KR100395380B1 - 와이어캐소드상에캐소드물질을침착하기위한장치및와이어캐소드제조방법 - Google Patents

Abstract

전착에 의해 와이어 캐소드에 에미터 물질(3)을 침착시키는 방법과 장치에 관한 것으로서, 알칼리토류 화합물을 포함하는 일정량의 서스펜션(13)이 와이어(2)의 세로축을 가로지르는 방향으로 이동하여 와이어(2)둘레에 위치하는 드롭 홀더(11)에 의해 전달된 후, 전압이 상기 드롭 홀더(11)와 상기 와이어(2)에 인가되어 상기 와이어(2)에 에미터 물질을 침착시키며 그 후 상기 드롭 홀더(11)는 다시 상기 와이어(2)에서 물러나고, 상기 침착 공정 동안, 상기 드롭 홀더(11)와 상기 와이어(2)는 상기 에미터 물질이 침착되어야 하는 와이어(2)의 부분을 따라 서로 이동된다.

Description

와이어 캐소드 상에 캐소드 물질을 침착하기 위한 장치 및 와이어 캐소드 제조 방법

전착에 의해 와이어 상에 에미터 물질을 침착시킴으로써 와이어 캐소드를 제조하는 방법이 공지되어 있다. 이러한 방법은 예를 들어, 독일 특허 No.874.337에서 공지되어 있다. 상기 방법에서는, 릴(reel) 상에 와운딩되어 있는 와이어 캐소드가 알칼리토류 금속 화합물이 분산되는 서스펜션을 통과하고, 화합물은 와이어 상에 전착된다. 전착을 가능하게 하기 위하여, 캐소드로서 이용되는 와이어는 파이프가 금속성 물질로 이루어진 경우 파이프에 서스펜션을 연속적으로 제공하기 위해공급 파이프와 결합되어 애노드로서 이용된다. 원통형 파이프는 와이어가 도입됨으로써 전자영동 셀(eletrophoretic cell)을 형성한다. 전자영동 셀을 통한 캐소드 와이어의 이동은 코팅이 필요한 와이어의 섹션들에서 일시적으로 인터럽트되기 때문에 분극전압(polarisation voltage)이 온 상태로 스위칭되고 전자영동 처리가 시작된다. 일단 캐소드 와이어가 필요한 코팅을 갖추었다면, 분극전압은 다시 오프 상태로 스위칭되고 와이어의 전송은 코팅될 와이어의 다음 섹션이 전자영동 셀에 위치될 때까지 다시 계속된다. 결과적으로, 코팅된 캐소드 와이어가 제 2 릴에 와운딩된다.

공지된 방법의 단점은 원치 않은 침착들이, 코팅이 필요하지 않은 캐소드 와이어의 부분들에서 이루어진다는 것이다. 동작시 이를 살펴보면, 이는 원치 않은 와이어 부분들에 전자의 방출을 야기한다. 또한, 결합수단에 와이어를 납땜(soldering)하면 상기 원치 않은 침착들에 의해 역으로 영향을 받게 된다.

본 발명은 에미터 물질로 덮여있는 와이어 캐소드를 제조하기 위한 방법에 관한 것으로, 전착(electrodeposition)에 의해 와이어 상에 상기 물질을 침착시키는 방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은 에미터 물질을 와이어 상에 침착시키는 장치에 관한 것으로, 상기 장치는 와이어를 유지하기 위한 수단과, 서스펜션(suspension)을 포함하는 드롭 홀더와, 와이어와 드롭 홀더에 전위를 인가하기 위한 수단을 포함한다.

와이어 캐소드들은 그 실례로서 평면 브라운관(CRT)과 같은 평면 전자발광 화상 디스플레이 디바이스들과 또는 램프들에서 이용될 수 있다.

도 1 은 코팅된 와이어 캐소드의 단면도.

