JP2002310330A - 吸着搬送用電磁弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークを吸着搬送する１つの真空吸着具に対
する真空状態と真空破壊状態との切り換えを１つの電磁
弁によって行い得るようにする。 【解決手段】 電磁弁本体１０には出力ポート１９ａ，
１９ｂを真空ポートに連通する位置と真空破壊ポートに
連通する位置とに切り替える主弁軸１６が設けられる。
電磁弁本体１０には接続ポート５１ａ，５１ｂを有する
流量調整ブロック４０が取り付けられ、流量調整ブロッ
ク４０には出力ポート１９ａ，１９ｂと接続ポート５１
ａ，５１ｂとをそれぞれ連通する流路面積の大きい主流
路としての中空孔４３ａ，４３ｂと小さいバイパス流路
としての漏れ隙間５５ａ，５５ｂとが形成される。接続
ポート５１ａ，５１ｂに接続されたバキュームパッドに
ワークが接触しないときには、中空孔４３ａ，４３ｂが
閉塞されて漏れ隙間５５ａ、５５ｂのみが開放され、ワ
ークが接触すると中空孔４３ａ，４３ｂが開放される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電子部品を真空吸着
して搬送する吸着搬送具に対する真空の供給を制御する
吸着搬送用電磁弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子部品を実装基板に自動的に組み付け
るために、多数の電子部品を収容した部品供給ステージ
と、実装基板との間にバキュームパッド、つまり真空吸
着具を往復動させるようにした吸着搬送装置が用いられ
ている。バキュームパッドは可撓性のチューブにより形
成される吸着パイプの先端に設けられており、バキュー
ムパッドによりワークである電子部品を部品供給ステー
ジで吸着するときには、吸着パイプを介してバキューム
パッドには真空つまり負圧空気が供給される。一方、吸
着されたワークをバキュームパッドから外す際には、バ
キュームパッドには真空状態を解除するために吸着パイ
プを介して大気圧の空気を供給するようにしたり、大気
圧よりも高い正圧の空気が供給される。

【０００３】このため、吸着搬送装置にはバキュームパ
ッドに対して真空を供給する状態と真空の供給を停止す
る状態とに流路を切り換える電磁弁と、大気圧ないしこ
れよりも高い圧力の空気を供給する状態と供給を停止さ
せる状態とに流路を切り換える電磁弁との２つの電磁弁
が用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】１つの電磁弁によりバ
キュームパッドに対する真空の供給と真空破壊との切り
換えを行うことができれば、真空搬送装置の軽量小型化
が達成される。しかしながら、バキュームパッドに接続
される出力ポートを、真空源に接続された真空ポートと
正圧供給源に接続された真空破壊ポートとに切り換える
ようにした３ポート電磁弁により流路の切り換えを行う
ようにすると、真空ポートと真空破壊ポートのいずれか
は常に出力ポートに連通した状態となる。このため、真
空破壊時以外には常に真空ポートを出力ポートに連通し
た状態とすると、不必要なときにも常にバキュームパッ
ド内は負圧状態となり、空気が流入することになる。

【０００５】一方、比較的大きいサイズの電子部品を吸
着搬送する場合には、複数のバキュームパッドを同時に
吸着することになる。それぞれのバキュームパッドに対
して共通の真空流路から分岐させて真空を供給する場合
には、複数のバキュームパッドのうち１つでも電子部品
に完全に接触しない状態が発生すると、他のバキューム
パッドも所定の真空度とならなくなるので、電子部品を
確実に吸着搬送することができなくなる。

【０００６】本発明の１つの目的は、ワークを吸着搬送
する１つの真空吸着具に対する真空状態と真空破壊状態
との切り換えを１つの電磁弁によって行い得るようにす
ることにある。

