KR100581757B1 - 유리 연마장치 및 연마시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 디스플레이장치용 박판유리 또는 블랭크 마스크(Blank Mask), 새도우 마스크(Shadow Mask)등의 후판 유리를 연마하는 연마장치 및 연마시스템에 관한 것으로서, 연마프레임과; 상기 연마프레임에 탈착가능하게 결합되고, 상면에 접착부재가 설치된 하부정반과; 상기 하부정반의 상면에 대향하고, 상기 하부정반의 대향면에 연마패드가 부착되며, 연마액이 통과할 수 있는 연마액 도관이 내부에 형성된 상부정반과; 상기 상부정반을 회전시키는 구동부와; 상기 구동부를 이송시키는 이송부와; 상기 상부정반의 연마액 도관으로 연마액을 공급하는 연마액 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 대형형상이나 두꺼운 두께를 가진 유리를 연마할 수 있고, 연마 후 유리기판의 이송이 효율적으로 이루어질 수 있는 유리 연마장치 및 연마시스템이 제공된다.

연마장치, 유리

Description

유리 연마장치 및 연마시스템 {Polishing Apparatus and Polishing System for Glass}

도 1은 종래기술에 따른 유리 연마장치를 도시한 사시도,

도 2는 본 발명에 따른 유리 연마장치의 제1실시예를 도시한 사시도,

도 3은 도2의 정면도,

도 4는 본 발명에 따른 유리 연마장치의 상부정반과 구동부의 단면을 도시한 단면도,

도 5는 본 발명에 따른 유리 연마장치의 드레싱부의 단면을 도시한 단면도,

도 6은 본 발명에 따른 유리 연마장치의 작동을 도시한 작동도,

도 7은 본 발명에 따른 유리 연마장치의 제2실시예를 도시한 사시도,

도 8은 본 발명에 따른 유리 연마시스템의 제1실시예를 도시한 정면도,

도 9는 본 발명에 따른 유리 연마시스템의 제2실시예를 도시한 사시도이다.

♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명♣

1: 연마장치 10: 연마프레임

11: 프레임 12: 펜스

13: 부착부재 14: 연마액 배출공

20: 하부정반 21: 접착부재

22: 연마홀더 25: 유리기판

30: 상부정반 31: 연마액 공급도관

32: 연마패드 40: 구동부

41: 회전축 42: 구동모터

50: 이송부 51: 제1이송대

52: 제2이송대 60: 연마액 공급부

70: 드레싱부 71: 드레싱 플레이트

80: 하부정반 이송장치 81: 파지홀더

82: 홀더이동부 90: 이송 롤러

본 발명은 유리 연마장치 및 연마시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 디스플레이장치의 제조에 이용되는 유리를 효율적으로 연마 및 이송시킬 수 있는 유리 연마장치 및 연마시스템에 관한 것이다.

일반적으로 화상을 표시하는 디스플레이장치로서 LCD장치, PDP를 이용한 표시장치 및 유기EL을 사용하는 EL표시장치 등이 현재 많이 이용되고 있다. 이들 디스플레이장치는 표시소자의 스위칭 소자로 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)를 이용한다. 박막트랜지스터는 유리기판위에 실리콘막 등을 증착한 후 이를 패터닝 하는 작업을 통하여 트랜지스터를 구성한다. 이러한 디스플레이장치에 사용되는 유리기판은 1.0 mm 이하의 두께를 가진 것이 주로 사용되며, 디스플레이장치의 정확한 화면표시를 위하여 유리기판의 평탄도를 일정수준이상으로 유지해야 한다. 따라서, 유리기판의 평탄도를 내기 위하여 유리기판의 연마가 필수적이다.

한편, 근래에는 디스플레이장치가 대형화되며, 이에 따라 요구되는 유리기판의 크기 역시 대형화된다. 즉, 5세대 내지 7세대의 디스플레이장치에 있어서, 그 크기가 1100㎜ x 1300㎜ 내지 1850㎜ x 2100㎜의 크기를 가지는 유리기판의 연마가 요구된다.

