KR100284612B1 - 모듈 디바이스 이송 및 인출장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 복수개의 모듈 디바이스를 이송하기에 적합하도록 한 트레이 이송장치에 관한 것이다.
본 발명의 트레이 이송장치는 복수 개의 모듈 디바이스들이 수납된 수납수단과, 공급된 수납수단을 일측으로 정렬시키는 정렬수단과, 수납수단을 구속하여 인접장치 쪽으로 이송하는 이송수단과, 공급된 수납수단을 지지함과 아울러 수납수단의 직선운동을 안내하는 안내/지지수단을 구비한다.
이러한 구성에 의하여, 본 발명에 따른 모듈 디바이스 인출 및 이송장치는 복수개의 모듈 디바이스가 수납된 트레이가 공급되면 그 트레이를 일측으로 정렬시킨후 인접한 제조장치나 엘리베이터와 같은 적재장치 쪽으로 자동적으로 이송시킴으로써 복수개의 모듈 디바이스를 이송 또는 반송하기에 적합하게 된다.

Description

모듈 디바이스 이송 및 인출장치(Apparatus For transferring And drawing Module Devices)
본 발명은 각종 회로소자들이 인쇄회로기판(Print Circuit Board; 이하 ″PCB″라 함) 상에 실장되어진 모듈 디바이스(Module Device)의 제조장치에 관한 것으로, 특히 복수개의 모듈 디바이스를 이송하기에 적합하도록 한 모듈 디바이스 이송장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 제조장치 또는 적재장치에 위치하는 모듈 디바이스를 인출하기에 적합하도록 한 모듈 디바이스 인출장치에 관한 것이다.
통상의 모듈 디바이스는 회로구성에 따른 배선을 PCB 상에 인쇄하는 공정과, 배선이 인쇄되어진 PCB 상에 메모리 칩과 같은 집적회로 칩(Integated Circuit Chip)을 비롯한 각종 회로소자들을 탑재시키는 공정과, 그리고 PCB 상에 탑재되어진 각종 회로소자들이 배선에 접속되게끔 납땜하는 공정 및 양품과 불량을 선별하기 위한 테스트 공정들에 의해서 제조되게 된다. 이들 공정은 동일한 위치에서 행하여 지기 보다는 인접한 제조장치들에 의해 각각 수행되어진다.
이에 따라, 모듈 디바이스의 제조장치에는 인접된 제조장치들의 작업위치가 서로 다르기 때문에 모듈 디바이스를 인접한 적재장치(예를 들면, 엘리베이터) 또는 제조장치 쪽으로 공급하기 위한 이송장치가 요구되고 있다. 아울러, 모듈 디바이스의 제조장치에는 특정공정(예를 들면, 테스트공정)을 마친 모듈 디바이스를 해당공정을 수행하는 제조장치 또는 적재장치로부터 인출하여 인접한 제조장치 쪽으로 이송하기 위한 이송장치들이 요구되고 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 모듈 디바이스를 인접한 제조장치 또는 적재장치로 공급하기 쪽으로 이송하기에 적합하도록 한 모듈 디바이스 이송장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 모듈 디바이스를 제조장치 또는 적재장치로부터 인출하기에 적합하도록 한 모듈 디바이스 인출장치를 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 모듈 디바이스 수납용 트레이의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 트레이 이송장치의 분해 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 트레이 이송장치의 사시도.
〈 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 〉
1 : 모듈 디바이스 2 : 트레이
4 : 모터 6 : 모터브라켓
8 : 벨트풀리 10 : 벨트
12,72,132 : 락킹너트 14,70 : 베어링블럭커버
16,68 : 스페이서 18,30,48,66 : 베어링
20,28,46,60 : 베어링블럭 22 : 볼스크류
24 : 너트블럭 26 : 볼스크류블럭
32,50,56 : 스냅링 34 : 가이더
36 : 가이드블럭 38 : 캠플로우어블럭
40 : 캠플로우어 44,74 : 센서플러그
52 : 볼스플라인 54 : 볼스플라인너트
58 : 스플라인 너트 하우징 58a : L형 걸쇠
64,98,110,112 : 센서 76 : 커플링
78,86,108 : 실린더브라켓 80,84,100 : 실린더
82 : 핸들 88 : 핑거
90,90' : 수직플레이트 92,92' : 트레이가이드레일
94,94' : 플레이트베이스 96,96' : 삼각블럭
102 : 볼부쉬블럭 104,130 : 볼부쉬샤프트
106,136 : 볼부쉬 109 : 푸셔블럭
120 :스토퍼블럭 134,138 : 샤프트지지블럭
상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 모듈 디바이스 이송장치는 복수 개의 모듈 디바이스들이 수납된 수납수단과, 공급된 수납수단을 일측으로 정렬시키는 정렬수단과, 수납수단을 구속하여 이송시키는 이송수단과, 공급된 수납수단을 지지함과 아울러 이송되는 상기 수납수단을 안내하는 안내/지지수단과, 수납수단의 크기에 따라 안내/지지수단의 폭을 조절하기 위한 폭조절수단을 구비한다.
