KR100545484B1 - 일체식 예비전리장치를 갖는 소형의 엑시머 레이저 절연체 - Google Patents

일체식 예비전리장치를 갖는 소형의 엑시머 레이저 절연체 Download PDF

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Abstract

예비전리장치 구성요소가 캐소드 절연플레이트(501)와 일체식으로 되어 있는 예비전리시스템이 제공된다. 캐소드 절연플레이트(501)는 캐소드(106)와 끼워맞춰지는 앞면에 머신닝된 오목 영역을 포함하여, 캐소드는 절연체 앞면과 실질적으로 동일평면에 있게 된다. 절연플레이트(501)의 뒷면은 캐소드(106)의 장축과 평행하게 뻗어있는 한 쌍의 슬롯을 포함한다. 예비전리 로드(305)는 이들 슬롯내에 위치되고, 슬롯은 캐소드(106)와 거의 인접하여 로드(305)를 위치시키기에 충분한 깊이를 갖는다. 로드를 접지로 유지함으로써, 커패시터는 로드(305)와 캐소드(106) 사이의 절연플레이트(501)가 커패시터의 유전체 물질로서 역할하도록 형성되어 있다. 전압 펄스가 인가될 때, 용량성 코로나 방전은 전극근처 영역에서 가스를 예비전리시키도록 형성된다.
Figure 111999014943113-pct00011
커패시턴스, 코로나 방전, 예비전리장치, 전극, 로드, 캐소드, 애노드

Description

일체식 예비전리장치를 갖는 소형의 엑시머 레이저 절연체{COMPACT EXCIMER LASER INSULATOR WITH INTEGRAL PRE-IONIZER}
본 발명은 일반적으로 레이저에 관한 것이고, 특별하게는 엑시머 레이저 시스템에서 가스를 예비전리시키는 장치에 관한 것이다.
레이저는 널리 사용되고 있으며 다양한 응용으로 확장되고 있다. 예를 들면, 레이저는 동맥에서 플라크를 제거하는, 또는 눈에서 떼어지거나 찢겨진 망막을 치료하는 등의 다양한 의학적 응용에 사용된다. 레이저는 또한 전기회로의 패턴을 반도체층 표면위에 만들고 반도체의 소정 위치에 구멍을 뚫는 반도체 제조에 사용된다. 레이저는 파장의 좁은 대역에서 높은 세기의 코히어런트 방사선을 생성하기 때문에 위의 응용 및 다른 응용에서 유용하다.
레이저에서 캐소드와 애노드 사이에 방전이 생성될 때, 레이저 시스템은 공동에서 가스의 화학작용 및 전리화를 용이하게 하도록 레이저에서의 가스를 예비전리시키는 서브시스템을 일반적으로 포함한다. 예비전리는 코로나 방전이 공동에서의 가스로 나아가게 되는 적어도 하나의 튜브를 포함한다. 코로나 방전은 튜브외측의 적어도 하나의 도체와 튜브 내측의 도체사이에 전압펄스가 바람직하게 인가될 때 일어난다. 부싱은 절연된 관계에서 튜브를 지지하기 위해 튜브의 단부 근처에 배치된다. 부재는 레이저에서의 특정위치에 튜브를 위치시키기 위해 튜브와 결합되어 있다.
현재 유용한 예비전리장치는 약간의 고유 단점을 가진다. 많은 시스템에서 부싱은 튜브와 동질이 아니기 때문에 접착제로 튜브에 부싱을 부착하는 것이 요구된다. 접착제가 코로나 환경의 영향아래에서 열화되는 경향이 있기 때문에, 이것은 특히 시간의 확대된 주기이상에서 예비전리장치의 사용을 제한하게 한다. 이러한 접착제 열화는 레이저 가스를 유독하게 만들기 때문에 더 잦은 가스의 교체가 요구된다. 접착제는 또한 커패시터 플레이트 사이의 유전체와 같은 튜브를 포함한 커패시터의 플레이트 사이에 인가될 수 있는 전압을 제한한다.
미특허번호 5337330의 "레이저용 예비전리장치"에 진보된 예비전리화 튜브가 개시되어 있다. 개시된 튜브는 어느 한쪽 단부에 부싱을 포함하며 부싱은 튜브와 동질이다. 동질의 튜브는 접착제 열화를 피하게 한다. 그러나 이러한 시스템은 이전 시스템과 같이, 여전히 부싱 어셈블리와 튜브에 대한 충분한 공간을 제공해야 하므로 과다한 길이의 공동을 요구한다. 추가로 요구되는 길이는 전체 효율을 낮춰서 출력전력을 낮춘다.
