KR100489574B1 - 기판 피복방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 복수의 채널을 갖는 기판을 피복 매체로 피복시키기 위한 방법이며 피복 매체의 부피가 기판을 소정 수준까지 피복시키기에 충분하게 침지된 기판의 단부 위에 놓여 있는 상태로 피복 매체의 배스를 포함하는 용기에 기판이 부분적으로 침지된다. 그 후 채널 내에 균일한 피복 프로파일을 형성하기 위해 배스로부터 각각의 채널로 피복 매체를 상향으로 끌어당기기 위한 충분한 시간 및 강도로 부분적으로 침지된 기판에 진공이 가해진다.

Description

기판 피복 방법{METHOD FOR COATING A SUBSTRATE}

본 발명은 촉매 컨버터에 사용되는 모놀리식(monolithic) 기판과 같이 복수의 채널을 갖는 기판을 피복시키기 위한 진공 주입 방법에 관한 것이다.

촉매 컨버터는 배기 가스의 해로운 성분을 제거하고 또는 전환시키는 것으로 공지되어 있다. 촉매 컨버터는 이 목적을 위해 다양한 구조물을 갖는데, 구조물의 한 형태는 높은 표면 영역을 가지고 촉매식으로 피복된 본체를 제공하기 위해 복수의 종방향 채널을 갖는 벌집형 요소 또는 촉매성으로 피복된 강성 골격 모놀리식 기판이다.

강성의 모놀리식 기판은 세라믹 또는 다른 재료로 제조된다. 이런 재료 및 그 구조물은 본 명세서에서 참조로써 인용한 미국 특허 제3,331,787호 및 제3,565,830호에서 설명되고 있다.

모놀리식 기판 및 특히 복수의 채널은 촉매성 및/또는 흡습성 재료의 슬러리로 피복된다. 촉매성 슬러리로 모놀리식 기판을 피복시키는 다양한 방법이 기술 분야에서 공지되어 있지만, 이들 방법은 비용면에서 보면 플라티늄, 팔라듐 또는 로듐과 같은 비싼 촉매성 활성 귀금속이 피복의 일부로서 적층될 때 도포된 피복의 양을 최소화하지 못하는 단점이 있다. 모놀리식 기판을 피복하는 것뿐만 아니라, 채널 내에 일정하고 재생 가능한 피복 패턴을 제공하는 것도 어렵다.

사전 제조된 모놀리식 기판을 피복하는 한 방법은 촉매 슬러리를 각각의 채널로 펌핑한 후에 피복된 기판을 건조시키는 것이다. 이런 시스템은 촉매 피복이 균일한 피복 두께 및 균일한 피복 프로파일로 각각의 채널의 동일한 길이에 걸쳐 적층되도록 하지 못했다.

채널을 통해 촉매 슬러리를 상향으로 끌어당기기 위해 진공을 사용하는 것이 제안되어 왔다. 예컨대, 피터 디. 영(Peter D. Young)의 미국 특허 제4,384,014호는 채널로부터 공기를 제거하기 위해 모놀리식 기판 위에 진공을 발생시켜서 채널을 통해 촉매 슬러리를 상향으로 끌어당기는 것을 개시하고 있다. 진공은 그 후에 해제되어 과도한 슬러리는 양호하게는 중력 배출에 의해 제거된다.

제임스 알. 리드(James R. Reed) 등의 미국 특허 제4,191,126호는 슬러리에 모놀리식 기판을 디핑(dipping)시켜서 대기압보다 낮은 압력을 사용하여 지지부의 표면으로부터 잉여 피복 슬러리를 소제하는 것을 개시하고 있다. 가해진 진공은 채널을 플러그 해제하여 슬러리가 각각의 채널 표면 위로 끌어당기게 한다.

이들 시스템에 대한 개선점은 본 명세서에서 참조로써 인용한 토마스 심로크(Thomas Shimrock) 등의 미국 특허 제4,609,563호에 개시되어 있다. 이 시스템은 세라믹 기판 부재를 내화 및/또는 촉매 금속 요소의 슬러리로 진공 피복시킴에 있어 정밀하게 제어된 소정량의 슬러리를 세라믹 모놀리식 기판에 도포하기 위해 측정되는 방법을 포함한다. 모놀리식 기판은 양호하게는 소정 치수로 된, 용기 내로 기판에 피복될 정확한 양의 슬러리를 함유하는 소정 깊이까지 하강된다. 그후 슬러리는 배스(bath)에 침지된 단부에 대향하는 기판의 단부에 가해진 진공에 의해 끌어당겨진다. 기판으로부터 과잉 피복 슬러리를 배출하거나 소제할 필요가 없으며 공기를 제거하기 위해 사전 진공 적용 단계도 요구되지 않는다.