본 발명의 모듈 디바이스 이송장치는 복수 개의 모듈 디바이스들이 수납된 수납수단과, 공급된 수납수단을 일측으로 정렬시키는 정렬수단과, 수납수단을 구속하여 이송시키는 이송수단과, 공급된 수납수단을 지지함과 아울러 상기 수납수단의 직선운동을 안내하는 안내/지지수단과, 수납수단의 공급여부를 감지함과 아울러 상기 수납수단의 이송 한계점을 감지하는 감지수단과, 감지수단으로부터의 감지신호에 의해 상기 정렬수단과 상기 이송수단을 순차적으로 제어하는 제어수단을 구비한다.
본 발명의 모듈 디바이스 인출장치는 복수 개의 모듈 디바이스들이 수납된 수납수단과, 인출된 수납수단을 일측으로 정렬시키는 정렬수단과, 수납수단을 인출한 후, 정렬수단에 수납수단을 공급하는 인출수단과, 공급된 수납수단을 지지함과 아울러 이송되는 수납수단을 안내하는 안내/지지수단과, 수납수단의 크기에 따라 안내/지지수단의 폭을 조절하기 위한 폭조절수단을 구비한다.
본 발명의 모듈 디바이스 인출장치는 복수 개의 모듈 디바이스들이 수납된 수납수단과, 인출된 수납수단을 일측으로 정렬시키는 정렬수단과, 수납수단을 인출한 후, 상기 정렬수단에 상기 수납수단을 공급하는 인출수단과, 인출되는 수납수단을 지지하는 지지수단과, 인출되는 수납수단의 인출점과 이송 한계점을 감지하는 감지수단과, 감지수단으로부터의 감지신호에 의해 인출수단과 정렬수단을 순차적으로 제어하는 제어수단을 구비한다.
상기 목적들 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 모듈 디바이스 수납용 트레이를 나타내는 사시도이다. 도 1을 참조하면, 모듈 디바이스들(1)은 복수 개씩 나란하게 트레이(2)에 수납된다. 본 발명의 모듈 디바이스 이송장치는 모듈 디바이스들(1)이 소정량씩 나란하게 수납되는 트레이(2)를 인접한 제조장치 또는 도시하지 않은 엘리베이터(Elevator)와 같은 적재장치 쪽으로 이송하게 된다. 또한, 본 발명의 모듈 디바이스 이송 및 인출장치는 모듈 디바이스들(1)이 수납된 트레이(2)를 인접한 제조장치 또는 적재장치로 공급하거나 제조장치 또는 적재장치로부터 인출하게 된다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 모듈 디바이스 이송 및 인출장치의 구성을 알기 쉽게 나타내는 분해 사시도를 도시한 것이다. 그리고 도 3은 조립된 상태를 나타내는 모듈 디바이스 이송 및 인출장치의 사시도이다.
도 2 및 도 3의 구성에서, 본 발명에 따른 모듈 디바이스 이송 및 인출장치는 트레이(2)를 지지함과 아울러 이송되는 트레이(2)의 직선운동을 안내하기 위한 트레이 안내/지지부와, 트레이(2)를 감지하고 트레이(2)의 이송 한계점을 감지하기 위한 감지부와, 트레이(2)를 안내/지지부의 일측으로 정렬시키기 위한 정렬부와, 트레이(2)를 인접한 제조장치 또는 적재장치 쪽으로 이송하여 공급하거나 제조장치 또는 적재장치에 위치한 트레이(2)를 인출하기 위한 이송구동부를 구비한다.
트레이 안내/지지부는 인접한 제조장치 또는 적재장치에 트레이(2)를 공급하는 경우, 도시하지 않은 척킹(Chucking)장치에 의해 트레이(2)가 공급되어 안착되면 트레이(2)를 지지하고 이송 구동부에 의해 직선운동하는 트레이(2)를 안내하는 역할을 하게 된다. 또한, 트레이 안내/지지부는 제조장치 또는 적재장치에 위치하는 트레이(2)를 인출하는 경우, 이송 구동부에 의해 인출된 트레이(2)를 지지함과 아울러 트레이(2)가 이송됨에 따라 직선운동하는 트레이(2)를 안내하게 된다.