【０００７】本発明の他の目的は、共通の真空路に連通
する複数の真空吸着具によってワークを吸着搬送する際
に、１つの真空吸着具内に外気が流入しても、他の真空
吸着具を所定の真空度に保持し、確実にワークを搬送し
得るようにすることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の吸着搬送用電磁
弁は、真空供給源に連通される真空ポートと大気圧ない
しそれよりも高い圧力に設定される真空破壊ポートと出
力ポートとが形成される電磁弁本体と、前記電磁弁本体
に移動自在に装着され、前記出力ポートを前記真空ポー
トに連通する位置と前記真空破壊ポートに連通する位置
とに切り換える主弁軸と、接続ポートとを有し、前記接
続ポートと前記出力ポートとをそれぞれ連通する流路面
積の大きい主流路と小さいバイパス流路とが形成されて
前記電磁弁弁体に設けられた流量調整ブロックと、前記
接続ポートに吸着流路を介して接続される真空吸着具
と、前記流量調整ブロック内に設けられ、前記真空吸着
具にワークが接触したときには前記主流路を開放して前
記主流路と前記バイパス流路とを前記接続ポートに連通
させる位置と、前記真空吸着具にワークが接触しないと
きには前記主流路を閉塞して前記バイパス流路と前記接
続ポートとを連通させる位置とに作動する弁体とを有す
ることを特徴とする。

【０００９】本発明の吸着搬送用電磁弁は、前記主流路
を形成して前記弁体が接触すると前記主流路を閉塞する
弁座を有し、前記弁座と前記流量調整ブロックとの間に
形成される漏れ隙間を前記バイパス流路としたことを特
徴とする。また、前記弁体を前記弁座から離す方向にば
ね力を加えるばね部材を前記流量調整ブロックに装着
し、前記弁体が前記弁座から離れたときに前記弁体の開
放位置を規制するストッパを前記流量調整ブロックに設
けたことを特徴とする。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形
態である吸着搬送用電磁弁を示す斜視図であり、図２は
図１におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。

【００１１】図１に示す吸着搬送用電磁弁は、厚みが薄
く全体的に直方体形状となった４つの電磁弁本体１０を
有し、これらの電磁弁本体１０は積層されて電磁弁集合
体が形成されている。電磁弁集合体の両端部にはエンド
ブロック１１，１２が配置され、ボルト１３によってエ
ンドブロック１１，１２と４つの電磁弁本体１０は締結
されている。

【００１２】それぞれの電磁弁本体１０には、図２に示
すように、中央部分に長手方向に弁孔１４が形成された
主弁ブロック１５を有し、主弁ブロック１５には弁孔１
４内に軸方向に往復動自在に主弁軸１６が装着されてい
る。弁孔１４に連通して主弁ブロック１５には、真空供
給孔１７と２つの真空破壊孔１８ａ，１８ｂと、２つの
出力ポート１９ａ，１９ｂとが形成されており、４つの
主弁ブロック１５を積層すると、真空供給孔１７によっ
て真空供給通路が形成され、同様に、それぞれの真空破
壊孔１８ａ，１８ｂによってそれぞれ真空破壊路が形成
される。

【００１３】図１に示すように、電磁弁集合体の両端部
にはそれぞれ給排ブロック２１，２２が配置され、両方
の給排ブロック２１，２２にはそれぞれの電磁弁本体１
０の真空供給孔１７に連通する真空ポート２３ａ，２３
ｂが形成されており、いずれか一方の真空ポート、たと
えば真空ポート２３ａに真空ポンプなどの真空供給源を
接続することにより、それぞれの真空供給孔１７を真空
供給源に接続させることができる。真空供給源に接続さ
れない他方の真空ポートは閉塞されることになる。給排
ブロック２２には真空破壊孔１８ａに連通する真空破壊
ポート２４ａが形成され、他方の給排ブロック２１には
真空破壊孔１８ｂに連通する真空破壊ポート２４ｂが形
成されている。真空破壊ポート２４ａ，２４ｂは大気に
開放させるようにしても良く、空気圧源に接続して大気
圧以上の正圧空気を供給するようにしても良い。

