KR100586745B1

KR100586745B1 - 평판 디스플레이의 습윤 공정용 다단 수직형 장치

Info

Publication number: KR100586745B1
Application number: KR1020030056957A
Authority: KR
Inventors: 장경호; 강석준; 이기우; 이태희
Original assignee: (주)에스티아이
Priority date: 2003-08-18
Filing date: 2003-08-18
Publication date: 2006-06-08
Also published as: KR20050019299A

Abstract

본 발명에 따른 FPD의 습윤 공정용 다단 수직형 장치는 기판(10)을 로딩/언로딩(loading/unloading)하기 위한 로더/언로더 장치(1), 복수개의 병렬 배열된 이송대가 수직으로 설치된 이송장치(2), 및 상기 복수개의 이송대에 대응하는 복수개의 병렬 배열된 처리대가 수직으로 설치된 처리장치(3)를 포함하여 이루어지고, 상기 로더/언로더 장치(1)는 상기 이송장치(2) 사이에서 기판을 로딩/언로딩하고, 상기 복수개의 이송대 중 첫번째 이송대는 상기 로더/언로더 장치로부터 기판을 이송받아 상기 복수개의 처리대 중 첫번째 처리대로 이송하고, 상기 복수개의 이송대 중 마지막 이송대는 상기 복수개의 처리대 중 마지막 처리대로부터 기판을 이송받아 상기 로더/언로더 장치로 기판을 이송하고, 상기 이송장치(2)는 앞뒤로 왕복 운동함으로써 상기 복수개의 이송대 중 n번째 이송대가 (n-1)번째 처리대에서 처리된 기판을 이송받아 n번째 처리대로 공급할 수 있도록 하며, 상기 복수개의 이송대로부터 상기 복수개의 처리대로의 기판 이송 및 상기 복수개의 처리대로부터 상기 복수개의 이송대로의 기판 이송이 각각 동시에 이루어지는 것을 그 특징으로 한다.

FPD, 습윤 공정 장치, 기판, 이송장치, 처리장치, 차단 셔터

Description

평판 디스플레이의 습윤 공정용 다단 수직형 장치{Multi Vertical Equipment for Wet Process of FPD}

제1도는 평판 디스플레이를 습윤 공정 처리하는 종래의 '一'자형 수평형 장치의 개략적인 정면도이다.

제2도는 평판 디스플레이를 습윤 공정 처리하는 본 발명의 한 구체예에 따른 다단 수직형 장치의 개략적인 사시도이다.

제3도는 본 발명의 다른 구체예에 따른 차단 셔터(isolation shutter)가 설치된 다단 수직형 장치의 개략적인 사시도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 *

1 : 로더/언로더 장치 2 : 이송 장치

3 : 처리 장치 4 : 필터 장치

5 : 차단 셔터 10 : 기판(substrate)

발명의 분야

본 발명은 유기 발광 디스플레이(OLED: Organic Light Emitting Display), 플라즈마 디스플레이(PDP: Plasma Display), 액정 디스플레이(LCD: Liquid Crystal Display) 등과 같은 평판 디스플레이(FPD: Flat Panel Display)를 처리하는 습윤 공정 처리장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 FPD와 같은 기판(substrate)을 습윤공정(wet process)에서 처리하기 위한 다단 수직형 장치에 관한 것이다.

발명의 배경

OLED, PDP, LCD 등과 같은 FPD 글라스를 처리하기 위한 습윤 공정이란 챔버내에서 액상의 세정액, 에칭액, 현상액 등을 이용하여 FPD 글라스를 세정(cleaning), 에칭(etching), 현상(developing) 또는 스트립핑(stripping)하는 공정을 의미한다.

즉, 습윤 공정 챔버내에서 통상 FPD 글라스가 콘베이어 수단에 의하여 일정한 속도로 수평으로 이동하면서, 그 상부에서 노즐을 통하여 액상의 물질을 분사시켜 FPD 글라스의 표면을 세정하거나, 에칭, 현상, 스트립핑 등을 행하게 된다.