또한, 상술한 1.0 mm이하의 유리 이외에도, 디스플레이장치의 제조에 사용되는 블랭크 마스크(Blank Mask)나, 평면 브라운관에 사용되는 새도우 마스크(Shadow Mask)등을 제조하기 위해서는 2,0 mm 이상의 두께를 가진 후판 유리의 연마가 필요하다. 여기서 블랭크 마스크는 포토마스크의 재료로 사용되며, 패턴이 노광되기 전의 마스크이며, 일반적으로 석영(Quarts)기판 위에 금속막과 레지스트가 도포된 형태로 이루어진다. 또한, 새도우 마스크는 CRT브라운관에 사용되며, 전자총으로부터 발사되는 전자빔을 투과시켜주는 마스크를 말한다.

도1은 종래기술에 의한 유리 연마장치이다. 도면에 도시된 바와 같이, 연마장치는 연마패드가 부착된 하부정반(200)과, 하부정반(200) 상에서 선회작동되는 상부정반(300)과, 상부정반(300)의 저면에 부착되는 연마홀더(미도시)와, 하부정반(200)에 연마액을 공급하는 연마액 공급부(미도시)와, 상기 하부정반(200)을 구동시키는 회전구동부(미도시)와, 상기 상부정반을 선회시키는 선회구동부(400)를 포함한다.

상술한 구성의 연마장치의 작동을 살펴보면, 유리기판은 상부정반(300)의 하면에 부착된 연마홀더에 의해 상부정반(300)에 부착되고, 상부정반(300)은 하부정반(200) 상에서 선회하면서, 하부정반(200)의 회전에 따라 연동하여 회전하게 된다. 이에 의해 상부정반(300)의 하면에 부착된 유리기판은 하부정반(200)의 상면에 부착된 연마패드와 연마패드 공급부에 의해 공급되는 연마액에 의하여 연마된다. 여기서, 연마액은 산화세륨과 DI워터가 혼합된 것이나, 산화세륨과 이물질이 제거된 워터가 혼합된 것이나, 또는 세제와 DI워터가 혼합된 것이 주로 이용된다.

한편, 하부정반(200)에 부착된 연마패드는 유리기판의 연마가 진행됨에 따라 마모된다. 이러한 마모는 연마패드 전면에 걸쳐 균일하게 진행되지 않고 일정부위의 마모가 더 많이 진행되는 편마모상태로 진행된다. 이런 경우, 상부정반(300)을 선회구동부(400)로부터 탈착시킨 후 드레싱 플레이트(미도시)를 선회구동부에 부착하여 회전시켜 연마패드의 편마모상태를 보정한다. 드레싱 작업이 끝난 후 다시 상부정반(300)을 선회구동부(400)에 부착하여 유리기판의 연마를 계속하여 진행한다.

하지만, 종래기술에 따른 연마장치는 유리기판을 상부정반에 부착하는 작업이 까다롭고 번거로운 단점이 있다. 또한, 유리기판의 크기가 큰 경우나 유리기판의 두께가 두꺼운 경우에는 유리기판의 하중에 의해 상부정반에 연마하고자 하는 유리기판을 부착시킬 수 없는 문제점이 있다.

연마가 끝난 유리기판을 다음공정으로 이동할 때, 또는 연마장치를 바꾸어가면서 연마할 때에는, 유리기판 자체를 이동시키므로 유리기판을 취급시 유리기판의 파손이 자주 발생하는 문제점이 있다.

유리기판을 상부정반에 부착하여 연마할 경우, 하부정반의 크기가 상부정반보다 큰 형상으로 구비되므로, 대형 유리기판을 연마하기 위해서는 연마장치의 크기가 대형화되어 공간배치가 어려운 문제점이 있다.

더욱이, 유리기판을 상부정반에 부착하여 연마할 경우, 유리기판이 대형화 됨에 따라, 유리기판의 중심영역과 외곽영역의 연마상태가 서로 고르지 못하여 원하고자 하는 평탄도를 구현할 수 없는 문제점이 있다.

또한, 연마패드가 마모될 때, 드레싱 플레이트를 선회구동부에 부착하여 하부정반 상의 연마패드를 드레싱하게 되므로, 드레싱 플레이트의 부착작업이 번거롭고 공정시간이 증가하는 문제점이 있다.