앞서 말한 것으로부터, 레이저 전극 어셈블리를 넘어서 확장되지 않은 예비전리장치가 바람직함이 명백해 진다.
(발명의 개요)
본 발명은 예비전리장치(pre-ionizer) 구성요소가 캐소드 절연플레이트와 일체식으로 되어 있는 예비전리시스템을 제공한다. 캐소드 절연플레이트는 앞면에 머신닝된 오목 영역을 포함한다. 캐소드는 오목 영역과 끼워맞춤되어 있고 실질적으로 절연체 앞면과 동일평면에 있다. 캐소드의 오목진 장착으로 인하여, 전위구조를 거의 접지시키기 위해 트래킹하거나 아크되는 것을 막는 충분한 전기절연을 유지시키면서, 절연플레이트의 간격이 축소될 수 있다.
절연플레이트의 뒷면은 캐소드의 장축과 평행하게 구동하는 한 쌍의 슬롯을 포함한다. 예비전리로드(rod)는 이들 슬롯내에 끼워맞춤되어 있고 슬롯은 로드가 캐소드의 단부와 거의 인접해 위치되도록 충분한 깊이를 갖는다. 접지 전위에서 로드를 유지함으로써, 로드와 캐소드 사이의 절연플레이트물질이 커패시터의 절연물질역활을 하도록 커패시터가 형성된다. 따라서 절연물질은 용량성 코로나 방전을 지원할 수 있는 특성을 가져야 한다.
바람직한 실시예에서, 예비전리 로드는 뒷면을 따라 접지되도록 전기적으로 결합되어 있다. 로드는 캐소드와 거의 동일한 길이이고 절연플레이트를 넘어 확장하지 않는다. 이러한 배치가 주어지면, 레이저 공동은 실질적으로 길이가 축소되어, 출력 전력 및 작동효율을 향상시킨다.
제 2 의 바람직한 실시예에서, 절연플레이트의 뒷면은 스탠드-오프를 사용하지 않고도 공동 하우징에 직접 장착될 수 있다. 이것은 부가 와이어를 사용하지 않고도 접지 전위로 유지되는 공동 하우징과, 예비전리 로드가 직접 접촉할 수 있게 한다.
본 발명의 이점 및 성질의 추가 이해는 남아있는 부분의 명세서와 도면을 참 조로 현실화될 것이다.
도 1 은 종래기술에 따른 예비전리장치를 포함한 엑시머 레이저의 단부구조도,
도 2는 레이저 공동에서 분리된 특정 캐소드/예비전리 어셈블리의 투시도,
도 3은 도 2에 도시된 캐소드/예비전리 어셈블리의 단면도,
도 4는 종래기술에 따른 전체 캐소드/예비전리 어셈블리의 단면도,
도 5는 본 발명에 따른 주 절연체플레이트의 설명도,
도 6은 바람직한 실시예의 절연체플레이트의 상세단면도,
도 7은 본 발명의 특정실시예의 설명도,
도 8은 도 5에 도시된 절연플레이트의 투시도.
종래기술의 일실시예에서, 일반적으로 100으로 표시된 레이저는 도 1에 파선으로 표시된 공동내에 배치되어 있다. 이 레이저의 일반적인 구성은 미특허 4959840(레이저의 벽과 절연관계로 장착되어 있는 전극을 포함하는 콤팩트 엑시머 레이저), 미특허 5033055(콤팩트 엑시머 레이저), 미특허 5377215(엑시머 레이저), 및 미특허 5377330(레이저용 예비전리장치)에 개시되어 있는 것과 대응될 수 있고, 이들 특허 모두는 임의 또는 전반적인 목적으로 참조로서 편입되어 있고, 이러한 응용의 양수인에게 일반적으로 양도되어 있다.
