KR100488930B1 - 현상 장비의 현상액 및 탈이온수 도포 장치 - Google Patents

현상 장비의 현상액 및 탈이온수 도포 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 현상 장비의 현상액 및 탈이온수 도포 장치를 개시한다. 개시된 본 발명은, 액정 글래스(1)는 척(30)상에 안치되고, 한 쌍의 현상액 노즐 암(11,12)이 액정 글래스(1)의 양측부에 높이가 다르게 배치된다. 각 현상액 노즐 암(11,12)은 공압 실린더(15,16)에 의해, 액정 글래스(1)의 일측에서 타측으로 반대 방향으로 이동하면서, 액정 글래스(1)상에 현상액을 도포한다. 현상 공정후, 잔류된 현상액을 제거하는 탈이온수 노즐 암(21)이 각 현상액 노즐 암(11,12)과 직교되게 액정 글래스(1)의 일측부에 배치된다. 탈이온수 노즐 암(21)의 노즐공은 액정 글래스(1)의 평면과 소정 각도로 경사지게 형성되고, 또한 탈이온수 노즐 암(21)은 공기 방울 발생원(25)에 연결되어, 탈이온수와 공기 방울이 같이 액정 글래스(1)상에 분사되므로써, 액정 글래스(1)와 탈이온수간의 마찰력이 대폭 증대된다.