이를 위하여, 트레이 안내/지지부는 트레이(2)의 폭만큼으로 이격되어 설치되는 두 개의 수직플레이트들(90,90')과, 수직플레이트들(90,90')의 측벽에 마주보도록 설치되어 트레이(2)를 아래에서 지지하는 트레이가이드레일들(92,92')과, 수직플레이트들(90,90')을 지지하기 위한 플레이트베이스들(94,94') 및 삼각블럭들(96,96')과, 트레이 정렬시 길이방향 기준면이 되는 스토퍼블럭(120) 및 센서블럭(99)을 구비한다. 서로 대향한 좌/우측 수직플레이트들(90,90')은 최하단측에서 각각 플레이트 베이스들(94,94')이 나사로 고정되며 삼각블럭들(96,96')에 의해 보강된다. 서로 대향한 좌/우측 트레이가이드레일들(92,92')은 트레이(2)가 안착되어 트레이(2)를 아래에서 지지하게 된다. 스토퍼블럭(120)과 센서블럭(99)은 트레이 정렬시 길이방향의 기준면 역할을 하며 트레이(2)의 직선운동 구간을 제한하게 된다. 센서블럭(99)에는 트레이 감지센서(98)가 설치된다. 트레이 감지센서(98)에 대하여는 후술하기로 한다.
아울러, 트레이 안내/지지부는 우측 수직플레이트(90)에 나사로 고정되는 볼부쉬(136)와, 볼부쉬(136)에 직선운동 가능하게 끼워져 우측 수직플레이트(90)를 관통하는 볼부쉬샤프트(130)와, 볼부쉬샤프트(130)를 지지하는 샤프트지지블럭(134,138)과, 샤프트지지블럭(134,138)에 볼부쉬샤프트(130)를 고정시키는 락킹너트(132)를 추가로 구비한다. 운용자는 우측 수직플레이트(90)를 볼부쉬샤프트(130) 상에서 폭방향으로 조정함으로써 트레이(2)의 사이즈에 따라 서로 다른 폭을 가지는 트레이(2)에 대응하여 트레이 안내/지지부의 폭을 조절하게 된다. 즉, 우측 수직플레이트(90)는 운용자에 의해 볼부쉬샤프트(130)를 따라 직선운동됨으로써 좌측 수직플레이트(90')와의 간격이 조정된다.
감지부는 공급된 트레이(2)를 감지하여 정렬부가 구동되도록 하며 이송구동부에 의해 트레이(2)가 직선운동하게 되면 이송 경로 상의 시작점과 이송완료점을 감지하는 역할을 하게 된다. 아울러, 감지부는 이송구동부의 구동을 감지함으로써 이송구동부의 오동작을 방지하는 역할을 하게 된다. 감지부는 수직으로 절곡되는 제1 센서플러그(44)와, 제1 센서플러그(44)가 관통함에 따라 감지신호를 도시하지 않은 호스트 컴퓨터에 전송하는 제1 및 제2 센서(110,112)와, 이송구동부에 설치되는 제2 센서플러그(74)와, 제2 센서플러그(44)에 의해 이송구동부의 구동여부를 감지하기 위한 구동부 감지센서(64)를 구비한다. 제1 센서플러그(44)는 수직면과 수평면으로 직각절곡된다. 이 제1 센서플러그(44)는 이송구동부에 의해 트레이(2)가 직선운동하게 되면 트레이(2)와 함께 직선운동하게 된다. 제1 및 제2 센서(110,112)는 트레이(2)의 이송경로 상에 나란하게 설치된다.
트레이(2)를 인접한 제조장치 또는 적재장치에 공급하는 경우, 제1 센서(110)는 제1 센서플러그(44)를 감지함으로써 트레이(2)가 이송완료점에 도달하였음을 호스트 컴퓨터에 알려주게 된다. 제2 센서(112)는 제1 센서플라그(44)를 감지함으로서 트레이(2)가 이송되기 시작함을 호스트 컴퓨터에 알려주게 된다. 따라서, 트레이(2)를 인접한 제조장치 또는 적재장치에 공급하는 경우에는 제1 센서(110)의 위치는 이송 완료점을 나타내고 제2 센서(112)의 위치는 이송 시작점을 나타낸다.
