KR100384807B1 - Ｌｓｉ 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법 - Google Patents

Ｌｓｉ 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법 Download PDF

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Abstract

매우 압축율이 높은 마스크 묘화 데이터를 작성하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법을 제공한다.
본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법은, 동일 형상의 단독 도형이 제1좌표 축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이와, 제1좌표 축 방향과 직교하는 제2좌표 축 방향에 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이가 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 2차원 어레이와, 제1좌표 축 방향에서의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 동일한 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이가 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이와, 단독 도형의 2차원 어레이의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 2차원 블록 어레이를 생성하여, 각 어레이의 데이터를 변환하고 계층 셀의 묘화 데이터를 작성하는 것이다.

Description

ＬＳＩ 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법{APPARATUS AND METHOD FOR COMPRESSING THE LSI MASK DRAWING DATA}
본 발명은, LSI 마스크 묘화 데이터를 압축하여 작성하는 CAD 툴 및 압축 방법에 따라, 특히, 벡터 스캔 방식의 마스크 묘화 장치에 공급하기 위해서, 플랫 설계 데이터로부터 압축율이 높은 묘화 데이터를 압축하여 작성하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법에 관한 것이다. 또한, 상기 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법을 실행하는 컴퓨터 프로그램을 기록한 기록 매체에 관한 것이다.
대규모 집적 회로의 제조 프로세스서 사용되는 LSI 마스크 묘화 데이터는, 제품 규모의 대규모화에 따라 대용량화되고 있으며, 최근에는 수 GB로 되고 있다. 묘화 데이터 압축방법으로서는, 통상, 도형이 반복되는 표현이 이용되고 있지만, 이 도형이 반복되는 표현에 의한 압축방법만으로는 압축율에 한계가 있고, 제품 규모의 대규모화에 충분히 대응되지 않는다.
LSI 마스크 묘화 장치는, 대별하여 래스터 스캔 방식의 것과 벡터 스캔 방식의 것이 있지만, 벡터 스캔 방식쪽이 고정밀도 묘화와 고처리량화를 실현하기 쉽고, 초대규모이고 고정밀한 LSI 마스크 묘화의 주류가 되고 있다.
최근의 벡터 스캔 방식에 있어서의 묘화 데이터는, VLSI 제품에 관한 압축율이 높은 묘화 데이터 작성을 목적으로 하여, 계층 구조를 갖는 형식으로 표현되고 있다.
원래 LSI 설계 데이터는 계층 구조를 갖고 있고, 설계 데이터로부터 전혀 가공하지 않고서, 직접 마스크 묘화 데이터를 변환 작성하는 것이면, 계층표현을 이용한 압축율이 높은 마스크 묘화 데이터를 작성하는 것은 비교적 용이하고, 실제로 일부에서 행해지고 있다.
그러나, 실제로는, 설계 데이터를 마스크 묘화 데이터로 변환할 때에, 도형의 논리 연산, 도형의 치수 보정, 근접 효과 보정 등의 복잡한 데이터 처리가 행하여지기 때문에, 설계 데이터의 계층 구조를 유지할 수가 없고, 부분적으로 플랫화되는 것이 통상이고, 최악의 경우, 완전히 플랫 구조의 데이터로 되어 버리는 것도 있을 수 있다.
종래는, 이러한 계층 구조를 갖지 않는 플랫한 설계 데이터를 취급하는 경우, 마스크 묘화 데이터 압축방법으로서 도형의 반복 표현이 널리 이용되어 왔지만, 도형의 반복 표현만으로서는 데이터의 압축율에 한계가 있었다. 따라서, VLSI 제품의 마스크 묘화 데이터의 경우, 데이터 사이즈는 수 GB로 되어 버린다.
이 때문에, 방대한 데이터량을 취급하게 되어, 마스크 묘화 데이터의 처리에 장시간을 요하는 문제와, 마스크 묘화 장치측에서의 데이터 처리를 위해 대용량의 작업용 기억파일이 필요하게 되는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 문제에 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 계층 구조를 가지지 않는 플랫 구조의 LSI 설계 데이터로부터 마스크 묘화 데이터를 작성할 때에, 마스크 묘화 데이터의 계층표현을 이용하여, 압축율이 매우 높은 마스크 묘화 데이터를 작성하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치에 따르면, 복수의 단위 섹션 영역으로 구성되어, 데이터 압축의 대상이 되는 LSI 마스크 묘화 데이터의 상기 단위 섹션 영역에 대응하는 LSI 설계 데이터의 단위 섹션 영역의 도형 데이터를 이용하여, 상기 단위 섹션 영역의 도형중에서, 동일 형상의 단독 도형이 LSI 마스크 묘화 평면상의 제1좌표 축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이를 생성하고, 잔여 도형의 도형 데이터를 랜덤 도형의 데이터로 하는 단독 도형마다의 1차원 어레이 생성 수단과, 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중, 포함되어 있는 단독 도형의 형상 및 상기 제1좌표 축 방향에서의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 동일한 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 상기 제1좌표 축 방향과 직교하는 LSI 마스크 묘화 평면상의 제2좌표 축 방향에 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이가 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 2차원 어레이를 생성하는 단독 도형의 2차원 어레이 생성 수단과, 상기 단독 도형마다의 2차원 어레이중 어느 하나를 구성하게 되는 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이 이외의 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 제1좌표 축 방향에서의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이를 생성하고, 또한, 상기 단독 도형의 2차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 단독 도형의 2차원 어레이의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되는 복수 도형의 2차원 블록 어레이를 생성하는 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단을 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 구성에 의해, 계층 구조를 가지지 않는 플랫 구조의 LSI 설계 데이터로부터 마스크 묘화 데이터를 작성할 때에, 마스크 묘화 데이터의 계층표현을 이용하여, 매우 압축율이 높은 마스크 묘화 데이터를 작성하는 것이 가능해진다.
