KR100408451B1 - 기판 세정조 덮개 구동 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 하나의 공압 실린더에 의하여 한 쌍의 덮개들이 동기되어 개폐됨으로써, 불필요한 공압 실린더의 설치 공간을 제거하는 한편 제조 비용을 감축할 수 있는 기판 세정조 덮개 구동 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 세정조 덮개 구동 장치는 서로 마주하여 개폐되는 덮개에 연결되는 각각 상방 및 하방으로 연장하는 아암을 가지는 한 쌍의 덮개 축들, 각 단부가 덮개 축들을 동기시키도록 각각의 아암에 회전 가능하게 연결되는 링크 부재, 및 한 쌍의 덮개 축들의 아암들중 하나에 피스톤 로드가 연결되도록 세정조의 측부에 설치되는 공압 실린더를 포함한다. 그러므로, 덮개 축들은 피스톤 로드의 작동에 의하여 서로 반대 방향으로 동기 회전된다.

Description

기판 세정조 덮개 구동 장치{Device for driving doors of bath for cleaning a substrate}

본 발명은 기판 세정조 덮개 구동 장치에 관한 것이고, 보다 상세하게는 하나의 공압 실린더를 이용하여 한 쌍의 덮개를 구동할 수 있는 기판 세정조 덮개 구동 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 디바이스를 제조하기 위해서는 웨이퍼와 같은 기판의 표면에 포토레지스트를 도포하고, 소정의 패턴이 형성된 마스크를 웨이퍼와 정렬시킨 후에, 노광, 현상, 식각, 불순물 확산 및 전극 증착 등의 일련의 공정들을 통하여 소정의 전기 특성을 가지는 회로를 웨이퍼 상에 형성하고, 그런 다음 EDS 공정 및 검사 공정이 수행되어야 한다.

또한, 반도체 디바이스의 수율을 향상시키기 위해서는 상기된 바와 같은 공정들 사이에 통상 외부로부터 유입될 수 있는 불순물을 기판으로부터 제거하기 위한 세정 공정들이 수행된다.

이러한 기판 세정 공정은 통상 탈이온수에 의한 세정, 화학 약품에 의한 세정으로 구분될 수 있으며, 화학 약품에 의한 세정의 전후에는 역시 세정에 사용된 화학약품의 제거를 위하여 탈이온수에 의한 세정이 수행된다. 특히, 화학 약품에 의한 세정중 일반적인 세정으로서 산수용약에 의한 세정이 많이 수행되고 있으며, 산으로서는 질산과 황산 등이 널리 사용되고 있다.

따라서, 화학 약품과 탈이온수에 의한 연속적인 세정이 가능하도록 통상의 세정 장치에는 다수의 세정조들이 제공되어 있으며, 세정조의 한 예가 도 1 내지 도 3에 도시되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 세정조(101)는 기판을 처리하기 위한 화학 약품을 수용하고 있으며, 그 상부에 세정조(101)를 개폐하기 위한 한 쌍의 덮개(102)가 제공되어 있다. 각각의 덮개(102)는 세정조(101)에 제공되는 덮개 축(103)에 고정 연결되고, 덮개 축(103)은 세정조(101)의 상부에 설치되는 브라켓(107)에 회전 가능하게 지지된다. 덮개 축(103)은 도 2에 도시된 바와 같이 링크 부재(106)를 통하여 공압 실린더(104)들의 피스톤 로드(105)의 단부에 각각 연결된다.

각각의 공압 실린더(104)들은 세정조(101)의 측부에서 도 2에 도시된 바와 같이 그 피스톤 로드(105)들이 외측으로 전, 후진하도록 설치되어, 피스톤 로드(105)가 서로 반대 방향으로 동작하며, 각각의 피스톤 로드(105)는 덮개 축(103)을 대략 80°선회시키도록 링크 부재(106)를 선회시킨다. 각각의 공압 실린더(104)의 피스톤 로드(105)는 서로 동기되어 작동하기 때문에, 링크 부재(106)를 통하여 각 피스톤 로드(105)에 연결된 각각의 덮개(102)는 피스톤 로드(105)들의 전, 후진 운동에 의하여 링크 부재(106)가 선회됨으로써 서로 동시에 개폐될 수 있다.

그러나, 상기된 바와 같은 종래의 기판 세정조 덮개 구동 장치는 한 쌍의 덮개를 동시에 개폐하기 위하여 각각의 피스톤 로드들이 서로 반대 방향으로 동작하는 2개의 공압 실린더를 사용하기 때문에, 공압 실린더의 설치 공간이 크게 되는 문제점이 있었으며 또한 제조 비용이 증가한다는 문제점이 있었다.

본 발명의 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 하나의 공압 실린더에 의하여 한 쌍의 덮개들이 동기되어 개폐됨으로써, 불필요한 공압 실린더의 설치 공간을 제거하는 한편 제조 비용을 감축할 수 있는 기판 세정조 덮개 구동 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 기판 세정조의 정면도.

도 2는 도 1의 기판 세정조의 덮개가 개방된 상태를 도시한 측면도.

도 3은 본 발명에 따른 기판 세정조 덮개 구동 장치의 정면도.

도 4는 도 3의 평면도.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

1 : 세정조 2a, 2b : 덮개

3a, 3b : 덮개 축 4a, 4b : 아암

5 : 링크 부재 6a, 6b, 9 : 핀

7 : 공압 실린더 8 : 피스톤 로드

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 서로 마주하여 개폐되는 덮개에 연결되는 각각 상방 및 하방으로 연장하는 아암을 가지는 한 쌍의 덮개 축들; 각 단부가 상기 덮개 축들을 동기시키도록 각각의 상기 아암에 회전 가능하게 연결되는 링크 부재; 및 상기 한 쌍의 덮개 축들의 아암들중 하나에 피스톤 로드가 연결되도록 세정조의 측부에 설치되는 공압 실린더를 포함하는 것에 의하여; 상기 덮개 축들은 상기 피스톤 로드의 작동에 의하여 서로 반대 방향으로 동기 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 세정조 덮개 구동 장치를 제공한다.