이와 반대로, 제조장치 또는 적재장치로부터 트레이(2)를 인출하는 경우, 제1 센서(110)는 제1 센서플라그(44)를 감지함으로서 트레이(2)가 이송되기 시작함을 호스트 컴퓨터에 알려주게 된다. 제2 센서(112)는 제1 센서플러그(44)를 감지함으로써 트레이(2)가 이송완료점에 도달하였음을 호스트 컴퓨터에 알려주게 된다. 따라서, 제조장치 또는 적재장치에 위치하는 트레이(2)를 인출하는 경우에는 제1 센서(110)의 위치는 이송 시작점을 나타내고 제2 센서(112)의 위치는 이송 완료점을 나타낸다.
트레이(2)를 인접한 제조장치 또는 적재장치에 공급하는 경우, 호스트 컴퓨터는 제2 센서(112)로부터 전송되는 감지신호에 따라 후술하는 이송구동부가 구동되도록 제어하며 제1 센서(110)로부터 전송되는 감지신호에 따라 이송구동부의 구동이 멈추어지도록 제어하게 된다. 반대의 경우 즉, 제조장치 또는 적재장치로부터 트레이(2)를 인출하는 경우에 있어서 호스트 컴퓨터는 제1 센서(110)로부터 전송되는 감지신호에 따라 후술하는 이송구동부가 구동되도록 제어하며 제2 센서(112)로부터 전송되는 감지신호에 따라 이송구동부의 구동이 멈추어지도록 제어하게 된다. 제2 센서플러그(74)와 구동부 감지센서(64)에 대하여는 후술되는 이송 구동부에서 설명하기로 한다.
정렬부는 트레이(2)를 일측으로 정렬시키는 역할을 하게 된다. 트레이(2)를 인접한 제조장치 또는 적재장치에 공급하는 경우, 이 정렬부는 척킹장치에 의해 안착되는 트레이(2)가 폭방향과 길이방향이 매공급 때마다 동일한 안착지점에 공급되기가 어려우므로 트레이(2)의 위치를 일측으로 정렬시킴으로써 후공정에서의 작업기기들과의 센터링을 맞추게 된다. 제조장치 또는 적재장치로부터 트레이(2)를 인출하는 경우, 정렬부는 인출된 트레이(2)가 척킹장치에 의해 후공정으로 이송될 수 있도록 트레이(2)의 위치를 일측으로 정렬시킴으로써 척킹장치가 정확하게 착지(landing)하여 트레이(2)를 잡을 수 있도록 한다. 이를 위하여, 정렬부는 폭방향에 대한 조절동력을 발생하는 폭발향 조절실린더(100)와, 폭방향 조절실린더(100)에 연동되어 트레이(2)를 우측으로 밀게되는 푸셔블럭(109)과, 푸셔블럭(109)을 안내하는 볼부쉬블럭(102), 볼부쉬샤프트(104) 및 볼부쉬(106)와, 길이방향에 대한 조절동력을 발생하는 길이방향 조절실린더(84)와, 길이방향 조절실린더(84)에 연동되어 트레이(2)를 스토퍼블럭(120)과 센서블럭(99) 쪽으로 밀착시키는 핑거(88)를 구비한다. 이와 같은 정렬부는 트레이 감지센서(98)가 트레이(2)를 감지하여 발생된 감지신호를 인식한 호스트 컴퓨터의 제어에 의해 구동되어 트레이(2)를 정렬시키게 된다. 정렬부에 있어서, 폭방향 조절실린더(100)는 실린더브라켓(108)에 의해 우측 수직플레이트(90')에 고정된다. 그리고 폭방향 조절실린더(100)의 구동축은 푸셔블럭(109)에 대향되어 나사로 고정됨으로써 푸셔블럭(109)에 동력을 직접 전달하게 된다. 이 폭방향 조절실린더(100)는 호스트 컴퓨터에 의해 제어되어 푸셔블럭(109)을 밀게 된다. 그러면 트레이(2)는 푸셔블럭(109)에 연동되어 우측 수직플레이트(90)에 밀착된다. 볼부쉬블럭(102), 볼부쉬샤프트(104) 및 볼부쉬(106)는 폭방향 조절실린더(100)의 구동력을 푸셔블럭(109)에 대하여 고르게 전달하는 역할을 하게 된다. 볼부쉬샤프트(104)는 볼부쉬(106)에 끼워지게되고 볼부쉬(106)는 푸셔블럭(109)의 양측에 고정된다. 그리고 볼부쉬(106)는 볼부쉬블럭(102)에 직선운동 가능하게 끼워지고 볼부쉬블럭(102)은 우측 수직플레이트(90')에 고정된다. 길이방향 조절실린더(84)는 실린더브라켓(86)에 의해 베이스면에 고정된다. 이 길이방향 조절실린더(84)는 트레이 감지센서(98)에 의해 트레이(20)가 감지되면 호스트 컴퓨터에 의해 구동되어 핑거(88)를 트레이(2) 쪽으로 90°회전시킨 후, 트레이(2)를 스토퍼블럭(120) 및 센서블럭(99) 쪽으로 밀착시키게 된다.
