KR100383541B1

KR100383541B1 - 티에프티 어레이 검사방법 및 장치

Info

Publication number: KR100383541B1
Application number: KR10-1999-0018710A
Authority: KR
Inventors: 타다시 타무까이
Original assignee: 아지아 에레크토로니크스 가부시끼가이샤
Priority date: 1998-05-25
Filing date: 1999-05-24
Publication date: 2003-05-12
Also published as: TW473622B; KR19990088515A; US6262589B1; JPH11337895A; JP2931975B1

Abstract

LCD 어레이의 화소용량을 테스터계 용량의 영향을 받지 않도록 용이하게 또한 단시간에 검사하는 것을 목적으로 하는 본 발명은, 1회째는 화소용량 C_P를 화소전압 V_P로 충전하고, 화소용량 C_P에 병렬접속된 라인용량 C_S(C_SC_P)를 세트전압 V_S(V_P≠V_S)로 충전한다. 화소용량 C_P와 라인용량 C_S를 병렬접속하여, 병렬접속 후의 라인용량 C_S의 전압과 병렬접속 전에 충전한 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S1을 측정한다. 2회째는, 화소용량 C_P를 화소전압 V_P로 충전하고, 라인용량 C_S에 이미 알고 있는 기준용량 △C_S를 병렬접속하여, 이것을 세트전압 V_S로 충전한다. 병렬접속한 라인용량과 기준용량 △C_S에 화소용량 C_P를 더욱 병렬접속하여, 이 병렬접속한 후의 라인용량 C_S의 전압과 병렬접속 전에 충전한 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S2를 측정한다. 1회째와 2회째에서 측정한 이들 차전압 △V_S1, △V_S2와, 차전압에서 도출된 식 C_P=△C_S·△V_S1·△V_S2/((V_P-V_S)·(△V_S1-△V_S2))로부터 화소용량 C_P를 구할 수 있다.

Description

티에프티 어레이 검사방법 및 장치{TFT array inspection method and device}

본 발명은 TFT(박막 트랜지스터) 어레이 검사방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 LCD 어레이를 구성하는 각 화소를 검사하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

TFT-LCD에서는, 그 RGB 입력에 전압을 주어 TFT를 온(on)시키고, 화소용량을 충전하고 나서 TFT를 오프(off)하여 화소용량에 전압을 유지한다. 이 화소용량에서 유지하는 전압에 의해 액정 셔터(shutter)가 밝기를 콘트롤(control)한다. 따라서, TFT-LCD에 있어서 화소용량을 아는 것이 상당히 중요하다. 그 때문에, 액정 주입전 또는 주입후의 화소용량 값은 물론 TFT 어레이를 구성하는 화소 파라미터 (parameter)를 검사, 즉 화소용량이 접속되어 있는지 아닌지(오픈(open) 불량과 셔트(shut) 불량), 화소용량에 1 프레임(frame)시간분의 화소신호를 유지하기 위한 전압이 확보되어 있는지 아닌지를 검사할 필요가 있다.

이 검사는, 도 6에 나타난 바와 같이, 테스트 회로(22)를 TFT 어레이를 구성하는 화소(20)의 RGB 입력에서 접속하고, TFT(21)를 온(on)하여, 테스트 회로(22)로부터 화소용량 C_P에 전압을 충전한 후, TFT(21)를 오프(off)하여 화소용량 C_P에 전압을 유지시키는데, 그 때의 충전전류나 유지전압으로부터 화소용량 C_P에 충전된 전하의 확인을 실시하고 있다. 그러나, TFT 어레이 화소용량에 유지된 전하를 정확히 고속으로 검사하는 것은 다음의 이유로 인해 대단히 어렵다.

(1) 화소용량 C_P의 값은 0.1pF∼0.2pF로 상당히 작다.

(2) TFT(21)를 온(on)하여 화소용량 C_P에 충전한 전압을 독출할 때, 화소용량 C_P에 병렬로 연결된 테스터계의 용량 C_t(∼100pF)나 화소의 패턴용량 C_n(최대 100pF)이 화소용량 C_P의 1000배 이상이기 때문에, 독출한 전압은 상당히 작아진다.

(3) C_t나 C_n은 값이 클 뿐만 아니라, 분산도 커서 회로마다 다른 값이 되며 알 수 없다.

상기 (1)∼(3)의 문제를 피하기 위해 TFT 어레이 화소용량의 전하를 검출하기 위한 검사회로로서, 종래에는 일본국 특개평제3-200121호공보의 것이 제안되어 있다. 이것은 도7에 나타낸 바와 같이, TFT 어레이 화소용량 C_P에 TFT(31)의 소스가 접속되고, TFT(31)의 드레인(drain)에 데이타라인(dataline)(32)을 끼워 적분회로(33)가 접속된다. TFT(31)의 게이트(gate)에는 이것을 구동하기 위한 게이트 전원전압 V_C가 부가된다. 검사회로(34)에는, 데이타라인(32)에 전원전압 V_D를 단속하는 스위치 S₁과, 데이타라인(32)을 적분회로(33)에 단속하는 스위치 S₂가 설치되고, 스위치 S₁이 온(on)되었을 때 드레인 전원전압 V_D가 데이타라인(32)에 부가되고, TFT(31)가 온(on)하면 드레인 전원전압 V_D에서 TFT 어레이 화소용량 C_P가 충전되도록 되어 있다. 또한 스위치 S₂가 온(on)되었을 때 데이타라인(32)이 적분회로(33)에 접속되고, TFT(31)가 온(on)하면 TFT 어레이 화소용량 C_P에 충전된 전하가 적분회로(33)에 부가되도록 되어 있다.

적분회로(33)는 연산증폭기(35)와, 연산증폭기출력(36)에서 반전입력(37)에 접속되는 귀환로에 삽입된 용량 C_L과, 용량 C_L의 양끝에 접속되고 용량 C_L에 충전된 전하를 방전하는 리셋스위치(reset switch) S₃로 구성된다. 또한, 점선으로 표시된 용량 C_GD는 TFT(31)의 게이트·드레인 사이의 기생용량, 마찬가지로 용량 C_D, 저항 R_D는 드레인의 기생용량, 기생저항이다.