LSI 마스크 묘화 데이터 압축을 실시할 경우, 상기 각 어레이의 데이터를 변환하여 계층 셀의 묘화 데이터를 작성하는 계층 셀의 묘화 데이터 작성 수단과, 상기 랜덤 도형의 데이터를 변환하여 랜덤 도형의 묘화 데이터를 작성하는 랜덤 도형의 묘화 데이터 작성 수단을 더 포함한다.
상기 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단은, 생성한 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 및 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 소정의 블록 라이브러리에 등록하는 것이고, 상기 계층 셀의 묘화 데이터 작성 수단은, 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록된 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 및 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 이용하고, 상기 각 어레이의 데이터를 변환하여 계층 셀의 묘화 데이터를 작성하는 것이다.
상기 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단은, 생성한 상기 복수 도형의 제1 좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록할 때에 식별 번호를 각각 할당하여, 이미 동일 구성의 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터가 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록되어 있는 경우에는, 중복 등록을 회피하여 상기 동일 구성의 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터에 할당된 식별 번호를, 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터에 부가하는 것이 좋다.
모든 상기 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성이 종료한지 여부를 판단하는 전 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성 종료 판단 수단을 더 포함하는 것이 좋다.
본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법에 따르면, 복수의 단위 섹션 영역로 구성되어, 데이터 압축의 대상이 되는 LSI 마스크 묘화 데이터의 상기 단위 섹션 영역에 대응하는 LSI 설계 데이터의 단위 섹션 영역의 도형 데이터를 이용하여, 상기 단위 섹션 영역의 도형중에서, 동일 형상의 단독 도형이 LSI 마스크 묘화 평면상의 제1좌표 축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되는 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이를 생성하고, 잔여 도형의 도형 데이터를 랜덤 도형의 데이터로 하는 제1 과정과, 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중, 포함되어 있는 단독 도형의 형상 및 상기 제1좌표 축 방향에서의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 동일한 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 상기 제1좌표 축 방향과 직교하는 LSI 마스크 묘화 평면상의 제2좌표 축 방향에 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이가 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되는 단독 도형마다의 2차원 어레이를 생성하는 제2 과정과, 상기 단독 도형마다의 2차원 어레이중 어느 하나를 구성하게 되는 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이이외의 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 제1좌표 축 방향에서의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되는 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이를 생성하는 제3 과정과, 상기 단독 도형의 2차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 단독 도형의 2차원 어레이의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되는 복수 도형의 2차원 블록 어레이를 생성하는 제4 과정을 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 구성에 의해, 계층 구조를 가지지 않는 플랫 구조의 LSI 설계 데이터로부터 마스크 묘화 데이터를 작성할 때에, 마스크 묘화 데이터의 계층표현을 이용하여, 매우 압축율이 높은 마스크 묘화 데이터를 작성하는 것이 가능해진다.
LSI 마스크 묘화 데이터의 압축을 실시하는 경우, 상기 각 어레이의 데이터를 변환하여 계층 셀의 묘화 데이터를 작성하는 제5 과정과, 상기 랜덤 도형의 데이터를 변환하여 랜덤 도형의 묘화 데이터를 작성하는 제6 과정을 더 포함한다.
상기 제3 과정 및 상기 제4 과정은, 생성한 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 및 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 소정의 블록 라이브러리에 등록하는 것이고, 상기 제5 과정은, 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록된 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 및 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 이용하고, 상기 각 어레이의 데이터를 변환하여 계층 셀의 묘화 데이터를 작성하는 것이 좋다.
상기 제3 과정 및 상기 제4 과정은, 생성한 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록할 때에 식별 번호를 각각 할당하여, 이미 동일 구성의 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록어레이의 데이터가 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록되어 있는 경우에는, 중복 등록을 회피하여 상기 동일 구성의 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터에 할당된 식별 번호를, 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원블록 어레이의 데이터에 부가하는 것이 좋다.
모든 상기 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성이 종료했는지 여부를 판단하는 제7 과정을 더 포함하고 있는 것이 좋다.
본 발명에 따른 컴퓨터 프로그램의 기록 매체에 따르면, 상기 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법중 어느 하나를 컴퓨터 시스템에서 실행하는 컴퓨터 프로그램이 기록된 것을 특징으로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치의 구성을 도시한 블록도.
도 2는 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 방법의 순서를 도시한 플로우차트.
도 3은 LSI 마스크 묘화 데이터의 개략 구조의 일례를, 계층 구조를 가지지 않는 플랫 구조로서 LSI 묘화 마스크에 대응시켜 모식적으로 나타낸 설명도.
도 4는 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법을 실행하는 프로그램이 기록된 기록 매체 및 그 기록 매체가 사용되는 컴퓨터 시스템의 외관 구성을 도시한 설명도.
도 5는 도 4에 도시한 컴퓨터 시스템의 구성을 나타내는 블록도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 데이터 기억 수단
2 : 기억 데이터 초기화 수단
3 : 단위 섹션 영역의 도형 데이터 판독 수단
4 : 단독 도형의 1차원 어레이 생성 수단
5 : 단독 도형의 2차원 어레이 생성 수단
6 : 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단
7 : 계층 셀의 묘화 데이터 작성 수단
8 : 랜덤 도형의 묘화 데이터 작성 수단
9 : 전 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성 종료 판단 수단
1l : LSI 설계 데이터
12 : 단위 섹션 영역의 도형 데이터 저장 영역
13 : 랜덤 도형 데이터 저장 영역
14X : X 축 방향 1차원 어레이 데이터 저장 영역
14Y : Y 축 방향 1차원 어레이 데이터 저장 영역
15 : 2차원 어레이 데이터 저장 영역
16X : X 축 방향 1차원 블록 어레이 데이터 저장 영역
16Y : Y 축 방향1차원 블록 어레이 데이터 저장 영역
17 : 2차원 블록 어레이 데이터 저장 영역
18 : 블록 라이브러리
19 : 마스크 묘화 데이터 저장 영역
이하, 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법의 실시의 형태에 관해서, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은, 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치의 구성을 도시한 블록도, 도 2는, 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법의 순서를 도시한 플로우차트, 도 3은, LSI 마스크 묘화 데이터의 개략 구조의 일례를, 계층 구조를 가지지 않는 플랫 구조로서 LSI 묘화 마스크에 대응시켜 모식적으로 나타낸 설명도이다.