【００１４】主弁軸１６には流路の切り換えを行うスプ
ール弁体１６ａが設けられ、主弁軸１６が図２において
右側に移動すると、真空源に接続された真空ポート２３
ａと出力ポート１９ａとが連通状態となり、出力ポート
１９ｂと真空破壊ポート２４ｂとが連通状態となる。こ
れに対して、主弁軸１６が左側に移動すると、出力ポー
ト１９ａと真空破壊ポート２４ａとが連通状態となり、
出力ポート１９ｂと真空ポート２３ａとが連通状態とな
る。

【００１５】図２に示すように、主弁ブロック１５の端
面にはアダプタ２５が取り付けられ、このアダプタ２５
内に形成された大径空気圧室２６内には大径ピストン２
６ａが軸方向に摺動自在に収容され、この大径ピストン
２６ａは主弁軸１６の一方の端面に接触するようになっ
ている。主弁軸１６の他端部は小径ピストン２７ａとな
っており、この小径ピストン２７ａは弁孔１４の端部に
より形成される小径空気圧室２７内を摺動する。

【００１６】アダプタ２５にはパイロット弁組立体２８
が取り付けられており、このパイロット弁組立体２８
は、ソレノイド部を有し、それぞれの空気圧室２６，２
７に対するパイロット空気圧の供給を制御する。エンド
ブロック１１には、それぞれの電磁弁本体１０の空気圧
室２６，２７に圧縮空気を供給するための給気ポート３
１が設けられ、この給気ポート３１は図２に示す給気路
３２により小径空気圧室２７に連通されるとともに、パ
イロット圧供給路３３に接続されている。したがって、
図示する場合には、小径空気圧室２７には常時圧縮空気
が供給されており、この小径空気圧室２７に加わる空気
圧により主弁軸１６には図２において左側に駆動されて
いる。

【００１７】大径空気圧室２６にはパイロット圧出力路
３４と主弁排気路５８とがそれぞれが連通されており、
パイロット圧出力路３４のほぼ中央位置には急速排気弁
２９が設けられ、主弁排気路５８には分岐する形で逆止
弁３０を有する主弁排気口５９が設けられる。

【００１８】ソレノイド部への給電によりパイロット圧
供給路３３とパイロット圧出力路３４とを連通させてパ
イロット排気路３５を閉じる状態と、給電を解くとパイ
ロット圧供給路３３を閉じてパイロット圧出力路３４と
パイロット排気路３５とを連通させる状態とに作動する
図示しないパイロット弁がパイロット弁組立体２８に組
み込まれている。

【００１９】したがって、パイロット弁のソレノイド部
に給電すると、パイロット圧供給路３３を介して給気ポ
ート３１からの圧縮空気が大径空気圧室２６に供給さ
れ、小径空気圧室２７の圧縮空気により主弁軸１６に加
わる推力に抗して大径空気圧室２６に加わる圧力によっ
て主弁軸１６は図２において右側に駆動され、大径ピス
トン２６ａの右側端面により押し出される空気は主弁排
気路５８を流れ主弁排気口５９より排出される。一方、
ソレノイド部に対する給電を解くと、パイロット圧出力
路３４とパイロット排気路３５とが連通され大径空気圧
室２６の圧力が低下し、小径空気圧室２７に加わる圧力
によって主弁軸１６は図２において左側に駆動され、大
径ピストン２６ａの左側端面により押し出される空気は
急速排気弁２９により主弁排気路５８に案内され主弁排
気口５９より排出される。

【００２０】図２に示す場合には、１つのパイロット弁
によって主弁軸１６を軸方向に往復動させるようにして
いるが、２つのパイロット弁をパイロット弁組立体２８
に組み付けることにより、それぞれの空気圧室２６，２
７に対するパイロット空気圧の供給と供給停止とを別々
のパイロット弁により行うようにしても良い。このよう
にして、それぞれの電磁弁本体１０はパイロット圧によ
り作動する５ポート２位置電磁弁となっている。