이송구동부는 트레이(2)를 인접한 제조장치 또는 적재장치에 공급하는 경우, 정렬된 트레이(2)를 인접한 제조장치 또는 엘리베이터와 같은 적재장치 쪽으로 이송하여 공급하는 역할을 하게 된다. 또한, 이송구동부는 제조장치 또는 적재장치로부터 트레이(2)를 인출하는 경우, 제조장치 또는 적재장치로부터 트레이(2)를 인출하여 정렬부에 공급하는 역할을 하게 된다. 이를 위하여, 이송 구동부는 트레이(2)를 구속하여 이송하는 스플라인 너트 하우징(58)과, 동력을 발생하는 모터(4)와, 모터(4)의 회전력을 직선운동으로 변환하기 위한 볼스크류(22) 및 너트블럭(24)과, 너트블럭(24)의 직선운동을 스플라인 너트 하우징(58)에 전달하기 위한 볼스크류블럭(26), 가이드블럭(36), 캠플로우어블럭(38) 및 캠플로우어(40)와, 스플라인 너트 하우징(58)의 직선운동을 원할하게 안내하기 위한 가이더(34)와, 동력을 발생하는 실린더(80)와, 실린더(80)의 회전력을 스플라인 너트 하우징(58)에 전달하기 위한 볼스플라인(52) 및 볼스플라인너트(54)를 구비한다. 스플라인 너트 하우징(58)은 원통형상으로서 볼스플라인너트(54)가 끼워진다. 그리고 스플라인 너트 하우징(58)은 직각으로 절곡된 ″L″형 걸쇠(58a)가 형성된다. 이 L형 걸쇠(58a)는 실린더(80)가 구동하게 되면 볼스플라인(52)에 연동되어 90°회전하여 트레이(2)를 구속하거나 실린더(80)가 역방향으로 구동되면 -90°회전하여 트레이(2)로부터 벗어나게 된다. 아울러, 스플라인 너트 하우징(58)은 모터(4)가 구동되면 모터(4)에 연동되어 회전하게 되는 볼스크류(22), 볼스크류(22)가 회전하면 볼스크류(22)를 따라 직선운동하는 너트블럭(24)과, 너트블럭(24)에 고정되어 너트블럭(24)에 연동되어 직선운동하는 볼스크류블럭(26)과, 볼스크류블럭(26)에 고정되어 볼스크류블럭(26)에 연동되어 직선운동하는 가이드블럭(36)과, 가이드블럭(36)에 고정된 캠플로우어블럭(38) 및 캠플러우어블럭(38)에 끼워지는 캠플로우어(40)에 의해 직선운동하게 된다. 모터(4)의 회전력은 벨트풀리(8,8') 및 벨트(10)를 경유하여 볼스크류(22)에 전달된다. 모터(4)의 구동축은 제1 벨트풀리(8)에 압입되고 제1 및 제2 벨트풀리(8,8')에는 벨트(10)가 감겨진다. 제2 벨트풀리(8')와 볼스크류(22) 사이에는 종속적으로 스페이서(16)와 베어링(18)이 조립되어 제2 벨트풀리(8')와 볼스크류(22)의 회전을 원할하게 한다. 여기서, 스페이서(16)와 베어링(18)은 베어링블럭(20)에 끼워진 후, 베어링블럭커버(14)와 락킹너트(12)에 의해 봉합된다. 너트블럭(24)은 볼스크류(22)에 직선운동 가능하게 끼워지게 되어 볼스크류(22)가 회전하게 되면 볼스크류(22)를 따라 직선운동하게 된다. 너트블럭(24)을 관통한 볼스크류(22)는 베어링(30)이 끼워지게 되고 베어링(30)은 베어링블럭(28)에 끼워지게 되어 스냅링(32)에 의해 고정된다. 너트블럭(24)은 볼스크류블럭(26)에 끼워져 고정되고, 볼스크류블럭(26)은 가이드블럭(36)에 나사로 고정된다. 