도 1에 도시한 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치는, 각종 데이터를 기억하는 데이터 기억 수단(1)과, 데이터 기억 수단(1)에 기억된 각종 데이터를 각각 초기화하는 기억 데이터 초기화 수단(2)과, 데이터 압축의 대상이 되는 LSI 마스크 묘화 데이터의 단위 섹션 영역에 대응하는 LSI 설계 데이터의 단위 섹션 영역의 도형 데이터를 데이터 기억 수단(1)으로부터 판독하는 단위 섹션 영역의 도형 데이터 판독 수단(3)과, 판독한 단위 섹션 영역의 도형 데이터를 이용하여, 그 단위 섹션 영역의 도형중에서, 동일 형상의 단독 도형이 X 축 방향 또는 Y 축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 X 축 방향 1차원 어레이 또는 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이를 생성하고, 잔여 도형 데이터를 랜덤 도형 데이터로 하는 단독 도형마다의 1차원 어레이 생성 수단(4)과, 단독 도형마다의 X 축 방향 1차원 어레이 또는 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이중, 포함되어 있는 단독 도형의 형상 및 X 축 방향 또는 Y축 방향으로의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 동일한 단독 도형마다의 X 축 방향 1차원 어레이 또는 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이중에서, Y 축 방향 또는 X 축 방향으로 단독 도형마다의 X 축 방향 1차원 어레이 또는 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이가 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 2차원 어레이를 생성하는 단독 도형의 2차원 어레이 생성 수단(5)과, 단독 도형마다의 2차원 어레이중 어느 하나를 구성하게 되는 단독 도형마다의 X 축 방향 1차원 어레이 또는 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이 이외의 단독 도형마다의 X 축 방향 1차원 어레이 또는 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관하지 않고 X 축 방향 또는 Y 축 방향에서의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 X 축 방향 블록 어레이 또는 복수 도형의 Y 축 방향 블록 어레이를 생성하며, 또한, 단독 도형의 2차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 단독 도형의 2차원 어레이의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 2차원 블록 어레이를 생성하는 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단(6)과, 각 어레이의 데이터를 변환하여 계층 셀의 묘화 데이터를 작성하는 계층 셀의 묘화 데이터 작성 수단(7)과, 랜덤 도형 데이터를 변환하여 랜덤 도형의 묘화 데이터를 작성하는 랜덤 도형의 묘화 데이터 작성 수단(8)과, 전 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성이 종료했는지 여부를 판단하는 전 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성 종료 판단 수단(9)을 구비하고 있다. 도 1에 있어서는, LSI 마스크 묘화 데이터의 기초가 되는 LSI 설계 데이터가, 데이터 기억 수단(1)의 LSI 설계 데이터 저장 영역(11)에 기억되어 있는 예를 도시하고 있지만, LSI 설계 데이터는 데이터 기억 수단(1)이외의 다른 데이터 기억 수단에 기억되어있더라도 좋다.
또한, LSI 마스크 묘화 데이터의 개략 구조의 일례를, 계층 구조를 가지지 않는 플랫 구조로서 LSI 묘화 마스크에 대응되게 모식적으로 나타내면, 도 3에 도시한 바와 같이, LSI 마스크 묘화 데이터 영역이, 마스크 묘화 장치의 기종에 따른 크기의 단위 섹션 영역에 분할되어 구성되고 있고, 묘화 도형 데이터는 각 단위 섹션 영역에 분류되어 저장된다. 여기서, LSI 마스크 묘화 데이터의 단위 섹션 영역은, 마스크 묘화 장치가 한번에 묘화하는 범위를 말하며, 전자 빔 묘화 장치의 경우에는, 전자 빔의 편향 폭, 또는, 묘화 제어 계산기로부터 묘화 장치로 전송하는 데이터의 단위 사이즈 등에 의해 결정되는 것이다. 도 3에 있어서는, 데이터 저장 영역이 LSI 마스크 묘화 평면상의 X 축 방향으로 4 분할, Y 축 방향으로 6 분할의 24 분할된 예를 도시하고 있다. 또한, LSI 마스크 묘화 데이터의 기초가 되는 LSI 설계 데이터도, LSI 마스크 묘화 데이터의 단위 섹션 영역에 대응하는 단위 섹션 영역마다 판독 가능한 구성으로 되어 있다.
본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법은, 상기 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치에서 실시된다. 그래서, 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치의 동작, 즉, 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법의 순서에 관해, 도 2의 플로우차트를 참조하면서 설명한다.
최초에, 데이터 기억 수단(1)의 블록 라이브러리(18)를, 기억 데이터 초기화 수단(2)에 의해 초기화하여, 블록 라이브러리(18)에 등록되어 있는 블록 데이터 수를 제로로 한다(스텝 S1). LSI 마스크 묘화 데이터의 압축, 즉, 여기서는 계층 셀의 작성은, 단위 섹션 영역마다 행하지만, 블록 라이브러리(18)의 작성은, LSI 마스크 묘화 데이터마다, 즉, 1개의 LSI 마스크 묘화 데이터 전체에 관해서 행해진다. 따라서, 블록 라이브러리(18)의 데이터는, 단위 섹션 영역마다 데이터 압축이 행하여질 때마다 축적되어, 1개의 LSI 마스크 묘화 데이터 전체의 데이터 압축이 종료할 때까지 축적된다. 그 때문에, 블록 라이브러리(18)의 초기화가 행해지는 것은, 1개의 LSI 마스크 묘화 데이터 전체에 관해서, 데이터 압축 개시의 경우의 1회뿐이다.