도 2A 는 와이어 캐소드의 선택된 부분에 전착하는 동안 일정량의 서스펜션을 포함하는 드롭 홀더를 나타내는 투시도.

도 2B는 결과적인, 즉 코팅된 와이어 캐소드를 도시하는 도면.

도 3 은 드롭 홀더가 와이어를 따라 이동하는 코팅 공정동안의 와이어 캐소드의 단면도.

도 4 는 드롭 홀더들의 콤의 도움으로 캐소드 와이어를 동시에 코팅하는 것을 나타내는 투시도.

도 5 는 드롭 홀더가 와이어를 따라 이동하는 코팅 공정동안 두 개의 종단 부분들을 갖는 캐소드 와이어 일부의 단면도.

도 6 은 개방된 하부측을 갖는 키홀의 형태로, 일정양의 서스펜션을 포함하는 드롭 홀더를 나타내는 투시도.

본 발명의 목적은 하나 또는 그 이상의 상기 인용한 문제점들을 미연에 방지하거나 완화하기 위하여 와이어 캐소드에 알칼리토류 금속 화합물을 침착하기 위한 방법을 제공하는 것이다.

이러한 목적을 이루기 위하여, 전제부에서 기술한 형태의 방법은 와이어 둘레에 위치하며, 상기 물질을 포함하는 서스펜션이 와이어의 세로축을 가로지르는 방향으로 이동하여 상기 와이어 둘레에 위치되는 드롭 홀더에 의해 전달되고, 그 후 와이어 상에 에미터 물질을 침착시키기 위해 전압이 드롭 홀더와 와이어에 인가되고, 그후 드롭 홀더가 다시 와이어에서 물러나는 것을 특징으로 한다.

상기 공지된 방법에서, 와이어의 모든 부분들은 상기 전자영동 셀을 통과하며, 그 모든 부분들은 코팅할 필요가 없는 부분들도 포함한다. 이는 와이어의 모든 부분들이 코팅할 필요가 없는 캐소드 와이어의 부분들에 원치 않은 침착을 하게 되면서, 어떤 시간 기간동안 서스펜션과 접촉한다는 것을 의미한다. 또한 상술한 문제점인 원치 않은 침착들과는 별개로, 이는 또한 종종 새로운 용액이 필요함에 따라 서스펜션을 합성함으로써 서스펜션의 초기 기능감소 또는 원치 않는 변화들을 야기한다.

본 발명에 따른 방법은 상기 물질이 전착되는 와이어의 부분들을 매우 정확하게 결정할 수 있도록 하며, 코팅이 필요치 않은 와이어의 모든 부분들을 서스펜션과 접촉하지 않게 함으로써, 와이어의 상기 부분들이 서스펜션의 잔여액을 포함하지 않거나 또는 어느 코팅 물질도 포함하지 않아서 본래 상태로 있게 된다. 따라서 이용되는 전착 용액의 양이 최소화된다.

본 발명에 또 다른 양상은 드롭 홀더와 벌크 서스펜션을 유지하는 용기가 서로 물리적으로 분리된다는 것이다. 이는 드롭 홀더내에 반응물들과 벌크 서스펜션을 유지하는 용기가 오염되는 것을 방지한다. 또한 드롭 홀더와 벌크용기가 물리적으로 분리됨으로써 벌크 서스펜션을 유지하는 용기는 침착 공정에서 어느 역효과에 영향을 받는 경우가 없이 연속적으로 스트링(stirring)할 수 있다. 이러한 스트링은 용액의 이용한도기간을 확장시킨다. 또한 먼지나 입자들이 용액내에 빠지는 것을 보다 쉽게 방지할 수 있는데, 이는 와이어에 접착된 아무리 작은 입자들일지라도 와이어 캐소드의 국부 방사를 꽤 감할 수 있기 때문이다. 또한, 용기내의 용액은 어느 반응물들에 의해 스스로 함유되기 어렵거나 또는 함유될 수 없다. 반응물들 제거해야 할 필요가 있다면, 이는 드롭 홀더 또는 용기를 흔들어서 쉽게 제거할 수 있어 "오염된 드롭들"이 제거되고 오염되지 않은 새로운 드롭들을 형성된다. 따라서, 최적용도로 서스펜션을 이룰 수 있다. 이러한 전착 용액들이 종종 환경에 유해한 물질들을 포함하기 때문에, 이 용액을 최상으로 이용하는 것이 매우 유리하다.