기판의 습윤 공정 처리장치의 한 예로서 세정 장치(cleaner)인 경우, 기판을 브러싱(brushing)하는 단계, 고압의 DIW(Deionized Water)로 세정하는 단계, 린스(rinse)로 세정하는 단계(rinsing), 및 건조단계로 이루어진다. 이러한 단계를 행하기 위한 종래의 습윤 공정 장치는 주로 '一'자형으로 배열되어 기판을 수평으로 이동하면서 처리하는 '一'자형 수평형 장치가 주류를 이루고 있다.

제1도는 FPD 기판을 습윤 공정 처리하는 종래의 '一'자형 수평형 장치의 개략적인 정면도이다. 종래의 수평형 장치는 그 길이가 길어지기 때문에 넓은 설치 면적을 차지하게 된다. 따라서 종래의 수평형 장치는 설치하고자 하는 장소에 있어서 제약을 받는다. 때로는 설치장소에 따라 장치를 '一'자형에서 'ㄴ'자 또는 'ㄷ'자 등으로 변형하기도 하지만, 설치 면적 자체를 줄일 수는 없다. 특히 5세대 LCD 글라스인 경우에는 그 사이즈가 1100×1250 mm에 달하기 때문에, 이처럼 넓은 면적의 기판을 수평으로 이동하면서 작업하는 수평형 장치는 상당히 넓은 설치 면적을 필요로 한다.

본 발명자는 종래의 수평형 장치가 갖는 상기와 같은 결점을 해결하기 위하여, 기판을 수직상태에서 다단으로 처리할 수 있도록 함으로써 장치를 컴팩트화 하여 설치면적을 줄일 수 있는 다단 수직형 장치를 개발하기에 이른 것이다.

본 발명의 목적은 FPD 기판을 습윤 공정 처리하기 위한 장치로서 컴팩트화 하여 설치면적을 줄일 수 있는 다단 수직형 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 다른 목적은 기판을 수직으로 유지하여 처리하기 때문에 처리액을 비롯하여 처리비용을 절감할 수 있는 다단 수직형 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 장치를 컴팩트화 함으로써 설치 및 제작 비용을 절감할 수 있는 다단 수직형 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 상세히 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

발명의 요약

본 발명의 FPD의 습윤 공정용 다단 수직형 장치에 관련하여 제2도에는 필터장치(4)만을 부가적으로 도시하였지만, 장치를 구성하기 위한 종래의 기타 부품들이 추가될 수 있다.

본 발명은 로더/언로더 장치와 이송장치 사이, 및 이송장치와 처리장치 사이에 차단 셔터(5)를 추가적으로 더 설치할 수 있다.

이하 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.

발명의 구체예에 대한 상세한 설명

본 발명은 FPD와 같은 기판(substrate)을 습윤공정(wet process)에서 처리하기 위한 다단 수직형 장치에 관한 것으로, 장치를 컴팩트화 하여 설치면적을 줄일 수 있고, 기판을 수직으로 유지하여 처리하기 때문에 처리액을 비롯하여 처리비용을 절감할 수 있으며, 설치 및 제작 비용을 절감할 수 있는 다단 수직형 장치에 관한 것이다.

종래의 습윤 공정 장치는 주로 '一'자형으로 배열되어 기판을 수평으로 이동하면서 처리하는 '一'자형 수평형 장치가 주류를 이루고 있다. 제1도는 FPD 기판을 습윤 공정 처리하는 종래의 '一'자형 수평형 장치의 개략적인 정면도이다.

종래의 수평형 장치는 그 길이가 길어지기 때문에 넓은 설치 면적을 차지하게 된다. 따라서 종래의 수평형 장치는 설치하고자 하는 장소에 있어서 제약을 받는다. 때로는 설치장소에 따라 장치를 '一'자형에서 'ㄴ'자 또는 'ㄷ'자 등으로 변형하기도 하지만, 설치 면적 자체를 줄일 수는 없다. 특히 5세대 LCD 글라스인 경우에는 그 사이즈가 1100×1250 mm에 달하기 때문에, 이처럼 넓은 면적의 기판을 수평으로 이동하면서 작업하는 수평형 장치는 상당히 넓은 설치 면적을 필요로 한다.

본 발명에서는 종래의 수평형 장치가 갖는 상기와 같은 결점을 해결하기 위하여, 기판을 수직상태에서 다단으로 처리할 수 있도록 구성함으로써 종래 장치에 비하여 설치면적을 최대 1/4까지 줄일 수 있다.