레이저(100)는 공동(102)에 배치되어 제 1 방향으로 서로로부터 분리되어 있는 애노드(104) 및 캐소드(106)를 포함한다. 애노드(104)는 전기적으로 접지될 수 있다. 전기전도성 부재(108)는 캐소드(106)에서 전기전도성 블록(110)으로 전기적인 연속성을 제공한다. 가스는 공동안에 배치되어 있다. 시스템의 한 형태에서, 가스는 크립톤(Kr) 및 불소(F2)일 수 있다. 대안적으로, 다른 가스가 사용될 수 있다. 가스는 공동(102)내에서 위치(112)에 점으로 개략적으로 표시되었다. 가스(112)는 재순환될 수 있고 재순환동안 정제될 수 있다.
전압 펄스가 애노드(104) 및 캐소드(106) 사이의 전압원(114)으로부터 인가될 때(캐소드가 전압이 높은 것이 바람직하다), 방전이 캐소드와 애노드 사이에 만들어진다. 이러한 방전은 가스(112)를 전리화시키고 화학반응이 가스들간에 일어나게 한다. 예를 들면, 공동(102)내에 Kr 및 F2는 화학적으로 반응하여 크립톤 불소화물(KrF)을 만든다. 이러한 화학반응이 발생할 때, 광형태의 에너지가 공동(102)에서 특정파장으로 생성된다. 코히어런트 에너지가 높은 세기 및 좁은 빔으로 만들어진다. 이것은 공동에서 윈도우를 통과하여 나아간다(도시 생략).
116으로 일반적으로 표시된 예비전리장치는 자외선을 도입함으로써 가스( 112)의 전리화를 용이하게 하도록 공동(102)내에 배치된다. 각각의 전압펄스가 애노드(104) 및 캐소드(106) 사이에 인가되기 전에 자외선은 가스로 코로나 방전에 의해서 만들어진다. 코로나 방전으로 방사된 방사선의 방향은 방사방향을 가르키도록 선 단부에 화살표를 가진 웨이브선(118)에 의해 도 1 에 도시되어 나타나 있다.
예비전리장치(116)는 전극(104 및 106)사이에 배치되어, 바람직하게는 제 1 방향에 수직인 제 2 횡방향으로 서로로부터 분리될 수 있다. 예비전리장치(116)는 바람직하게는 제 1 및 제 2 방향에 수직인 제 3 횡방향으로 공동(102)내에서 뻗어있다. 전극(104 및 106)은 또한 제 3 방향으로 공동(102)내에서 뻗어있다. 이러한 제 3 방향은 도 1의 지면속으로 들어가는 방향이다.
도 2는 레이저 공동에서 분리된 특정 캐소드/예비전리장치 어셈블리의 투시도이다. 예비전리장치(116)는 캐소드(106)의 어느 한쪽에 있고 캐소드(106)와 동일한 방향으로 뻗어있다. 각각의 예비전리장치는 고유전상수 및 고절연강도를 제공하는 적절한 물질로 만들어진 중공 튜브(201)를 포함한다. 튜브(201)는 다결정 투과성 알루미늄 산화물과 같은 세라믹 물질로 만들어진 것이 바람직하다.
부싱(203)은 튜브(201)의 어느 한 쪽에 배치된다. 부싱(203)물질은 튜브 (201)물질과 동질인 것이 바람직하다. 튜브(201)물질과 부싱(203)물질이 동일한 것이 더욱 바람직하다. 튜브(201)와 부싱(203)은 한 덩어리의 물질로 제조되기 때문에, 동일한 고절연특성을 이룰 수 있고, 튜브(201)와 부싱(203)사이에 임의의 접착제가 필요없게 된다.
전기전도체(205)는 튜브(201)내에 배치된다. 전도체(205)는 접지로 유지된 레이저 하우징과 전기적으로 결합된 것이 바람직하다. 전기전도체(207)는 튜브(201)의 표면위에 배치되고, 부싱(203)사이에서 전극(106)의 거의 전체길이만큼 뻗어있다.
전도체(207)는 적당한 힘으로 결합튜브(201)의 면에 대항하도록 배치되어 구속되어 있는 탄성 스프링의 형태일 수 있다. 전도체(207)는 캐소드(106)의 전위로 유지된다. 부싱(203)은 전도체(207)에서 레이저 하우징으로 튜브(201)를 따라서 방전 및 아크하는 것을 막는다.