미국 특허 제4,609,563호에 정밀한 양의 슬러리를 함유한 딥 팬(dip pan)으로 공지된 용기의 구조는 바람직하게는 피복될 기판을 자유롭게 수납하기 위한 소정 형상으로 되어 있지만 기판의 형상과 거의 일치한다. 따라서, 모놀리식 기판이 타원 형상일 경우, 딥 팬은 기판 자체보다는 조금 큰 크기의 타원 형상이다.

미국 특허 제4,609,563호의 공정이 다른 표준 처리 공정에 의한 피복 보다 매끄러운 피복을 제공하지만, 피복이 각각의 채널의 동일한 거리를 덮는 균일한 피복 프로파일을 얻는 것은 여전히 어렵다. 또한, 미국 특허 제4,609,563호의 공정은 각각의 형태의 모놀리식 기판을 위한 정밀한 형상 및 크기로 된 딥 팬을 구비해야 하므로, 다양한 크기 및 형상으로 된 딥 팬의 목록을 달성함으로써 추가 비용이 든다. 또한 각 딥 팬의 크기는 양호하게는 기판 보다 단지 조금 클 뿐이다. 따라서, 뜻하지 않게 기판이 딥 팬을 손상시키지 않도록 딥 팬에 약한 기판을 위치시키는 또다른 배려도 있어야만 한다.

따라서 경제적이고 효율적인 방법으로 균일한 피복 프로파일을 제공하기 위해 각각의 채널이 동일한 길이에 대해 동일한 두께의 피복으로 피복될 수 있다면, 이것은 모놀리식 기판 특히 촉매 컨버터용 모놀리식 기판을 피복시키는 기술 분야에서 크게 유익할 것이다.

동일한 인용 부호가 동일한 부분을 나타내는 첨부된 도면은 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 출원의 부분들을 형성하는 청구범위에 포함되는 발명을 제한하기 위한 것이 아니다.

도1은 본 발명에 따른 피복 모놀리식 기판용 조립체의 사시도이다.

도2는 본 발명에 따른 피복 모놀리식 기판용 슬러리를 함유한 용기의 단면도이다.

도3A는 균일한 피복 프로파일을 구비한 기판을 도시하는 피복 매체를 담는 용기에 침지된 모놀리식 기판의 단면도이다.

도3B는 본 발명에 따른 균일한 피복 프로파일로 피복한 후의 모놀리식 기판의 단면도이다.

도4A는 종래 기술에 따라 피복한 후의 모놀리식 기판의 단면도이다.

도4B는 본 발명에 따라 피복한 후의 모놀리식 기판의 단면도이다.

본 발명은 저렴하고 효율적인 방식으로 대체로 기판을 포함하는 각각의 채널이 동일한 두께로 피복되고 피복 프로파일이 균일하다는 특성을 갖는, 모놀리식 기판을 피복시키는 진공 주입 방법에 관한 것이다. 본 명세서에서 사용되는 "균일한 피복 프로파일"이라는 용어는 기판의 각각의 채널이 동일한 길이에 걸쳐 피복됨을 의미한다. 균일한 피복 프로파일은 촉매 컨버터에 대해 분명한 장점을 제공한다. 첫째로, 연속적인 촉매 피복 사이의 겹침 영역이 작기 때문에 촉매가 덜 사용될 수 있다. 두번째로, 다중 촉매 피복 조성을 사용할 때 특히 유리한 촉매의 배치에 대해 보다 정밀하게 제어된다. 세 번째로, 각각의 채널 내의 겹침을 보다 정밀하게 위치시키는 성능 및 피복 겹침을 제어함으로써, 특히 다중 피복 작업에서 피복의 두께가 보다 정밀하게 제어될 수 있다. 따라서 기판을 통해서 처리되는 가스 유동에 대한 저항이 저감되어 채널을 통한 심한 압력 강하에 대해 더욱 양호한 제어가 가능하다. 이런 기판이 촉매 컨버터로서 사용될 때 엔진 성능은 약화되지 않는다. 본 명세서에서 사용되는 용어로서, "진공 주입"은 대체로 모놀리식 기판 내의 복수의 채널로 피복 매체를 주입하기 위해 진공을 가하는 것을 의미한다.