단위 섹션 영역마다 데이터 압축이 행하여질 때마다 블록 라이브러리(18)에블록 데이터를 축적하는 경우에는, 중복 등록을 회피하기 위해서, 후술하는 바와 같이, 동일 내용의 블록 데이터가 이미 축적되어 있지 않은지 여부를 확인한다.
블록 라이브러리(18)의 초기화 후, 데이터 기억 수단(1)에 설치된 도형 데이터 저장 영역(12), 랜덤 도형 데이터 저장 영역(13), X 축 방향 1차원 어레이 데이터 저장 영역(14X), Y 축 방향 1차원 어레이 데이터 저장 영역(14Y), 2차원 어레이 데이터 저장 영역(15), X 축 방향 1차원 블록 어레이 데이터 저장 영역(16X), Y 축 방향 1차원 블록 어레이 데이터 저장 영역(16Y), 2차원 블록 어레이 데이터 저장 영역(17), 마스크 묘화 데이터 저장 영역(19)을, 기억 데이터 초기화 수단(2)에 의해 각각 초기화한다(스텝S2).
블록 라이브러리(18)의 초기화가 1개의 LSI 마스크 묘화 데이터 전체에 관해서 데이터 압축 개시 때의 1회만 행해지는데 반하여, 단위 섹션 영역마다 작성되는 상기 각 데이터 저장 영역은, 단위 섹션 영역마다 초기화된다. 따라서, 단위 섹션 영역마다의 상기 각 데이터 저장 영역의 초기화는, 각 단위 섹션 영역의 데이터 압축 개시 때에 단위 섹션 영역마다 행해진다.
또한, LSI 마스크 묘화 데이터를 작성하기 위해 기초가 되는 LSI 설계 데이터는, 블록 라이브러리(18)의 초기화 전에 미리 데이터 기억 수단(1)의 LSI 설계 데이터 저장 영역(11) 또는 다른 데이터 기억 수단에 기억시켜 놓더라도 좋고, 블록 라이브러리(18)의 초기화 후에 데이터 기억 수단(1)의 LSI 설계 데이터 저장 영역(11) 또는 다른 데이터 기억 수단에 기억시키더라도 좋다. 혹은, 처음의 단위 섹션 영역의 상기 각 데이터 저장 영역의 초기화 후에 데이터 기억 수단(1)의 LSI 설계 데이터 저장 영역(11) 또는 다른 데이터 기억 수단에 기억시키더라도 좋다.
단위 섹션 영역의 상기 각 데이터 저장 영역의 초기화 후, 데이터 기억 수단(1)의 LSI 설계 데이터 저장 영역(11) 또는 다른 데이터 기억 수단으로부터, 데이터 압축, 즉, 계층 셀 작성의 대상이 되는 단위 섹션 영역에 대응하는 LSI 설계 데이터의 단위 섹션 영역의 도형 데이터를, 단위 섹션 영역의 도형 데이터 판독 수단(3)에 의해 판독한다(스텝S3). 판독한 단위 섹션 영역의 도형 데이터는, 작업파일의 일부인 단위 섹션 영역의 도형 데이터 저장 영역(12)에 저장되고, 후속의 처리에 있어서의 처리 대상 데이터로서 사용한다. .
단위 섹션 영역의 도형 데이터의 판독 후, 단독 도형마다의 1차원 어레이 생성 수단(4)에 의해, 그 단위 섹션 영역의 도형 데이터를 이용하여, 그 단위 섹션 영역의 도형중에서 정방형, 장방형, 사다리꼴, 삼각형 등, 동일 형상의 도형을 검출하여 동일 형상의 도형마다의 집합으로 하고, 각 집합중에서 X축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 있는 도형을 각각 검출하고, 동일 형상의 도형마다, 즉, 단독 도형마다의 X축 방향 1차원 어레이를 생성하여, 단독 도형마다의 X축 방향 1차원 어레이 데이터를 X축 방향 1차원 어레이 데이터 저장 영역(14X)에 저장한다. 또한, 동일 형상의 도형마다의 각 집합에 포함되어 있는 도형중, 단독 도형마다의 X축 방향 1차원 어레이에 포함되지 않은 도형에 관해서, 각 집합중에서 Y축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 있는 도형을 각각 검출하여, 동일 형상의 도형마다, 즉, 단독 도형마다의 Y축 방향 1차원 어레이를 생성하여, 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이 데이터를 Y축 방향 1차원 어레이 데이터 저장 영역(14Y)에 저장한다. 각 단독 도형마다의 X축 방향 1차원 어레이 및 각 단독 도형마다의 Y축 방향 1차원 어레이 중 어디에도 포함되지 않은 각 도형의 도형 데이터는, 랜덤 도형 데이터로서 랜덤 도형 데이터 저장 영역(13)에 저장된다(스텝S4).
단독 도형마다의 X축 방향 1차원 어레이 및 단독 도형마다의 Y축 방향 1차원 어레이의 생성 후, 단독 도형마다의 2차원 어레이 생성 수단(5)에 의해, 각 단독 도형마다의 X축 방향 1차원 어레이 중, 포함되어 있는 단독 도형의 형상 및 X축 방향에서의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 동일한 단독 도형마다의 X축 방향 1차원 어레이 중에서, Y축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 있는 단독 도형마다의 X 축 방향 1차원 어레이를 검출하고, 동일 형상의 도형마다, 즉, 단독 도형마다의 2차원 어레이를 생성하여, 단독 도형마다의 2차원 어레이 데이터를 2차원 어레이 데이터 저장 영역(15)에 저장한다. 마찬가지로, 각 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이중, 포함되어 있는 단독 도형의 형상 및 Y축 방향에서의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 동일한 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이 중에서, X축 방향으로의 등간격 피치로 반복하여 배치되어 있는 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이를 검출하고, 동일 형상의 도형마다, 즉, 단독 도형마다의 2차원 어레이를 생성하여, 단독 도형마다의 2차원 어레이 데이터를 2차원 어레이 데이터 저장 영역(15)에 저장한다(스텝S5). 여기서, 단독 도형마다의 2차원 어레이중 어느 하나를 구성하게 되는 단독 도형마다의 X 축 방향 1차원 어레이 및 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이에는 식별 플래그를 부가하여 놓는다.