튜브(201)는 수개의 위치부재(209)에 의해 전도체(207)에 기대어져 적절하게 유지된다. 도 3은 위치(3-3)에서의 캐소드/예비전리장치 어셈블리의 단면도이다. 위치부재(209)는 튜브(201)를 전도체(207)에 기대어 유지시킨다. 위치부재(209)는 절연물질로 제조되는 것이 바람직하다. 부재(209)는 또한 도전성물질로 이루어질 수 있으나, 이러한 배치는 다운스트림 아크를 일으킬 수 있다. 도전성 위치부재는 또한 부재를 직접 둘러싼 영역에서 코로나 방전의 형성을 방해할 수 있다.
전기전도체(205 및 207)는 커패시터의 제 1 및 제 2 플레이트를 형성한다. 튜브(201)는 커패시터의 플레이트 사이에서 유전물질로서 역할한다. 캐소드 전위와 같이 전기전도체(207)에 높은 전압을 인가하고, 전기전도체(205)는 접지된 것이 바람직하다. 유전물질인 튜브(201)는 유전파괴없이 용량성 코로나 방전을 유지시키는 특성을 갖는다.
전압원(114)으로부터 전압 펄스가 전기전도체(205,207)사이에 인가될 때, 전기적인 충전은 코로나 방전(도 1에 웨이브선(118)에 의해 표시됨)이 튜브(201)의 면에서부터 만들어지도록 한다. 이들 코로나 방전은 가스(112)가 위치되어 있는 공간으로 나아가는 방사선을 방출한다. 전압 펄스가 애노드(104)와 캐소드(106)사이에 만들어질 때, 가스의 전리화가 용이해지도록 방사선은 가스(112)를 예비전리시킨다.
도 3에 도시된 특정 캐소드 어셈블리에서, 캐소드(106)는 스페이서(301)에 장착된다. 스페이서(301)는 캐소드(106)와 주 절연체 플레이트(303) 사이에서 뻗어있다. 주 절연체 플레이트(303)는 알루미늄 산화물과 같은 세라믹으로 만들어지는 것이 바람직하다. 스페이서(301)는 금속 로드(305)로부터 캐소드(106)에 전기적 접속을 제공한다. 각각의 금속로드(305)는 세라믹과 같은 물질로 만드는 것이 바람직한 절연 부싱(307)에 의해 둘러싸여 있다. 주 절연체 플레이트(303)는 접지 전위로 유지되는 것이 바람직한 레이저 하우징(102)의 벽과 캐소드(106)를 전기적으로 절연시킨다. 따라서, 절연체 플레이트(303)는 적절한 방전을 캐소드(106)와 애노드(104) 사이에 발생시키는 것을 보장한다.
로드(305)에 접속된 높은 전압을 통해서 높은 전압이 캐소드(106)에 인가될 때, 주 절연체 플레이트(303)의 표면위에서 하우징(102)의 접지된 벽으로 원하지 않는 전류가 흐르는 경향이 있다. 절연체(303)가 이들 전류흐름에 얼마나 잘 저항하는가는 부분적으로는 이들 전류가 흘러야 하는 거리(멀수록 더 좋은)에 달려있으며, 접지된 하우징 벽(102)에 주 절연체의 면이 얼마나 가까운가(역시 멀수록 더 좋은)에 달려있다.
주절연체(303)가 하우징 벽으로부터 스탠드 오프되거나 또는 하우징 벽에 대해 플로팅되도록 하우징(102)의 벽은 아래방향으로 뻗어있는 부분을 포함하는 것이 바람직하다. 주어진 절연체 크기에 대해, 하우징(102)에 대해서 절연체(303)를 플로팅시키는 것이 최대화되고, 거리 기생전류는 접지 전위로 유지된 하우징(102)에 이르도록 흘러야 한다. 부가적으로, 접지된 하우징(102)으로부터 주 절연체 플레이트(303) 면을 일정간격을 두고 떨어뜨리는 것은 기생표면전류와 접지 사이의 용량결합을 감소시킨다. 매우 단기간동안 여기되는 단펄스 레이저에서, 표면전류와 접지 사이의 용량결합은 전류의 흐름을 증대시킨다. 주절연체(303)를 하우징(102)으로부터 간격을 두고 떨어뜨림으로써, 용량결합 및 기생전류흐름을 감소시킨다.
