KR100327333B1 - 다수개의 전원 핀들을 갖는 집적회로 장치를 테스트하는 테스트 장비 - Google Patents

다수개의 전원 핀들을 갖는 집적회로 장치를 테스트하는 테스트 장비 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다수개의 전원 핀들을 갖는 집적 회로 장치를 테스트하는 테스트 장비에 관한 것으로서, 집적 회로 장치의 기능을 테스트하는 테스트 장비에 있어서, 상기 집적 회로 장치의 다수개의 전원 핀들과 전기적으로 연결되는 다수개의 단자들; 상기 다수개의 전원 핀들에 흐르는 전류를 측정하며 상기 다수개의 단자들보다 적은 적어도 하나의 전류계; 소정 전압을 발생하는 전압원; 상기 집적 회로 장치의 전원 핀들에 흐르는 전류를 테스트할 때 상기 소정 전압을 상기 적어도 하나의 전류계를 통해서 선택적으로 상기 다수개의 단자들로 전달하며 이 때 상기 적어도 하나의 전류계를 통해서 상기 소정 전압을 전달받지 못하는 상기 다수개의 단자들 중 일부 단자들에는 상기 소정 전압을 직접 전달하는 전류계 연결 제어부; 및 상기 전류계 연결 제어부에 연결되며 제어 신호들을 발생하여 상기 전류계 연결 제어부를 제어하는 제어 신호 발생부를 구비하는 테스트 장비를 제공함으로써 테스트 가격이 낮아진다.

Description

다수개의 전원 핀들을 갖는 집적 회로 장치를 테스트하는 테스트 장비{Test Equipment for Testing Integrated Circuit Device Having a Plurality of Power Pins}
본 발명은 집적 회로 장치의 기능을 테스트하는 테스트 장비에 관한 것으로서, 특히 다수개의 전원 핀들을 구비하는 집적 회로 장치에 있어서 상기 다수개의 전원 핀들에 흐르는 전류를 측정하기 위한 테스트 장비에 관한 것이다.
집적 회로 장치의 제조가 완료되면 집적 회로 장치가 정상적으로 동작하는 지를 확인하기 위하여 집적 회로 장치는 테스트 공정을 거치게 된다. 테스트 공정에서는 테스트 장비를 이용하여 집적 회로 장치의 여러 가지 특성을 검사하게 된다. 테스트 장비는 집적 회로 장치의 여러 가지 변수(parameter)들을 측정함으로써 그 기능을 확인하게 되는데, 본 발명에서는 전원 핀들에 흐르는 전류만을 측정함으로써 집적 회로 장치의 일부 기능을 확인하기 위한 것이다.
도 1에 종래의 테스트 장비와 다수개의 전원 핀들을 갖는 집적 회로 장치가 도시되어있다. 도 1을 참조하면, 테스트 장비(101)는 전압원들(121∼123), 전류계들(131∼133) 및 단자들(181∼183)을 구비한다. 집적 회로 장치(111), 예컨대 메모리(Memory)와 로직(Logic)이 병합된 집적 회로 장치는 전원 핀들(141∼143)을 구비하고 전원 핀들(141∼143)을 통하여 상기 메모리와 로직을 동작시키기 위한 전원 전압(VCC)을 외부로부터 공급받는다. 집적 회로 장치의 접지전압(GND) 핀은 접지된다. 집적 회로 장치(111)의 전원 핀들(141∼143)에 흐르는 전류를 측정하기 위하여 전원 핀들(141∼143)은 단자들(181∼183)을 통하여 전류계들(131∼133)과 연결되고 전류계들(131∼133)은 전압원들(121∼123)과 연결된다. 이 때, 각 전원 핀에는 하나의 전류계와 하나의 전압원이 연결된다. 전원 핀들(141∼143)에 흐르는 전류를 측정하기 위하여 전압원들(121∼123)은 전원 핀들(141∼143)에 소정의 전원 전압(VCC)을 공급하고, 전류계들(131∼133)은 전원 핀들(141∼143)에 흐르는 전류를 측정한다. 전류계들(131∼133)에 의해 측정된 전류가 테스트 규정의 범위 내에 포함되면 집적 회로 장치(111)는 정상이고, 전원 핀들(141∼143)에 흐르는 전류가 테스트 규정의 범위 내에 포함되지 않으면 집적 회로 장치(111)는 불량으로 처리된다.