게다가, 서스펜션의 가열이 최상의 전착 상태들을 준비하기 위해 요구된다면, 알칼리토류 금속 화합물이 분산되어 있는 전체의 서스펜션은 상승된 온도에서도 지속되어야 할뿐만 아니라 와이어 둘레에 위치하는 드롭 홀더에 의해 유지된 물질을 포함하는 일정양의 서스펜션도 가열되어야만 한다.

바람직하게, 전제부에서 기술한 형태의 방법은 침착 공정동안, 드롭 홀더와 와이어가 에미터 물질이 침착되어야 하는 와이어의 부분들을 따라 서로에 대해 이동되는 것을 특징으로 한다. 드롭 홀더와 와이어가 서로에 대해 이동함으로써, 침착된 충의 동질성이 더욱 향상될 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예는 다수의 와이어들이 실질적으로 서로 평행 배열되고, 실질적으로 동시에 에미터 물질이 제공되는 것을 특징으로 한다. 다수의 캐소드 와이어들이 서로 평행 배열됨으로써, 코팅처리 속도가 왜 증가할 수 있다.

본 발명의 또 다른 바람직한 실시예는 드롭 홀더들의 콤(comb)이 이용되는 것을 특징으로 한다. 단일 드롭 홀더를 이용하는 것 대신 드롭 홀더들의 콤을 이용함으로써, 코팅 처리의 효율을 실질적으로 향상시킬 수 있다. 게다가, 코팅이 한 캐소드 와이어의 오직 제한된 여러 섹션들에서 필요하게 된다면, 이 섹션들은 단일 동작으로 코팅될 수 있다.

본 발명의 또 다른 바람직한 실시예는 침착 공정에 앞서, 와이어가 두개의 도전성 종단 부분들에 용접한다. 정상적으로, 릴들과 또는 롤러들은 캐소드 와이어를 스트레치하기 위하여 채용되고, 한 쌍의 롤러들이 새로 코팅된 와이어 통로들을 따라 이동하거나 상기 와이어가 릴을 따라 감겨진다면, 특히 코팅된 와이어에 원치 않은 손상을 입히게 된다. 캐소드 와이어(의 섹션에)에 종단 부분들을 용접하거나 납땜함으로써, 이들 종단 부분들은 전착 공정동안 캐소드 와이어를 유지하기 위하여 이용될 수 있다. 또한, 이 종단 부분들은 와이어 캐소드에 쉽게 전위를 인가하도록 이용될 수 있다. 본 발명에 따른 코팅 공정으로 인하여, 캐소드 와이어의 종단 부분들은 (잔여) 코팅 물질과 완전히 무관하게 남게 된다.

어떤 적용들에 있어서, 서로 평행 배열되는 하나 또는 그 이상의 캐소드 와이어들이 공동 종단 부분들에 용접되는 경우에 있어 유리하다. 상기 두 개 또는 그 이상의 캐소드 와이어들은 에미터 물질로 동시에 또는 각기 코팅될 수 있다.

본 발명에 따른 방법의 바람직한 실시예는 상기 물질이 알칼리토류 화합물을 포함하는 것을 특징으로 한다. 와이어 캐소드들 상에 침착된 알칼리토류 화합물들은 와이어의 방사 특성들을 향상시킨다.