가이드블럭(36)에는 캠플로우어블럭(38)이 나사로 고정되며 캠플로우어블럭(38)에는 스플라인 너트 하우징(58)의 일단에 회전가능하게 삽입되는 캠플로우어(40)가 설치된다. 가이드블럭(36)은 가이더(34)에 직선운동 가능하게 체결된다. 가이더(34)는 볼스플라인(52)에 나란하게 설치되는 레일(33)과, 레일(33)에 직선운동 가능하게 끼워짐과 아울러 가이드블럭(36)이 나사로 고정되는 슬라이더(31)로 이루어져 직선운동하는 가이드블럭(36)을 안내하게 된다. 실린더(80)의 구동축에는 핸들(82)과 커플링(76)이 압입되어진다. 운용자는 필요한 경우 핸들(82)을 이용하여 스플라인 너트 하우징(58)을 인위적으로 회전시킬 수 있다. 실린더(80)의 구동축에는 커플링(76)이 압입되고 커플링(76)에 순차적으로 제2 센서플러그(74), 락킹너트(72), 스페이서(68), 베어링(66) 및 볼스플라인(52)이 조립된다. 따라서, 실린더(80)가 구동되면 볼스플라인(52)은 실린더(80)의 회전방향으로 회전하게 된다. 여기서, 커플링(76)은 실린더(80)의 구동축과 볼스플라인(52)의 센터링을 맞추는 역할(즉, 조심역할)을 하게 된다. 스페이서(68) 및 베어링(66)은 볼스플라인(52)의 회전을 원할하게 하는 역할로서 베어링블럭(60)에 끼워져 베어링블럭커버(70)와 락킹너트(72)에 의해 봉합된다. 볼스플라인(52)은 단면이 요철형상으로 제작된다. 볼스플라인너트(54)의 내측 단면은 볼스플라인(52)에 형합되는 요철형상으로 제작된다. 이 볼스플라인너트(54)에 볼스플라인(52)이 형합되도록 끼워지게 된다. 따라서, 실린더(80)가 구동하게 되면 풀러블럭(50)이 회전하게 되어 L형 걸쇠(58a)가 트레이(2)를 구속하거나 자유롭게 하게 된다. 실린더(80)의 회전여부는 회전여부감지 센서(64)에 의해 감지된다. 제2 센서플러그(74)는 실린더(80)가 회전하게 되면 실린더(90)의 구동축과 동일하게 회전하게 된다. 회전여부 감지센서(64)는 자신에게 관통되는 제2 센서플러그(74)의 돌기에 의해 실린더(80)의 회전여부를 감지하게 된다. 호스트 컴퓨터는 회전여부감지 센서(64)로부터 공급되는 감지신호에 의해 실린더(80)의 회전여부를 알 수 있게 되어 인출시 또는 이송완료시 L형 걸쇠(58a)가 정확하게 90°회전하도록 실린더(80)를 제어하게 된다.
이송구동부에 의해 트레이(2)가 이송되어 인접한 제조장치 또는 적재장치에 공급되는 동작은 다음과 같다. 먼저, 트레이(2)가 정렬되면 실린더(80)가 구동되어 L형 걸쇠(58a)가 트레이(2) 쪽으로 회전된다. L형 걸쇠(58a)가 트레이(2)의 저면 단턱부에 걸려지게 되면 모터(4)가 호스트 컴퓨터의 제어에 의해 구동되기 시작한다. 그러면 스플라인 너트 하우징(58)이 볼스크류(22) 및 볼스플라인(52)을 따라 직선운동하게 된다. 이송 목표점에 이르게 되면, 호스트 컴퓨터는 모터(4)의 구동을 정지시키고 실린더(80)를 구동하여 L형 걸쇠(58a)가 지면과 수평되도록 -90°회전하게 함으로써 트레이(2)로부터 L형 걸쇠(58a)가 벗어나도록 한다. 이송 목표점은 인접 제조장치 또는 엘리베이터와 같은 적재장치의 초기 로드지점에 해당된다.