상술한 바와 같이 종래에는 전원 핀들(141∼143)에 흐르는 전류를 측정하기 위하여 각 전원 핀마다 하나의 전압원과 하나의 전류계가 연결된다. 그러다 보니 전원 핀들(141∼143)의 수만큼 전압원과 전류계가 필요하게 된다. 도 1에서는 전원 핀들(141∼143)의 수가 3개이므로 전압원들(121∼123)과 전류계들(131∼133)의 수도 각각 3개이다. 이처럼 종래 기술에 따르면, 하나의 집적 회로 장치(111)를 테스트하는데 전원 핀들(141∼143)과 동일한 수의 전압원들(121∼123)과 전류계들(131∼133)이 요구된다. 전압원들(121∼123)과 전류계들(131∼133)은 값이 비싸며, 특히 전류계들(131∼133)은 고가이기 때문에 하나의 테스트 장비(101)는 한정된 수의 전류계만을 보유할 수밖에 없다. 때문에, 많은 수의 전원 핀을 구비하는 집적 회로 장치를 테스트하기 위해서는 많은 수의 전압원과 전류계들이 요구되므로써 그만큼 테스트 가격이 증가하게 된다. 나아가, 한정된 갯수의 전압원과 전류계를 구비하는 테스트 장비를 이용하여 다수개의 집적 회로 장치들을 동시에 테스트하고자할 경우, 테스트할 수 있는 집적 회로 장치의 수는 극히 제한된다. 예컨대, 테스트 장비가 12대의 전압원들과 전류계들을 구비하여 전원 핀들이 3개인 집적 회로 장치를 테스트할 경우, 상기 테스트 장비로는 한번에 4개의 집적 회로 장치밖에는 테스트할 수 없다. 이것은 집적 회로 장치의 테스트 가격을 상승시키는 요인이 되고 있다. 집적 회로 장치의 테스트 가격을 줄이기 위해서는 적은 수의 전압원과 전류계를 가지고도 많은 수의 집적 회로 장치를 테트스할 수 있어야만 한다.
본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 집적 회로 장치의 테스트 가격을 줄일 수 있는 테스트 장비를 제공하는 것이다.
본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 종래의 테스트 장비가 집적 회로 장치에 연결된 상태를 도시한 블록도.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스트 장비가 집적 회로 장치에 연결된 상태를 도시한 블록도.
도 3은 상기 도 2에 도시된 전류계 연결 제어부의 회로도.
도 4a 내지 도 4g는 상기 도 3에 도시된 전류계 연결 제어부의 회로가 다양하게 구성된 도면들.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 테스트 장비가 집적 회로 장치에 연결된 상태를 도시한 블록도.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 테스트 장비가 다수개의 집적 회로 장치들에 연결된 상태를 도시한 도면.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명은,
집적 회로 장치의 기능을 테스트하는 테스트 장비에 있어서, 상기 집적 회로 장치의 다수개의 전원 핀들과 전기적으로 연결되는 다수개의 단자들; 상기 다수개의 전원 핀들에 흐르는 전류를 측정하며 상기 다수개의 단자들보다 적은 적어도 하나의 전류계; 소정 전압을 발생하는 전압원; 상기 집적 회로 장치의 전원 핀들에 흐르는 전류를 테스트할 때 상기 소정 전압을 상기 적어도 하나의 전류계를 통해서 선택적으로 상기 다수개의 단자들로 전달하며 이 때 상기 적어도 하나의 전류계를 통해서 상기 소정 전압을 전달받지 못하는 상기 다수개의 단자들 중 일부 단자들에는 상기 소정 전압을 직접 전달하는 전류계 연결 제어부; 및 상기 전류계 연결 제어부에 연결되며 제어 신호들을 발생하여 상기 전류계 연결 제어부를 제어하는 제어 신호 발생부를 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 장비를 제공한다.
바람직하기는, 상기 전압원은 항상 일정한 전압을 공급하는 정전압원이다.