【００２１】図２に示すように、主弁ブロック１５の端
面にはアダプタ３６を介して連通ブロック３７が取り付
けられ、この連通ブロック３７には逆止弁ブロック３８
を介してポートブロック３９が取り付けられており、こ
れらのブロック３７〜３９によって流量調整ブロック４
０が形成されている。連通ブロック３７に形成された２
つの収容孔４１ａ，４１ｂにはそれぞれ円筒形状の弁座
４２ａ，４２ｂが取り付けられ、弁座４２ａ，４２ｂの
中空孔４３ａ，４３ｂは主流路となっている。それぞれ
の弁座４２ａ，４２ｂに形成された連通孔４４ａ，４４
ｂは連通ブロック３７に形成された連通流路４５ａ，４
５ｂを介して出力ポート１９ａ，１９ｂに連通されると
ともに、それぞれの連通孔４４ａ，４４ｂは中空孔４３
ａ，４３ｂに連通されている。

【００２２】逆止弁ブロック３８にはそれぞれ弁座４２
ａ，４２ｂの先端部が入り込む弁体収容孔４６ａ，４６
ｂが形成されており、弁座４２ａ，４２ｂに接触して主
流路としての中空孔４３ａ，４３ｂを閉じる位置と、弁
座４２ａ，４２ｂから離れて中空孔４３ａ，４３ｂを開
く位置とに作動する弁体４７ａ，４７ｂが組み込まれて
いる。それぞれの弁体４７ａ，４７ｂは鋼球、樹脂製ま
たはゴム製の球体からなり、弁座４２ａ，４２ｂ内に組
み込まれた圧縮コイルばね４８ａ，４８ｂにより弁体４
７ａ，４７ｂには中空孔４３ａ，４３ｂを開く方向のば
ね力が加えられている。

【００２３】逆止弁ブロック３８には弁体４７ａ，４７
ｂの移動を規制するためのストッパ４９ａ，４９ｂが設
けられ、ストッパ４９ａ，４９ｂは内部に流路５０ａ，
５０ｂを有する円筒部となっており、圧縮コイルばね４
８ａ，４８ｂにより押圧される弁体４７ａ，４７ｂの移
動がストッパ４９ａ，４９ｂにより規制される。ポート
部材３９には、それぞれ接続ポート５１ａ，５１ｂが形
成されており、接続ポート５１ａ，５１ｂは連通孔５２
ａ，５２ｂを介して収容孔４６ａ，４６ｂに連通してい
る。

【００２４】一方の接続ポート５１ａには、先端に真空
吸着具としてのバキュームパッド５３が設けられた吸着
流路５４が接続されており、他方の接続ポート５１ｂは
図示しないプラグにより閉塞されている。したがって、
電磁弁本体１０は５ポート電磁弁となっているが、２つ
のポートは使用されておらず、３ポート電磁弁として機
能しており、パイロット弁組立体２８のソレノイドに給
電すると図２に示されるように真空ポート２３ａと出力
ポート１９ａとが連通し、通電を解くと真空破壊ポート
２４ａと出力ポート１９ａとが連通することになる。通
電するとバキュームパッド５３は真空状態つまり負圧状
態となり、電子部品つまりワークＷを真空吸着すること
ができる。一方、通電を解くと大気圧あるいはそれより
高い圧力に設定されている真空破壊ポート２４ａが出力
ポート１９ａと連通状態となり、バキュームパッド５３
の真空状態が解除されて、吸着されているワークＷはバ
キュームパッド５３から取り外されることになる。

【００２５】これに対して、他方の接続ポート５１ｂに
吸着流路５４を接続し、接続ポート５１ａを閉塞する場
合、ソレノイドに給電すると出力ポート１９ｂが真空破
壊ポート２４ｂに連通し、給電を解くと出力ポート１９
ｂは真空ポート２３ａに連通することになる。したがっ
て、通電時にバキュームパッド５３を真空状態にする
か、真空を破壊させるかによって、吸着流路５４をいず
れか一方の接続ポート５１ａまたは５１ｂに接続するこ
とになる。

