JPH08153922A - レーザーのコロナ予備電離装置 - Google Patents
レーザーのコロナ予備電離装置Info
- Publication number
- JPH08153922A JPH08153922A JP31432694A JP31432694A JPH08153922A JP H08153922 A JPH08153922 A JP H08153922A JP 31432694 A JP31432694 A JP 31432694A JP 31432694 A JP31432694 A JP 31432694A JP H08153922 A JPH08153922 A JP H08153922A
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- Japan
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- corona
- laser
- electrode
- insulating member
- preionization
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コロナ放電を均一にすることにより紫外線
の発生を均一化し、コロナ予備電離の性能向上を図ると
ともに、エキシマレーザーその他のガスレーザーのガス
媒体の長寿命化、および出力の安定を図ることができる
レーザーのコロナ予備電離装置を提供することを課題と
する。 【構成】 コロナ用電極（コロナ用正電極７）の尖鋭
端部７Ａと絶縁部材９との間に導電線材２１を介在させ
ることによってコロナ放電を起こす接触点の数を増加可
能とすること、およびコロナ放電を均一化可能とするこ
とに着目したもので、コロナ予備電極６の絶縁部材９に
導電線材２１を巻いたことことを特徴とする。
の発生を均一化し、コロナ予備電離の性能向上を図ると
ともに、エキシマレーザーその他のガスレーザーのガス
媒体の長寿命化、および出力の安定を図ることができる
レーザーのコロナ予備電離装置を提供することを課題と
する。 【構成】 コロナ用電極（コロナ用正電極７）の尖鋭
端部７Ａと絶縁部材９との間に導電線材２１を介在させ
ることによってコロナ放電を起こす接触点の数を増加可
能とすること、およびコロナ放電を均一化可能とするこ
とに着目したもので、コロナ予備電極６の絶縁部材９に
導電線材２１を巻いたことことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザーのコロナ予備電
離装置にかかるもので、とくにエキシマレーザーその他
のガスレーザーにおけるコロナ放電の均一化を図ったレ
ーザーのコロナ予備電離装置に関するものである。
離装置にかかるもので、とくにエキシマレーザーその他
のガスレーザーにおけるコロナ放電の均一化を図ったレ
ーザーのコロナ予備電離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスレーザーたとえばエキシマレ
ーザーの特性向上のために、ビームの均一化および安定
性の向上が要求されており、さらにこうしたビームの均
一化および安定性の向上のためには予備電離の強度向上
および均一化が必要である。
ーザーの特性向上のために、ビームの均一化および安定
性の向上が要求されており、さらにこうしたビームの均
一化および安定性の向上のためには予備電離の強度向上
および均一化が必要である。
【０００３】予備電離方法のひとつであるコロナ予備電
離については、従来は、コロナ放電を起こす接触点が少
ないために、予備電離状態が均一ではないという問題が
ある。
離については、従来は、コロナ放電を起こす接触点が少
ないために、予備電離状態が均一ではないという問題が
ある。
【０００４】図３ないし図５にもとづき従来のコロナ予
備電離装置について概説する。図３は、エキシマレーザ
ー１におけるコロナ予備電離装置２部分の概略斜視図で
あって、エキシマレーザー１は、レーザー容器３と、主
正電極４と、主負電極５とを有し、コロナ予備電離装置
２はこの主負電極５に沿って設けたコロナ予備電極６を
有する。
備電離装置について概説する。図３は、エキシマレーザ
ー１におけるコロナ予備電離装置２部分の概略斜視図で