한편, 대형의 유리기판을 연마하기 위하여 연마조건을 달리하여 유리기판을 여러번 연마해야 하는 경우에 있어서, 하나의 연마장치에서 연마조건을 변경하여 여러회에 걸처 연마작업을 해야 하는 번거로움이 있으며, 만약, 연마조건을 달리하는 복수의 연마장치에서 유리기판을 연마할 경우, 대형화된 유리의 이송이 어려운 문제점이 있다.

따라서 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 대형의 유리기판이나 두꺼운 두께의 유리기판을 연마할 수 있는 유리 연마장치 및 연마시스템을 제공함에 있다.

또한, 유리기판을 상부정반에 부착하는 번거로움을 피하고, 유리기판을 용이하게 연마장치에 부착할 수 있는 유리 연마장치 및 연마시스템을 제공함에 있다.

유리기판의 취급을 간단히 하여 파손을 방지할 수 있는 유리 연마장치 및 연마시스템을 제공함에 있다.

높은 평탄도를 가진 유리기판을 연마할 수 있는 유리 연마장치 및 연마시스템을 제공함에 있다.

연마패드의 드레싱 작업을 효율적으로 할 수 있는 유리 연마장치 및 연마시스템을 제공함에 있다.

대형의 유리기판을 컴팩트한 장치에 의하여 연마할 수 있는 유리 연마장치 및 연마시스템을 제공함에 있다.

또한, 여러 대의 연마장치에서 순차적으로 유리기판을 연마하는 경우에 있어서, 연마 후 다음 연마장치로 유리기판을 용이하게 이송할 수 있는 유리 연마장치 및 연마시스템을 제공함에 있다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 연마프레임과; 상기 연마프레임에 탈착가능하게 결합되고, 상면에 접착부재가 설치된 하부정반과; 상기 하부정반의 상면에 대향하고, 상기 하부정반의 대향면에 연마패드가 부착되며, 연마액이 통과할 수 있는 연마액 도관이 내부에 형성된 상부정반과; 상기 상부정반을 회전시키는 구동부와; 상기 구동부를 이송시키는 이송부와; 상기 상부정반의 연마액 도관으로 연마액을 공급하는 연마액 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 연마장치에 의해 달성된다.

여기서, 상기 이송부는 상기 구동부를 좌우로 이송시키는 제1이송대와, 상기 제1이송대를 전후로 이송시키는 제2이송대를 포함하는 것이 하부정반 상에 부착된 유리기판의 전영역을 고르게 연마할 수 있어 바람직하다.

상기 연마프레임의 일측에 상기 연마패드와 마주보도록 설치되는 드레싱플레이트와, 상기 드레싱 플레이트를 회전시켜주는 드레싱 구동부를 갖는 드레싱장치를 더 포함하는 것이 연마패드가 마모된 경우 이를 보정할 수 있어 유리기판의 높은 평탄도를 구현할 수 있다.

또한, 상기 접착부재는 배킹필름인 것을 특징으로 하거나, 상기 하부정반은 유리기판의 측면을 지지하는 연마홀더를 더 포함하는 것이 피연마재인 유리기판을 고정적으로 하부정반에 부착할 수 있다.

한편 본 발명의 다른 특징으로, 상기 목적은 연마프레임과, 상기 연마프레임에 탈착가능하게 결합되고 상면에 접착부재가 설치된 하부정반과, 상기 하부정반의 상면에 대향하고 상기 하부정반의 대향면에 연마패드가 부착되며 연마액이 통과할 수 있는 연마액 도관이 내부에 형성된 상부정반과, 상기 상부정반을 회전시키는 구동부와, 상기 구동부를 이송시키는 이송부와, 상기 상부정반의 연마액 도관으로 연마액을 공급하는 연마액 공급부를 포함하는 복수의 연마장치와; 상기 유리가 부착된 하부정반을 상기 복수의 연마장치들로 이송하는 하부정반 이송장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 연마시스템에 의해서 달성된다.

여기서, 상기 하부정반 이송장치는 하부정반을 파지하는 파지홀더와, 상기 파지홀더를 수직 및 수평이동 시키는 홀더이동부를 포함할 수 있다. 홀더이동부는 수직방향으로 이동하는 제1홀더이동부와, 연마장치의 배치방향으로 이동하는 제2홀더이동부로 구성되어 하부정반을 이동시킬 수 있다.