Description

현상 장비의 현상액 및 탈이온수 도포 장치
본 발명은 예를 들어서, 액정 패널 제조를 위한 현상 장비의 현상액 및 탈이온수(DI water) 도포 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 액정 패널에 소정의 집적회로 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피 공정중의 하나인 현상 공정에 사용되는 현상액을 액정 글래스 표면에 도포하고, 이어서 잔류된 현상액을 제거하기 위해서 탈이온수를 액정 글래스에 도포하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 패널의 제조에 있어서는, 포토리소그래피 방법을 이용하여 글래스에 집적회로의 패턴을 형성한다. 집적회로 소자들의 표면 구조를 결정하는 포토리소그래피 공정은 투명판에 그려진 마스터 패턴(master pattern)을 통해 빛을 쪼인 후, 현상액을 이용해서 현상(develop) 공정을 실행하면, 그 패턴이 글래스에 나타나는 감광막 기술에서 발전된 것으로, 마스크에 자외선 등을 조사하여 글래스의 표면에 도포되어 있는 감광막에 원하는 패턴을 선택적으로 복사하는 노광(expose) 공정을 포함한다.
이러한 현상 공정을 수행하는 현상 장비는 현상액을 노즐을 통해서 글래스에 도포하고, 이어서 잔류된 현상액을 제거하기 위해 탈이온수를 도포하는 장치를 포함하고 있는데, 종래의 도포 장치를 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
현상액 노즐 암은 1개로서, 이 현상액 노즐 암이 액정 글래스의 일측에서 타측까지 스캔하는 것에 의해, 액정 글래스상에 현상액이 도포되도록 되어 있다.
한편, 탈이온수 노즐 암은 액정 글래스의 정중앙 상부에 배치되고, 액정 글래스는 스핀 척에 지지되어 있어서, 탈이온수 노즐 암에서 분사된 탈이온수가 스핀 척에 의해 회전되는 액정 글래스의 중앙으로부터 가장자리로 퍼지면서 도포되도록 되어 있다.
그러나, 종래의 현상액 노즐 암은 하나이기 때문에, 액정 글래스의 일측에서 타측까지 스캔하는 시간적 차이로 인하여, 액정 글래스의 중앙부와 가장자리간의 현상액 도포 두께가 상이하다는 문제점이 있다. 따라서, 현상액 균일도의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다.
또한, 종래의 탈이온수 노즐 암에 의한 도포 방식은, 탈이온수가 토출구가 매우 좁은 노즐에서 분사되어, 액정 글래스의 중앙으로부터 가장자리를 향해 퍼지면서 도포되는 것에 의해 현상액을 제거하기 때문에, 액정 글래스에 탈이온수가 부딪칠 때의 마찰력이 약한 관계로, 국부적으로 현상액이 제거되지 못하는 문제점을 갖고 있다.
따라서, 본 발명은 종래의 현상액 및 탈이온수 도포 장치가 안고 있는 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 현상액의 도포 두께가 액정 글래스의 전체 영역에서 균일해지고, 현상액 전체가 완전제거되도록 탈이온수를 도포할 수 있는 현상 장비의 현상액 및 탈이온수 도포 장치를 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 다음과 같은 구성을 갖는다.
액정 글래스는 척상에 안치된다. 액정 글래스의 양측에 현상액 용기에 각기 연결된 현상액 한 쌍의 현상액 노즐 암이 배치되고, 각 현상액 노즐 암은 공압 실린더에 의해 액정 글래스 방향으로 전진되어서, 액정 글래스상에 현상액을 도포하게 된다. 특히, 각 현상액 노즐 암은, 액정 글래스 방향으로 이동시 서로 간섭되지 않도록, 액정 글래스상에 높이가 서로 다르게 배치된다.
현상 공정후, 잔류된 현상액을 제거하기 위해 액정 글래스상에 탈이온수를 도포하는 탈이온수 노즐 암이, 각 현상액 노즐 암의 진행 방향과 직교되는 액정 글래스의 측부에 배치된다. 탈이온수 노즐 암은 탈이온수 용기에 연결되고, 공압 실린더에 의해 액정 글래스 방향으로 전진하게 된다. 특히, 탈이온수가 분사되는 탈이온수 노즐 암의 밑면은, 액정 글래스의 측부 길이 방향을 따라 연장된 긴 직사각형인 것이 바람직하다.
또한, 액정 글래스와 탈이온수간의 마찰력 증대를 위해, 탈이온수 노즐 암에는 공기 방울이 투입되고, 따라서 탈이온수 노즐 암에는 공기 방울 발생원이 연결된다.
상기된 본 발명의 구성에 의하면, 2개의 현상액 노즐 암이 동시에 현상액을 액정 글래스상에 도포하게 되므로써, 액정 글래스 전체에 현상액이 균일하게 도포될 수가 있고, 또한 탈이온수 노즐 암이 액정 글래스의 일측에서 타측으로 이동하면서 탈이온수를 도포하게 되므로써, 현상액을 완전제거하는 것이 가능해진다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 현상액 및 탈이온수 도포 장치를 나타낸 도면이다.
도시된 바와 같이, 액정 글래스(1)의 밑면 정중앙부가 척(30)상에 안치되어 고정된다. 액정 글래스(1)상으로 현상액을 도포하는 2개의 제 1 및 제 2 현상액 노즐 암(11,12)이 액정 글래스(1)의 좌우측부에 각기 배치된다. 각 현상액 노즐 암(11,12)은 현상액 용기(13,14)에 각기 연결되고, 또한 제 1 및 제 2 공압 실린더(15,16)의 로드(17,18)에 연결되어, 액정 글래스(1) 방향으로 동시에 이동하게 된다. 특히, 각 현상액 노즐 암(11,12)은, 액정 글래스(1) 방향으로 동시에 이동할 때, 서로간에 충돌이 일어나지 않도록, 액정 글래스(1)상을 기준으로 다른 높이를 갖는다.
또한, 액정 글래스(1)의 중앙과 가장자리 부분에 도포되는 현상액의 두께가 보다 균일해지도록, 각 현상액 노즐 암(11,12)에서 분사되는 현상액 유량은, 액정 글래스(1)의 일측에서 타측으로 가면서 점진적으로 줄어들도록 제어된다.
한편, 현상 공정후, 잔류된 현상액을 제거하기 위해서, 탈이온수를 액정 글래스(1)상에 도포하는 탈이온수 노즐 암(21)이 액정 글래스(1)의 전면에 배치된다. 탈이온수 노즐 암(21)은 탈이온수 용기(24)에 연결되고, 공압 실린더(22)의 로드(23)에 연결되어서, 액정 글래스(1)의 일측에서 타측 방향으로 이동하면서 탈이온수를 도포하게 된다.
특히, 탈이온수 노즐 암(21)의 밑면, 즉 탈이온수가 분사되는 다수의 노즐공(미도시)이 형성된 밑면은, 액정 글래스(1)의 길이 방향으로 연장된 직사각형인 것이 바람직하다. 그리고, 각 노즐공은 액정 글래스(1)에 대해 수직을 이루지 않고, 탈이온수가 경사지게 분사되도록 소정의 각도로 경사지게 형성된다. 이는, 탈이온수가 수직하게 분사되는 것보다 경사지게 분사되는 것이, 현상액 제거 효과가 보다 우수하기 때문이다.
또한, 탈이온수는 노즐공에서 분사되어 액정 글래스(1)상에 부딪힐 때, 액정 글래스(1)와의 마찰력이 높아야만 현상액 제거 효과가 보다 높아진다. 이를 위해서, 공기 방울 발생원(25)이 탈이온수 노즐 암(21)에 연결되어, 탈이온수 노즐 암(21)에서 탈이온수와 함께 공기 방울이 같이 분사된다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 실시예의 동작을 상세히 설명한다.
먼저, 액정 글래스(1)가 척(30)상에 안치된다. 이어서, 각 공압 실린더(15,16)의 구동에 의해, 제 1 및 제 2 현상액 노즐 암(11,12)이 서로 반대 방향으로 이동되면서, 액정 글래스(1)상에 현상액을 도포한다. 여기서, 각 현상액 노즐 암(11,12)이 액정 글래스(1)의 일측에서 타측으로 이동될 때, 분사되는 현상액 유량이 점진적으로 줄어들도록 제어된다. 따라서, 제 1 현상액 노즐 암(11)이 타측까지 이동된 시점에서 현상액 분사량을 적지만, 그 대신에 이 시점은 제 2 현상액 노즐 암(12)이 현상액 분사량이 가장 많은 초기 위치이므로, 부족한 양이 보충된다. 액정 글래스(1)의 반대측도 마찬가지이다. 그리고, 각 현상액 노즐 암(11,12)의 높이가 서로 다르므로, 이동중에 충돌할 염려는 전혀 없다.
이러한 동작에 의해 현상액이 액정 글래스(1)상에 도포되면, 액정 글래스(1)의 중앙이나 가장자리간에 현상액 두께가 보다 균일해지게 된다.
이렇게 현상 공정이 완료되면, 잔류된 현상액을 탈이온수로 제거하기 위한 공정이 실행된다. 공압 실린더(22)의 구동에 의해, 탈이온수 노즐 암(21)이 액정 글래스(1)의 일측에서 타측으로 이동하면서, 액정 글래스(1)상에 탈이온수를 도포하여, 현상액을 제거하게 된다.
이때, 탈이온수 노즐 암(21)의 형상이 긴 직사각형이므로, 탈이온수가 액정 글래스(1)의 일정 영역에만 집중적으로 분사되지 않고, 골고루 분사될 수가 있고, 또한 노즐공이 사선으로 기울어지게 형성되어 있으므로, 탈이온수가 액정 글래스(1)상에 수직하게 분사되지 않고 경사지게 분사되므로써, 보다 효과적으로 현상액을 제거할 수가 있다.
특히, 탈이온수와 함께 공기 방울이 같이 액정 글래스(1)상으로 도포되므로써, 액정 글래스(1)와 탈이온수간의 마찰력이 매우 높아지게 되어서, 현상액 제거 효과가 극대화된다.
상기된 바와 같이 본 발명에 의하면, 2개의 현상액 노즐 암(11,12)으로 현상액을 도포하게 되므로써, 액정 글래스(1)상의 현상액 두께가 전체에 걸쳐서 균일해지게 된다.
또한, 탈이온수 노즐 암(21)이 긴 직사각 형상이면서, 탈이온수가 공기 방울과 함께 경사지게 분사되게 되므로써, 현상액 제거 효과가 한층 증대된다.
한편, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 현상액 및 탈이온수 도포 장치를 나타낸 도면
- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 -
1 - 액정 글래스 11,12 - 현상액 노즐 암
13,14 - 현상액 용기 15,16,22 - 공압 실린더
21 - 탈이온수 노즐 암 24 - 탈이온수 용기
25 - 공기 방울 발생원 30 - 척