あって、エキシマレーザー１は、レーザー容器３と、主
正電極４と、主負電極５とを有し、コロナ予備電離装置
２はこの主負電極５に沿って設けたコロナ予備電極６を
有する。
【０００５】コロナ予備電極６は、尖鋭端部７Ａを有す
るコロナ用正電極７と、円柱状のコロナ用負電極８と、
絶縁部材９とを有する。なお、コロナ用正電極７および
コロナ用負電極８はどちらが正負極となっても構わな
い。
るコロナ用正電極７と、円柱状のコロナ用負電極８と、
絶縁部材９とを有する。なお、コロナ用正電極７および
コロナ用負電極８はどちらが正負極となっても構わな
い。
【０００６】コロナ用正電極７およびコロナ用負電極８
は、これをステンレス材あるいは銅材などから構成し、
絶縁部材９は、これをガラス、セラミックスあるいはサ
ファイアなどの誘電体から構成する。
は、これをステンレス材あるいは銅材などから構成し、
絶縁部材９は、これをガラス、セラミックスあるいはサ
ファイアなどの誘電体から構成する。
【０００７】絶縁部材９は、コロナ用正電極７およびコ
ロナ用負電極８の間に介在させるとともに、図４に示す
ように、その外周面がコロナ用正電極７の尖鋭端部７Ａ
に軸方向に沿って接触している。
ロナ用負電極８の間に介在させるとともに、図４に示す
ように、その外周面がコロナ用正電極７の尖鋭端部７Ａ
に軸方向に沿って接触している。
【０００８】なお、主負電極５には多数の貫通孔１０を
形成し、コロナ用正電極７およびコロナ用負電極８の間
に高電圧を印加することによってコロナ予備電極６部分
で発生した紫外線を主正電極４と主負電極５との間に供
給可能としている。
形成し、コロナ用正電極７およびコロナ用負電極８の間
に高電圧を印加することによってコロナ予備電極６部分
で発生した紫外線を主正電極４と主負電極５との間に供
給可能としている。
【０００９】こうした構成を有するコロナ予備電離装置
２を備えたエキシマレーザー１において、主正電極４お
よび主負電極５の間での主放電によりレーザーガスを励
起してレーザー発振を行うものであるが、主正電極４お
よび主負電極５の間での主放電に先立って、コロナ予備
電極６の部分におけるコロナ放電により紫外線を発生さ
せて予備電離しておく必要がある。
２を備えたエキシマレーザー１において、主正電極４お
よび主負電極５の間での主放電によりレーザーガスを励
起してレーザー発振を行うものであるが、主正電極４お
よび主負電極５の間での主放電に先立って、コロナ予備
電極６の部分におけるコロナ放電により紫外線を発生さ
せて予備電離しておく必要がある。
【００１０】すなわち、絶縁部材９を挟むようにしてコ
ロナ用正電極７とコロナ用負電極８との間に所定の高電
圧をかけると、コロナ用正電極７の尖鋭端部７Ａと絶縁
部材９との接点部分においてコロナ放電が起こり、コロ
ナ放電による予備電離が行われる。
ロナ用正電極７とコロナ用負電極８との間に所定の高電
圧をかけると、コロナ用正電極７の尖鋭端部７Ａと絶縁
部材９との接点部分においてコロナ放電が起こり、コロ
ナ放電による予備電離が行われる。
【００１１】このような放電は絶縁部材９の表面に広が
るが、絶縁部材９とコロナ用正電極７との接触部分（尖
鋭端部７Ａ）における放電強度は強いが、他の部分にお
ける強度は弱く、主正電極４および主負電極５の間にお
いて均一に予備電離を行うことは困難であるという問題
がある。
るが、絶縁部材９とコロナ用正電極７との接触部分（尖
鋭端部７Ａ）における放電強度は強いが、他の部分にお
ける強度は弱く、主正電極４および主負電極５の間にお
いて均一に予備電離を行うことは困難であるという問題
がある。
【００１２】図５は、コロナ予備電極６の軸線直角方向
の概略断面説明図であって、図示のようにコロナ放電の
程度は尖鋭端部７Ａの部分で最大であり、他の部分にお
いては小さい。なお、コロナ予備電極６の数を増やす場
合もあるが、それぞれのコロナ予備電極６部分では同様
の問題がある。
の概略断面説明図であって、図示のようにコロナ放電の
程度は尖鋭端部７Ａの部分で最大であり、他の部分にお
いては小さい。なお、コロナ予備電極６の数を増やす場
合もあるが、それぞれのコロナ予備電極６部分では同様
の問題がある。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
諸問題にかんがみなされたもので、コロナ予備電離の性