도 8과 같이, V_D를 올리고, 스위치 S₁을 온(on)한 후, 게이트 전원전압 V_G를 시각 T₃∼시각 T₄의 사이에서만 TFT(31)에 가하여 TFT(31)를 온(on)시키고, 데이타라인(32)을 끼워 공급되는 드레인 전원전압 V_D에 의해 TFT 어레이 화소용량 C_P를 충전한다. 시각 T₅에서 드레인 전원전압 V_D를 내리고, 데이타라인(32)의 기생용량 C_D에 충전되어 있는 전하를 방전시킨다. 스위치 S₁을 오프(off)하여 드레인 전원전압 V_D를 절단함과 동시에, 스위치 S₂를 온(on)하여 데이타라인(32)을 적분회로(33)에 접속한다. 또한, 리셋스위치 S₃를 오프(off)하여 귀환용량 C_L을 충전 가능하게 한다. 귀환용량 C_L을 충전하고 TFT 어레이 화소용량 C_P를 방전하는데 필요한 시간, 즉 시각 T₉∼시각 T₁₀의 사이에서, 다시 게이트 전원전압 V_G를 TFT(31)에 가하여 TFT(31)을 온(on)시키고, 데이타라인(32)상에 실리는 전압을 연산증폭기(35)의 반전입력에 부가한다. 이 사이에 연산증폭기출력에 나타나는 파형은, 충전이 포화하고 나서 떨어진다 (반전출력때문에, 도에서는 거꾸로 나타나 있다).

이와 같은 파형이 발생하는 이유는, 당초 TFT 어레이 화소용량 C_P와 게이트·드레인 간의 기생용량 C_GD의 양쪽모두의 전압으로 귀환용량 C_L이 충전되어 가고, 그 후 포화에 도달하는데, 시각 T₁₀에서 게이트 전원전압 V_G가 내려지기 때문에, 게이트·드레인 간의 기생용량 C_GD로부터 전하가 제거되도록, 그 전하분에서만 연산증폭기출력의 전압이 저감(도에서는 거꾸로 나타나 있다)하기 때문이다. 시각 T₁₀이후에는 게이트·드레인 간의 기생용량 C_GD의 전압은 제거되도록 연산증폭기출력의 전압은 유지기간인 시각 T₄∼종단시 T₉까지 TFT 어레이 화소용량 C_P에 축적되어 있는 전하에 거의 비례하게 된다. 이 때의 출력전압을 이용하여 화소의 여러 파라미터를 분석한다. 예를 들어, 화소용량 C_P는 연산증폭기출력 전압의 함수로서 정의되고, LCD 누설저항은 출력전압의 유지기간(기간 T₄∼T₉)의 함수로서 정의된다.

그러나, 상술한 일본국 특개평제3-200121호공보의 검사회로에서는 다음에 설명하는 것 같이 구조가 복잡하고 검사시간이 많이 소요되고, 고속의 테스트가 불가능한 문제가 있었다.

(1) 적분기 및 적분기 리셋용 스위치를 포함하고 스위치가 3개씩이나 필요하며 구성이 복잡하게 된다.

(2) 시정수가 작은 적분기가 필요하기 때문에, 노이즈나 적분기의 리셋 스위치로부터 받게 되는 전하의 영향을 쉽게 받게 되고 측정오차가 크다.

(3) 노이즈의 영향을 피하기 위해, 여러회 측정하고 평균값을 구하지 않으면 안되어, 측정시간이 길어진다.

본 발명의 목적은 상술한 종래기술의 문제점을 해소하여, TFT 어레이를 구성하는 화소의 좋고나쁨을 정확하게 고속으로 검사하고, 또한 화소용량을 정확하게 구할 수 있는 TFT 어레이 검사방법 및 장치를 제공하는데 있다.

도 1은 TFT 어레이 검사장치의 개념을 나타낸 설명도이고,

도 2는 본 발명의 원리도이며,

도 3은 실시예의 TFT 어레이 검사장치의 개략 구성도이고,

도 4는 실시예의 TFT 어레이 검사방법의 순서를 나타낸 설명도이며,

도 5는 종래예와 실시예를 비교한 TFT 어레이 검사장치의 개략 구성도이고,

도 6은 TFT 어레이 검사장치의 개념도이며,

도 7은 종래예의 TFT 검사장치를 나타낸 설명도이고,

도 8은 종래예의 TFT 어레이 검사장치의 타이밍도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

S₁스위치 S₂스위치

C_S라인용량 C_P화소용량

△C_S기준용량 V_S세트전압

V_P화소전압

제1발명은, TFT 어레이를 구성하는 화소를 검사하는 공정 중에서, 상기 화소용량 C_P를 이미 알고 있는 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, TFT 어레이의 검사시에 상기 화소용량 C_P에 병렬로 접속되는 부가용량 C_T(C_TC_P)를 이미 알고 있는 세트전압 V_S(V_P≠V_S)로 충전하고, 모두 충전한 후에, 화소용량 C_P와 부가용량 C_T를 병렬접속하여, 병렬접속한 후의 부가용량 C_T의 전압 V_a와 병렬접속전의 부가용량 C_T에 충전한 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S를 측정하고, 이 측정한 차전압 △V_S와, 이 차전압에서 도출된 하기 수학식 1을 이용하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법이다.

(단,는 거의 같다는 의미임.)

여기서, TFT 어레이 검사시에 상기 화소용량 C_P에 병렬로 접속되는 부가용량 C_T라는 것은, 테스터계를 TFT 어레이에 접속했을 때에 측정라인에 등가적으로 매달리는 총합용량을 의미하고, 구체적으로는 테스터계가 갖는 용량과, 화소용량 이외의 어레이쪽의 용량을 포함하고, 더욱 측정라인에 의도적으로 접속하는 이미 알고 있는 기준용량이 포함되는 경우가 있다.

부가용량 C_T는, 전술한 바와 같이, 테스터계가 갖는 용량과, 화소용량 C_P이외의 어레이쪽의 용량을 포함하고, 더욱 측정라인에 의도적으로 접속하는 기준용량이 포함되는 경우가 있다. 이 중에서, 테스터계가 갖는 용량과, 화소용량 C_P이외의 어레이쪽의 용량은 분산이 있기 때문에 정확하게 파악하는 것이 어렵다. 따라서, 부가용량 C_T중 파악이 어려운 알 수 없는 용량성분, 및 이 알 수 없는 용량성분에 충전되는 전압과는 관계없는 화소용량 C_P를 구하는 관계식이 성립되면, 화소용량 C_P를 정확하게 측정할 수 있게 된다.