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도 4는 종래기술에 따른 전체 캐소드/예비전리장치 어셈블리의 단면도이다. 도시된 바와 같이, 단일 캐소드(106)가 3 세트의 5개 전도성 로드(305)에 결합된다. 각각의 세트의 전도성 로드(305)는 단일 전도성 스페이서(301)를 통해 결합되어 있다. 3개의 주 절연체 플레이트(303)가 도시되어 있지만, 더 큰 단일 절연플레이트가 대신 사용될 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 주 절연체 플레이트(501)의 설명도이다. 종래기술에서와 같이, 플레이트(501)가 알루미늄과 같은 세라믹으로 제조되는 것이 바람직하다. 캐소드(106)는 플레이트(501)의 오목 영역내에 꼭 맞추어 있다. 일련의 홈(503)이 플레이트(501)로 머신닝된다.
도 6은 바람직한 실시예의 절연체 플레이트(501) 상세단면도이다. 전도성 스페이서를 가진 절연체 플레이트(303) 위에 캐소드가 장착되어 있는 도 3의 종래기술과 비교했을 때, 본 발명의 캐소드는 절연 플레이트(501)의 오목 영역(601)내에 거의 완벽하게 파묻힌다. 이러한 배치는 캐소드를 전기적으로 절연시키게 하므로, 캐소드는 레이저 하우징과 같은 접지 전위에 있는 면에 더 근접해서 배치될 수 있게 한다.
홈(503)은 절연체 플레이트(501)의 전기절연 능력을 더욱 강화시는데 사용된다. 제조시간 및 비용을 최소화시키기 위해서는 홈이 없는 것이 바람직하다. 홈이 있다면, 필요한 홈(503)의 수는 레이저의 특정 설계에 의해 얻어진다. 접지 전위로 유지되는 임의의 부재, 및/또는 전류를 운반하는 임의의 부재와 캐소드와의 근접성이 주요 인자이므로 레이저 시스템의 전체크기에 영향을 준다. 또한, 캐소드에 인가되는 높은 전압 펄스의 크기는 홈(503)의 설계에 인자가 된다.
위에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 종래기술의 도 3에 도시된 스페이서 (301)와 같은 전도성 스페이서가 필요없다. 대신, 캐소드(106)는 전기적 로드(305)에 직접 결합된다. 전과 같이, 로드(305)는 절연체(307)로 절연되어 있다.
예비전리 와이어(603)는 절연플레이트(501)의 뒷면에 형성된 홈(605)내에 유지되어 있다. 종래기술에서와 같이, 와이어(603)는 접지 전위로 유지되는 것이 바람직하다. 도 7은 본 발명의 제 2 실시예이다. 이 실시예에 있어서, 절연 플레이트(501)는 공동 하우징(701)의 영역에 직접 결합되어 있다. 예비전리 부재(703)는 홈(605)내에 있다. 이 실시예에서, 예비전리 부재(703)는 하우징과 접촉하고 있어서, 접지 전위로 유지된다. 따라서 이 실시예는 예비전리 로드를 접지 전위로 유지되는 다른 부재나 하우징에 결합하는 와이어가 필요 없으므로, 레이저 시스템의 요구크기를 더 줄일 수 있다.
절연플레이트(501)의 뒷면에 예비전리 와이어의 일체식 구성으로 인하여, 레이저의 전반적인 길이가 상당히 짧아질 수 있다. 길이 감소의 결과로, 레이저 작동 효율과 출력전력은 향상된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 종래기술접근은 튜브(201)의 양쪽 단부가 부싱(203)에 결합되는 것이 필요했다. 부싱(203)은 예비전리 와이어(205)와 절연될 필요가 있기 때문에, 와이어(205)에서 전기적 전도체(207) 또는 어는 한쪽 전극(106)으로 방전되는 것을 막았다. 부싱(203)의 추가는 레이저 공동을 상당히 길게 하기 때문에, 레이저 효율 및 출력전력을 감소시킨다.
도 7에 도시된 실시예의 예비전리 와이어(603) 또는 예비전리 로드(703)는 캐소드(106)의 장축에 대응하는 방향으로 절연 플레이트(501)를 넘어 확장하지 않기 때문에, 본 발명은 부싱(203)과 같은 구성요소를 요구하지 않는다. 이것은 더 콤팩트하므로, 더 효율적인 레이저 시스템이 된다.
향상된 작동효율의 이점외에도, 본 발명은 또한 더욱 단순하기 때문에 설계비용을 줄인다. 예를 들면, 도 7에 도시된 실시예는 예비전리 튜브(201), 부싱(203), 전도성 부재(207), 예비전리 튜브 서포트(209), 또는 전도성 스페이서(301)가 분리될 필요가 없다. 추가로, 본 발명의 오목진 캐소드 설계로 인하여, 절연 플레이트(501)는 종래기술의 절연플레이트 만큼 폭넓을 필요가 없기 때문에, 플레이트 제조에 필요한 세라믹 물질의 크기를 감소시킨다.