能向上を図るレーザーのコロナ予備電離装置を提供する
ことを課題とする。
諸問題にかんがみなされたもので、コロナ予備電離の性
能向上を図るレーザーのコロナ予備電離装置を提供する
ことを課題とする。
【００１４】また、本発明は、コロナ放電を均一にする
ことにより紫外線の発生を均一化し、エキシマレーザー
などのレーザーのビームの安定化を図ったレーザーのコ
ロナ予備電離装置を提供することを課題とする。
ことにより紫外線の発生を均一化し、エキシマレーザー
などのレーザーのビームの安定化を図ったレーザーのコ
ロナ予備電離装置を提供することを課題とする。
【００１５】また、本発明は、エキシマレーザーその他
のガスレーザーのガス媒体の長寿命化、および出力の安
定を図ることができるレーザーのコロナ予備電離装置を
提供することを課題とする。
のガスレーザーのガス媒体の長寿命化、および出力の安
定を図ることができるレーザーのコロナ予備電離装置を
提供することを課題とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、コロ
ナ用電極の尖鋭端部と絶縁部材との間に導電線材を介在
させることによってコロナ放電を起こす接触点の数を増
加可能とすること、およびコロナ放電を均一化可能とす
ることに着目したもので、レーザー容器内の主電極に沿
って設けたコロナ用正電極およびコロナ用負電極、なら
びにこれらコロナ用正電極およびコロナ用負電極の間に
介在させた絶縁部材を有するコロナ予備電極により該主
電極近傍にコロナ予備電離を起こさせるレーザーのコロ
ナ予備電離装置であって、上記コロナ予備電極の絶縁部
材に導電線材を巻いたことを特徴とするレーザーのコロ
ナ予備電離装置である。
ナ用電極の尖鋭端部と絶縁部材との間に導電線材を介在
させることによってコロナ放電を起こす接触点の数を増
加可能とすること、およびコロナ放電を均一化可能とす
ることに着目したもので、レーザー容器内の主電極に沿
って設けたコロナ用正電極およびコロナ用負電極、なら
びにこれらコロナ用正電極およびコロナ用負電極の間に
介在させた絶縁部材を有するコロナ予備電極により該主
電極近傍にコロナ予備電離を起こさせるレーザーのコロ
ナ予備電離装置であって、上記コロナ予備電極の絶縁部
材に導電線材を巻いたことを特徴とするレーザーのコロ
ナ予備電離装置である。
【００１７】上記導電線材は、これをラセン状に巻くこ
とができる。
とができる。
【００１８】上記導電線材は、これを複数本設けること
ができる。
ができる。
【００１９】上記導電線材は、互いの間をあけて上記絶
縁部材の軸方向に沿って均一にこれを設けることができ
る。
縁部材の軸方向に沿って均一にこれを設けることができ
る。
【００２０】
【作用】本発明によるレーザーのコロナ予備電離装置に
おいては、コロナ用正電極などのコロナ用電極の尖鋭端
部と絶縁部材との間にワイヤなどの導電線材を介在させ
たので、尖鋭端部と絶縁部材との間の接触点を増加させ
ることができ、絶縁部材の円周方向において均一にコロ
ナ放電が発生し、均一な予備電離を実現することができ
る。
おいては、コロナ用正電極などのコロナ用電極の尖鋭端
部と絶縁部材との間にワイヤなどの導電線材を介在させ
たので、尖鋭端部と絶縁部材との間の接触点を増加させ
ることができ、絶縁部材の円周方向において均一にコロ
ナ放電が発生し、均一な予備電離を実現することができ
る。
【００２１】なお、この導電線材をラセン状に取り付け
ることにより、取付け操作を簡単化することができる。
ることにより、取付け操作を簡単化することができる。
【００２２】
【実施例】つぎに本発明の第１の実施例によるレーザー
のコロナ予備電離装置２０を図１にもとづき説明する。
ただし、図３ないし図５と同様の部分には同一符号を付
し、その詳述はこれを省略する。
のコロナ予備電離装置２０を図１にもとづき説明する。
ただし、図３ないし図５と同様の部分には同一符号を付
し、その詳述はこれを省略する。
【００２３】図１は、レーザーのコロナ予備電離装置２
０におけるコロナ予備電極６部分の概略斜視図であっ
て、絶縁部材９の円周方向に導電性のワイヤなどによる
導電線材２１をラセン状に巻き付けてある。
０におけるコロナ予備電極６部分の概略斜視図であっ
て、絶縁部材９の円周方向に導電性のワイヤなどによる
