KR100583985B1 - 칩본딩용 테이프의 지지필름 제거장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 지지판;상기 지지판의 일측에 설치되며, 제거 테이프를 공급하는 제거 테이프 공급유닛;상기 지지판의 타측에 설치되며, 상기 제거 테이프 공급유닛으로부터 공급된 제거 테이프를 감는 제거 테이프 회수유닛; 및상기 제거 테이프 공급유닛과 회수유닛 사이의 상기 지지판에 설치되며, 상기 제거 테이프 공급유닛과 회수유닛 사이의 제거 테이프를 따라 좌우로 이동하는 지지필름 분리유닛;을 포함하며,제거 테이프가 기판에 고정된 칩본딩용 테이프의 지지필름에 부착된 상태에 서 상기 지지필름 분리유닛이 일측으로 이동하면 상기 지지필름이 칩본딩용 테이프로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이프의 지지필름 제거장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 지지필름 분리유닛과 상기 제거 테이프 공급유닛 및 제거 테이프 회수유닛 사이에 각각 설치되는 안내롤을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이프의 지지필름 제거장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제거 테이프 공급유닛은,토오크 모터에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이프의 지지필름 제거장치.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 제거 테이프 회수유닛은,상기 제거 테이프를 일정 길이씩 감는 것을 특징으로 칩본딩용 테이프의 지지필름 제거장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 지지필름 분리유닛은,상기 제거 테이프 공급유닛과 회수유닛 사이에 설치되며, 그 사이로 상기 제거 테이프를 안내하는 한쌍의 분리롤;상기 한쌍의 분리롤의 상하운동을 안내하는 상하이동부;상기 상하이동부를 좌우로 직선이동시키는 직선구동부;상기 직선구동부를 상기 지지판에 고정하며, 상기 직선구동부의 하측에 V자형의 안내홈이 형성된 고정판; 및일단은 상기 상하이동부에 고정되며, 타단은 상기 안내홈을 따라 이동하도록 설치된 안내롤;을 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이프의 지지필름 제거장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 제거 테이프 공급유닛과 지지필름 분리유닛 사이의 제거 테이프를 아래로 누르는 가압유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩본딩용 테이프의 지지필름 제거장치.
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KR1020040104200A KR100583985B1 (ko) | 2004-12-10 | 2004-12-10 | 칩본딩용 테이프의 지지필름 제거장치 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109533072A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-03-29 | 杭州测质成科技有限公司 | 一种爬壁机器人的腿部附着装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11322186A (ja) | 1998-05-11 | 1999-11-24 | Suzuki Co Ltd | テープ剥ぎ取り装置 |
KR20010044604A (ko) * | 2001-03-09 | 2001-06-05 | 한효용 | 서킷테이프의 보호필름 제거장치 |
JP2002124494A (ja) | 2000-08-07 | 2002-04-26 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの不要物除去方法およびその装置 |
-
2004
- 2004-12-10 KR KR1020040104200A patent/KR100583985B1/ko active IP Right Grant
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