그런데, 부가용량 C_T의 병렬접속 후의 전압 V_a과 병렬접속 전의 충전전압 V_S과의 차전압 △V_S를 구하는 상기 수학식 1에서는, 병렬접속후의 부가용량 C_T의 전압 V_a가 포함되어 있지 않다. 따라서, 측정에 의해 △V_S가 알면, 수학식 1에 있어서 화소용량 C_P와 부가용량 C_T를 제외하고, 모든 항목이 아는 값이 되기 때문에, 부가용량 C_T내지 알지 못하는 용량성분을 수학식 1로부터 제거할 수 있다면, 병렬접속후의 전압 V_a를 고려하는 일없이, 화소용량 C_P를 용이하게 구할 수 있다.

예를 들어, 수학식 1에 있어서, 부가용량 C_T의 값을 바꾸어, 각각 다른 전압으로 충전한 부가용량 C_T와 화소용량 C_P를 병렬접속(합체)하고, 합체전압과 합체전의 부가용량 C_T의 충전전압 V_S을 대수 연산하는 것을 2회 반복하는 것에 의해, 부가용량 C_T의 알지 못하는 용량성분을 제거할 수 있고, 이와 같이 하여 용이하게 화소용량 C_P를 구할 수 있다.

제2발명은, TFT 어레이를 구성하는 화소용량 C_P를 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, TFT 어레이의 검사시에 화소용량 C_P에 병렬접속되는 것으로 이루어지는 라인용량 C_S(C_SC_P)를 세트전압 V_S(V_P≠V_S)로 충전하고, 모두 충전한 후에, 화소용량 C_P와 라인용량 C_S를 병렬접속하여, 병렬접속한 후의 라인용량 C_S의 전압 V_a1과 병렬접속전의 라인용량 C_S에 충전한 세트전압 V_S의 차전압 △V_S1을 측정하고, 계속하여, 상기 화소용량 C_P를 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, 상기 라인용량 C_S에 이미 알고 있는 기준용량 △C_S를 병렬접속하여, 이것을 세트전압 V_S로 충전하고, 모두 충전한 후에 상기 병렬접속한 라인용량과 기준용량 △C_S에 화소용량 C_P를 더욱 병렬접속하여, 이 병렬접속한 후의 라인용량 C_S의 전압 V_a2와 병렬접속전의 라인용량 C_S에 충전한 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S2를 측정하고, 측정한 상기 차전압 △V_S1, △V_S2로부터 화소 파라미터를 검사하고, 이러한 차전압과, 차전압으로부터 도출된 하기 수학식 2로부터 상기 화소용량 C_P를 구하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법이다.

여기서, TFT 어레이의 검사시에 상기 화소용량 C_P에 병렬로 접속되는 라인용량 C_S라는 것은, 테스터계를 TFT 어레이에 접속했을 때 불가피적으로 측정라인에 매달리게 되는 등가용량을 의미하고, 구체적으로는 테스터계가 갖는 용량과, 화소용량 이외의 어레이쪽의 용량을 포함한 것이다.

1회째의 충전에서는, 라인용량 C_S에 세트전압 V_S를, 화소용량 C_P에 화소전압 V_P를 각각 부여한다. 그 후, 모든 용량 C_S, C_P를 합체한다. 합체후의 라인용량 C_S의 전압 V_a1와 합체 전에 충전한 세트전압 V_S와의 전압차 △V_S1은, 상기 수학식 1로부터 하기 수학식 3이 된다.

2회째의 충전에서는, 화소용량 C_P에 화소전압 V_P를 부여한 후, 합체한 기준용량 △C_S, 라인용량 C_S에 세트전압 V_S를 부여한다. 그 후, 합체한 기준용량 △C_S, 라인용량 C_S에 더욱 화소용량 C_P를 합체한다. 이 합체후의 라인용량 C_S의 전압 V_a2와 합체 전에 충전한 세트전압 V_S와의 전압차 △V_S2도, 상기 수학식 1로부터 하기 수학식 4가 된다.

상기 수학식 3, 4로부터, 화소용량 C_P를 구할 수 있는 상기 수학식 2가 얻어진다. 1회째와 2회째의 충전에 의해 얻은 차전압 △V_S1, △V_S2를 측정하여 이것들이 알고 있는 값이 되면, 상기 수학식 2의 우변의 항목은 모두 아는 값이 된다. 따라서, 합체전압 V_a1, V_a2, 및 라인용량 C_S를 모두 알지 못해도, 이들과는 관계없이 화소용량 C_P를 구할 수 있다. 이와 같이 제2발명에 따르면, 2종류의 전압측정을 하여 대수연산을 하는 간단한 방법으로 화소용량 C_P을 빠르고 정확하게 또한 용이하게 검사할 수 있다.

제3발명은, 제2발명에 있어서, 상기 모두 충전한 후에 화소용량 C_P의 화소전압 V_S를 규정시간 유지시킨 후, 상기 병렬접속한 라인용량 C_S과 기준용량 △C_S에 화소용량 C_P를 더욱 병렬접속하여, 이 병렬접속한 후의 라인용량 C_S의 전압 V_a1또는 V_a2와 병렬접속 전의 라인용량 C_S에 충전한 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S1또는 △V_S2을 측정하도록 한 TFT 어레이 검사방법이다.

실질적으로 화소용량 C_P에 리크(leak)가 존재하기 때문에, 1프레임 시간분의 화상신호를 유지하기 위한 전압이 화소용량 C_P에서 확보되는 것을 확인할 필요가 있다. 이 때문에 2회째의 전압차 △V_S2를 구할 때, 화소용량 C_P에 충전된 화소전압 V_P를 규정시간동안 유지시켜, 규정시간 후의 화소전압 V_P를 측정하여 얻도록 한다. 이에 의해, 화소전압 V_P와 상관이 있는 전압차 △V_S2를 규정값과 비교하는 것으로 화소용량 C_P의 유지능력을 검사할 수 있다.