전제부에 이은 단락에 기술한 형태의 장치는 또한 와이어의 세로축을 가로지르는 방향으로 이동하여 와이어 둘레에 드롭 홀더를 위치시키는 수단을 포함하는것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 장치는 또한 에미터 물질이 침착되어야 하는 와이어의 부분들을 따라 서로에 대해 드롭 홀더와 와이어를 이동시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예는, 상기 드롭 홀더가 개방된 하부측을 갖는 키홀의 형태인 것을 특징으로 한다. 개방된 하부측을 갖는 키홀 형태의 드롭 홀더는 일정량의 서스펜션을 유지하기에 매우 적절하고 와이어를 드롭 홀더내로 쉽게 삽입할 수 있다. 드롭 홀더를 모으는 종단들은 와이어를 드롭 홀더내로 쉽게 인도할 수 있다.

본 발명의 이들 및 다른 양상들은 모범적인 실시예들에 의해 첨부된 도면들을 참조로 더욱 상세하여 설명될 것이다.

도면들은 순전히 개략적이며, 비례대로 도시되지 않는다. 일반적으로, 같은 참조 부호들은 도면에서 같은 부분들을 가리킨다.

도 1 은 와이어 캐소드(1)를 도시한다. 와이어 캐소드는 통상 용해하기 어려운 금속, 예를 들어 텅스텐, 몰리브덴, 또는 그러한 금속들을 포함하는 합금들과 같은 금속으로 만들어지는 와이어(2)를 포함한다. 이 와이어는 부가로 다른 원소들을 포함하여 와이어 강도와 같은 어떤 특성들을 향상시키기거나 방사를 증가시킬 수 있다. 와이어(2)상에는 방사성 물질(3)의 코팅이 제공된다. 전형적으로, 그러한 코팅은 알칼리성토류 금속 산화물 또는 알칼리성 금속 산화물들의 혼합물을 포함하고, 이는 또한 다른 구성요소 원소들 또는 산화물들 즉, 예를 들어 희토류 산화물들을 포함하여, 예를 들어 방사와 같은 와이어 캐소드의 어떤 특성을 향상시킬 수 있다.

도 2A 는 본 발명에 따른 방법의 일례를 투시도로 설명한다. 알칼리토류 금속 화합물을 포함하는 일정량의 서스펜션(13)이 드롭 홀더(11)에 담겨있다. 일정량의 서스펜션(13)은 서스펜션의 벌크(bulk)를 보유하는 용기(도 2 에 도시되어 있지 않음)로부터 추출된다. 드롭 홀더(11)는 와이어(2)의 세로축을 가로지르는 방향(도 2A 에서 이러한 이동 방향을 수직한 화살표로서 표시하였다.)으로 이동하여 와이어(2)의 둘레(코팅해야 할 부분)에 위치된다. 드롭 홀더는 코팅해야 할 와이어(2)의 부분이 일정량의 서스펜션(13)에 완전히 담겨있다면 그 위치내에 있는다. 드롭 홀더(11)와 와이어(2) 사이의 전압 Ve 이 일정량의 서스펜션(13) 안에 있는 와이어의 부분들에 인가되어 에미터 물질(3)을 전착한다. 침착된 물질(3)의 양은 전압차가 인가되는 시간에 의해 매우 정확하게 결정될 수 있다. 일단 캐소드 와이어(2) 상에 원하는 층이 침착되고 나면, 전압 공급은 오프 상태로 스위칭되고, 드롭 홀더(11)는 와이어(2)의 세로축을 가로지르는 방향으로 이동되어 와이어(2)에서 물러난다. 캐소드 와이어(2)에 침착된 방사성 물질(3)로 이루어진 층은 도 2B 에 도시되었다.

