어 있다.
또한, 상기 흡착장치(20)에 있어서는, 흡착헤드(21)에 의해 작업물(W)을 원하는 위치에까지 반송했을 때, 흡착헤드(21)를 아래 쪽을 향한 상태로 상기 흡착헤드(21)로부터 작업물(W)을 이탈시키도록 되어 있다.
상기 전환밸브(24)는 싱글 솔레노이드형의 2위치 3포트 전자밸브이며, 1개의 솔레노이드(24a)와 1개의 복귀 스프링(24b)의 작용에 의해, 도시의 제2전환위치(B)와, 그 반대측의 제1전환위치(A)로 전환되는 것이다. 그리고, 상기 제2전환위치(B)에서는, 상기 부압원(22)에 통하는 제2유로(26)를 차단함과 아울러, 정압원(23)에 통하는 제3유로(27)와 흡착헤드(21)에 통하는 제1유로(25)를 연통시키고, 상기 제1전환위치(A)에서는, 정압원(23)에 통하는 상기 제3유로(27)를 차단함과 아울러, 부압원(22)에 통하는 상기 제2유로(26)와 상기 제1유로(25)를 연통시킨다.
상기 부압원(22)은 진공 펌프나 그 외의 부압발생기구로 구성되어 있어서, 필요한 크기의 부압을 공급할 수 있게 되어 있다. 또한, 상기 정압원(23)은 가압 펌프 등으로 이루어지는 정압공급부(23a)와 압력조절용 감압밸브(23b)로 구성되어, 필요한 크기의 정압을 공급할 수 있게 되어 있다.
또한, 상기 전환밸브(24)와 정압원(23)을 접속하는 제3유로(27) 중에는, 상기 정압원(23)으로부터의 정압에어의 공급량을 조절하기 위한 교축밸브 등으로 이루어지는 가변식의 교축장치(28)를 구비함과 아울러, 상기 교축장치(28)와 전환밸브(24) 사이에, 상기 제3유로(27)의 용적을 필요한 크기로까지 확대하기 위해서 탱크(27a)를 구비하고 있다. 또한, 상기 전환밸브(24)와 흡착헤드(21)를 연결하는 제1유로(25) 중에는, 먼지를 제거하기 위한 생크션 필터(25a)를 갖고 있어서, 상기 흡착헤드(21)에 부압원(22)이 연통해서 상기 흡착헤드(21)에 부압이 작용하고 있을 때에, 상기 흡착헤드(21)로부터 흡인되는 에어 중의 먼지를 이 생크션 필터(25a)로 제거하도록 되어 있다.
상기 흡착장치(20)에 의한 작업물(W)의 반송은, 제1공정과 제2공정의 2개의 공정에 의해 행해진다. 상기 제1공정에서는, 솔레노이드(24a)에 통전함으로써 상기 전환밸브(24)를 도 1과는 반대측의 제1전환위치(A)로 전환하고, 상기 제1유로(25)와 부압원(22)측의 제2유로(26)를 접속함으로써, 상기 흡착헤드(21)로 작업물을 흡착하여 반송한다. 또한, 제2공정에서는, 상기 솔레노이드(24a)를 오프시킴으로써, 상기 전환밸브(24)를 복귀 스프링(24b)의 탄성력으로 도시의 제2전환위치(B)로 전환하고, 상기 제1유로(25)와 제3유로(27)를 연통시킴으로써 상기 흡착헤드(21)에 해방압을 공급하고, 상기 흡착헤드(21)로부터 작업물(W)을 해방한다. 그리고, 이들 양쪽 공정을 반복함으로써 복수의 작업물을 이어서 원하는 위치에 공급하는 것이다.
여기에서, 상기 제1유로(25)에 있어서의 생크션 필터(25a)를 포함하는 총용적을 V1, 상기 제3유로(27)에 있어서의 교축장치(28)로부터 전환밸브(24)에 이르는 주 유로부분(27b)의 탱크(27a)를 포함하는 총용적을 V2, 흡착헤드(21)에 의한 작업물 흡착시의 상기 제1유로(25) 내의 부압을 P1, 마찬가지로 작업물 흡착시의 상기 주 유로부분(27b)의 정압을 P2라고 하고, 또한, 흡착헤드(21)가 작업물을 흡착하고 있는 상태에서 상기 전환밸브(24)를 제2전환위치(B)로 전환하고, 상기 제1유로(25)와 제3유로(27)를 연통시킨 직후의 상기 제1유로(25)와 상기 주 유로부분(27b)의 내압을 Ps라고 했을 때, 이하의 관계식에 있어서,
P1×V1+P2×V2=Ps×(V1+V2)
상기 Ps가 대기압과 동등이하이며 또한 상기 흡착헤드(21)로부터 작업물(W)이 자중으로 낙하하는 데에 필요한 크기가 되고, 또한 실질적으로 그 이상으로는 되지 않도록, 상기 압력(P1, P2) 및 유로용적(V1, V2)이 서로 관계되어 있다.