제4발명은, 2종류의 화소전압 V_P와 세트전압 V_S(V_P≠V_S)를 선택적으로 부가할 수 있는 전원과, TFT 어레이를 구성하는 화소용량 C_P와 이 경로에서 접속되는 TFT 스위치 SW₁을 포함하는 화소와, 상기 화소에 상기 전원을 접속하기 위한 라인과, TFT 어레이의 검사시에 상기 라인에 병렬접속되는 것으로 이루어지는 라인용량 C_S(C_SC_P)와, 이미 알고 있는 기준용량 △C_S와, 상기 라인용량 C_S에 대해 상기 기준용량 △C_S를 병렬접속하고, 또는 절단하기 위한 스위치 SW₂와, 상기 라인을 온/오프하기 위한 스위치 SW₃와, 상기 라인용량 C_S의 병렬접속후의 전압과 병렬접속전의 충전전압과의 전압차를 2회 측정하여, 이것들의 측정결과에 기초하여 화소용량 C_P를구하는 연산제어회로를 구비한다.

상기 연산제어회로는 1회째의 라인용량 C_S의 전압차를 측정하기 위해, 상기 전원을 상기 라인에 접속하여 상기 화소의 화소용량 C_P를 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, 화소용량 C_P를 라인으로부터 절단하여 세트전압 V_S로 라인용량 C_S를 충전하고, 모두 충전한 후 상기 전원과 상기 화소를 절단하여 상기 화소용량 C_P와 상기 라인용량 C_S를 병렬접속시키고, 2회째의 라인용량 C_S의 전압차를 측정하기 위해, 상기 기준용량 △C_S와 상기 라인용량 C_S를 병렬접속하고, 상기 전원을 상기 라인에 접속하여 화소용량 C_P를 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, 화소용량 C_P를 라인으로부터 절단하여, 상기 병렬접속한 상기 기준용량 △C_S와 상기 라인용량 C_S를 세트전압 V_S로 충전하고, 모두 충전한 후 규정시간동안 상기 화소용량 C_P에 충전한 화소전압 V_P를 유지시키고, 규정시간이 경과한 후 화소용량 C_P를 상기 병렬접속한 상기 기준용량 △C_S와 상기 라인용량 C_S에 더욱 병렬접속시키도록 상기 TFT 스위치 SW₁, 스위치 SW₂, 및 SW₃를 온/오프 제어하는 TFT 어레이 검사장치이다.

1회째는, 연산제어회로에 따른 제어에 의해 스위치 SW₁, SW₃을 온(on)하여 전원을 화소에 접속하여, 전원에서 화소전압 V_P를 화소로 가하여 화소용량 C_P에 충전한다. 스위치 SW₁을 오프(off)하여 화소용량 C_P를 전원으로부터 절단함과 동시에, 전원에서 세트전압 V_S를 라인용량 C_S에 부가하여 라인용량 C_S를 세트전압 V_S으로 충전한다. 그 후, 연산제어회로에 의해 스위치 SW₃을 오프(off)하여 화소를 전원으로부터 절단한다. 스위치 SW₁을 온(on)하여 세트전압 V_S로 충전된 라인용량 C_S와 화소전압 V_P로 충전된 화소용량 C_P를 합체하여, 두 용량 사이에서 충방전시킨다. 그 때의 합체전압 V_a1과 합체 전에 라인용량 C_S에 충전한 세트전압 V_S와의 전압차 △V_S1을 연산제어회로에서 독취한다. 독취한 전압차 △V_S1은 양품(良品)을 얻을 수 있는 규정값과 비교한다.

이 때 화소접속이 정상이면, 독취되는 전압차 V_S1은 상기 수학식 1로부터 △V_S1=V_a1-V_S≠0이 되고, 규정값 내에 들어간다.

그러나, 화소가 오픈불량(C_P=0, 즉 용량누락), 스위치 SW₁이 온(on)고정 또는 오프(off)고정이면, △V_S1=:V_S-V_S=0으로 제로(0)가 되기 때문에 규정값에서 벗어난다. 또한, 화소가 셔트불량(C_P=∞)이라면, V_S1=V_com-V_S가 되기 때문에 큰 값이 되고, 이것도 규정값에서 벗어난다. 따라서, 연산제어회로에서 독취한 전압차 △V_S1이 규정값에 들어가 있는지 아닌지를 판정하는 것으로, 화소접속의 이상, 정상을 검사할 수 있다.

2회째는 연산제어회로에 의한 제어에 의해 스위치 SW₁, SW₃을 온(on)하여 전원을 화소에 접속하여, 전원으로부터 화소전압 V_P를 화소에 가하여 화소용량 C_P에 충전한다. 스위치 SW₁를 오프(off)하여 화소용량 C_P를 전원으로부터 절단함과 동시에, SW₂을 온(on)하여 기준용량 △C_S를 라인용량 C_S에 합체한다. 전원을 화소전압 V_P에서 세트전압 V_S로 대체하여, 이것을 라인용량 C_S, 기준용량 △C_S에 가하여 라인용량 C_S, 기준용량 △C_S를 세트전압 V_S로 충전한다. 그리고 화소용량 C_P의 유지시간을 검사하기 위해 규정시간 기다린다.

규정시간 경과후, 연산제어회로에 의해 스위치 SW₃을 오프(off)하여 화소를 전원으로부터 절단한다. 스위치 SW₁를 온(on)하여 세트전압 V_S로 충전된 라인용량 C_S, 기준용량 △C_S와 규정시간경과 후의 화소전압 V_P를 유지하고 있는 화소용량 C_P를 합체하여, 두 용량 사이에서 충방전시킨다. 그 때의 합체전압 V_a2와 합체 전에 라인용량 C_S에 충전한 세트전압 V_S와의 전압차 △V_S2를 연산제어회로에서 독취한다. 독취한 전압차 △V_S2는 양품을 얻을 수 있는 규정값과 비교한다.

리크가 큰 경우에는, 화소용량 C_P에서 유지되는 전압 V_P가 플러스(+) 또는 마이너스(-)로 변화하기 때문에, 전압차 V_S2는 규정값에서 벗어나게 된다. 따라서, 독취한 전압차 △V_S2가 규정값을 벗어나게 되면, 리크 불량으로 판정한다. 전술한 바와 같이 화소용량 C_P는 상기 수학식 2로부터 얻는다.

이와 같이 제4발명에 따르면, 스위치 SW₁, SW₂, SW₃을 온/오프 제어하는 것만의 간단한 구조로, 적분회로를 필요로 하지 않고, 또한 라인용량 C_S이나 화소용량 C_P의 값을 알지 못해도, 화소접속의 가부 및 화소용량 C_P에 전압이 규정시간 유지되어 있는지 아닌지를 용이하게 검사할 수 있다.

실시예이하에 본 발명의 실시예를 설명한다. 우선 본 발명의 원리를 설명한다.