특히, 본 발명은 복수의 채널을 갖는 기판을 피복 매체로 피복시키기 위한 진공 주입 피복 방법에 있어서,

(a) 피복 매체의 배스를 구비하고, 피복 매체 수준을 침지된 기판의 수준 이하로 낮추지 않고서 기판을 소정 수준으로 피복시키기에 충분한 양의 피복 매체를 담는 용기 내로 기판을 부분적으로 침지하는 단계와,

(b) 채널 내에 균일한 피복 프로파일을 형성하도록 채널의 길이보다 짧은 거리로 배스로부터 각각의 채널 내로 피복 매체를 상향으로 끌어당기기 위한 충분한 시간 및 강도로 부분적으로 침지된 기판에 진공을 가하는 단계와,

(c) 배스로부터 기판을 제거하는 단계를 포함하는 방법에 대한 것이다.

본 발명의 양호한 형태에서, 피복 매체가 기판에 가해진 후 기판이 배스로부터 제거될 때, 부분적으로 침지된 기판 상에 가해진 진공의 강도와 동일한 또는 큰 강도로 기판에 진공이 계속 가해진다.

본 발명은 채널 내에 균일한 피복 프로파일을 제공하는 방법으로, 진공을 가해서 채널을 통해 상향으로 피복 매체를 끌어당김으로써 통상 슬러리 형상의 피복 매체로 복수의 채널을 갖는 모놀리식 기판을 피복시키기 위한 진공 주입 방법에 대한 것이다.

대체로, 본 발명의 방법은 딥 팬에 침지된 기판의 단부 위에 놓여 있는 촉매제 및/또는 흡착제 조성과 같은 피복 매체의 부피가 기판의 채널을 피복하는 데 충분해야만 한다는 발견을 전제로 한다. 따라서, 본 발명의 중요한 특징은 딥 팬의 크기 또는 침지 깊이가 아니라 침지된 기판 상의 피복 매체의 부피이다.

본 발명의 결과로서, 딥 팬의 형상 및 크기, 피복 매체 내의 기판의 침지 깊이, 침지된 기판으로부터 딥 팬 저부까지의 거리, 및 피복 매체의 양이 정확하게 제어될 필요는 없다. 결국, 본 발명은 이전에 얻어진 것보다 적은 피복 매체 및 기판을 사용해서 보다 균일한 방법으로 모놀리식 기판을 피복시키기 위한 시스템을 제공하는 것이다.

본 명세서에서 보다 명확히 기술된 바와 같은 변경예를 갖는 본 발명을 수행하기 위한 적절한 시스템은 인용 설명된 토마스 심로크외 몇명의 미국 특허 제4,609,563호에 기술되어 있다.

본 발명의 도1에서, 시스템(2)은 최하단부를 선반(6) 상에 위치시킴으로써 기판 클램프(4)에 피복되는 (명료성을 위해 도시하지 않은) 통상 모놀리식 기판인 기판을 수동 로딩하기 위해 제공된다. 그후 작업자는 몇가지 작업을 동시에 수행시키는 시동 버튼(8)을 누른다. 기판이 피복 매체와 접촉하도록 위치될 때 초기에는 기판에 작동식으로 연결된 진공 콘(12)에 라인(10)을 통해서 저강도 진공이 가해진다. 딥 팬(14)은 기판을 피복하기 위해 저장 탱크(16)로부터 수납된 피복 매체를 저장한다. 보다 상세하게 설명된 바와 같이, 딥 팬(14)에 함유된 피복 매체의 양은 피복 작업을 완료시키는 데 필요한 피복 매체 양을 초과한다. 기판은 피복 매체가 들어가서 기판이 후술하는 바와 같이 기판쪽으로 상향으로 끌어당겨지기에 충분한 시간 동안 내부에 침지될 때까지 기판 클램프(4)를 이동시킨 후 기판 클램프(4)를 하향시킴으로서 딥 팬(14) 위에 위치된다.