바람직하기는 또한, 상기 집적 회로 장치는 메모리와 로직을 구비하며, 상기 전류계 연결 제어부는 다수개의 스위칭 수단들을 구비하고, 상기 다수개의 스위칭 수단들에 의하여 상기 적어도 하나의 전류계는 상기 적어도 하나의 전압원 및 상기 다수개의 단자들과 선택적으로 연결된다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명은 또한,
다수개의 집적 회로 장치들의 기능을 테스트하는 테스트 장비에 있어서, 상기 다수개의 집적 회로 장치들과 전기적으로 연결되는 다수개의 단자들, 소정 전압을 발생하는 전압원, 및 상기 적어도 하나의 전압원과 상기 다수개의 단자들 사이에 전기적으로 연결되며 상기 다수개의 단자들보다 적은 다수개의 전류 측정부들, 및 상기 다수개의 전류 연결 제어부들에 연결되며 제어 신호들을 발생하여 상기 다수개의 전류계 연결 제어부들을 제어하는 제어 신호 발생부를 구비하고, 상기 테스트 장비는 상기 다수개의 집적 회로 장치들을 동시에 테스트하며, 상기 다수개의 전류 측정부들은 각각 그 출력단에 연결되는 소정 단자들보다 적은 적어도 하나의 전류계 및 하나의 전류계 연결 제어부를 구비하고 상기 테스트 장비가 상기 다수개의 집적 회로 장치들을 테스트할 때 상기 각 전류 측정부는 상기 소정 전압을 상기 적어도 하나의 전류계를 통해서 선택적으로 상기 소정 단자들로 전달하며 이 때 상기 적어도 하나의 전류계를 통해서 상기 소정 전압을 전달받지 못하는 상기 소정 단자들 중 일부 단자들에는 상기 소정 전압을 직접 전달하는 테스트 장비를 제공한다.
바람직하기는, 상기 전압원은 항상 일정한 전압을 공급하는 정전압원이다.
바람직하기는 또한, 상기 다수개의 집적 회로 장치들은 각각 메모리와 로직을 구비하며, 상기 각 전류계 연결 제어부는 다수개의 스위칭 수단들을 구비하고, 상기 다수개의 스위칭 수단들에 의하여 상기 적어도 하나의 전류계는 상기 적어도 하나의 전압원 및 상기 소정 단자들과 선택적으로 연결된다.
상기 본 발명에 의하여 집적 회로 장치의 테스트 가격이 감소된다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스트 장비를 이용하여 다수개의 전원 핀들을 갖는 집적 회로 장치를 테스트하는 방법을 설명하기로 한다. 도 2를 참조하면, 테스트 장비(201)는 전압원(221), 전류계 연결 제어부(261), 전류계(231), 제어 신호 발생부(271) 및 단자들(281∼283)을 구비한다. 도 2에서는 집적 회로 장치(211)로써 3개의 전원 핀들(241∼243)을 갖는 집적 회로 장치(211)를 예로 들어 설명하고 있으나 전원 핀들(241∼243)의 수는 집적 회로 장치(211)의 특성에 따라 감소될 수도 있고 증가될 수도 있다. 또한, 집적 회로 장치(211)로써메모리와 로직을 내장하는 집적 회로 장치를 예로 들어 설명한다. 상기 메모리와 로직을 내장하는 집적 회로 장치로는 디램(DRAM; Dynamic Random Access Memory) 로직 복합 집적 회로 장치, 메모리 내장 MPU(MicroProcessor Unit) 집적 회로 장치, 램버스(Rambus) 디램 집적 회로 장치 등이 있다.
집적 회로 장치(211)는 상기 메모리와 로직을 동작시키기 위한 전원 전압(VCC)을 외부로부터 공급받으며 접지전압(GND)핀은 접지된다.
전압원(221)은 항상 일정한 전압을 출력하는 정전압원이다.
전류계(231)는 전원 핀들(241∼243)에 흐르는 전류를 측정하며, 단자들보다 적은 적어도 하나가 구비된다.
제어 신호 발생부(271)는 제어 신호들(PSW1∼PSW9)을 발생하여 전류계 연결 제어부(261)에 제공한다.