본 발명의 원리

도 1, 도 2를 이용하여 설명한다.

(1) 충전된 2개의 용량 C_T, C_P의 합체 전압(도 2)

(a) 2개의 용량 C_T, C_P를 병렬접속(합체)하였을 때의 합체전압(도 2(a))

스위치 S를 오프(off)한 상태에서, 용량 C_T에 V_S볼트(volt), 용량 C_P에 V_P볼트를 각각 부여한 후, 스위치 S를 온(on)하여 두 용량 C_T, C_P를 합체한다. 합체에 의해 얻어진 합체용량의 양끝에서 발생하는 합체전압 V_a는 하기 수학식 5가 된다.

이것에 의해 합체전압 V_a는 합체용량 C₀에 대한 비율로 분배한 전압의 합이 된다.

(b) 합체전후의 C_T의 전압 변동 (도 2(b))

스위치 S를 오프(off)한 상태에서의 용량 C_T의 전압 V_S이다. 합체전후의 전압차 △V_S는 하기 수학식 6이 된다

이것에 의해 합체전후의 전압차 △V_S는 합체전압 V_a와 관계가 없어진다.

(2) 용량 C_P와 C_S의 값이 불명료한 경우에 그것들을 구하는 방법(도 1)

알고 있는 용량 △C_S를 접속하기도 하고 절단하기도 할 수 있도록 하면, 다음 순서로부터 용량 C_P와 C_S의 값을 얻을 수 있다. 여기서 상기 용량 C_T는 알고 있는 용량 △C_S과 용량 C_S를 합체한 합체용량이다.

(a) △C_S비접속 (도 1(a))

스위치 S₁, S₂를 오프(off)한 상태에서, 용량 C_S에 V_S볼트, 용량 C_P에 V_P볼트를 각각 부여한다. 그 후, 스위치 S₂를 온(on)하여 두 용량 C_S, C_P를 합체한다. 합체전후의 용량 C_S의 전압차 △V_S1은 상기 수학식 3과 같다.

(b) △C_S접속(도 1(b))

스위치 S₁을 온(on)하여 용량 △C_S, C_S를 합체하고, 이것에 V_S볼트를 부여한다. 그 후, 스위치 S₂를 온(on)하여 또한 용량 C_P를 합체한다. 합체전후의 용량C_S의 전압차 △V_S2는 상기 수학식 4와 같다.

상기 수학식 3, 4로부터 상기 수학식 2가 나오고, 또한 라인용량 C_S에 대해서의 C_S=△C_S·△V_S2/(△V_S1-△V_S2)가 얻어진다.

용량 △C_S는 알고 있는 값이기 때문에, 용량에 가해지는 2종류의 전압 V_S, V_P의 값을 알 수 있고, 또한 합체전압 △V_S1, △V_S2가 규정 가능하면, 화소용량 C_P와 라인용량 C_S가 구해지는 것을 의미한다. 본 발명은 이 원리를 이용하여 화소용량의 좋고나쁨의 판정과 용량값의 산출을 실시하도록 한 것이다.

도 3에 TFT 어레이의 검사장치를 나타낸다. 화소(10)의 구성은 한끝이 통상전압 V_com으로 낮쳐 있는 화소용량 C_P와, 화소용량 C_P의 다른 끝에 닿는 경로를 온/오프하는 TFT 스위치 SW₁과의 직렬회로로서 간략하게 나타내고 있다. 이 화소(10)의 TFT 스위치 SW₁쪽에서 동축선 내지 실드선으로 이루어진 라인(14)에서 전원으로서의 DAC(11)의 출력단자를 접속하고, DAC(11)의 출력전압에 의해 라인(14)과 접지사이에서 접속되는 라인용량 C_S, 또는 화소(10)의 화소용량 C_P의 전압을 충방전할 수 있도록 되어 있다. 라인(14)과 DAC(11)와의 사이에 스위치 SW₃을 끼어넣어 화소(10)에 대해 DAC(11)를 접속 또는 절단시키도록 되어 있다.

라인(14)과 스위치 SW₃과의 접속점에서 스위치 SW₂를 끼워서, 한쪽 끝을 접지한 기준용량 △C_S의 다른 끝을 접속하여, 스위치 SW₂를 온/오프하는 것에 의해 기준용량 △C_S를 라인(14)에 대해 접속 또는 절단시키도록 되어 있다. 기준용량 △C_S의 용량값은 아는 값이다.

또한 라인(14)과 스위치 SW₃와의 접속점에서 테스트 회로(12)를 접속하여, 라인용량 C_S와 화소용량 C_P의 합성용량의 단자전압 V₁, 또는 기준용량 △C_S, 라인용량 C_S, 화소용량 C_P의 합성용량의 단자전압 V₁과 DAC(11)의 충전전압 V₂를 측정할 수 있도록 되어 있다.

테스트 회로(12)는 알고 있는 회로이고, 라인(14)과 스위치 SW₃와의 접속점의 전압 V₁을 인피던스 변환하는 저입력 전류 팔로우어(follower)(15)와, 이 저입력 전류 팔로우어(15)의 출력과 DAC(11)의 출력 V₂를 2입력으로 하는 K배의 차동AMP(16)를 구비하고, 차동AMP(16)의 출력 K·(V₂-V₁)을 ADC(17)에 가하고, 이것을 연산제어회로(13)에 입력하는 것에 의해 화소 파라미터에 관한 각종의 판정을 실시하도록 되어 있다. 또한 상기 스위치 SW₁, SW₂, SW₃은 연산제어회로(13)에 의해 제어된다.

상기 DAC(11)는 임의의 전압을 발생할 수 있는 프로그램어블 전압발생기로 구성될 수 있다.

또한, 라인용량 C_S는 전술한 바와 같이 테스터계 용량(약 30pF∼100pF)+화소용량 C_P이외의 어레이의 용량(100pF전후)이 된다. 화소용량 C_P는 액정없이에서 약 0.1pF, 액정충진시는 약 0.2pF가 된다. 기준용량 △C_S는 예를 들면 50pF∼100pF의 사이에서 결정한다. 스위치 SW₃는 DAC(11)를 절단하였을 때에, 라인용량 C_S로의 전하주입이 있으면 측정오차가 발생하기 때문에, 일반적으로 전하주입량이 크고 또한 주입량이 불안정한 아날로그 스위치는 부적당하며, 전하주입량이 절대적으로 적은 포트 MOS 스위치가 바람직하다. 스위치 SW₂는 포트 MOS 스위치라도 좋지만, 기준용량 △C_S를 온/오프하는 스위치이기 때문에, 아날로그 스위치로 충분하다. 스위치 SW₁는 TFT 스위치이다. ADC(17)는 A/D 변환기, DAC(11)은 V_P, V_S설정용인 D/A 변환기이다.