단독 도형마다의 2차원 어레이의 생성 후, 단독 도형마다의 2차원 어레이중어느 하나를 구성하게 되는 단독 도형마다의 X축 방향 1차원 어레이 이외의 단독 도형마다의 X 축 방향 1차원 어레이중에서, 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단(6)에 의해, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 X축 방향에서의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것을 그룹화하여 복수 도형의 X 축 방향 블록 어레이를 생성하여, 복수 도형의 X축 방향 블록 어레이 저장 영역(16X)에 저장한다. 마찬가지로, 단독 도형마다의 2차원 어레이중 어느 하나를 구성하게 되는 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이 이외의 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이중에서, 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단(6)에 의해, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 Y 축 방향에서의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것을 그룹화하여 복수 도형의 Y 축 방향 블록 어레이를 생성하여, 복수 도형의 Y 축 방향 블록 어레이 저장 영역(16Y)에 저장한다. 여기서, 단독 도형마다의 2차원 어레이중 어느 하나를 구성하게 되는 단독 도형마다의 X 축 방향 1차원 어레이 및 단독 도형마다의 Y 축 방향 1차원 어레이는, 상술한 바와 같이 부가된 식별 플래그에 의해 식별하여 제외한다.
또한, 복수 도형의 X축 방향 블록 어레이 및 복수 도형의 Y 축 방향 블록 어레이의 생성후, 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단(6)에 의해, 단독 도형의 2차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 단독 도형의 2차원 어레이의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 2차원 블록 어레이를 생성하고, 복수 도형의 2차원 블록 어레이 데이터를 복수 도형의 2차원 블록 어레이 데이터 저장 영역(17)에 저장한다.
이상과 같이 생성한 복수 도형의 X축 방향 블록 어레이, 복수 도형의 Y축 방향 블록 어레이 및 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 복수 도형의 X축 방향 블록 어레이 데이터, 복수 도형의 Y축 방향 블록 어레이 데이터 및 복수 도형의 2차원 블록 어레이 데이터는 블록 라이브러리(18)에 차례로 등록되지만, 등록될 때에는, 동일 구성의 블록 어레이 데이터가 미등록인지 이미 등록이 끝나있는지를 확인한다. 그리고, 동일 구성의 블록 어레이 데이터가 미등록일 때는, 그 블록 어레이 데이터에 신규 등록 번호를 할당하여 블록 라이브러리(18)에 신규 등록하고, 또한, 그 블록 어레이 데이터가 저장되어 있는 복수 도형의 X 축 방향 블록 어레이 저장 영역(16X), 복수 도형의 Y 축 방향 블록 어레이 저장 영역(16Y), 복수 도형의 2차원 블록 어레이 데이터 저장 영역(17)중 어느 하나에 그 블록 어레이 데이터와 같이 그 등록 번호를 저장한다. 한편, 동일 구성의 블록 어레이 데이터가 이미 등록이 끝난 때에는, 그 등록 번호를 블록 라이브러리(18)로부터 판독하여, 그 블록 어레이 데이터가 저장되어 있는 복수 도형의 X 축 방향 블록 어레이 저장 영역(16X), 복수 도형의 Y 축 방향 블록 어레이 저장 영역(16Y), 복수 도형의 2차원 블록 어레이 데이터 저장 영역(17)중 어느 하나에 그 블록 어레이 데이터와 같이 그 등록 번호를 저장한다(스텝S6).
각 블록 어레이 데이터의 생성 및 블록 라이브러리(18)에의 등록 후, 계층 셀의 묘화 데이터 작성 수단(7)에 의해, 블록 라이브러리(18)로부터 블록 어레이 데이터를 순차 판독하여, 묘화 데이터의 계층 셀로서 변환 작성한다. 또한, 계층 셀의 묘화 데이터 작성 수단(7)에 의해, 복수 도형의 X축 방향 블록 어레이 저장영역(16X), 복수 도형의 Y 축 방향 블록 어레이 저장 영역(16Y), 복수 도형의 2차원 블록 어레이 데이터 저장 영역(17)으로부터 복수 도형의 X 축 방향 블록 어레이 데이터, 복수 도형의 Y 축 방향 블록 어레이 데이터 및 복수 도형의 2차원 블록 어레이 데이터를 판독하고, 상기 계층 셀의 참조 정보를 부가하여 묘화 데이터로서 변환 작성한다(스텝S7).
계층 셀의 묘화 데이터 작성 후, 랜덤 도형의 묘화 데이터 작성 수단에 의해, 랜덤 도형 데이터 저장 영역(13)으로부터 랜덤 도형 데이터를 판독하고, 묘화 데이터로서 변환 작성한다(스텝S8).
랜덤 도형 데이터의 묘화 데이터 변환 작성 후, 전 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성 종료 판단 수단(9)에 의해, 전 단위 섹션 영역의 도형 데이터의 묘화 데이터 변환 작성이 종료했는지 여부를 판단한다(스텝S9). 상기 판단은, 전 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성 종료 판단 수단(9)이, 예를 들면, 단위 섹션 영역의 도형 데이터 판독 수단(3) 또는 LSI 설계 데이터 저장 영역(11)을 액세스하여, LSI 설계 데이터의 전체 단위 섹션 영역의 도형 데이터를 단위 섹션 영역의 도형 데이터 판독 수단(3)이 판독을 완료했는지를 확인함으로써 행한다.
모든 단위 섹션 영역의 도형 데이터의 묘화 데이터 변환 작성이 종료했을 때는, LSI 설계 데이터(11)로부터 묘화 데이터를 변환 작성하는 것에 의해 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 처리를 종료한다. 도형 데이터의 묘화 데이터 변환 작성이 종료하지 않은 단위 섹션 영역이 남아 있을 때는, 상기 스텝2로 되돌아가서, 남은 단위 섹션 영역에 관해서 스텝2으로부터 스텝9까지의 처리를 반복한다.