초기에 기판이 딥 팬에 위치될 때, 피복 매체는 통상적으로 모세관 작용에 의해 채널쪽으로 상향으로 끌어당겨진다. 일단 피복 매체의 한 모세관 이동이 시작되면, 여기에서 설명된 조건하에서 초기 저강도 진공이 진공 콘(12)을 통해서 진공 펌프(18)로부터 기판의 상부로 전달된다. 저강도 진공을 가하게 되면 기판 채널 내의 피복 매체가 상향으로 더욱 끌어당겨져서, 딥 팬(14)으로부터 다른 진공 매체를 끌어당겨 매체 내의 모든 채널을 소정 길이로 균일하게 충전시키게 된다.

기판은 그후 기판 클램프(4)에 의해 딥 팬(14)으로부터 상향으로 끌어당겨져서 내부에 잔류하는 피복된 매체와 접촉하지 않게 된다. 기판이 상승되는 동안, 기판이 딥 팬 내에 함유된 피복 매체로부터 상향으로 이동됨에 따라 기판에 가해진 진공 압력이 유지 및/또는 증가된다. 결국, 공기가 채널을 통해 쇄도해서 피복을 적어도 부분적으로 건조시킬 때 채널 내의 피복이 정착된다.

본 발명에 따라서 그리고 도2에 도시된 바와 같이, 딥 팬(14)은 모놀리식 기판(20)을 피복시키기에 필요한 피복 매체 양을 초과하는 피복 매체 양으로 로딩된다. 따라서, 피복 매체는 딥 팬(14) 내에 정확한 양의 피복 매체를 제공하도록 측정될 필요가 없다. 특히, 기판의 단부(24)가 그 내부에 침지된 상태에서 라인(L)의 수준 위로 놓여 있는 피복 매체(22)의 부피는 기판(20)의 채널을 소정의 길이까지 피복시키기에 충분해야만 한다. 따라서 기판(20)은 피복 매체의 적절한 부피(22)를 보장하기에 충분한 깊이로 피복 매체의 배스에 침지되거나 소정의 부피를 유지하도록 피복 작업 중에 연속적으로 공급될 수 있다.

그러나, 종래의 방법과는 달리, 딥 팬(14)의 크기 및 형상은 다양한 범위로 변경될 수 있다. 따라서, 단일 크기 및 형상의 딥 팬을 다양한 크기 및 형상의 모놀리식 기판을 피복하는 데 사용할 수 있다. 특히, 도2에서, 딥 팬 내에서 피복 매체의 깊이, 기판의 외면과 딥 팬의 내면 사이의 거리, 기판의 침지 깊이와 기판(20)의 단부(24)로부터 딥 팬의 저부까지의 거리는 피복 매체의 부피(22)가 피복 작업을 수행하기에 충분하기만 하다면 변화 가능하다.

본 발명의 결과로서, 형상 및 크기에 관계없이 모놀리식 기판은 단일한 크기 및 형상 딥 팬에 위치될 수 있으며 계속해서 기판의 채널 내에 소정의 피복을 얻을 수 있다. 또한, 딥 팬은 피복 중의 기판에 대한 더욱 신속한 처리를 용이하게 하기 위해 도2에 도시된 바와 같이 기판을 용이하게 수용하기 위한 크기로 될 수 있다. 도2에서 특히 도시된 바와 같이, 딥 팬은 특별한 용도를 위해 때때로 사용될 수 있는 타원형, 다각형, 및 원형의 기판뿐만 아니라 직사각형의 기판을 수용할 수 있다.

기판은 통상적으로 기판의 침지된 단부 위에 적절한 부피의 피복 매체가 있는 것을 보장하기에 충분한 깊이로 피복 매체에 침지된다. 대부분의 경우, 기판은 약 0.64 내지 1.27 cm(0.25 내지 0.5 inch)의 깊이로 피복 매체에 침지된다. 기판을 보다 깊이 침지시킬 수도 있지만, 기판의 외면에 발생하는 소비성 피복의 범위를 최소화시키기 위해 침지 깊이를 최소로 하는 것이 대체로 바람직하다.

본 발명에 따라서 기판이 피복 매체에 위치될 때, 피복 매체는 진공을 가하지 않고도 도2의 화살표에 의해 지시된 바와 같은 모세관 작용을 통해서 채널(26; 도3A 참조)로 상향으로 끌어당겨진다. 기판의 침지 단부 위에는 충분한 부피의 피복 매체가 있기 때문에, 모세관 작용은 모든 채널쪽으로 균일하게 제공된다. 결국, 진공이 없더라도 균일한 피복 프로파일(28)이 초기에 얻어질 수 있다.