도 3 은 본 발명에 따른 방법의 또 다른 일례를 도시하는 단면도이다. 코팅 공정을 실시하기 전에 일정량의 서스펜션(13)을 함유하는 드롭 홀더(11)가 와이어(2)의 세로축에 실질적으로 수직인 방향(도 3 에서 수직한 화살표로 표시한 방향)으로 이동하여 와이어(2) 둘레에 위치한다 그 다음, (가요성의 와이어들을 통해)전압 Ve 이 드롭 홀더(11)와 와이어(2) 사이에 인가되어 와이어에 에미터 물질(3)이 전착된 후, 와이어(2)와 드롭 홀더(11)는 서로에 대해 이동하게 된다. 도 3 에서, 일정량의 서스펜션(13)을 함유하는 드롭 홀더(11)가 와이어(2)를 따라 이동되고 있음을 도시하고 있다(도 3 에서 수평한 화살표로서 표시한 방향). 방사성 물질(3)이 침착되는 와이어(2)의 섹션들뿐만 아니라 침착된 물질의 양(3)은 전압차 Ve 가 인가되는 시간과 일정량의 서스펜션(13)이 와이어에 제공되는 속도와전압차 Ve 에 의해 매우 정확하게 결정될 수 있다. 각 시간마다, 새로운 일정량의 서스펜션(13)은 서스펜션의 벌크를 유지하는 용기(도 3 에 도시되지 않음)로부터 추출될 수 있다. 코팅 처리가 완료될 때, 전압 공급은 오프 상태로 스위칭되고 드롭 홀더(11)는 와이어(2)의 세로축을 가로지르는 방향으로 이동하여 와이어(2)에서 물러난다.

도 4는 본 발명에 따른 방법의 또 다른 일례를 도시하는 투시도이다. 단일 드롭 홀더(11)대신, 콤(4)으로 한 세트의 드롭 홀더(11)가 배열되어 캐소드 와이어(2)의 몇 개 부분들을 동시에 코팅하도록 이용된다. 이러한 방법은 단지 어떤 미리 결정된 와이어(2)의 부분들을 코팅해야 할 필요가 있는 경우 유리하다. 드롭 홀더들(11)의 콤(4)은 와이어(2)의 세로축에 실질적으로 수직인 방향으로 이동하여 와이어(2) 둘레에 위치하고, 각 드롭 홀더(11)는 일정량의 서스펜션(13)을 함유한다. 필요한 경우, 드롭 홀더들의 콤은 와이어를 따라 이동될 수 있다. 각각의 드롭 홀더들(11)은 콤(4)에 비하여 보다 자유롭게 배열될 수 있다. 도 4 에 도시된 예에서, 모든 드롭 홀더들(11)은 와이어(2)의 세로축에 따른 방향으로 배열되고, 드롭 홀더들(11)은 콤에서 같은 간격으로 설치된다. 필요한 경우, 드롭 홀더들(11)과 콤 사이의 간격은 다를 수 있다. 또한, 와이어(2)의 세로축을 가로지르는 방향으로 배열되는 드롭 홀더들(11)의 콤(4)은 실질적으로 서로 평행 배열된 다수의 캐소드 와이어들(2)을 동시에 코팅하기 위하여 이용될 수 있다. 몇 개의 드롭 홀더들 또는 드롭 홀더들의 콤들을 서로 평행 배열함으로써, 실질적으로 서로 평행 배열되는 다수의 와이어들의 수많은 부분들을 동시에 코팅할 수 가 있다.