본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법의 데이터 압축율과 종래 기술의 데이터 압축율을 비교하여 시험적으로 계산한 결과를 아래에 도시한다. 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법의 데이터 압축율 Kp는, 상술한 대로, 계층 셀표현의 압축율이고, 종래 기술의 데이터 압축율 Kc은, 반복 표현의 압축율인 것으로 하였다. 따라서,
Kp= 압축표현없음의 데이터 사이즈/계층 셀 표현 압축의 데이터 사이즈
Kc= 압축표현없음의 데이터 사이즈/반복 표현 압축의 데이터 사이즈
로 표현된다.
여기서, 단위 섹션 영역내의 반복 복수 도형의 바이트수를 REPbyte, 단위 섹션 영역내의 반복 수를 REPcount, 단위 섹션 영역내의 랜덤 도형의 바이트수를 RANbyte, 묘화 마스크의 단위 섹션 영역수를 SECcount로 하면,
압축표현없음의 데이터 사이즈
=((REPbyte×REPcount) + RANbyte) × SECcount
계층 셀 표현 압축의 데이터 사이즈
= REPbyte+(RANbyte×SECcount)
반복 표현 압축의 데이터 사이즈
= (REPbyte + RANbyte) × SECcount
로 나타난다. 본 계산에 있어서는, 묘화 마스크의 단위 섹션 영역수 SECcount=1,OOO,OOO개로 하고, 묘화 마스크 영역을 1Ocm × 1Ocm, 단위 섹션 영역 사이즈를 1OOμm×1OOμm으로 하며, 단위 섹션 영역내의 반복 수 REPcount= 100로하였다.
또한, 실제로는, 반복 도형 표현에 있어서는 반복 피치 및 반복 수, 계층 셀표현에 있어서는 셀 참조 및 셀 헤더가 필요하지만, 무시할 수 있는 데이터 사이즈로 하였다.
이상의 조건에서, RANbyte= 100바이트, REPbyte= 100바이트로 하면, Kc은 약 50, Kp은 약 101로 되며, RANbyte= 10바이트, REPbyte= 100바이트로 하면, Kc은 약100, Kp은 약1001이 된다. 즉, 랜덤 도형의 바이트수와 반복 도형의 바이트수가 100 바이트와 같은 경우에는, 종래 기술에 의한 반복 표현만의 압축율이 1/50인 데 대하여, 본 발명에 의한 계층 셀 표현의 압축율은 1/101이 된다. 한편, 랜덤 도형의 바이트수가 10바이트, 반복 도형의 바이트수가 100바이트인 경우에는, 종래 기술에 의한 반복 표현만의 압축율이 1/100인 데 대하여, 본 발명의 계층 셀 표현의 압축율은 1/1001이 된다.
본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법에 따르면, 플랫 설계 데이터이더라도 복수 도형 그룹의 계층 셀을 발견하여, 계층 구조를 갖는 마스크 묘화 데이터로서 변환 작성하기 때문에, 상기 계산 결과로부터도 알 수 있는 바와 같이, 특히 규칙적인 반복 도형이 마스크 묘화 데이터의 대부분을 차지하고 있는 메모리 LSI의 마스크 묘화 데이터 압축에 있어서는, 압축율 향상에 현저한 효과가 있다.
그 결과, 취급하는 데이터량이 대폭 감소하기 때문에, 마스크 묘화 데이터의 처리 시간을 대폭 단축할 수가 있어, 마스크 묘화 장치측의 데이터 처리를 위한 작업용 기억 파일의 용량을 대폭 축소할 수가 있어, 따라서, LSI 마스크 제조 공정에서의 대폭적인 효율 향상을 실현할 수가 있다.
또한, 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치 및 압축방법에 의해 압축된 LSI 마스크 묘화 데이터를 사용하는 마스크 묘화 장치는, 벡터 스캔 방식의 마스크 묘화 장치에 한정되는 것이 아니고, LSI 마스크 묘화 데이터에 계층 구조 표현의 기술이 가능하면, 어떠한 방식의 마스크 묘화 장치일지라도 가능하다.
도 4는, 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법을 실행하는 컴퓨터 프로그램이 기록된 기록 매체 및 그 기록 매체가 사용되는 컴퓨터 시스템의 외관 구성을 도시한 설명도, 도 5는, 도 4에 도시한 컴퓨터 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4에 도시한 컴퓨터 시스템(70)은, 미니 타워형 등의 개체에 수납된 컴퓨터 본체(71)와, CRT (Cathode Ray Tube:음극선관), 플라즈마 디스플레이, 액정 표시 장치 등의 표시 장치(72)와, 기록 출력 장치로서의 프린터(73)와, 입력 장치로서의 키보드(74a) 및 마우스(74b)와, 플렉시블 디스크 드라이브 장치(76)와, CD-ROM 드라이브 장치(77)로 구성되어 있다. 도 5는, 이 컴퓨터 시스템(70)의 구성을 블록도로서 표시한 것이고, 컴퓨터 본체(71)가 수납된 개체내에는, 램(Random Access Memory) 등의 내부 메모리(75)와, 하드디스크 드라이브 유닛(78) 등의 외부 메모리가 흔히 설치되고 있다. 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법을 실행하는 컴퓨터 프로그램이 기록된 기록 매체는, 이 컴퓨터 시스템(70)에 의해 사용된다. 기록 매체로서는, 예를 들면, 플렉시블 디스크(81), CD-ROM(82)이 이용되지만, 기타, MO(광자기) 디스크, DVD (Digital Versatile Disk), 그 밖의 광학적 기록 디스크, 카드 메모리, 자기 테이프 등을 이용하여도 좋다.
