KR100413646B1 - 온도검출소자 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 피처리물이 고정된 위치와 인접한 곳에서 노내에 배치된 감온부, 및 상기 감온부와 접촉한 채로 고정된 물질의 실리콘웨이퍼세편을 포함하여 구성되며, 그 물질은 피처리물과 유사한 열적 특성을 가지는, 노내의 피처리물의 온도를 검출하기 위한 온도검출소자.
- 제1항에 있어서, 상기 피처리물이 반도체로 제조된 것이며, 상기 실리콘웨이퍼세편은 상기 피처리물로부터 떼어낸 작은 조각인 온도검출소자
- 제1항에 있어서, 상기 소자는 피처리물이 고정될 위치에 인접한 위치에서 노내에 배치된 가는 석영세관을 더욱 포함하여 구성되며,상기 감온부 및 상기 실리콘웨이퍼세편의 양자는 상기 석영세관내에 놓여지고, 상기 실리콘웨이퍼세편은 접착제에 의하여 감온부에 접착되는 온도검출소자
- 제2항에 있어서, 상기 소자는 피처리물이 고정된 위치에 인접한 위치에서 노내에 배치된 가는 석영세관을 더욱 포함하여 구성되며,상기 감온부 및 상기 실리콘웨이퍼세편의 양자는 상기 석영세관내에 놓여지고, 상기 실리콘웨이퍼세편은 접착제에 의하여 감온부에 접착되는 온도검출소자
- 제3항에 있어서, 상기 실리콘웨이퍼세편은 작은 세라믹 실린더이며, 상기 감온부는 그 작은 세라믹 실린더의 내부에 접착되는 온도검출소자
- 제4항에 있어서, 상기 실리콘웨이퍼세편은 작은 세라믹 실린더이며, 상기 감온부는 그 작은 세라믹 실린더의 내부에 접착되는 온도검출소자
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