이로 인해, 상기 제2공정에 있어서, 상기 전환밸브(24)로 제1유로(25)와 제3유로(27)를 연통시켰을 때, 이 제3유로(27)의 주 유로부분(27b)에 충전되어 있는 압력이 제1유로(25) 내에 유입함으로써, 상기 흡착헤드(21)의 압력이 짧은 시간에 작업물(W)의 해방에 필요한 크기의 압력(Ps), 즉 해방압에 이르도록 하고 있다. 이 때의 해방압은 대기압과 대략 같거나 그것보다 약간 낮은 값이기 때문, 경량의 작업물이라도 그 해방압으로 떨어지는 일이 없다.
작업물(W)의 해방후, 교축장치(28)를 통해서 상기 흡착헤드(21)에는 정압원(23)으로부터의 정압에어가 소량씩 공급되기 때문에, 상기 흡착헤드(21)의 압력은 대기압보다 다소 높아지지만, 이 때 이미 작업물은 해방되어 있기 때문에, 이 압력이 작업물의 해방에 악영향을 미치는 일은 없다. 오히려, 이 정압에어의 흐름이 상기 제1유로(25)에 설치된 생크션 필터(25a)를 통과함으로써 크리닝 작용을 하여, 막힘해소에 도움이 되게 된다.
또한, 상기 제2공정이 종료된 후, 다시 제1공정에 이행해서 흡착헤드(21)가 작업물(W)을 흡착하지만, 작업물(W)이 흡착되고 있는 이 제1공정 중에, 상기 제3유로(27)의 주 유로부분(27b)에는, 상기 교축장치(28)를 통해서 서서히 정압에어가 공급되고, 다음 제2공정에서 필요한 정압(P2)이 축적된다. 그리고, 그 축적이 완료된 뒤에 상기 제2공정이 행해진다. 따라서, 상기 교축장치(28)의 개구면적은 대단히 미소하며, 상기 제2공정에 있어서, 상기 제1유로(25)와 주 유로부분(27b)의 내압을 짧은 시간에 해방압까지 상승시킬 때에 거의 영향을 미치는 일은 없다.
이렇게 하여 상기 흡착장치(20)는 1개의 2위치 전환밸브(24)를 온·오프시키는 것 만으로, 작업물의 반송 작업을 행할 수 있다. 따라서, 3위치식의 전자밸브를 사용하는 종래 장치에 비해, 장치의 구성도 제어도 간략화된다.
또한, 상기 교축장치(28) 및 탱크(27a)는 상기 전환밸브(24)의 도시하지 않은 보디 내에 설치되어 있어도 좋다. 또 상기 탱크(27a)는 반드시 설치할 필요성은 없고, 그것을 설치하는 대신에, 상기 주 유로부분(27b)의 배관 용적을 필요한 크기로 해도 좋다.
상술한 바와 같이 구성된 흡착장치에 있어서 대상으로 삼는 작업물이 변할 때는, 상기 관계식이 성립하도록, 상기 작업물의 무게에 따라서 상기 압력조절용 감압밸브(23b)를 조절함으로써, 정압원(23)으로부터 공급되는 정압(P2)을 미조정하거나 또는 부압(P1)과 정압(P2)의 양자를 미조정한다. 또한, 필요에 따라서 교축장치(28)의 개구 면적도 조정한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 구조 및 제어를 간략화해서 비용을 낮게 제한할 수 있고, 또한, 소형·경량화된 작업물이라도 응답 시간의 지연을 초래하는 일없이, 정확하게 흡착헤드로부터 이탈시킬 수 있는 진공흡착을 위한 기술을 제공할 수 있다.