또한, 상기 하부정반 이송장치는 이송 롤러를 더 포함하는 것이 하부정반을 용이하게 이송할 수 있어 바람직하다.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유리 연마장치에 대하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 유리 연마장치(이하 ‘연마장치’라 함)의 제1실시예의 사시도이고, 도 3은 도2의 정면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 연마장치(1)는 연마프레임(10)과, 연마프레임(10)상에 설치되는 하부정반(20)과, 하부정반(20)의 상부에 설치되는 상부정반(30)과, 상부정반(30)을 회전시키는 구동부(40)와, 구동부(40)를 이송시키는 이송부(50)와, 상부정반(30)을 통하여 유리기판(25)으로 연마액을 공급하는 연마액 공급부(60)로 구성된다.

연마프레임(10)은 하부정반(30)이 설치되는 프레임(11)과, 유리기판(25)의 연마가 진행될 때 연마액의 비산을 방지하도록 프레임(11)의 주변을 둘러싸는 펜스(12)로 구성된다. 프레임(11)에는 하부정반(20)의 부착 및 탈착이 가능하도록 접착부재(13)가 마련된다. 부착부재(13)로는 하부정반(20)의 미끄럼을 방지할 수 있는 소정의 마찰력을 가진 배킹필름이 사용된다. 따라서, 배킹필름의 마찰력에 의하여 유리기판(25)의 연마시 하부정반(20)이 미끄러지지 않고 프레임(11)에 안정적으로 고정된다. 한편, 펜스(12)는 프레임(11)의 측면으로부터 수평방향으로 연장설치되 어 상향으로 절곡된 형상을 가진다. 펜스(11)의 저면은 연마시 연마액을 원활하게 배출할 수 있도록 지면에 대하여 일정방향으로 소정각도 경사지게 설치되며, 경사진 부분에는 연마액 배출공(14)이 형성된다.

하부정반(20)은 연마프레임(10)에 설치된 접착부재(13)의 상면에 부착된다. 하부정반(20)은 사각형상으로 마련되며, 그 재질로는 소정 두께 이상의 유리플레이트가 사용된다. 하부정반(20)의 상면에는 유리기판(25)의 탈착이 가능하도록 접착부재(21)가 설치된다. 여기서 접착부재(21)는 연마프레임(10)의 부착부재(13)와 같이 배킹필름(Backing Film)이 사용된다. 유리기판(25)은 접착부재(21)와의 마찰력에 의하여 수평방향의 힘을 견딜 수 있게 되므로 연마시 하부정반(20)에 안정적으로 고정된다.

도 4는 상부정반과 구동부를 도시한 간략도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 상부정반(30)은 하부정반(20)의 상면과 마주보도록 구동부(40)에 결합된다. 상부정반(30)은 원형으로 마련되며, 중앙부에는 연마액 공급부(60)로부터 연마액이 유리기판(25)으로 공급될 수 있도록 연마액 공급도관(31)이 형성되어 있다. 상부정반(30)의 하면에는 연마패드(32)가 부착된다.

구동부(40)는 상부정반(30)이 부착되는 회전축(41)과, 회전축(41)을 회전시키는 구동모터(42)로 구성된다. 회전축(41)은 공압에 의하여 하향으로 신장이 가능하도록 내부회전축(41a)과 외부회전축(41b)으로 구성된 실린더형상으로 마련되고, 내부회전축(41a)의 하단에는 상부정반(30)이, 외부회전축(41b)의 상단에는 풀리(43)가 결합된다. 풀리(43)는 구동모터(42)와 벨트(44)로 연결되어 있어 구동력을 전달 받는다. 이에 의하여, 상부정반(30)은 회전축(41)의 신장에 의하여 하부정반에 맞닿아 회전할 수 있게 된다. 한편, 회전축(41)의 내부에도 상부정반(30)과 마찬가지로 연마액이 통과할 수 있는 연마액 도관(31)이 형성되어 있다.