본 발명에 따른 FPD의 습윤 공정용 다단 수직형 장치는 기판(10)을 로딩/언로딩(loading/unloading)하기 위한 로더/언로더 장치(1), 기판을 처리장치로 이송하고 처리된 기판을 처리장치로부터 이송받으며 앞뒤로 왕복운동하는 복수개의 병렬 배열된 이송대(2a, 2b, 2c, 2d)가 수직으로 설치된 이송장치(2), 및 기판(10)이 60∼90。 의 각도로 유지되어 처리하기 위한 복수개의 병렬 배열된 처리대(3a, 3b, 3c, 3d)가 수직으로 설치된 처리장치(3)로 이루어지는 것을 그 특징으로 한다.

로더/언로더 장치(1)는 처리하고자 하는 기판(10)을 이송장치(2)의 이송대(2a)에 로딩(loading)하고, 처리장치(3)에서 처리가 완료되어 이송장치(2)의 이송대(2d)로부터 처리된 기판을 언로딩(unloading)한다. 제2도에는 도시되어 있지 않지만, 로더/언로더 장치는 이송장치의 측부를 따라 전후로 이동하면서 기판을 로딩 또는 언로딩한다. 로더/언로더 장치의 이러한 이동 수단은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있다.

본 발명에서는 기판의 로딩과 언로딩을 장치의 한쪽에서 할 수 있기 때문에 장치의 설치면적을 현저하게 줄일 수 있다. 종래의 '一'자형 등의 수평형 장치에서는 기판의 로딩과 언로딩이 서로 다른 영역에서 행해지기 때문에 넓은 면적을 차지한다.

로더/언로더 장치(1)에 의하여 기판(10)이 이송장치(2)의 이송대(2a)에 로딩(loading)된 후, 기판은 다시 처리장치(3)의 처리대(3a)로 이동된다.

처리대(3a)에서 제1차 작업이 완료되면, 기판은 이송장치의 이송대(2b)에 로 딩(loading)된 후, 제2차 작업을 위한 처리대(3b)로 이동된다. 이때 로더/언로더 장치(1)에 의하여 두 번째 기판이 이송대(2a)에 로딩(loading)된 후, 다시 처리대(3a)로 이동된다.

처리대(3a)에서의 제1차 작업과 처리대(3b)에서의 제2차 작업이 완료되면, 기판은 이송장치의 이송대(2b, 2c)에 로딩(loading)된 후, 각각 제3차 작업과 제2차 작업을 위한 처리대(3b, 3c)로 이동된다. 이때 로더/언로더 장치(1)에 의하여 세 번째 기판이 이송대(2a)에 로딩(loading)된 후, 다시 처리대(3a)로 이동된다.

즉, 기판을 처리장치로 이송하고 처리된 기판을 처리장치로부터 이송받으며 앞뒤로 왕복운동하는 복수개의 병렬 배열된 이송대(2a, 2b, 2c, 2d)가 수직으로 설치되고, 복수개의 병렬 배열된 처리대(3a, 3b, 3c, 3d)가 수직으로 설치되어 기판이 수직 상태에서 순차적으로 처리된다. 기판(10)의 기울기는 장치에 따라 변할 수 있지만 통상 60∼90°의 각도를 유지하는 것이 바람직하다.

제2도에는 이송장치의 이송대(2a, 2b, 2c, 2d)가 4대 설치되고, 처리장치의 처리대(3a, 3b, 3c, 3d)가 4대 설치되었지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 장치의 종류에 따라 변경될 수 있다.

본 발명에 따른 수직형 장치는 기판을 수직으로 유지하여 처리하기 때문에 처리액을 비롯하여 처리비용을 절감할 수 있는 다단 수직형 장치를 제공하기 위한 것이다. 즉, 종래의 수평형 장치에서는 기판의 전체 면적에 처리액을 분사시켜야 하지만 본 발명의 수직형 장치에서는 처리액을 상부에서 분사시키면 그 처리액이 하부쪽으로 흐르면서 처리되기 때문에 처리액을 종래에 비하여 50 % 이상 줄일 수 있고, 이는 결국 처리비용을 대폭적으로 절감할 수 있는 것이다. 본 발명은 또한 장치를 컴팩트화 함으로써 설치 및 제작 비용을 절감할 수 있다.