Claims (8)

  1. 작업물(W)을 흡착하기 위한 흡착헤드(21)와, 부압원(22) 및 정압원(23)과, 이들 부압원(22)과 정압원(23)을 상기 흡착헤드(21)에 선택적으로 접속하기 위한 1개의 전환밸브(24)와, 이 전환밸브(24)와 상기 흡착헤드(21)를 연결하는 제1유로(25)와, 상기 전환밸브(24)와 상기 부압원(22)을 연결하는 제2유로(26)와, 상기 전환밸브(24)와 상기 정압원(23)을 연결하는 제3유로(27)와, 상기 제3유로(27) 내에 설치된 교축장치(28)를 갖고,
    상기 전환밸브(24)는 상기 제3유로(27)를 차단해서 제1유로(25)와 제2유로(26)를 접속하는 제1전환위치(A)와, 상기 제2유로(26)를 차단해서 제1유로(25)와 제3유로(27)를 접속하는 제2전환위치(B)를 갖는 2위치밸브이며,
    또한, 상기 제1유로(25)의 총용적을 V1, 상기 제3유로(27)에 있어서의 교축장치(28)로부터 전환밸브(24)에 이르는 주 유로부분(27b)의 총용적을 V2, 흡착헤드(21)에 의한 작업물 흡착시의 상기 제1유로(25) 내의 부압을 P1, 마찬가지로 작업물 흡착시의 상기 주 유로부분(27b)의 정압을 P2라고 하고, 또한 흡착헤드(21)가 작업물을 흡착하고 있는 상태에서 상기 전환밸브(24)를 전환해서, 상기 제1유로(25)와 제3유로(27)를 연통시킨 직후의 상기 제1유로(25)와 상기 주 유로부분(27b)의 내압을 Ps라고 했을 때, 이하의 관계식에 있어서,
    P1 ×V1+P2×V2=Ps×(V1+V2)
    상기 Ps가 대기압과 동등이하이며 또한 상기 흡착헤드(21)로부터 작업물이 자중으로 낙하하는 데에 필요한 크기가 되도록, 상기 압력(P1, P2) 및 유로용적(V1, V2)을 서로 관계시킨 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 작업물(W)이 흡착헤드(21)로부터 해방된 후에, 상기 교축장치(28)를 통해서 유입되는 에어에 의해 상기 제1유로(25)와 주 유로부분(27b)의 내압(Ps)이 대기압보다 약간 높은 정압이 되도록, 상기 교축장치(28)의 개구 면적이 조정되어 있는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제2유로(26)의 주 유로부분(27b)에, 이 주 유로부분(27b)의 용적을 확대하기 위한 탱크(27a)가 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 전환밸브(24)가 싱글 솔레노이드형의 2위치 전자밸브인 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제1유로(25)에 생크션 필터(25a)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
  6. 작업물(W)을 흡착하기 위한 흡착헤드(21)와, 부압원(22) 및 정압원(23)과, 이들 부압원(22)과 정압원(23)을 상기 흡착헤드(21)에 선택적으로 접속하기 위한 1 개의 전환밸브(24)와, 이 전환밸브(24)와 상기 흡착헤드(21)를 연결하는 제1유로(25)와, 상기 전환밸브(24)와 상기 부압원(22)을 연결하는 제2유로(26)와, 상기 전환밸브(24)와 상기 정압원(23)을 연결하는 제3유로(27)와, 상기 제3유로(27) 내에 설치된 교축장치(28)를 갖는 흡착장치(20)을 사용하여,
    상기 전환밸브(24)로 상기 제1유로(25)와 제2유로(26)를 접속함으로써, 상기 흡착헤드(21)로 작업물(W)을 흡착하여 반송하는 제1공정과, 상기 전환밸브(24)로 상기 제1유로(25)와 제3유로(27)를 연통시킴으로써 상기 흡착헤드(21)에 해방압을 공급하여, 상기 흡착헤드(21)로부터 작업물(W)을 해방하는 제2공정을 행하고,
    상기 제2공정에서는, 상기 전환밸브(24)로 제1유로(25)와 제3유로(27)를 연통시킨 직후에, 상기 제3유로(27)의 교축장치(28)로부터 전환밸브(24)에 이르는 주 유로부분(27b) 내에 충전되어 있는 정압이 제1유로(25) 내에 유입됨으로써 상기 해방압이 얻어지도록 함과 아울러, 이 해방압의 크기를, 대기압과 동등이하이며 또한 상기 흡착헤드(21)로부터 작업물이 자중으로 낙하할 수 있기에 필요한 크기로 한 것을 특징으로 하는 진공흡착장치의 구동방법.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 제1유로(25)의 총용적을 V1, 상기 주 유로부분(27b)의 총용적을 V2, 흡착헤드(21)에 의한 작업물 흡착시의 상기 제1유로(25) 내의 부압을 P1, 마찬가지로 작업물 흡착시의 상기 주 유로부분(27b) 내의 정압을 P2로 하고 또한, 상기 해방압을 Ps로 했을 때, 이하의 관계식
    P1×V1+P2×V2=Ps×(V1+V2)
    이 성립하도록 상기 압력(P1, P2) 및 유로용적(V1, V2)이 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치의 구동방법.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 작업물(W)이 흡착헤드(21)로부터 해방된 후에, 상기 교축장치(28)를 통해서 유입되는 에어에 의해 상기 제1유로(25)와 주 유로부분(27b)의 내압(Ps)이 대기압보다 약간 높은 정압이 되도록, 상기 교축장치(28)의 개구 면적이 조정되는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치의 구동방법.
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