이송부(50)는 제1이송대(51)와 제2이송대(52)로 구성된다. 제1이송대(51)와 제2이송대(52)에는 LM(Linear Movement)장치가 설치되어 있다. LM장치는 당업자에게는 잘 알려진 기술이므로 자세한 설명은 생략한다. 제1이송대(51)에는 구동부(40)가 부착되고, 제2이송대(52)에는 제1이송대(51)가 부착된다. 제1이송대(51)에 부착된 구동부(40)는 LM장치에 의하여 좌우방향으로 이동된다. 또한, 제2이송대(52)에 부착된 제1이송대(51)는 LM장치에 의하여 전후방향으로 이동된다. 이러한 이송부(50)에 의하여 구동부(40)는 전후좌우방향으로 이동이 가능하며, 구동부(40)의 이동에 따라 구동부(40)에 부착된 상부정반(30)은 하부정반(20) 상에 부착된 유리기판(25)의 모든 영역에 대하여 연마할 수 있게 된다.

연마액 공급부(60)는 유리기판(25)의 연마시 연마액이 유리기판(25)으로 공급될 수 있도록 상부정반(30) 및 회전축(41)의 연마액 도관(31)과 연통되어 있다. 따라서, 상부정반(30)이 하부정반(20) 상의 어느 위치에서도 유리기판(25)으로 연마액을 공급할 수 있게 된다.

한편, 연마프레임(10)의 후방에는 드레싱부(70)가 설치된다. 도 5는 드레싱부의 단면을 도시한 단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 드레싱부(70)는 드레싱 플레이트(71)와 드레싱 플레이트(71)를 회전시키는 드레싱 구동부(72)를 갖는다. 드레싱 플레이트(71)는 원형으로 마련되며, 그 지름이 상부정반(30)의 지름보다 크 게 마련된다. 드레싱 플레이트(71)에는 연마패드(32)를 연삭할 수 있도록 다이아몬드 입자가 골고루 분포되어 있다. 한편, 원활한 드레싱 작업을 위하여 드레싱 플레이트(71)의 중심축은 드레싱 작업시 상부정반(30)의 회전축(41)의 중심에 대해 다른 축선상에 위치하도록 마련된다. 드레싱 구동부(72)는 드레싱 플레이트(71)의 하부에 마련되어 드레싱 플레이트(71)를 회전시킨다.

지금부터는 상술한 연마장치의 작동에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.

도 6은 본 발명에 따른 연마장치의 작동상태를 간략하게 도시한 간략도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 상부정반(30)은 구동부(40)의 내부회전축(41a)이 외부회전축(41b)으로부터 하향으로 이동함에 따라 하부정반(20)에 부착된 유리기판(25)에 밀착된다.

상부정반(30)은 내부회전축(41a)이 하향으로 가압됨에 따라 유리기판(25)에 밀착된 상태를 유지할 수 있다. 내부회전축(41a)은 공압에 의해 최대 200g/㎠의 힘으로 하향으로 상부정반(20)을 가압할 수 있다. 따라서, 상부정반(30)은 유리기판(25)에 밀착된 상태에서 회전할 수 있으며, 상부정반(30)의 회전수는 최대 200rpm으로 회전할 수 있다.

또한, 연마액은 연마액 공급부(60)로부터 연마액 도관(31)을 통하여 유리기판(25)으로 공급되며, 유리기판(25)은 연마액과, 상부정반(30)에 부착된 연마패드(32)의 회전에 의하여 원하는 두께로 연마된다.

한편 상부정반(30)의 작동을 살펴보면, 상부정반(30)은 하부정반(20)에 비해 그 크기가 작으므로, 이송부(50)에 의하여 하부정반(20) 상에서 이동하면서 회전하여 유리기판(25)을 연마한다. 상부정반(30)은 구동부(50)가 제1이송대(51)에서 이송됨에 따라 좌우방향으로 이동하며, 제1이송대(51)가 제2이송대(52)에서 이송됨에 따라 전후방향으로 이동하므로 유리기판(25)의 전영역을 연마할 수 있게 된다. 연마가 진행될 때, 유리기판(25)은 배킹필름과의 마찰력에 의해 수평방향으로의 힘을 견디게 되므로 안정적으로 하부정반(20)에 고정될 수 있다.