본 발명에 따른 LSI 마스터 묘화 데이터 압축 장치에 따르면, 복수의 단위 섹션 영역으로 구성되어, 데이터 압축의 대상이 되는 LSI 마스크 묘화 데이터의 상기 단위 섹션 영역에 대응하는 LSI 설계 데이터의 단위 섹션 영역의 도형 데이터를 이용하여, 상기 단위 섹션 영역의 도형중에서, 동일 형상의 단독 도형이 LSI 마스크 묘화 평면상의 제1좌표 축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되고 있는 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이를 생성하고, 잔여 도형의 도형 데이터를 랜덤 도형의 데이터로 하는 단독 도형마다의 1차원 어레이 생성 수단과, 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중, 포함되어 있는 단독 도형의 형상 및 상기 제1좌표 축 방향에서의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 동일한 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 상기 제1좌표 축 방향과 직교하는 LSI 마스크 묘화 평면상의 제2좌표 축 방향에 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이가 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 2차원 어레이를 생성하는 단독 도형의 2차원 어레이 생성 수단과, 상기 단독 도형마다의 2차원 어레이중 어느 하나를 구성하게 되는 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이 이외의 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이의 중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 제1좌표 축 방향에서의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이를 생성하고, 또한, 상기 단독 도형의 2차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 단독 도형의 2차원 어레이의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 2차원 블록 어레이를 생성하는 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단을 포함하고 있는 것으로 하였기 때문에, 계층 구조를 가지지 않는 플랫 구조의 LSI 설계 데이터로부터 마스크 묘화 데이터를 작성할 때에, 마스크 묘화 데이터의 계층 표현을 이용하여, 매우 압축율이 높은 마스크 묘화 데이터를 작성할 수가 있다.
본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법에 따르면, 복수의 단위 섹션 영역로 구성되어, 데이터 압축의 대상이 되는 LSI 마스크 묘화 데이터의 상기 단위 섹션 영역에 대응하는 LSI 설계 데이터의 단위 섹션 영역의 도형 데이터를 이용하여, 상기 단위 섹션 영역의 도형중에서, 동일 형상의 단독 도형이 LSI 마스크 묘화 평면상의 제1좌표 축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이를 생성하여, 잔여 도형의 도형 데이터를 랜덤 도형의 데이터로 하는 제1 과정과, 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중, 포함되어 있는 단독 도형의 형상 및 상기 제1좌표 축 방향에서의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 동일한 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 상기 제1좌표 축 방향과 직교하는 LSI 마스크 묘화 평면상의 제2좌표 축 방향에 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이가 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 2차원 어레이를 생성하는 제2 과정과, 상기 단독 도형마다의 2차원 어레이중 어느 하나를 구성하게 되는 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이 이외의 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 제1좌표 축 방향에서의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이를 생성하는 제3 과정과, 상기 단독 도형의 2차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 단독 도형의 2차원 어레이의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되고 있는 복수 도형의 2차원 블록 어레이를 생성하는 제4 과정을 포함하고 있는 것으로 하였기 때문에, 계층 구조를 가지지 않는 플랫 구조의 LSI 설계 데이터로부터 마스크 묘화 데이터를 작성할 때에, 마스크 묘화 데이터의 계층 표현을 이용하여, 매우 압축율이 높은 마스크 묘화 데이터를 작성하는 것이 가능해진다.
본 발명에 따른 컴퓨터 프로그램의 기록 매체에 따르면, 상기 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법을 컴퓨터 시스템에서 실행하는 컴퓨터 프로그램이 기록된 것으로 하였기 때문에, LSI 마스크 묘화 데이터 압축에 사용함으로써, 상기 본 발명에 따른 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법의 효과를 얻을 수 있다.

Claims (11)

  1. LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치에 있어서,
    복수의 단위 섹션 영역으로 구성되며, 데이터 압축의 대상이 되는 LSI 마스크 묘화 데이터의 상기 단위 섹션 영역에 대응하는 LSI 설계 데이터의 단위 섹션 영역의 도형 데이터를 이용하여, 상기 단위 섹션 영역의 도형중에서, 동일 형상의 단독 도형이 LSI 마스크 묘화 평면상의 제1좌표 축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이를 생성하고, 잔여 도형의 도형 데이터를 랜덤 도형의 데이터로 하는 단독 도형마다의 1차원 어레이 생성 수단과,
    상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중, 포함되어 있는 단독 도형의 형상 및 상기 제1좌표 축 방향에서의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 동일한 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 상기 제1좌표 축 방향과 직교하는 LSI 마스크 묘화 평면상의 제2좌표 축 방향에 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이가 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 2차원 어레이를 생성하는 단독 도형의 2차원 어레이 생성 수단과
    상기 단독 도형마다의 2차원 어레이중 어느 하나를 구성하게 되는 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이 이외의 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 제1좌표 축 방향에서의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이를 생성하고, 또한, 상기 단독 도형의 2차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 단독 도형의 2차원 어레이의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 2차원 블록 어레이를 생성하는 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 각 어레이의 데이터를 변환하여 계층 셀의 묘화 데이터를 작성하는 계층 셀의 묘화 데이터 작성 수단과,
    상기 랜덤 도형의 데이터를 변환하여 랜덤 도형의 묘화 데이터를 작성하는 랜덤 도형의 묘화 데이터 작성 수단
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단은, 생성한 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 및 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 소정의 블록 라이브러리에 등록하는 것이고,
    상기 계층 셀의 묘화 데이터 작성 수단은, 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록된 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 및 상기 복수 도형의 2차원블록 어레이의 데이터를 이용하고, 상기 각 어레이의 데이터를 변환하여 계층 셀의 묘화 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 복수 도형의 블록 어레이 생성 수단은, 생성한 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록할 때에 식별 번호를 각각 할당하여, 이미 동일 구성의 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터가 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록되어 있는 경우에는, 중복 등록을 회피하여 상기 동일 구성의 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터에 할당된 식별 번호를, 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터에 부가하는
    것을 특징으로 하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치.