導電線材２１をラセン状に巻き付けてある。
【００２４】したがって、コロナ用正電極７の尖鋭端部
７Ａは、導電線材２１を介して絶縁部材９の円周部分に
おいて絶縁部材９と多数の接触点を有することとなる。
換言すれば、コロナ用正電極７は、その直線状の尖鋭端
部７Ａに代わって、多数の尖鋭接触部を絶縁部材９の円
周部分に有することになる。
７Ａは、導電線材２１を介して絶縁部材９の円周部分に
おいて絶縁部材９と多数の接触点を有することとなる。
換言すれば、コロナ用正電極７は、その直線状の尖鋭端
部７Ａに代わって、多数の尖鋭接触部を絶縁部材９の円
周部分に有することになる。
【００２５】こうした構成のレーザーのコロナ予備電離
装置２０において、コロナ用正電極７の尖鋭端部７Ａ
は、この導電線材２１を介して絶縁部材９の軸方向およ
び円周方向において絶縁部材９の円周面に対向接触する
こととなり、多数の接触点の存在によって、絶縁部材９
の円周部分およびその軸方向において導電線材２１周辺
にコロナが均一に発生し、均一な予備電離を行うことが
できる。
装置２０において、コロナ用正電極７の尖鋭端部７Ａ
は、この導電線材２１を介して絶縁部材９の軸方向およ
び円周方向において絶縁部材９の円周面に対向接触する
こととなり、多数の接触点の存在によって、絶縁部材９
の円周部分およびその軸方向において導電線材２１周辺
にコロナが均一に発生し、均一な予備電離を行うことが
できる。
【００２６】絶縁部材９の円周部分およびその軸方向に
おいて均一にコロナ放電を行うことにより、放出される
紫外線は、図５の実線に示すように主正電極４および主
負電極５の間において従来の場合（点線）より均一化さ
れるため、レーザーガス媒体を均一に予備放電させる。
おいて均一にコロナ放電を行うことにより、放出される
紫外線は、図５の実線に示すように主正電極４および主
負電極５の間において従来の場合（点線）より均一化さ
れるため、レーザーガス媒体を均一に予備放電させる。
【００２７】したがって、主正電極４および主負電極５
の間の主放電も均一化され、安定したエキシマレーザー
のビームを得ることができる。
の間の主放電も均一化され、安定したエキシマレーザー
のビームを得ることができる。
【００２８】図２は、本発明の第２の実施例によるレー
ザーのコロナ予備電離装置３０におけるコロナ予備電極
６部分の概略斜視図であり、このレーザーのコロナ予備
電離装置３０においては導電線材２１をラセン状ではな
く、複数本の導電線材２１を単純に軸線方向に直角な面
内において所定間隔をおいてコロナ用正電極７の尖鋭端
部７Ａと絶縁部材９との間に均等に介在させてある。
ザーのコロナ予備電離装置３０におけるコロナ予備電極
６部分の概略斜視図であり、このレーザーのコロナ予備
電離装置３０においては導電線材２１をラセン状ではな
く、複数本の導電線材２１を単純に軸線方向に直角な面
内において所定間隔をおいてコロナ用正電極７の尖鋭端
部７Ａと絶縁部材９との間に均等に介在させてある。
【００２９】こうした構成のレーザーのコロナ予備電離
装置３０においても、コロナ放電を均一化することがで
きる。
装置３０においても、コロナ放電を均一化することがで
きる。
【００３０】なお本発明においては、導電線材の本数は
任意であり、複数本の導電線材をラセン状とすることも
できる。
任意であり、複数本の導電線材をラセン状とすることも
できる。
【００３１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、コロナ用
電極と絶縁部材との間にワイヤなどの導電線材を円周方
向に介在させたので、均一なコロナ放電を発生させるこ
とができ、均一な予備電離を実現することができる。
電極と絶縁部材との間にワイヤなどの導電線材を円周方
向に介在させたので、均一なコロナ放電を発生させるこ
とができ、均一な予備電離を実現することができる。
【００３２】
【図１】本発明の第１の実施例によるレーザーのコロナ
予備電離装置２０におけるコロナ予備電極６部分の概略
斜視図である。
予備電離装置２０におけるコロナ予備電極６部分の概略
斜視図である。
【図２】本発明の第２の実施例によるレーザーのコロナ
予備電離装置３０におけるコロナ予備電極６部分の概略
斜視図である。
予備電離装置３０におけるコロナ予備電極６部分の概略
斜視図である。