제조장치 또는 적재장치로부터 트레이(2)를 인출함에 있어서, 이송구동부의 동작은 다음과 같다. 먼저, L형 걸쇠(58a)가 지면과 수평을 이룬 상태에서 스플라인 너트 하우징(58)은 모터(4)의 구동에 의해 트레이(2) 쪽으로 직선운동하게 된다. 이 직선운동은 제1 센서플러그(44)가 제2 센서(112)를 관통할 때 멈추게 된다. 제1 센서플러그(44)로부터 감지신호가 발생하면 호스트 컴퓨터는 실린더(80)가 구동되도록하여 스플라인 너트 하우징(58)을 90°회전시킴으로서 트레이(2)에 L형 걸쇠(58a)가 걸려지도록 한다. 그리고 호스트 컴퓨터는 모터(4)를 역방향으로 구동하도록하여 트레이(2)를 정렬부 쪽으로 이송시키게 된다.
인접한 제조장치 또는 적재장치에 트레이(2)를 공급되는 본 발명의 모듈 디바이스 이송장치의 동작수순을 단계적으로 설명하면 다음과 같다. 먼저, 척킹장치에 의해 트레이(2)가 트레이 안내/지지부에 공급된다. 그러면 정렬부는 호스트 컴퓨터의 제어에 의해 공급되는 트레이(2)를 길이방향과 폭방향으로 정렬한다. 정렬된 트레이(2)는 이송 구동부에 의해 인접 제조장치 또는 엘리베이터와 같은 적재장치쪽으로 이송된 후 트레이(2)를 인접 제조장치 또는 적재장치의 초기 로드지점에 놓게 된다.
제조장치 또는 적재장치로부터 트레이(2)를 인출하기 위한 본 발명의 모듈 디바이스 인출장치의 동작수순을 단계적으로 설명하면 다음과 같다. 먼저, 이송구동부에 의해 스플라인 너트 하우징(58)이 제조장치 또는 적재장치에 위치하는 트레이(2) 쪽으로 직선운동한 후, 트레이(2)에 도달하면 스플라인 너트 하우징(58)이 90°회전하여 L형 걸쇠(58a)에 의해 트레이(2)가 구속된다. 그리고 이송구동부에 의해 트레이(2)는 정렬부 쪽으로 이송된 후, 정렬부에 의해 일측으로 정렬된다. 최종적으로 척킹장치에 의해 트레이(2)가 척킹되어 후공정의 제조장치로 이송되면 동작이 완료된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 모듈 디바이스 이송장치는 복수개의 모듈 디바이스가 수납된 트레이가 공급되면 그 트레이를 일측으로 정렬시킨후 인접한 제조장치나 엘리베이터와 같은 적재장치 쪽으로 이송시켜 공급함으로써 복수개의 모듈 디바이스를 이송하기에 적합하게 된다. 또한, 본 발명에 따른 모듈 디바이스 인출장치는 복수개의 모듈 디바이스가 수납된 트레이를 인출함에 있어서, 제조장치 또는 트레이가 적재된 적재장치로부터 트레이를 인출한 다음, 트레이를 정렬시킴으로써 모듈 디바이스를 인출하기에 적합하게 된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (12)

  1. 복수 개의 모듈 디바이스들이 수납된 수납수단과,
    상기 공급된 수납수단을 일측으로 정렬시키는 정렬수단과,
    상기 수납수단을 구속하여 이송시키는 이송수단과,
    상기 공급된 수납수단을 지지함과 아울러 이송되는 상기 수납수단을 안내하는 안내/지지수단과,
    상기 수납수단의 크기에 따라 상기 안내/지지수단의 폭을 조절하기 위한 폭조절수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송수단은 회전력을 발생하는 모터와,
    상기 수납수단을 이송하도록 모터에 부착된 풀리 및 벨트와,
    상기 풀리 및 벨트에 연동되어 상기 모터의 회전력을 직선방향의 동력으로 변환하기 위한 볼스크류와,
    회전력을 발생하는 실린더와,
    상기 실린더의 구동축에 장착됨과 아울러 상기 볼스크류에 나란하게 설치되어 상기 실린더가 구동됨에 따라 회전하는 볼스플라인과,
    상기 볼스크류 및 상기 볼스플라인에 직선 및 회전 구동 가능하게 장착되어 상기 볼스크류를 따라 직선운동함과 아울러 상기 볼스플라인에 연동되어 회전구동하여 상기 수납수단을 구속하는 걸쇠와
    상기 볼스크류 및 상기 볼스플라인에 나란하게 설치되어 상기 걸쇠의 직선운동을 안내하는 가이더를 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 이송장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 정렬수단은 상기 수납수단을 상기 안내/지지수단의 폭방향에서 일측으로 밀착시키기 위한 폭방향 정렬수단과,
    상기 안내/지지수단의 길이방향에서 상기 수납수단을 일측으로 밀착시키기 위한 길이방향 정렬수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 이송장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 안내/지지수단은 상기 수납수단이 안착되는 제1 레일이 설치되는 제1 수직플레이트와,
    상기 제1 레일과 대향하게 설치되어 상기 수납수단이 안착되는 제2 레일이 설치되는 제2 수직플레이트와,
    상기 제1 및 제2 수직플레이트에 설치되어 상기 수납수단의 직선운동 구간을 제한함과 아울러 상기 수납수단이 정렬될 때 길이방향 기준면을 제공하는 스토퍼를 구비하고,
    상기 폭조절수단은 상기 제1 및 제2 수직플레이트의 간격을 조절하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 이송장치.