  5. 제2항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서,
    모든 상기 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성이 종료했는지 여부를 판단하는 전 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성 종료 판단 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 장치.
  6. LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법에 있어서,
    복수의 단위 섹션 영역으로 구성되며, 데이터 압축의 대상이 되는 LSI 마스크 묘화 데이터의 상기 단위 섹션 영역에 대응하는 LSI 설계 데이터의 단위 섹션 영역의 도형 데이터를 이용하여, 상기 단위 섹션 영역의 도형중에서, 동일 형상의 단독 도형이 LSI 마스크 묘화 평면상의 제1좌표 축 방향으로의 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이를 생성하고, 잔여 도형의 도형 데이터를 랜덤 도형의 데이터로 하는 제1 과정과,
    상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중, 포함되어 있는 단독 도형의 형상 및 상기 제1좌표 축 방향에서의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 동일한 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 상기 제1좌표 축 방향과 직교하는 LSI 마스크 묘화 평면상의 제2좌표 축 방향에 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이가 등간격 피치로 반복 배치되어 구성되어 있는 단독 도형마다의 2차원 어레이를 생성하는 제2 과정과,
    상기 단독 도형마다의 2차원 어레이중 어느 하나를 구성하게 되는 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이 이외의 상기 단독 도형마다의 제1좌표 축 방향 1차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 제1좌표 축 방향에서의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이를 생성하는 제3 과정과,
    상기 단독 도형의 2차원 어레이중에서, 포함되어 있는 단독 도형의 형상에 상관없이 상기 단독 도형의 2차원 어레이의 단독 도형의 배치 피치 및 반복 배치 갯수가 같은 것이 그룹화되어 구성되어 있는 복수 도형의 2차원 블록 어레이를 생성하는 제4 과정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 각 어레이의 데이터를 변환하여 계층 셀의 묘화 데이터를 작성하는 제5 과정과,
    상기 랜덤 도형의 데이터를 변환하여 랜덤 도형의 묘화 데이터를 작성하는 제6 과정
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제3 과정 및 상기 제4 과정은, 생성한 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 및 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 소정의 블록 라이브러리에 등록하는 것이고,
    상기 제5 과정은, 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록된 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 및 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 이용하고, 상기 각 어레이의 데이터를 변환하여 계층 셀의 묘화 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제3 과정 및 상기 제4 과정은, 생성한 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터를 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록할 때 식별 번호를 각각 할당하여, 이미 동일 구성의 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터가 상기 소정의 블록 라이브러리에 등록되어 있는 경우에는, 중복 등록을 회피하여 상기 동일 구성의 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터에 할당된 식별 번호를, 상기 복수 도형의 제1좌표 축 방향 블록 어레이 또는 상기 복수 도형의 2차원 블록 어레이의 데이터에 부가하는
    것을 특징으로 하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법.
  10. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    모든 상기 단위 섹션 영역의 묘화 데이터 작성이 종료했는지 여부를 판단하는 제7 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LSI 마스크 묘화 데이터 압축 방법.
  11. 제6항 내지 제9항중 어느 한 항에 기재된 LSI 마스크 묘화 데이터 압축방법을 컴퓨터 시스템에서 실행하는 컴퓨터 프로그램이 기록된
    것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램의 기록 매체.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001005848A (ja) * 1999-06-22 2001-01-12 Shinko Electric Ind Co Ltd データ処理方法
JP2003263466A (ja) * 2002-03-08 2003-09-19 Umc Japan 電子系ｃａｄ装置及びそのレイアウトデータ作製方法、コンピュータプログラム
US7289658B2 (en) * 2003-06-24 2007-10-30 International Business Machines Corporation Removal of relatively unimportant shapes from a set of shapes
JP5084094B2 (ja) * 2004-02-16 2012-11-28 日本電気株式会社 データ処理時間の予測方法、データ処理装置、およびプログラム
JP2007280200A (ja) * 2006-04-10 2007-10-25 Elpida Memory Inc レイアウトパターンデータの補正装置、及び補正方法
JP2008134434A (ja) * 2006-11-28 2008-06-12 Toshiba Corp マスクデータ処理方法、半導体装置の製造方法、及びマスクデータ処理を実行するプログラム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5493509A (en) * 1992-09-22 1996-02-20 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of and apparatus for generating mask layouts
JPH10261568A (ja) * 1997-03-18 1998-09-29 Toshiba Corp 荷電ビーム描画データ作成方法
JPH11168065A (ja) * 1997-09-30 1999-06-22 Toshiba Corp マスクデータ設計方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH053295A (ja) 1991-06-21 1993-01-08 Nec Ic Microcomput Syst Ltd 半導体集積回路
US6182069B1 (en) * 1992-11-09 2001-01-30 International Business Machines Corporation Video query system and method
US5654898A (en) * 1993-05-10 1997-08-05 Cascade Design Automation Corporation Timing-driven integrated circuit layout through device sizing
JPH10172876A (ja) 1996-12-13 1998-06-26 Hitachi Ltd Ｅｂデータ圧縮方法
US6075934A (en) * 1997-05-01 2000-06-13 Motorola, Inc. Method for optimizing contact pin placement in an integrated circuit
JPH10333317A (ja) 1997-05-29 1998-12-18 Sony Corp マスクパタンデータ生成装置とその方法
US6009251A (en) * 1997-09-30 1999-12-28 Synopsys, Inc. Method and system for layout verification of an integrated circuit design with reusable subdesigns
US6237129B1 (en) * 1998-03-27 2001-05-22 Xilinx, Inc. Method for constraining circuit element positions in structured layouts

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5493509A (en) * 1992-09-22 1996-02-20 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of and apparatus for generating mask layouts
JPH10261568A (ja) * 1997-03-18 1998-09-29 Toshiba Corp 荷電ビーム描画データ作成方法
JPH11168065A (ja) * 1997-09-30 1999-06-22 Toshiba Corp マスクデータ設計方法

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