한편, 연마가 진행됨에 따라 연마패드(32)는 편마모가 되어 유리기판(25)을 높은 평탄도로 연마할 수 없게 되므로, 연마패드(32)의 드레싱 작업이 필수적이다. 드레싱 작업의 경우, 상부정반(30)은 이송부(50)에 의해 드레싱부(70)에 대응하는 위치로 이동한 후, 상부정반(30)의 연마패드(32)가 드레싱 플레이트(71)에 맞닿도록 다시 하향으로 이동된다. 여기서, 상부정반(30)의 중심축과 드레싱 플레이트(71)의 중심축은 서로 다른 축선상에 위치한다. 드레싱 플레이트(71)와 상부정반(30)이 서로 같은 방향 또는 반대방향으로 회전하여 연마패드(32)의 드레싱이 진행된다. 이에 의해 편마모된 연마패드(32)의 마모가 적게 된 영역이 드레싱 플레이트(71)에 의해 제거되므로, 연마패드(32)는 다시 평면을 유지할 수 있게 된다. 드레싱 작업이 끝나게 되면 상부정반(30)은 다시 이송부(50)에 의해 하부정반(20)으로 이동되어 유리기판(25)의 연마를 계속 진행한다.

상술한 설명의 연마장치에 의한다면, 유리기판(25)을 하부정반에 부착시켜 연마하기 때문에 대형의 유리기판은 물론, 1.0㎜이하의 얇은 유리기판을 용이하게 연마할 수 있다. 또한, 종래 2.0㎜이상의 두꺼운 대형유리기판의 경우, 그 하중 때문에 상부정반에 부착시킬 수 없어 연마할 수 없었으나, 하부정반에 유리기판을 부착시키는 본 발명에 따른 연마장치에서는 얼마든지 연마할 수 있어, 블랭크 마스크(Blank Mask), 새도우 마스크(Shadow Mask)등과 같이 2,0 mm 이상의 두께를 가진 대형 후판 유리기판의 연마가 가능해진다.

다음으로, 본 발명에 따른 유리 연마장치의 제2실시예에 대하여 설명한다. 도 7은 유리 연마장치의 제2실시예를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 연마장치는 하부정반(20) 상에 유리기판을 측면에서 고정시켜주는 연마홀더(22)를 더 포함한다. 연마홀더(22)는 유리기판의 형상에 대응하여 연마프레임(10)으로부터 상향으로 돌출되어 마련된다. 이에 의하여 연마홀더(22)가 유리기판(25)을 측면에서 지지하므로, 유리기판(25)의 연마 중 수평방향의 힘에 의해 유리기판(25)이 하부정반에서 움직이는 것을 방지할 수 있어 더욱 효과적으로 유리기판(25)을 연마할 수 있게 된다.

지금부터는, 본 발명에 따른 유리 연마시스템의 제1실시예에 대하여 설명한다. 도 8은 유리 연마시스템의 제1실시예를 도시한 정면도이다. 도면에 도시된 바와 같이 유리 연마시스템(이하 ‘연마시스템’이라 함)은 연마프레임(10)과, 연마프레임(10) 상에 설치되는 하부정반(20)과, 하부정반(20)의 상면에 대향하여 설치되는 상부정반(30)과, 상부정반(30)을 회전시키는 구동부(40)와, 구동부(40)를 이송시키는 이송부(50)와, 상부정반(30)을 통하여 연마액을 공급하는 연마액공급부(60)로 구성된 복수의 연마장치(1a, 1b)와; 복수의 연마장치(1a, 1b)로 유리기판(25)이 부착된 하부정반(20)을 이송시켜주는 하부정반 이송장치(80)로 구성된다.

복수의 연마장치(1a, 1b)는 서로 이웃하게 배치되어 있으며, 각각의 연마장치(1a, 1b)는 상술한 본 발명의 제1실시예 또는 제2실시예와 동일한 구성을 가지므로 상세한 설명은 생략한다.