도 5 는 본 발명에 따른 방법의 또 다른 일례를 도시하는 단면도이다. 와이어의 섹션과 접합점들(21)에 의해 용접되거나 납땜되는 종단 부분(15)이 양끝에 제공되는 캐소드 와이어(2)의 부분이다. 이들 두 종단 부분들(15)은 와이어(2)를 유지하고, 와이어를 원하는 공급전압 Ve 에 결합시키도록 이용된다. 지지물(19)과 결합된 두 개의 클램핑 수단(18: clamping means)(수단(18)과 지지물(19)은 도 5 에 매우 개략적으로 도시되었다.)은 종단 부분들(15)에 의해 와이어(2)를 유지하기 위하여 이용된다. 먼저, 일정량의 서스펜션(13)을 함유하는 드롭 홀더(11)가 와이어 둘레에 위치하고 공급 전압 Ve 이 코팅처리를 위해 인가되면, 코팅 동안, 드롭 홀더(11)와 와이어(2)는 서로에 대해 이동할 수 있다. 도 5 의 예에서, 드롭 홀더(11)는 와이어(2)에 코팅(3)을 하면서 와이어(2)를 따라 이동한다. 본 발명에 따른 코팅 방법으로 인하여, 와이어(2)의 종단 부분들(15)은 어떤 (잔여) 침착과 완전히 무관하게 남음으로써 때납은 코팅처리로 인한 아무런 영향을 받지 않는다. 게다가, 와이어(2)의 종단 부분들(15)의 전기 도전성은 침착 결과에 의한 아무런 영향도 받지 않는다.

도 6 은 본 발명에 따른 드롭 홀더(11)의 특정 실시예를 도시하는 투시도이다. 개방된 하부측을 갖는 키홀의 형태로 일정량의 서스펜션(13)을 포함하는 드롭 홀더(11)는 와이어(2)에 대해 매우 알맞고 쉽게 접근한다. 즉, 와이어(2)는 드롭 홀더(11)의 모으는 부분들(converging ends)을 통해 드롭 홀더(11)내로 쉽게 인도된다.

본 발명의 구조에서는 또 다른 변형들이 가능하다. 실례로서, 드롭 홀더의온도를 조절하는 것이 가능하다. 예를 들어, 드롭 홀더의 온도 상승과 그에 따른 일정량을 함유하는 서스펜션의 온도 상승은 와이어상에의 물질의 침착을 향상시킬 수가 있다. 드롭 홀더의 온도는 실례를 들자면 드롭 홀더의 적외선 가열 또는 드롭 홀더 둘레의 와이어를 유도 가열하거나 가열함으로써 증가되거나 조정될 수 있다.

또한, 알칼리토류 금속 화합물 대신 예를 들어 산화 실리콘 또는 산화 알루미늄과 같은 절연 물질들이 코팅 물질로서 이용될 수 있다.

또한, 매우 균일한 두께로 동질의 코팅들을 얻는 것 대신에, 미리 결정된 균일하지 않은 두께로 와이어 캐소드들에 코팅들을 침착시킬 수 있다. 전착 전압을 조정하거나, 및/또는 서로에 대해 와이어와 드롭 홀더의 이동속도를 조정함으로써, 침착된 물질의 두께는 원하는 패턴에 따라 변화될 수 있다.

도시된 본 발명의 모든 실시예에서, 드롭 홀더는 하부측이 개방되었다. 이 드롭 홀더들은 드롭 홀더의 측면들이나 상부측 중 어느 하나가 개방될 수 있다는 것은 명백하다. 서스펜션은 미세한 힘 및/또는 응집력과 접착력의 결합으로 드롭 홀더에 부착된다.

두 개 또는 그 이상의 평행 와이어들이 동시에 전착되는 평행 처리를 통해, 물질이 제공될 수 있는 다수의 와이어들이 증가된다.

또한, 나선형 구조의 캐소드 와이어가 본 발명에 따른 방법 및 장치에 의해 코팅될 수 있다. 이 때, 와이어의 세로축은 그 자체의 와이어 축이 아닌 나선형 구조에 따른 축으로서 이해되어야만 한다.

본 발명은 통상 와이어 캐소드 상에 에미터 물질을 전착시키기 위한 방법 및장치에 관한 것으로, 알칼리토류 화합물을 포함하는 일정량의 서스펜션은 와이어의 세로축을 가로지르는 방향으로 이동하여 와이어 둘레에 위치하는 드롭 홀더에 의해 전달되고, 그 후, 와이어에 에미터 물질을 침착시키기 위해 전압이 드롭 홀더와 와이어 상에 인가되고, 그 후 드롭 홀더가 다시 와이어에서 물러난다. 전착 공정동안, 드롭 홀더와 와이어는 에미터 물질이 침착되어야 하는 와이어의 섹션들을 따라서 서로에 대해 이동될 수 있다.