전류계 연결 제어부(261)는 전기선들(L1∼L3)을 통하여 전압원(221)과 연결되고, 전기선들(L4∼L6)을 통하여 단자들(281∼283)에 연결된다. 집적 회로 장치(211)를 테스트할 때, 단자들(281∼283)은 집적 회로 장치(211)의 전원 핀들(241∼243)에 1:1로 연결된다. 전류계 연결 제어부(261)는 제어 신호들(PSW1∼PSW12)에 응답하여 전압원(221)을 선택적으로 전류계(231)에 연결하며 전류계(231)를 선택적으로 단자들(281∼283)에 전기적으로 연결한다. 즉, 제어 신호들(PSW1∼PSW12)의 활성화 여부에 따라 전압원(221)은 전류계(231)를 통하여 단자들(281∼283) 중 일부 단자들에 연결되며 전류계(231)에 연결되지 않은 단자들은 직접 전압원(221)에 연결된다. 이와 같이 하여 전압원(221)과 전류계(231)가 단자들(281∼283)에 연결되면 전압원(221)은 전원 전압(VCC)을 단자들(281∼283)에 공급한다. 전류계(231)는 단자들(281∼283)을 통하여 전원 핀들(241∼243)에 흐르는 전류를 측정한다. 전류계(231)에 의해 측정된 전류가 테스트 규정 내에 포함되면 집적 회로 장치(211)는 정상이고, 전류계(231)에 의해 측정된 전류가 테스트 규정 내에 포함되지 않으면 집적 회로 장치(211)는 불량으로 처리된다.
전류계 연결 제어부(261)의 회로가 도 3에 도시되어있다.
도 3을 참조하면, 전류계 연결 제어부(261)는 다수개의 스위칭 수단들, 예컨대, 제1 내지 제9 스위치들(311∼322)을 구비한다. 제1 내지 제9 스위치들(311∼322)은 제어 신호들(PSW1∼PSW12)에 의해 각각 제어된다. 즉, 제어 신호들(PSW1∼PSW12)이 활성화되면 대응되는 스위치들은 턴온(turn-on)된다. 예컨대, 제어 신호들(PSW1, PSW7, PSW10)이 활성화되면 제1 스위치(311), 제7 스위치(317) 및 제10 스위치(320)가 턴온되며 그로 인하여 전기선(L1)은 전류계(231)를 통하여 전기선(L4)과 연결된다. 이럴 경우, 제2 및 제5 스위치들(312, 315)과 제3 및 제6 스위치들(313, 316)도 함께 턴온되어 전기선들(L2, L5) 및 전기선들(L3, L6)은 서로 연결된다.
전류계 연결 제어부(261)에 의해 전압원(도 2의 221)과 전류계(231)가 단자들(281∼283)에 연결될 수 있는 여러 가지 경우들이 도 4a 내지 도 4g에 도시되어있다. 도 4a 내지 도 4g를 참조하면, 전류계(231)는 하나의 단자에 연결되기도 하고 2개 또는 3개의 단자들에 동시에 연결되기도 한다. 전류계(231)가 도 4a 내지 도 4c와 같이 연결될 경우, 테스트 장비(201)는 하나의 전원 핀에 흐르는 전류만측정하게 된다. 전류계(231)가 도 4d 내지 도 4g와 같이 연결될 경우, 테스트 장비(201)는 2개 이상의 전원 핀들에 흐르는 전류를 측정하게 된다.
도 4a 내지 도 4g에 대한 스위치들(311∼322)의 온/오프(ON/OFF) 상태가 표1에 나타나 있다.
집적 회로 장치(211)가 3개의 전원 핀들(241∼243)만을 구비할 경우, 전류계(231)가 전원 핀들(241∼243)에 연결되는 방법은 도 4a 내지 도 4g로 한정된다. 하지만, 집적 회로 장치(211)가 4개 이상의 전원 핀들을 구비할 경우는 전류계(231)가 상기 전원 핀들에 연결될 수 있는 방법은 더 늘어나게 된다.