  5. 복수 개의 모듈 디바이스들이 수납된 수납수단과,
    상기 공급된 수납수단을 일측으로 정렬시키는 정렬수단과,
    상기 수납수단을 구속하여 이송시키는 이송수단과,
    상기 공급된 수납수단을 지지함과 아울러 상기 수납수단의 직선운동을 안내하는 안내/지지수단과,
    상기 수납수단의 공급여부를 감지함과 아울러 상기 수납수단의 이송 한계점을 감지하는 감지수단과,
    상기 감지수단으로부터의 감지신호에 의해 상기 정렬수단과 상기 이송수단을 순차적으로 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 이송장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 감지수단은 상기 정렬수단이 구동되도록 상기 수납수단을 감지하는 센서를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 이송장치.
  7. 복수 개의 모듈 디바이스들이 수납된 수납수단과,
    상기 인출된 수납수단을 일측으로 정렬시키는 정렬수단과,
    상기 수납수단을 인출한 후, 상기 정렬수단에 상기 수납수단을 공급하는 인출수단과,
    상기 공급된 수납수단을 지지함과 아울러 이송되는 상기 수납수단을 안내하는 안내/지지수단과,
    상기 수납수단의 크기에 따라 상기 안내/지지수단의 폭을 조절하기 위한 폭조절수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 인출장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 인출수단은 회전력을 발생하는 모터와,
    상기 수납수단을 이송하도록 모터에 부착된 풀리 및 벨트와,
    상기 풀리 및 벨트에 연동되어 상기 모터의 회전력을 직선방향의 동력으로 변환하기 위한 볼스크류와,
    회전력을 발생하는 실린더와,
    상기 실린더의 구동축에 장착됨과 아울러 상기 볼스크류에 나란하게 설치되어 상기 실린더가 구동됨에 따라 회전하는 볼스플라인과,
    상기 볼스크류 및 상기 볼스플라인에 직선 및 회전 구동 가능하게 장착되어 상기 볼스크류를 따라 직선운동함과 아울러 상기 볼스플라인에 연동되어 회전구동하여 상기 수납수단을 구속하는 걸쇠와
    상기 볼스크류 및 상기 볼스플라인에 나란하게 설치되어 상기 걸쇠의 직선운동을 안내하는 가이더를 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 인출장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 정렬수단은 상기 수납수단을 상기 안내/지지수단의 폭방향에서 일측으로 밀착시키기 위한 폭방향 정렬수단과,
    상기 안내/지지수단의 길이방향에서 상기 수납수단을 일측으로 밀착시키기 위한 길이방향 정렬수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 인출장치.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 안내/지지수단은 상기 수납수단이 안착되는 제1 레일이 설치되는 제1 수직플레이트와,
    상기 제1 레일과 대향하게 설치되어 상기 수납수단이 안착되는 제2 레일이 설치되는 제2 수직플레이트와,
    상기 제1 및 제2 수직플레이트에 설치되어 상기 수납수단의 직선운동 구간을 제한함과 아울러 상기 수납수단이 정렬될 때 길이방향 기준면을 제공하는 스토퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 인출 및 이송장치.
  11. 복수 개의 모듈 디바이스들이 수납된 수납수단과,
    상기 인출된 수납수단을 일측으로 정렬시키는 정렬수단과,
    상기 수납수단을 인출한 후, 상기 정렬수단에 상기 수납수단을 공급하는 인출수단과,
    상기 인출되는 수납수단을 지지하는 지지수단과,
    상기 인출되는 수납수단의 인출점과 이송 한계점을 감지하는 감지수단과,
    상기 감지수단으로부터의 감지신호에 의해 상기 인출수단과 상기 정렬수단을 순차적으로 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 인출 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 감지수단은 상기 정렬수단이 구동되도록 상기 인출된 수납수단을 감지하는 센서를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 모듈 디바이스 인출 및 이송장치.
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