본 발명은 에미터 물질로 덮여있는 와이어 캐소드를 제조하기 위한 방법에 관한 것으로, 전착에 의해 와이어 상에 상기 물질을 침착시키는 방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은 에미터 물질을 와이어 상에 침착시키는 장치에 관한 것으로, 상기 장치는 와이어를 유지하기 위한 수단과, 서스펜션을 포함하는 드롭 홀더와, 와이어와 드롭 홀더에 전위를 인가하기 위한 수단을 포함한다.

와이어 캐소드들은 그 실례로서 평면 브라운관(CRT)과 같은 평면 전자발광 화상 디스플레이 디바이스들과 또는 램프들에서 이용될 수 있다.

Claims (9)

1. 에미터 물질(3)로 덮여있는 와이어 캐소드를 제조하기 위한 방법으로서, 전착(electrodeposition)에 의해 와이어(2)상에 에미터 물질이 침착되는, 상기 와이어 캐소드 제조 방법에 있어서,

   상기 물질을 포함하는 서스펜션이 상기 와이어(2)의 세로축을 가로지르는 방향으로 이동하여 상기 와이어(2) 둘레에 위치되는 드롭 홀더(11)에 의해 전달되고, 그 후 전압이 상기 와이어(2)상에 상기 에미터 물질(3)을 침착시키기 위해 상기 드롭 홀더(11)와 상기 와이어(2)에 인가되고, 그 후 상기 드롭 홀더(11)가 다시 상기 와이어(2)에서 물러나는 것을 특징으로 하는, 와이어 캐소드 제조 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 침착 공정 동안, 상기 드롭 홀더(11)와 와이어(2)가 상기 에미터 물질(3)이 침착되어야 하는 상기 와이어(2) 부분들을 따라 서로에 대해 이동되는 것을 특징으로 하는, 와이어 캐소드 제조 방법.
3. 제 1 항 또는 2 항에 있어서,

   다수의 와이어들(2)이 실질적으로 서로 평행 배열되고, 실질적으로 동시에 상기 에미터 물질(3)이 제공되는 것을 특징으로 하는, 와이어 캐소드 제조 방법.
4. 제 1 항에 있어서,

   드롭 홀더들의 콤(4)이 이용되는 것을 특징으로 하는, 와이어 캐소드 제조 방법.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 물질은 알칼리토류 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는, 와이어 캐소드 제조 방법.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 침착 공정에 앞서, 상기 와이어(2)가 두 개의 도전성 종단 부분들(15)에 용접되는 것을 특징으로 하는, 와이어 캐소드 제조 방법.
7. 와이어(2) 상에 에미터 물질(3)을 침착하는 장치로서,

   상기 와이어(2)를 유지하는 유지수단,

   서스펜션을 포함하는 드롭 홀더(11), 및

   상기 와이어(2)와 상기 드롭 홀더(11)에 전위를 인가하기 위한 수단을 포함하는, 상기 에미터 물질 침착 장치에 있어서,

   상기 와이어(2)의 세로축을 가로지르는 방향으로 이동하여 상기 와이어(2) 둘레에 상기 드롭 홀더(11)를 위치시키기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 에미터 물질 침착 장치.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 에미터 물질(3)이 침착되어야 하는 상기 와이어(2)의 섹션들을 따라 상기 드롭 홀더(11)와 상기 와이어(2)를 서로에 대해 이동시키는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 에미터 물질 침착 장치.
9. 제 7 항 또는 8 항에 있어서,

   상기 드롭 홀더(11)는 개방된 하부측을 갖는 키홀의 형태인 것을 특징으로 하는, 에미터 물질 침착 장치.

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