【００２６】弁体収容孔４６ａ，４６ｂの内周面と弁座
４２ａ，４２ｂの外周面との間には漏れ隙間５５ａ，５
５ｂが形成されている。それぞれの漏れ隙間５５ａ，５
５ｂは、主流路としての中空孔４３ａ，４３ｂを迂回
し、連通流路４５ａ，４５ｂを介して出力ポート１９
ａ，１９ｂに連通するとともに接続ポート５１ａ，５１
ｂに連通しており、バイパス流路となっている。このバ
イパス流路の流通面積は主流路に比して小さく設定され
ている。

【００２７】したがって、ソレノイドに通電して真空ポ
ート２３ａを出力ポート１９ａと連通させた状態のもと
で、バキュームパッド５３にワークＷが接触していなけ
れば、主流路に流路５０ａと連通孔５２ａとから大気圧
が流入し、弁体４７ａがばね力に抗して弁座４２ａに接
触する。これにより、主流路としての中空孔４３ａは閉
じられ、バイパス流路としての漏れ隙間５５ａを介して
接続ポート５１ａは僅かに真空となり、少量の空気が出
力ポート１９ａに向けて流れることになる。

【００２８】この状態のもとで、ワークＷがバキューム
パッド５３に接触すると、出力ポート１９ａに向けて漏
れ隙間５５ａを流れる空気によってバキュームパッド５
３内は真空状態となり、弁体４７ａにより閉じられた主
流路としての中空孔４３ａに接続ポート５１ａからの吸
入流量が低下し、圧縮コイルばね４８ａのばね力によっ
て弁体４７ａは弁座４２ａから離れて主流路が開放され
る。これにより、主流路とバイパス流路とを介して出力
ポート１９ａと接続ポート５１ａが連通状態となる。こ
のように、図示しない部品ステージに載置されたワーク
Ｗをバキュームパッド５３により吸着する際には、予め
出力ポート１９ａを真空ポートに連通させた状態とし
て、僅かに真空状態としておく。これにより、バキュー
ムパッド５３はワークＷに接触すると、直ちに弁体４７
ａが主流路を開いて所定の真空度となり、確実にワーク
Ｗを吸着することができる。

【００２９】つまり、弁体４７ａを設けずに、所定の真
空圧状態となったバキュームパッド５３をワークＷに接
近させると、バキュームパッド５３がワークＷに接触す
る前に流入する空気によってワークＷがずれるおそれが
ある。これに対して、本発明にあっては、接触するまで
は主流路が閉じており、バキュームパッド５３の真空度
は低く保持され、接触すると真空度が高くなるので、ワ
ークＷのずれ発生が防止される。しかも、主流路が閉じ
られているときにおける空気の流れは僅かであり、真空
ポンプのエネルギー損失は僅かである。

【００３０】ワークＷが吸着された後には、バキューム
パッド５３は図示しない搬送装置によって部品搭載位置
まで搬送される。所定の搬送位置まで搬送された後に、
ソレノイドに対する通電を解くと、出力ポート１９ａは
真空破壊ポート１８ａと連通し、ワークＷはバキューム
パッド５３から離れることになる。

【００３１】図２に示すように、ストッパ４９ａの流路
５０ａ内にはバキュームパッド５３から電磁弁内に流入
する空気中の異物を除去するために、フィルタ５６が組
み込まれている。また、バキュームパッド５３にワーク
Ｗが吸着された状態のもとで、手動によりワークＷを離
脱させることができるように、流量調整ブロック４０に
は手動操作ボタン５７が設けられており、この手動操作
ボタン５７を押し込むと、接続ポート５１ａは大気に連
通するようになっている。

【００３２】図４は図１に示した電磁弁を用いて複数の
バキュームパッド５３によりワークＷを吸着搬送してい
る状態を示す斜視図であり、真空ポンプや真空圧力制御
弁などを有する真空供給源６１はホースなどからなる流
路６２により真空ポート２３ａに接続されている。一
方、コンプレッサや圧力制御弁などを有する正圧供給源
６３は、流路６４により給気ポート３１に接続されると
ともに、流路６５により真空破壊ポート２４ａ，２４ｂ
に接続されている。パイロット弁組立体２８のソレノイ
ドに対しては、コントロールユニット６６から制御信号
がケーブル６７を介して送られるようになっている。