하부정반 이송장치(80)는 하부정반(20)을 파지하는 파지홀더(81)와, 파지홀더(81)를 수직 및 수평이동 시키는 홀더이동부(82)로 구성된다. 파지홀더(81)는 하부정반의 측부을 파지할 수 있도록 “┗” 형상으로 마련된다. 홀더이동부(82)는 상하방향으로 이동하는 제1홀더이동부(82a)와, 연마장치(1a, 1b)의 배치방향과 동일한 방향으로 이동하는 제2홀더이동부(82b)로 구성된다. 제1홀더이동부(82a)는 파지홀더(81)를 수직방향으로 승강시켜 하부정반(20)을 상승 또는 하강시키며, 제2홀더이동부(82b)는 하부정반(20)을 서로 이웃한 연마장치(1a, 1b)로 이동시킨다.

다음으로, 연마장치가 2개로 마련된 연마시스템의 작동에 대하여 설명한다. 먼저 첫번째 연마장치(1a)에서 상술한 연마장치의 작동에 의하여 유리기판(25)의 1차 연마가 진행된 후, 제1홀더이동부(82a)에 의하여 파지홀더(81)가 하강한다. 파지홀더(81)가 하부정반(20)을 파지할 수 있는 위치까지 하강하면, 파지홀더(81)는 하부정반의 측부를 파지한다. 하부정반(20)은 네 변이 연마프레임으로부터 외부로 돌출되도록 설치되므로 파지홀더(81)가 하부정반(20)의 측부를 용이하게 파지할 수있게 된다. 이어, 제1홀더이동부(82a)가 상승함에 따라 하부정반(20)이 연마프레임(10)으로부터 이탈하여 상승한다. 상술한 바와 같이, 하부정반(20)은 연마프레임(10)에 탈착이 가능하게 결합된 상태이므로, 제1홀더이동부(82a)의 상승에 따라 하 부정반(20)은 상면에 유리기판(25)이 부착된 상태로 상승한다.

이어, 제2홀더이동부(82b)가 두 번째 연마장치(1b) 쪽으로 파지홀더(81)를 이동시키고, 다시 제1홀더이동부(81a)는 두 번째 연마장치(1b)의 연마프레임(10) 쪽으로 하강한다. 제1홀더이동부(81a)의 하강에 따라 하부정반(20)은 두 번째 연마장치의 연마프레임(10)에 안착하게 되고, 파지홀더(81a)는 하부정반(20)의 파지상태를 해지한 후 다시 상승한다. 이어 두 번째 연마장치(1b)에서 유리기판(25)의 2차 연마가 진행된다. 따라서, 유리기판(25)을 하부정반(20) 위에 부착시킨 상태에서 이송시키기 때문에, 대형 유리기판(25)을 파손시키지 않고 보다 안전하게 이송시킬 수 있으며, 하부정반 이송장치(80)에 의하여, 복수의 연마장치(1a, 1b) 사이에서 하부정반을 용이하게 이동시킬 수 있다.

도9는 본 발명에 따른 유리 연마시스템의 제2실시예를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 연마시스템은 복수의 연마장치(1a, 1b)와, 연마장치(1a, 1b)의 전방에 설치된 이송롤러(90)로 구성된다. 연마장치(1a, 1b)에 대해서는 본 발명에 따른 연마장치의 제1실시예 또는 제2실시예와 동일한 구성을 가지므로 상세한 설명은 생략한다.

이송롤러(90)는 각 연마장치(1a, 1b)의 전방에 연마장치(1a, 1b)의 배치방향과 동일한 방향으로 배치된 제1이송롤러(91)와, 각 연마장치(1a, 1b)와 제1이송롤러(91)를 연결해주는 제2이송롤러(92)로 구성된다.

상술한 구성에 따라, 첫 번째 연마장치(1a) 연마가 끝난 유리기판(25)은 하부정반(20) 상에 부착된 상태에서 제2이송롤러(92)로 옮겨진다. 하부정반(20)을 제 2이송롤러(92)로 옮기는 방법으로는 작업자가 직접 옮기는 방법도 있으나, 제3실시예에서와 같이 파지홀더와 홀더이동부를 두어 하부정반을 연마프레임으로부터 제2이송롤러로 옮기는 방법이 있다. 제2이송롤러(92)로 옮겨진 하부정반(20)은 제1이송롤러(91)로 이송되며, 제1이송롤러(91)는 두 번째 연마장치(1b)의 전방으로 하부정반(20)을 이송시킨다. 이어 하부정반(20)은 두 번째 연마장치(1b)의 전방에 설치된 제2이송롤러(92)로 이송되며, 상술한 방법과 동일한 방법에 의하여 제2이송롤러(92)로부터 두 번째 연마장치(1b)의 연마프레임(10)으로 하부정반(20)이 이송된 후, 두 번째 연마장치(1b)에서 유리기판(25)의 연마가 계속 진행될 수 있다.