그러나, 피복 매체를 더욱 상향으로 끌어당기기 위해 저강도의 진공을 가하는 것이 필요하다. 본 발명에 따라서, 매체의 피복은 딥 팬 내의 과도한 피복 매체를 사용하고 채널을 통해서 지속적이고 균일한 방식으로 소정 수준으로 기판의 침지된 단부 위로 피복 매체의 부피를 유지함으로써 상향으로 끌어당겨질 수 있다.

본 발명에 따라서, 저강도의 진공이 단지 수두로 약 2.54 cm(1 inch)에서 유지되어야 한다. 진공이 이 수준을 초과하면, 피복의 길이와 두께의 일관성이 저하될 수 있다. 저강도 진공이 가해지는 강도 및 시간은 피복 매체의 일관성과 밀도에 따라, 그리고 코팅될 채널의 길이에 따라 달라질 수 있다. 대부분의 경우, 저강도 진공이 약 1 내지 3초 동안 가해진다. 상술한 바와 같이, 기판이 딥 팬 내에 담긴 피복 매체로부터 제거된 후 동일한 강도 또는 더 높은 강도(즉, 수두로 2.54 cm(1 inch) 이상, 통상 수두로 12.7 내지 38 cm(5 내지 15 inch))의 제2 진공 작업이 가해질 수 있다. 제2 진공 작업의 지속 시간은 통상적으로 약 2 내지 4초이다. 대부분의 경우, 진공 작업(즉, 제1 및 제2 진공 작업의 합)의 전체 시간은 약 5초보다 짧게 지속하게 될 것이다.

일단 상술한 방법에 의해 가해진 피복은 피복이 경화되는 가열부로 기판이 보내지기 전에 건조된다. 피복된 기판을 건조시키는 것은 전술한 바와 같이 채널(26; 도3A 참조)로부터 회수된 증기에 상술한 진공을 가함으로서 용이하게 수행되는 적절한 방식으로 수행될 수 있다. 대부분의 경우 건조 작업은 약 2.5분내에서 완료된다.

일단 기판이 피복되어 건조되면, 피복 슬러리는 촉매 컨버터에서와 같이 상업상 사용이 쉬운 피복된 기판을 제공하기 위해 경화된다.

통상의 피복 작업은 기판의 한 단부를 피복 매체에 침지시키고 나서 건조시키고 그후 기판의 대향 단부를 피복 매체에 삽입시킨 후 건조시키고 경화시키는 것을 필요로 한다. 피복의 길이는 원하는 곳이 겹치거나 또는 이격되도록 제조될 수 있다.

본 발명에 따라 피복될 수 있는 모놀리식 기판은 통상적으로 (저온 용도를 위해) 세라믹, 금속 및 플라스틱으로 제조될 수 있고 이런 모놀리식 기판은 기판의 입구면으로부터 출구면까지 연장하는 미세하고 평행한 가스 유동을 포함하고 있어서 채널은 전방으로 진입해서 기판을 통과해 후방으로 나오는 공기류에 대해 개방되어 있다. 양호하게는, 채널들은 그 입구로부터 출구까지 거의 직선이며 피복 매체가 채널을 통해 유동하는 가스가 피복 매체를 접촉하도록 세척 코트로서 피복된 벽에 의해 한정된다. 유동 채널은 사다리꼴, 직사각형, 정사각형, 곡선형, 육각형, 타원형, 원형과 같이 임의의 적절한 단면 형상 및 크기일 수 있거나 또는 기술분야에서 공지된 주름지고 편평한 금속 성분으로부터 형성될 수 있는 박벽 채널이다. 이런 구조물은 단면에 60/in² 내지 600/in² 이상의 가스 입구 구멍("셀")을 포함한다. 이런 구조물은 각각 본 명세서의 인용 설명과 합체된 예컨대, 미국 특허 제3,904,551호, 제4,329,162호 및 제4,559,193호에 개시되어 있다.

본 발명에 따라 피복될 수 있는 피복 매체는 아주 다양하며 촉매 컨버터의 제조에 상업상으로 사용되는 촉매 조성, 흡착제 조성 및 그 조합을 포함하지만, 이에 제한되지는 않는다. 피복 매체로서 적절한 이런 조성은 각각 본 명세서에서 인용 설명과 합체된 미국 특허 제5,057,483호, 제4,714,694호, 및 제4,134,860호에서 개시된다.