【００３３】図４に示すように、複数のバキュームパッ
ド５３により１つのワークＷを吸着搬送する場合には、
いずれかのバキュームパッド５３がワークＷから外れる
と、そのバキュームパッド５３には大気が流入すること
になる。しかしながら、大気が流入したバキュームパッ
ド５３に対応する電磁弁本体１０における弁体４７ａは
主流路としての中空孔４３ａを閉塞するので、主流路と
しての中空孔４３ａには多量の外気が流入することが防
止される。これにより、他のパッドの真空度は所定値に
保たれて、ワークＷを確実に保持することができる。

【００３４】図５は弁体４７ａ，４７ｂの変形例を示す
断面図であり、弁座７２に接触して主流路としての中空
孔４３ａを閉じる位置と、弁座７２から離れて中空孔４
３ａを開く位置とに作動する弁体７０が組み込まれてい
る。弁体７０はゴム製または樹脂製のシャトル体からな
り、弁座７２内に組み込まれた圧縮コイルばね７１によ
り弁体７０には中空孔４３ａを開く方向のばね力が加え
られている。

【００３５】逆止弁ブロック３８には弁体７０の移動を
規制するためのストッパ７３が設けられ、ストッパ７３
は内部に流路５０ａを有する円筒部となっており、圧縮
コイルばね７１により押圧される弁体７０の移動がスト
ッパ７３により規制される。

【００３６】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。たとえば、電磁弁本体を５
ポート電磁弁とすることなく、３ポート電磁弁としても
良い。

【００３７】

【発明の効果】本発明によれば、ワークを吸着するため
の真空吸着具が接続される接続ポートを真空ポートと真
空破壊ポートに切り換えて連通させる電磁弁に流量調整
ブロックを設け、流量調整ブロック内に流路面積が大き
く弁体により開閉される主流路と、常時連通する流路面
積が小さいバイパス流路とを設け、真空吸着具が真空状
態のもとで、真空吸着具にワークが接触すると主流路が
開き、離れるとバイパス流路のみが真空吸着具に連通す
るようにしたので、ワークが接触しなくとも、負圧空気
の無駄な流れを抑制することができる。

【００３８】本発明によれば、真空吸着具を真空状態と
する位置と真空を破壊する位置とに作動する１つの電磁
弁によって真空吸着具によるワークの吸着と取り外しと
の作動を制御することができる。

【００３９】ワークを真空吸着具に接触させる前に僅か
に負圧空気を流すことができるので、ワークが接触する
と、迅速に所定の真空度でワークを吸着することができ
る。

【００４０】複数の真空吸着具に対して電磁弁に設けら
れた共通の真空ポートから負圧空気を供給する場合に、
いずれかの真空吸着具がワークから離れても、その真空
吸着具に対応する電磁弁の主流路が閉じられるので、他
の真空吸着具に供給される負圧空気の圧力変動を防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態である吸着搬送用電磁弁
を示す斜視図である。

【図２】図１におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。

【図３】（Ａ）は弁体により主流路が閉じられた状態に
おける流量調整ブロックを示す断面図であり、（Ｂ）は
主流路が開かれた状態における流量調整ブロックを示す
断面図である。