상기와 같은 구성에 있어서 한 개의 화소에 대해 테스트하는 순서를 도 4의 검사순서를 이용하여 설명한다.

(a) 화소용량 C_P에 화소전압 V_P를 충전

스위치 SW₁을 온(on)하여 화소용량 C_P와 라인용량 C_S를 병렬접속한 후에, 스위치 SW₃을 온(on)하여 DAC(11)를 화소(10)에 접속한다. 이 때의 DAC(11)의 출력을 V_P로 하여, 라인용량 C_S및 화소용량 C_P를 함께 V_P로 충전한다.

(b) 화소용량 C_P의 절단

스위치 SW₁을 오프(off)로 하여 화소용량 C_P를 DAC(11)로부터 절단한다.

(c) 라인용량 C_S에 세트전압 V_S를 충전

화소용량 C_P를 DAC(11)로부터 절단한 상태이고, DAC(11)의 출력을 화소전압 V_P로부터 세트전압 V_S로 바꾸어, 라인용량 C_S에 세트전압 V_S를 충전한다.

(d) DAC의 절단

스위치 SW₃를 오프(off)하여 DAC(11)를 라인(14)으로부터 절단한다.

(e) 합체, 측정, 부분판정

스위치 SW₁을 온(on)하여 라인용량 C_S와 화소용량 C_P를 병렬접속시키고, 그 때의 합성용량에 충전된 합성전압 V_a1과 DAC(11)의 충전전압 V_S와의 차를 얻어 K배한다.

K(V_a1-V_S)

이 값을 측정하고, 그 측정결과와 기준값과의 비교로부터 화소의 부분판정을 실시한다. 즉, 화소용량 C_P가 제로(0), 즉 용량누락이라는 불량의 경우, △V_S=:V_S-V_S가 되기 때문에, △V_S가 제로가 되고 규정값에서 벗어나게 된다. 이 때문에 △V_S를 규정하여, 그 값이 규정값을 벗어나고, 제로근처에 있으면 용량누락으로 판정한다.

화소용량 C_P가 셔트 불량인 경우, △V_S=V_com-V_S가 되기 때문에 △V_S는 큰 값이 되고, 규정값이 벗어나게 된다. 이 때문에 △V_S를 규정하여 그 값이 규정값을 벗어나고, 큰 값이라면 셔트로 판정한다. 통상, V_com이 마이너스 전압이기 때문에 규정값을 벗어나는 것은 마이너스값이 된다.

스위치 SW₁이 온(on)이 계속 되는 온(on) 고정불량의 경우, 용량누락과 같이 판정된다. 또한, 스위치 SW₁이 오프(off)가 계속되는 오프(off) 고정불량의 경우, 화소가 통상시 오픈(open)되기 때문에, 현상은 용량누락과 같이 판정된다.

(f) 화소용량 C_P에 화소전압 V_P를 재충전

화소용량 C_P와 라인용량 C_S를 병렬접속한 채의 상태로, 스위치 SW₃를 온(on)하여 DAC(11)를 화소(10)에 접속한다. 이 때의 DAC(11)의 출력을 화소전압 V_P로 바꾸어, 라인용량 C_S및 화소용량 C_P를 함께 V_P로 충전한다. 스위치 SW₃를 온(on)할 때 스위치 SW₂도 온(on)하고, 기준용량 △C_S에도 V_P를 충전해 두어도 좋다.

(g) 화소용량 C_P의 절단

스위치 SW₁를 오프(off)로 하여 화소용량 C_P를 DAC(11)로부터 절단한다.

(h) 라인용량 C_S에 세트전압 V_S를 충전

DAC(11)의 출력을 화소전압 V_P에서 세트전압 V_S로 바꾸어, 병렬접속되어 있는 기준용량 △C_S와 라인용량 C_S를 함께 세트전압 V_S로 충전한다.

(i) 규정시간 대기

여기서 규정시간, 구체적으로는 1프레임분의 화상신호가 유지되는 전압을 확보할 수 있는 1프레임 시간분을 기다린다. 이것은 화소용량 C_P의 유지시간을 검사하기 위함이다.

(j) DAC의 절단

스위치 SW₃를 오프(off)로 하여 DAC(11)를 화소(10)로부터 절단한다.

(k) 합체, 측정, 부분판정

스위치 SW₁을 온(on)하여, 규정시간 경과후의 전압을 유지하고 있는 화소용량 C_P와, 충전되어 V_S가 되어 있는 기준용량 △C_S와 라인용량 C_S와의 합성용량을 병렬접속한다. 그 때의 합성용량의 전압 V_a2와 DAC(11)의 충전전압 V_S와의 차를 얻어 K배 한다.

K(V_a2-V_S)

이 값을 측정하고, 그 측정결과로부터 화소의 나머지 부분 판정을 실시한다. 즉, 화소용량 C_P의 리크가 커서 리크불량인 경우, 화소용량 C_P에 유지되는 전압 V_P가 (+) 또는 (-)로 변하기 때문에 규정값에서 벗어나게 된다. 이 때문에 △V_S를 측정하여 그 값이 규정값을 벗어나고 (+) 또는 (-)로 변할 때 리크가 큰 불량으로 판정한다.

화소용량 C_P로의 경로저항이 상당히 큰 불량은 전압 V_P의 기입시간을 짧게 하면 C_P의 충전이 불충분하게 되기 때문에, 용량누락과 동일하게 판정하게 된다.

(1) C_P의 산출과 좋고나쁨 판정

마지막으로, 상기 수학식 2에 기초하여 C_P의 산출을 실시하고, 그 산출결과로부터 해당 화소의 좋고나쁨을 판정한다.

상술한 바와 같이 본 실시예에 따르면 한 개의 화소에서 2종류의 전압측정을 해도 좋고, 라인용량의 값은 알 필요가 없다. 또한 적분회로를 충전하다는 수법을 채용하지 않기 때문에 노이즈의 영향을 받기 어렵고, 측정은 2회라도 실시해도 상관없고, 평균을 얻을 필요가 없기 때문에, 측정시간을 짧게 할 수 있다.