Claims (4)

  1. 액정 글래스가 상부에 안치되는 척; 상기 액정 글래스의 양측에 각기 배치되고, 액정 글래스상에 다른 높이를 갖도록 배치되어, 액정 글래스상에 현상액을 도포하는 한 쌍의 현상액 노즐 암; 상기 각 현상액 노즐 암에 연결된 현상액 용기; 상기 각 현상액 노즐 암을 액정 글래스를 향해 반대 방향으로 동시에 이동시키는 공압 실린더; 상기 각 현상액 노즐 암과 직교하게 액정 글래스의 일측부에 배치되어, 현상 공정후 잔류된 현상액을 제거하도록 탈이온수를 액정 글래스상에 도포하며, 탈이온수가 액정 글래스의 일정 영역에만 집중 분사되지 않도록, 다수개의 노즐이 형성된 밑면이 직사각형 형상을 갖는 탈이온수 노즐 암; 상기 탈이온수 노즐 암에 연결된 탈이온수 용기; 및 상기 탈이온수 노즐 암을 액정 글래스상으로 이동시키는 공압 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 현상 장비의 현상액 및 탈이온수 도포 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 각 현상액 노즐 암은, 액정 글래스의 일측에서 타측으로 이동되면서 현상액 유량이 점진적으로 줄어들도록 제어되는 것을 특징으로 하는 현상 장비의 현상액 및 탈이온수 도포 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 탈이온수 노즐 암의 각 노즐공은 액정 글래스의 표면에 대해서 소정 각도로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 현상 장비의 현상액 및 탈이온수 도포 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 탈이온수 노즐 암에, 탈이온수와 액정 글래스간의 마찰력 증대를 위해, 공기 방울을 공급하는 공기 방울 발생원이 연결된 것을 특징으로 하는 현상 장비의 현상액 및 탈이온수 도포 장치.
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