【図３】従来のエキシマレーザー１におけるコロナ予備
電離装置２部分の概略斜視図である。
電離装置２部分の概略斜視図である。
【図４】同、コロナ予備電極６部分の拡大斜視図であ
る。
る。
【図５】同、コロナ予備電極６の軸線直角方向の概略断
面説明図である。
面説明図である。
１ エキシマレーザー ２ エキシマレーザー１のコロナ予備電離装置 ３ レーザー容器 ４ 主正電極 ５ 主負電極 ６ コロナ予備電極 ７ コロナ用正電極 ７Ａ コロナ用正電極７の尖鋭端部 ８ コロナ用負電極 ９ 絶縁部材 １０ 貫通孔 ２０ レーザーのコロナ予備電離装置 ２１ 導電性のワイヤなどによる導電線材 ３０ レーザーのコロナ予備電離装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｓ 3/223 Ｅ
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザー容器内の主電極に沿って設け
たコロナ用正電極およびコロナ用負電極、ならびにこれ
らコロナ用正電極およびコロナ用負電極の間に介在させ
た絶縁部材を有するコロナ予備電極により該主電極近傍
にコロナ予備電離を起こさせるレーザーのコロナ予備電
離装置であって、 前記コロナ予備電極の絶縁部材に導電線材を巻いたこと
を特徴とするレーザーのコロナ予備電離装置。 - 【請求項２】 前記導電線材は、これをラセン状に巻
いたことを特徴とする請求項１記載のレーザーのコロナ
予備電離装置。 - 【請求項３】 前記導電線材は、これを複数本設けた
ことを特徴とする請求項１記載のレーザーのコロナ予備
電離装置。 - 【請求項４】 前記導電線材は、互いの間をあけて前
記絶縁部材の軸方向に沿って均等にこれを設けたことを
特徴とする請求項３記載のレーザーのコロナ予備電離装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31432694A JPH08153922A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | レーザーのコロナ予備電離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31432694A JPH08153922A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | レーザーのコロナ予備電離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08153922A true JPH08153922A (ja) | 1996-06-11 |
Family
ID=18051994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31432694A Pending JPH08153922A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | レーザーのコロナ予備電離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08153922A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100516128B1 (ko) * | 1999-08-04 | 2005-09-21 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 가스 레이저 장치용 코로나 예비전리 전극 |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP31432694A patent/JPH08153922A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100516128B1 (ko) * | 1999-08-04 | 2005-09-21 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 가스 레이저 장치용 코로나 예비전리 전극 |
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