아울러, 공압 실린더의 피스톤 로드의 행정은 상기 덮개 축들이 80°선회될 수 있도록 설정되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 세정조 덮개 구동 장치의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명에 따른 기판 세정조 덮개 구동 장치의 정면도이고, 도 4는 도 3의 평면도이다.

도면에 도시된 바와 같이, 세정조(1)는 그 상부에 서로 마주하여 개폐되는 덮개(2a,2b)가 제공되며, 각각의 덮개(2a,2b)들은 한 쌍의 덮개 축(3a,3b)들에 고정 연결되고, 덮개 축(3a,3b)들은 세정조(1)의 측부에 제공되는 브라켓(10)에 회전 가능하게 지지된다. 덮개 축(3a,3b)은 도 3으로부터 알 수 있는 바와 같이 일정한 각도로 상방 및 하방으로 연장하는 아암(4a,4b)이 각각 제공된다.

이러한 아암(4a,4b)들은 막대 형상의 링크 부재(5)에 의하여 서로 연결되며, 링크 부재(5)는 각 단부 부분에서 핀(6a,6b)들을 통하여 아암(4a,4b)들과 상대 회전이 가능하도록 연결된다.

또한, 세정조(1)의 측부에는 도 4에 보다 상세하게 도시된 바와 같이 각 덮개 축(3a,3b)들을 선회시키기 위한 공압 실린더(7)가 제공된다. 공압 실린더(7)는 한 쪽 단부가 핀(9)을 통하여 세정조(1)의 측부에 회전 가능하게 지지되며, 피스톤 로드(8)는 예를 들어 도 4로부터 알 수 있는 바와 같이 핀(6b)을 통하여 아암(4b)과 상대적으로 회전 가능하게 연결된다.

핀(9)이 각 덮개 축(3a,3b)들의 중심 부분 아래에서 세정조(1)에 설치되므로, 공압 실린더(7)는 세정조(1)의 측부에서 덮개 축(3a,3b)들의 회전 각도에 관계하여 비스듬하게 설치된다. 피스톤 로드(8)의 행정은 덮개 축(3a,3b)들의 회전 각도, 즉 덮개(2a,2b)가 대략 80°정도 선회될 수 있도록 설정된다.

공압 실린더(7)의 한 쪽 단부가 핀(9)을 통하여 세정조(1)의 측부에, 피스톤 로드(8)의 단부 부분이 핀(6b)을 통하여 아암(4b)과 상대적으로 회전 가능하게 연결되기 때문에, 공압 실린더(7)의 피스톤 로드(8)가 전진하면, 덮개 축(3b)으로부터 상방으로 연장하는 한 쪽의 아암(4b)은 피스톤 로드(8)의 전진 작동에 의하여 피스톤 로드(8)의 전진 행정만큼 시계 방향으로 소정 각도, 예를 들어 대략 80°정도 회전되고, 링크 부재(5)를 통하여 한 쪽의 아암(4b)에 연결되어 있으며 덮개 축(3a)으로부터 하방으로 연장하는 다른 쪽의 아암(4a)은 한 쪽의 아암(4b)의 회전 각도만큼 반 시계 방향으로 회전된다.

이러한 아암(4a,4b)들의 회전 운동에 의하여, 아암(4a,4b)들과 각각 연결된 덮개 축(3a,3b)에 각각 연결된 덮개(2a,2b)들은 피스톤 로드(8)의 전진 행정만큼,즉 아암(4a,4b)들의 회전 각도만큼 세정조(1)를 개방하도록 작동되고, 피스톤 로드(8)가 후퇴 작동될 때, 세정조(1)를 폐쇄하도록 작동된다. 피스톤 로드(8)가 전진 및 후퇴 작동될 때, 공압 실린더(7)는 핀(9)을 중심으로 선회된다.

상기된 바와 같이, 하나의 공압 실린더(7)의 피스톤 로드(8)의 작동에 의하여 서로 반대 방향으로 개폐되는 2개의 덮개(2a,2b)들은 서로 동일한 회전 각도로 동기되어 작동될 수 있다.

상기된 바와 같은 구조를 가지는 본 발명에 따른 기판 세정조 덮개 구동 장치에 의하면, 하나의 공압 실린더에 의하여 한 쌍의 덮개들이 동기되어 개폐됨으로써, 불필요한 공압 실린더의 설치 공간을 제거하는 한편 제조 비용을 감축할 수 있다.

이상에서는, 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대해 기술하고 도시하였으나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상으로부터 벗어남이 없이, 다양하게 변형 및 변경될 수 있다.

Claims (2)

1. 서로 마주하여 개폐되는 덮개에 연결되는 각각 상방 및 하방으로 연장하는 아암을 가지는 한 쌍의 덮개 축들;

   각 단부가 상기 덮개 축들을 동기시키도록 각각의 상기 아암에 회전 가능하게 연결되는 링크 부재; 및

   상기 한 쌍의 덮개 축들의 아암들중 하나에 피스톤 로드가 연결되도록 세정조의 측부에 설치되는 공압 실린더를 포함하는 것에 의하여;

   상기 덮개 축들은 상기 피스톤 로드의 작동에 의하여 서로 반대 방향으로 동기 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 세정조 덮개 구동 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 공압 실린더의 피스톤 로드의 행정은 상기 덮개 축들이 80°선회될 수 있도록 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 세정조 덮개 구동 장치.