도3A 및 도3B에 도시된 바와 같이, 본 발명의 방법은 각각의 채널이 거의 동일한 길이로 피복된 균일한 피복 프로파일(28)을 제공한다. 균일한 피복 프로파일은 피복된 기판을 제조함에 있어 중요한 특성이며, 특히 해로운 화합물을 변환시키기 위한 촉매를 보다 정확하게 분배하기 위해 촉매 컨버터에 사용된다. 피복 방법에 대한 보다 정밀한 제어 때문에, 본 발명은 단일 기판 내의 피복 매체의 다중 층을 포함하는 보다 정밀하게 피복된 패턴으로 피복된 기판을 제조할 수 있게 한다. 또한, 소정의 경우, 피복을 중단하더라도 보다 균일하게 이루어질 수 있다. 계속해서, 피복의 두께는 채널의 전부 또는 일부 내에서 보다 정밀하게 변경될 수 있다.

반대로, 모놀리식 기판을 피복하는 종래의 방법은 통상적으로 초승달 형상의 프로파일을 갖는 불균일한 피복 프로파일이 되게 한다. 이런 피복된 기판이 뒤집히거나 대향 단부로부터 피복될 때 바람직하지 않은 비교적 큰 영역의 겹침이 얻어진다. 도4A에서는, 양 단부로부터 각각 불균일한 초승달 형상의 프로파일(46)을 갖는 피복(42, 44)으로 피복된 모놀리식 기판(40)이 도시되어 있다. 그 결과는 피복 매체를 소비하고 컨버터의 성능에 악영향을 가질 수 있는 큰 겹침부 영역(48)이 되게 한다.

도4B에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따라서 모놀리식 기판을 피복하게 되면 겹침 영역(58)이 있다하더라도 종래 방법에서 얻어지는 것보다는 훨씬 적은 균일 피복 프로파일(56)을 각각 갖는 두 개의 피복(52, 54)을 발생시킨다.

Claims (11)

1. 복수의 채널을 갖는 기판을 피복 매체로 피복시키기 위한 방법이며,

   (a) 피복 매체의 배스를 구비하여 용기 내의 피복 매체 수준을 침지된 기판의 수준 이하로 낮추지 않고서 기판을 소정 수준으로 피복시키기에 충분한 양의 피복 매체를 담는 용기 내로 기판을 부분적으로 침지시키는 단계와,

   (b) 채널 내에 균일한 피복 프로파일을 형성하도록 채널의 길이보다 짧은 거리로 배스로부터 각각의 채널 내로 피복 매체를 상향으로 끌어당기기 위한 충분한 시간 및 강도로 부분적으로 침지된 기판에 진공을 가하는 단계와,

   (c) 상기 배스로부터 기판을 제거하는 단계를 포함하는 피복 방법.
2. 제1항에 있어서, 피복된 기판을 건조시키는 단계도 포함하는 피복 방법.
3. 제2항에 있어서, 기판이 상기 배스로부터 제거된 후 기판에 진공을 계속 가하는 단계를 포함하는 피복 방법.
4. 제3항에 있어서, 기판이 배스로부터 제거된 후 가해진 진공의 강도가 적어도 배스에 침지된 동안 기판에 가해진 진공의 강도와 동일한 피복 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 기판이 피복되는 동안 기판을 피복시키는 데 사용된 피복 매체의 양을 상기 배스에 보충하는 단계도 포함하는 피복 방법.
6. 제1항에 있어서, 상기 부분적으로 침지된 기판에 1 내지 3초간 진공을 가하는 단계를 포함하는 피복 방법.
7. 제1항에 있어서, 상기 진공의 강도는 수두로 2.54 cm(1 inch)까지인 피복 방법.
8. 제4항에 있어서, 상기 기판이 배스로부터 제거된 후 가해진 진공의 강도는 수두로 약 12.7 내지 38 cm(5 내지 15 inch)인 피복 방법.
9. 제4항에 있어서, 상기 기판이 배스로부터 제거된 후 2 내지 4초간 진공을 가하는 단계를 포함하는 피복 방법.
10. 제1항에 있어서, 상기 기판을 0.64 내지 1.27 cm(0.25 내지 0.5 inch)의 깊이로 피복 매체에 침지시키는 피복 방법.
11. 제1항의 방법에 따라 제조된 균일한 피복 프로파일을 갖는 피복된 모놀리식 기판.