이와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 하나의 전압원(221)과 하나의 전류계(231)를 이용하여 집적 회로 장치(211)의 전원 핀들(241∼243)에 흐르는 전류를 측정할 수가 있다. 따라서, 테스트 가격이 감소하게 된다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 테스트 장비가 도 5에 도시되어있다. 도 5를 참조하면, 테스트 장비(501)는 하나의 전압원(521)과 2개의 전류계들(531, 532) 및 단자들(281∼283)을 구비한다. 전압원(521)은 전류계들(531, 532)과 단자들(281∼283)을 통하여 집적 회로 장치(211)의 전원 핀들(241∼243)에 연결되며, 이 때, 전류계들(531, 532)은 전원 핀들(241, 242)에 흐르는 전류를 측정한다.전압원(521)은 또한 단자(283)를 통하여 전원 핀(243)에 직접 연결되어 전원 핀(243)에 전원 전압(VCC)을 공급한다. 도 5에서는 전원 핀들(241∼243) 중에서 2개의 전원 핀들(241, 242)에만 흐르는 전류를 측정하고자할 경우에 적용할 수 있는 방법이다. 예컨대, 집적 회로 장치(211)에 메모리와 로직이 구비될 경우, 메모리에 전원 전압(VCC)을 공급하는 전원 핀들(241, 242)에만 흐르는 전류를 측정할 경우에 도 5의 방법을 적용할 수가 있다.
도 5에 도시된 바와 같이 하나의 전압원(521)과 2개의 전류계들(531, 532)을 이용하여 전원 핀들(241, 242)에 흐르는 전류를 측정하므로써 종래 기술에 비해 테스트 가격이 감소된다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 테스트 장비와 집적 회로 장치들이 도 6에 도시되어있다. 도 6을 참조하면, 테스트 장비(601)는 전압원(221), 제어 신호 발생부(671), 제1 내지 제4 전류 측정부들(611∼614) 및 단자들(281∼292)을 구비한다. 제1 내지 제4 전류 측정부들(611∼614)은 제1 내지 제4 전류계 연결 제어부들(261∼264)과 제1 내지 제4 전류계들(231∼234)을 구비한다. 제1 내지 제4 전류계 연결 제어부들(261∼264)은 단자들(281∼292)을 통하여 집적 회로 장치들(211∼214)의 전원 핀들(241∼252)에 연결된다. 제어 신호 발생부(671)는 제어 신호들(PSW1∼PSW48)을 발생하여 제1 내지 제4 전류계 연결 제어부들(261∼264)을 제어한다. 제1 내지 제4 전류계 연결 제어부들(261∼264)의 회로는 도 3에 도시된 전류계 연결 제어부(261)와 동일하며 그 회로 구성의 종류도 도 4a 내지 도 4g와 동일하므로 중복 설명을 생략하기로 한다.
테스트 장비(601)와 집적 회로 장치들(211∼214)을 도 6에 도시된 바와 같이 연결함으로써 테스트 장비(601)는 하나의 전압원(221)과 4개의 전류계들(231∼234)만으로 4개의 집적 회로 장치들(211∼214)의 전원 핀들(241∼252)에 흐르는 전류를 동시에 측정할 수가 있다. 여기서, 테스트 장비(601)는 전류계를 많이 보유하면 보유할수록 더 많은 집적 회로 장치들을 동시에 테스트할 수가 있다.
전압원(221)은 그 출력단에 연결되는 부하의 수에 관계없이 항상 일정한 전압을 공급할 수 있는 정전압원이다. 경우에 따라서, 전압원(221)의 출력단에는 많은 부하가 연결될 수도 있으므로 이 때, 전압원(221)의 전압 용량은 더욱 커지게 된다. 상기 부하가 많을 경우 전압원(221)은 2개 이상으로 구성될 수도 있다.
제어 신호 발생부(671)와 제1 내지 제4 전류계 연결 제어부들(261∼264)을 이용하여 집적 회로 장치들(211∼214)의 전원 핀들(241∼252)에 흐르는 전류를 측정하는 방법은 도 3을 통하여 설명한 것과 중복되므로 그에 대한 설명을 생략한다.