또한 도 5의 종래예(a)와 실시예(b)의 비교도에서 나타난 바와 같이, 실시예의 것은 테스터계에 부착되는 스위치 SW가 2개로 좋고, 적분회로가 없어 전체구성도 상당히 간단하기 때문에, 용이 또는 정확하게 화소용량 C_P를 구할 수 있고, 화소 파라미터의 접속 확인이나 화소용량 C_P의 유지시간을 화소용량 C_P를 구하는 과정에서 검사할 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 화소용량 C_P제로(0), C_P쇼트(short), 스위치 SW₁의 온/오프 고정을 1회째에서 검사하도록 하였지만, 2회째에서 검사하도록 해도 좋다. 또한 화소용량 C_P리크, 경로저항을 2회째에서 검사하도록 하였지만, 1회째에서 검사하도록 해도 좋다.

본 발명에 따르면, 한 개의 화소에 대해서 전압측정과 대수연산을 할 뿐만아니라, 적분하는 일없이 화소용량을 구할 수 있기 때문에, TFT 어레이 화소의 좋고 나쁨을 정확하고 용이하게 또한 고속으로 검사할 수 있다. 또한 본 발명에 따르면, 상기 효과를 간단한 구조에 의해 적절히 얻을 수 있다.

Claims

TFT 어레이의 화소를 구성하는 화소용량 C_P를 기지의 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, 적어도 미지의 라인용량 C_S(C_S≫C_P)를 포함하고 상기 화소의 검사시에 상기 화소용량 C_P에 병렬로 접속되는 부가용량 C_T(C_T≫C_P)를 기지의 세트전압 V_S(V_P≠V_S)로 충전하는 단계;

상기 화소용량 C_P및 부가용량 C_T를 모두 충전한 후에, 상기 화소용량 C_P와 부가용량 C_T를 병렬접속하고, 기지의 적어도 하나의 기준용량 △C_S를 사용하여 상기 부가용량 C_T의 값을 변화시키는 것에 의하여 병렬접속한 후의 부가용량 C_T의 전압 V_a와 상기 기지의 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S를 측정을 적어도 2회 실시함으로써 서로 다른 값을 갖는 적어도 2개의 차전압 △V_S를 측정하는 단계; 및

상기 적어도 2개의 측정된 차전압 △V_S및 식 △V_S=V_a-V_S≒(C_P/C_T)ㆍ(V_P-V_S)에 기초하여 상기 화소를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제1항에 있어서,

상기 화소용량 C_P를 상기 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, 상기 라인용량 C_S를 포함하는 상기 부가용량 C_T를 상기 세트전압 V_S로 충전하고, 양자를 모두 충전한 후에 상기 화소용량 C_P와 상기 부가용량 C_T를 병렬접속하여, 병렬접속한 후의 부가용량 C_T의 전압 V_a1과 상기 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S1을 측정한 후,

상기 화소용량 C_P를 상기 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, 상기 라인용량 C_S에 상기 기준용량 △C_S을 병렬접속하고 이 병렬접속회로를 포함하는 상기 부가용량 C_T를 상기 세트전압 V_S로 충전하고, 양자 모두 충전한 후에 상기 부가용량 C_T에 상기 화소용량 C_P을 병렬접속하여, 이 병렬접속 후의 부가용량 C_T의 전압 V_a2와 상기 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S2를 측정하며, 측정한 2개의 차전압 △V_S1, △V_S2중 적어도 하나의 차전압에 기초하여 화소 파라미터의 불량을 검사하고,

상기 측정한 2개의 차전압 △V_S1, △V_S2및 식 C_P=△C_Sㆍ△V_S1ㆍ△V_S2/{(V_P-V_S)ㆍ(△V_S1-△V_S2)}에 기초하여 상기 화소용량 C_P의 값을 구하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제2항에 있어서, 상기 화소 파라미터는 적어도 상기 화소용량 C_P의 리크양을 포함하는 복수의 화소 파라미터를 포함하고;

상기 복수의 화소 파라미터는 상기 리크양 및 리크양 이외의 화소 파라미터로 분리되며;

상기 리크양은 상기 2개의 차전압 △V_S1, △V_S2중 하나의 차전압에 기초하여 검사하고, 상기 리크양 이외의 화소 파라미터는 다른 차전압에 기초하여 검사하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
화소전압 V_P와 세트전압 V_S(V_P≠V_S)의 두 개의 전압을 선택적으로 부가할 수 있는 전원;

화소용량 C_P와 이 화소용량 C_P에 직렬로 접속되는 TFT 스위치 SW₁을 포함하는 TFT 어레이의 화소;

상기 화소에 상기 전원을 접속하기 위한 라인;

상기 화소의 검사시에 상기 화소용량 C_P에 병렬접속 되는 라인용량 C_S(C_S≫C_P);

기지의 기준용량 △C_S;

상기 라인용량 C_S에 대해 상기 기준용량 △C_S를 병렬접속하거나 또는 절연하기 위한 스위치 SW₂;

상기 라인을 온/오프하기 위한 스위치 SW₃와; 및

상기 TFT 스위치 SW₁, SW₂, SW₃의 온/오프를 제어하는 것에 의하여 상기 화소를 검사하는 연산제어회로를 구비하며, 상기 연산제어회로는

상기 전원을 상기 라인에 접속하여 상기 화소용량 C_P를 상기 화소전압 V_P로 충전하며, 상기 화소용량 C_P를 상기 라인으로부터 절연하여 상기 세트전압 V_S로 상기 라인용량 C_S를 충전하고, 양자 모두 충전한 후 상기 전원과 상기 화소를 절연하여 상기 화소용량 C_P와 상기 라인용량 C_S를 병렬접속시키며, 병렬접속 후의 상기 라인용량 C_S의 전압 V_a1과 상기 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S1를 측정한 후;

상기 기준용량 △C_S와 상기 라인용량 C_S를 병렬접속하고, 상기 전원을 상기 라인에 접속하여 화소용량 C_P를 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, 상기 화소용량 C_P를 라인으로부터 절연시킴으로써 상기 병렬접속한 상기 기준용량 △C_S와 상기 라인용량 C_S를 세트전압 V_S로 충전하고, 양자 모두 충전한 후에 규정시간 동안 상기 화소용량 C_P에 충전한 화소전압 V_P를 유지시키며, 규정시간이 경과한 후 화소용량 C_P를 상기 병렬접속한 상기 기준용량 △C_S와 상기 라인용량 C_S에 더욱 병렬접속시키는 것에 의하여 병렬접속 후의 상기 라인용량 C_S의 전압 V_a2와 상기 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S2를 측정하며;