도 8은 절연 플레이트(501)의 투시도이다. 본 특정실시예에서, 플레이트의 어느 한쪽 단부에 플레이트(501)로 작은 채널(801)이 끼어들기 때문에, 절연 플레이트가 레이저 광학 공동과 간섭하지 않도록 한다. 채널(801)은 캐소드(106) 바깥면이 주변의 절연 플레이트보다 약간 낮아지는 것에 기인한 예방수단일 뿐이다. 또한, 광학 클리핑은 캐소드(106)가 마멸되고 바깥쪽 캐소드면이 더욱 오목지게 될 때 더 잘 일어난다.
기술과 친숙한 이들에 의해서 이해될 바와 같이, 본 발명은 이들의 중요한 특성 및 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로도 구현될 수 있다. 따라서, 여 기의 개시 및 설명은 예시적인 것이며, 다음 청구항에서 진술되어질 본 발명의 범주에만 제한되지 않는다.

Claims (18)

  1. 레이저에서 사용하기 위한 예비전리장치에 있어서,
    제 1 표면과 제 2 표면을 구비하고, 유전파괴없이 용량성 코로나 방전을 지원하는 특성을 가진 유전체 물질로 구성된 부재;
    상기 부재의 상기 제 1 표면의 오목 영역;
    상기 제 1 표면의 상기 오목 영역내에 존재하고, 제 1 커패시터 플레이트를 형성하는 제 1 전극;
    상기 부재의 상기 제 2 표면내의 적어도 하나의 오목 영역;
    상기 제 2 표면의 상기 오목 영역내에 존재하고, 제 2 커패시터 플레이트를 형성하는 제 2 전극; 및
    커패시터를 충전하고 상기 부재로부터 코로나 방전을 형성하기 위해 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극의 사이에 전압을 인가하는 전압원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 상기 레이저용 캐소드인 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 캐소드는 제 1 표면과 제 2 표면을 구비하고, 상기 캐소드의 상기 제 1 표면은 상기 부재와 접촉하고, 상기 캐소드의 상기 제 2 표면은 상기 부재의 상기 제 1 표면과 실질적으로 평행한 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 부재의 상기 제 2 표면내의 상기 오목 영역은 상기 부재의 상기 제 1 표면내의 상기 오목 영역의 길이와 실질적으로 동일한 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 상기 제 2 전극의 길이와 실질적으로 동일한 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 부재는 상기 부재의 상기 제 1 표면에 적어도 하나의 연속 홈을 가지며, 상기 홈은 상기 제 1 표면상에서 상기 오목 영역을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 레이저내의 애노드;
    상기 애노드와 상기 캐소드를 포함한 공동; 및
    상기 공동내의 레이저광발생가능 가스 매체;를 더 포함하고, 상기 제 1 전극은 상기 레이저내의 캐소드이고, 상기 코로나 방전에 의해 방사되는 방사선은, 상기 캐소드와 상기 애노드 사이에서 전기적인 방전이 발생할 때, 상기 가스의 전리화를 용이하게 하는 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 공동은 상기 부재의 길이와 실질적으로 동일한 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 부재에 결합된 내부 표면을 갖는 하우징을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 하우징은 접지전위에 있고, 상기 제 2 전극은 상기 하우징과 전기적으로 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  11. 제 7 항에 있어서, 적어도 하나의 연속 홈은 상기 부재내에 형성되고, 상기 홈은 상기 캐소드를 둘러싸는 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 부재는 제 1 단부 및 제 2 단부를 구비하고, 제 1 채널과 제 2 채널이 상기 부재내에 형성되고, 상기 제 1 채널은 상기 오목한 제 2 표면으로부터 상기 제 1 단부로 뻗어 있고, 상기 제 2 채널은 상기 오목한 제 2 표면으로부터 상기 제 2 단부로 뻗어 있고, 상기 제 1 및 제 2 채널은 상기 부재에 의한 광학 클리핑을 최소화하는 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
  13. 제 1 항에 있어서, 상기 부재는 알루미늄 산화물로 형성된 것을 특징으로 하는 예비전리장치.
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