이상과 같은 연마시스템에 의하여 여러 연마조건에 맞추어 세팅된 연마장치에서 각각 연마되어 원하는 두께와 평탄도를 가진 유리기판이 제조된다. 한편, 상술한 설명에서 연마장치(1a, 1b)가 2개로 마련된 연마시스템에 대하여 설명하였으나, 본 발명에 따른 연마시스템은 유리기판의 연마조건에 따라 3개 이상의 연마장치를 포함할 수도 있음은 물론이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 연마되는 유리기판을 하부정반에 부착함으로써, 대형 유리기판을 원활하게 연마할 수 있는 유리 연마장치가 제공된다.

또한, 상부정반이 유리기판의 전영역에 대하여 동일한 조건으로 연마할 수 있어, 높은 평탄도를 구현할 수 있는 유리기판을 연마할 수 있는 유리 연마장치가 제공된다.

그리고, 별도의 드레싱부를 두어, 상부정반에 부착된 연마패드의 드레싱 작 업을 효율적으로 할 수 있는 유리 연마장치가 제공된다.

더욱이, 여러 번의 연마공정에 있어서, 1회의 연마공정 후 다음 연마공정으로 유리기판을 용이하게 이송할 수 있는 유리 연마장치가 제공된다.

Claims (9)

1. 연마프레임과;

   상기 연마프레임에 탈착가능하게 결합되고, 상면에 접착부재가 설치된 하부정반과;

   상기 하부정반의 상면에 대향하고, 상기 하부정반의 대향면에 연마패드가 부착되며, 연마액이 통과할 수 있는 연마액 도관이 내부에 형성된 상부정반과;

   상기 상부정반을 회전시키는 구동부와;

   상기 구동부를 좌우로 이송시키는 제1이송대와, 상기 제1이송대를 전후로 이송시키는 제2이송대로 구성되는 이송부와;

   상기 상부정반의 연마액 도관으로 연마액을 공급하는 연마액 공급부와;

   상기 연마프레임 일측에 상기 연마패드와 마주보도록 설치되는 드레싱 플레이트와, 상기 드레싱 플레이트를 회전시켜주는 드레싱 구동부로 구성되는 드레싱장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 연마장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,

   상기 접착부재는 미끄럼을 방지할 수 있는 배킹필름인 것을 특징으로 하는 유리 연마장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 하부정반은 피연마재의 측면을 지지하는 연마홀더를 더 포함하는 것을 특징으로 유리 연마장치.
6. 연마프레임과, 상기 연마프레임에 탈착가능하게 결합되고 상면에 접착부재가 설치된 하부정반과, 상기 하부정반의 상면에 대향하고 상기 하부정반의 대향면에 연마패드가 부착되며 연마액이 통과할 수 있는 연마액 도관이 내부에 형성된 상부정반과, 상기 상부정반을 회전시키는 구동부와, 상기 구동부를 이송시키는 이송부와, 상기 상부정반의 연마액 도관으로 연마액을 공급하는 연마액 공급부를 포함하는 복수의 연마장치와;

   상기 복수개의 연마장치의 상부에 설치되며, 하부정반을 파지하는 파지홀더와, 상기 파지홀더를 수직 및 수평이동 시키는 홀더이동부를 포함하여 구성되는 하부정반 이송장치 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 연마시스템.
7. 삭제
8. 제6항에 있어서,

   상기 홀더이동부는 수직방향으로 이동하는 제1홀더이동부와, 상기 복수의 연마장치의 배치방향과 동일한 방향으로 이동하는 제2홀더이동부로 구성된 것을 특징으로 하는 유리 연마시스템.
9. 제6항 또는 제8항에 있어서,

   상기 하부정반 이송장치는 상기 복수의 연마장치의 전방에 배치되는 이송 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 연마시스템.

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