이에 의하여 상기 TFT 스위치 SW₁및 상기 스위치 SW₂, SW₃를 온/오프 제어하고, 상기 차전압 △V_S1, △V_S2의 적어도 하나의 차전압에 기초하여 화소 파라미터를 검사함과 동시에, 상기 차전압 △V_S1, △V_S2및 식 C_P=△C_Sㆍ△V_S1ㆍ△V_S2/{(V_P-V_S)ㆍ(△V_S1-△V_S2)}에 기초하여 상기 화소용량 C_P의 값을 구하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제1항에 있어서, 상기 적어도 2개의 차전압 △V_S와 적어도 하나의 차전압 △V_S에 기초하여 화소 파라미터의 불량을 검사함과 동시에,

상기 적어도 2개의 차전압 △V_S와 상기 공식에 기초하여 상기 화소용량 C_P의 값을 구하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
화소의 검사시에 TFT 어레이의 화소를 구성하는 화소용량 C_P에 병렬로 접속되며 적어도 미지의 라인용량 C_S를 포함하는 부가용량 C_T의 값을 기지의 적어도 하나의 기준용량 △C_S를 사용하여 변경시킴으로써 상기 부가용량 △C_T의 값으로서 적어도 2개의 값을 설정하는 용량치 설정단계;

상기 용량치 설정단계에 의해 상기 부가용량 C_T의 상기 적어도 2개의 값의 각각이 설정되며, 상기 화소용량 C_P를 기지의 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, 상기 부가용량 C_T를 상기 화소전압 V_P와는 값이 상이한 기지의 세트전압 V_S로 충전하는 충전단계;

상기 충전단계가 종료한 후에 상기 화소용량 C_P와 상기 부가용량 C_T를 병렬접속하고, 병렬접속 후의 부가용량 C_T의 전압 V_a와 상기 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S를 측정함으로써 서로 다른 값을 가진 적어도 2개의 차전압 △V_S를 측정하는 차전압 측정단계; 및

상기 차전압 측정단계에 의해 측정된 상기 적어도 2개의 차전압 △V_S에 기초하여 상기 화소를 검사하는 화소 검사단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제6항에 있어서, 상기 용량치 설정단계는 상기 부가용량 C_T의 값으로 2개의 값을 설정하는 것에 의하여 설정되고, 상기 차전압 측정단계는 상기 적어도 2개의 차전압 △V_S를 측정하는 것에 의해 설정되는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제6항에 있어서, 상기 화소전압 V_P의 값이 상기 세트전압 V_S의 값보다 작은 값으로 설정되고, 상기 충전단계는 상기 화소전압 V_P로 상기 화소용량 C_P와 상기 부가용량 C_T를 동시에 충전한 후, 상기 세트전압 V_S로 상기 부가용량 C_T를 충전함으로써 상기 화소용량 C_P를 상기 화소전압 V_P로 충전하고 상기 부가용량 C_T를 상기 세트전압 V_S로 충전하는 것으로 설정하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제6항에 있어서, 상기 화소검사단계는 상기 적어도 2개의 차전압 △V_S와 상기 적어도 2개의 차전압 △V_S를 도출하는 소정의 식에 기초하여, 상기 화소용량 C_P의 값을 구하는 것으로 설정되는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제9항에 있어서, 상기 소정의 식은 △V_S=V_a-V_S≒(C_P/C_T)ㆍ(V_P-V_S)인 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제9항에 있어서, 상기 소정의 식은 △V_S=V_a-V_S={C_P/(C_P+C_T)}ㆍ(V_P-V_S)인 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제6항에 있어서, 상기 화소검사단계는 상기 적어도 2개의 차전압 V_S의 적어도 하나의 차전압 △V_S에 기초하여, 화소 파라미터의 불량을 검사하는 것에 의하여 설정되는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제12항에 있어서, 상기 화소 파라미터는 상기 화소용량 C_P의 리크양을 포함하는 복수의 화소 파라미터를 포함하고, 상기 화소검사단계는 상기 복수의 화소 파라미터를 상기 리크양과 이 리크양 이외의 화소 파라미터로 분리하고, 이에 의해 상기 리크양 및 상기 리크양 이외의 화소 파라미터는 서로 다른 각각의 차전압 △V_S에 기초하여 검사하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
제6항에 있어서, 상기 화소검사단계는

상기 적어도 2개의 차전압 △V_S와 이 차전압 △V_S를 도출하는 소정의 식에 기초하여 상기 화소용량 C_P의 값을 검출하는 화소용량 검출단계; 및

상기 적어도 2개의 차전압 △V_S의 적어도 하나의 차전압 △V_S에 기초하여 화소 파라미터의 불량을 검출하는 화소 파라미터 검출단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사방법.
화소의 검사시에 TFT 어레이의 각 화소를 구성하는 화소용량 C_P에 병렬로 접속되고 적어도 미지의 라인용량 C_S를 포함하는 부가용량 C_T의 값을 기지의 적어도 하나의 기준용량 △C_S를 사용하여 변경하고 부가용량 C_T의 값으로서 적어도 2개의 값을 설정하는 용량치 설정부;

상기 용량치 설정부에 의해 상기 부가용량 C_T의 상기 적어도 2개의 값이 설정되고, 상기 화소용량 C_P를 기지의 화소전압 V_P로 충전함과 동시에, 상기 부가용량 C_T를 상기 화소전압 V_P와 값이 상이한 기지의 세트전압 V_S로 충전하는 충전부;

상기 충전부에 의한 충전단계가 종료한 후, 상기 화소용량 C_P와 상기 부가용량 C_T를 병렬로 접속하고, 병렬접속 후의 부가용량 C_T의 전압 V_a와 상기 세트전압 V_S와의 차전압 △V_S를 측정함으로써 서로 값이 다른 적어도 2개의 차전압 △V_S를 측정하는 차전압 측정부; 및

상기 차전압 측정부에 의해 측정된 상기 적어도 2개의 차전압 △V_S에 기초하여 상기 화소를 검사하는 화소 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 TFT 어레이 검사장치.