【図４】図１に示した電磁弁を用いて複数のバキューム
パッドによりワークを吸着搬送している状態を示す斜視
図である。

【図５】吸着搬送用電磁弁における弁体の変形例を示す
断面図である。

【符号の説明】

１０ 電磁弁本体 １１，１２ エンドブロック １３ ボルト １４ 弁孔 １５ 主弁ブロック １６ 主弁軸 １６ａ スプール弁体 １７ 真空供給孔 １８ａ，１８ｂ 真空破壊孔 １９ａ，１９ｂ 出力ポート ２１，２２ 給排ブロック ２３ａ，２３ｂ 真空ポート ２４ａ，２４ｂ 真空破壊ポート ２５ アダプタ ２６ 大径空気圧室 ２６ａ 大径ピストン ２７ 小径空気圧室 ２７ａ 小径ピストン ２８ パイロット弁組立体 ２９ 急速排気弁 ３０ 逆止弁 ３１ 給気ポート ３２ 給気路 ３３ パイロット圧供給路 ３４ パイロット圧出力路 ３５ パイロット排気路 ３６ アダプタ ３７ 連通ブロック ３８ 逆止弁ブロック ３９ ポートブロック ４０ 流量調整ブロック ４１ａ，４１ｂ 収容孔 ４２ａ，４２ｂ 弁座 ４３ａ，４３ｂ 中空孔（主流路） ４４ａ，４４ｂ 連通孔 ４５ａ，４５ｂ 連通流路 ４６ａ，４６ｂ 弁体収容孔 ４７ａ，４７ｂ 弁体 ４８ａ，４８ｂ 圧縮コイルばね ４９ａ，４９ｂ ストッパ ５０ａ，５０ｂ 流路 ５１ａ，５１ｂ 接続ポート ５２ａ，５２ｂ 連通孔 ５３ バキュームパッド（真空吸着具） ５４ 吸着流路 ５５ａ，５５ｂ 漏れ隙間（バイパス流路） ５６ フィルタ ５７ 手動操作ボタン ５８ 主弁排気路 ５９ 主弁排気口 ６１ 真空供給源 ６２ 流路 ６３ 正圧供給源 ６４ 流路 ６５ 流路 ６６ コントロールユニット ６７ ケーブル ７０ 弁体 ７１ 圧縮コイルばね ７２ 弁座 ７３ ストッパ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 AS00 CY02 CY03 CY13 CY36 HS11 HS24 HT38 3H058 AA04 BB04 BB22 CA13 CC03 CD05 DD18 EE04 3H106 DA08 DA22 DB32 DC09 EE34 GB19 KK04 KK24 3J038 AA02 CA09 CB05

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空供給源に連通される真空ポートと大
   気圧ないしそれよりも高い圧力に設定される真空破壊ポ
   ートと出力ポートとが形成される電磁弁本体と、 前記電磁弁本体に移動自在に装着され、前記出力ポート
   を前記真空ポートに連通する位置と前記真空破壊ポート
   に連通する位置とに切り換える主弁軸と、 接続ポートを有し、前記接続ポートと前記出力ポートと
   をそれぞれ連通する流路面積の大きい主流路と小さいバ
   イパス流路とが形成されて前記電磁弁本体に設けられた
   流量調整ブロックと、 前記接続ポートに吸着流路を介して接続される真空吸着
   具と、 前記流量調整ブロック内に設けられ、前記真空吸着具に
   ワークが接触したときには前記主流路を開放して前記主
   流路と前記バイパス流路とを前記接続ポートに連通させ
   る位置と、前記真空吸着具にワークが接触しないときに
   は前記主流路を閉塞して前記バイパス流路と前記接続ポ
   ートとを連通させる位置とに作動する弁体とを有するこ
   とを特徴とする吸着搬送用電磁弁。
2. 【請求項２】 請求項１記載の吸着搬送用電磁弁におい
   て、前記主流路を形成して前記弁体が接触すると前記主
   流路を閉塞する弁座を有し、前記弁座と前記流量調整ブ
   ロックとの間に形成される漏れ隙間を前記バイパス流路
   としたことを特徴とする吸着搬送用電磁弁。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の吸着搬送用電磁
   弁において、前記弁体を前記弁座から離す方向にばね力
   を加えるばね部材を前記流量調整ブロックに装着し、前
   記弁体が前記弁座から離れたときに前記弁体の開放位置
   を規制するストッパを前記流量調整ブロックに設けたこ
   とを特徴とする吸着搬送用電磁弁。