도면과 명세서에서 최적 실시예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 전압원(221)과 단자들(281∼283)보다적은 전류계(231)를 이용하여 집적 회로 장치(211)의 다수개의 전원 핀들(241∼243)에 흐르는 전류를 측정하며, 다수개의 전류 측정부들(611∼614)을 구비하여 다수개의 집적 회로 장치들(211∼214)을 동시에 측정할 수가 있으므로 집적 회로 장치들을 테스트하는데 소요되는 테스트 가격이 감소된다.

Claims (10)

  1. 집적 회로 장치의 기능을 테스트하는 테스트 장비에 있어서,
    상기 집적 회로 장치의 다수개의 전원 핀들과 전기적으로 연결되는 다수개의 단자들;
    상기 다수개의 전원 핀들에 흐르는 전류를 측정하며 상기 다수개의 단자들보다 적은 적어도 하나의 전류계;
    소정 전압을 발생하는 전압원;
    상기 집적 회로 장치의 전원 핀들에 흐르는 전류를 테스트할 때 상기 소정 전압을 상기 적어도 하나의 전류계를 통해서 선택적으로 상기 다수개의 단자들로 전달하며 이 때 상기 적어도 하나의 전류계를 통해서 상기 소정 전압을 전달받지 못하는 상기 다수개의 단자들 중 일부 단자들에는 상기 소정 전압을 직접 전달하는 전류계 연결 제어부; 및
    상기 전류계 연결 제어부에 연결되며 제어 신호들을 발생하여 상기 전류계 연결 제어부를 제어하는 제어 신호 발생부를 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 장비.
  2. 제1항에 있어서, 상기 전압원은 항상 일정한 전압을 공급하는 정전압원인 것을 특징으로 하는 테스트 장비.
  3. 청구항3는 삭제 되었습니다.
  4. 제1항에 있어서, 상기 집적 회로 장치는 메모리와 로직을 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 장비.
  5. 제1항에 있어서, 상기 전류계 연결 제어부는 다수개의 스위칭 수단들을 구비하고, 상기 다수개의 스위칭 수단들에 의하여 상기 적어도 하나의 전류계는 상기 적어도 하나의 전압원 및 상기 다수개의 단자들과 선택적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 테스트 장비.
  6. 다수개의 집적 회로 장치들의 기능을 테스트하는 테스트 장비에 있어서,
    상기 다수개의 집적 회로 장치들과 전기적으로 연결되는 다수개의 단자들;
    소정 전압을 발생하는 전압원;
    상기 적어도 하나의 전압원과 상기 다수개의 단자들 사이에 전기적으로 연결되며 상기 다수개의 단자들보다 적은 다수개의 전류 측정부들; 및
    상기 다수개의 전류 연결 제어부들에 연결되며 제어 신호들을 발생하여 상기 다수개의 전류계 연결 제어부들을 제어하는 제어 신호 발생부를 구비하고,
    상기 테스트 장비는 상기 다수개의 집적 회로 장치들을 동시에 테스트하며,
    상기 다수개의 전류 측정부들은 각각 그 출력단에 연결되는 소정 단자들보다 적은 적어도 하나의 전류계 및 하나의 전류계 연결 제어부를 구비하고 상기 테스트 장비가 상기 다수개의 집적 회로 장치들을 테스트할 때 상기 각 전류 측정부는 상기 소정 전압을 상기 적어도 하나의 전류계를 통해서 선택적으로 상기 소정 단자들로 전달하며 이 때 상기 적어도 하나의 전류계를 통해서 상기 소정 전압을 전달받지 못하는 상기 소정 단자들 중 일부 단자들에는 상기 소정 전압을 직접 전달하는 것을 특징으로 하는 테스트 장비.
  7. 제6항에 있어서, 상기 전압원은 항상 일정한 전압을 공급하는 정전압원인 것을 특징으로 하는 테스트 장비.
  8. 청구항8는 삭제 되었습니다.
  9. 제6항에 있어서, 상기 다수개의 집적 회로 장치들은 각각 메모리와 로직을 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 장비.
  10. 제6항에 있어서, 상기 각 전류계 연결 제어부는 다수개의 스위칭 수단들을 구비하고, 상기 다수개의 스위칭 수단들에 의하여 상기 적어도 하나의 전류계는 상기 적어도 하나의 전압원 및 상기 소정 단자들과 선택적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 테스트 장비.
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