제3도는 본 발명의 다른 구체예에 따른 차단 셔터(isolation shutter)가 설치된 다단 수직형 장치의 개략적인 사시도이다. 제3도와 같이, 본 발명은 로더/언로더 장치와 이송장치 사이, 및 이송장치와 처리장치 사이에 차단 셔터(5)를 추가적으로 더 설치할 수 있다.

실제로 처리장치에서 처리액으로 처리하는 경우, 로더/언로더 장치와 이송장치를 보호할 목적으로 차단 셔터(isolation shutter)를 설치할 수 있는데, 제3도에는 도시되지 않았지만, 차단 셔터는 기판이 이동할 수 있도록 하면서 차단 역할을 할 수 있도록 하는 구조로 형성될 수 있다. 차단 셔터의 이러한 구조는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있다.

본 발명에 따른 수직형 장치가 기판의 습윤 공정의 세정 장치(cleaner)인 경우의 예를 들어 설명하면, 처리대(3a)에서는 기판을 브러싱(brushing)하는 제1 단계가 행해지고, 처리대(3b)에서는 제1 단계 작업이 완료된 기판을 고압의 DIW(Deionized Water)로 세정하는 제2 단계가 행해지며, 처리대(3c)에서는 제2 단계 작업이 완료된 기판을 린스(rinse)로 세정하는 제3 단계(rinsing)가 행해지고, 마지막으로 처리대(3d)에서는 제3 단계 작업이 완료된 기판을 건조하는 제4단계가 행해진다.

본 발명은 FPD 기판을 습윤 공정 처리하기 위한 장치로서 컴팩트화 하여 설치면적을 줄일 수 있고, 기판을 수직으로 유지하여 처리하기 때문에 처리액을 비롯하여 처리비용을 절감할 수 있으며, 장치를 컴팩트화 함으로써 설치 및 제작 비용을 절감할 수 있는 다단 수직형 장치를 제공하는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

평판 디스플레이(FPD) 기판(10)을 로딩/언로딩(loading/unloading)하기 위한 로더/언로더 장치(1);

복수개의 병렬 배열된 이송대가 수직으로 설치된 이송장치(2); 및

상기 복수개의 이송대에 대응하는 복수개의 병렬 배열된 처리대가 수직으로 설치된 처리장치(3);

를 포함하여 이루어지고,

상기 로더/언로더 장치(1)는 상기 이송장치(2) 사이에서 기판을 로딩/언로딩하고,

상기 복수개의 이송대 중 첫번째 이송대는 상기 로더/언로더 장치로부터 기판을 이송받아 상기 복수개의 처리대 중 첫번째 처리대로 이송하고,

상기 복수개의 이송대 중 마지막 이송대는 상기 복수개의 처리대 중 마지막 처리대로부터 기판을 이송받아 상기 로더/언로더 장치로 기판을 이송하고,

상기 이송장치(2)는 앞뒤로 왕복 운동함으로써 상기 복수개의 이송대 중 n번째 이송대가 (n-1)번째 처리대에서 처리된 기판을 이송받아 n번째 처리대로 공급할 수 있도록 하며,

상기 복수개의 이송대로부터 상기 복수개의 처리대로의 기판 이송 및 상기 복수개의 처리대로부터 상기 복수개의 이송대로의 기판 이송이 각각 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 FPD의 습윤 공정용 다단 수직형 장치.
제1항에 있어서, 상기 기판(10)이 60∼90°의 각도로 유지되어 처리되는 것을 특징으로 하는 FPD의 습윤 공정용 다단 수직형 장치.
제1항에 있어서, 상기 로더/언로더 장치와 이송장치 사이, 및 이송장치와 처리장치 사이에 차단 셔터(5)가 추가적으로 더 설치되는 것을 특징으로 하는 FPD의 습윤 공정용 다단 수직형 장치.
제1항에 있어서, 상기 이송대와 처리대가 3∼6 대 설치되는 것을 특징으로 하는 FPD의 습윤 공정용 다단 수직형 장치.