KR100282046B1 - 물체를 최소한 서로 다른 두 위치 사이로 이송하는 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 그리퍼 구성부를 물체에 근접시켜서 그립 구성부가 물체를 잡도록 하는 그리퍼를 사용하여 물체를 최소한 서로 다른 두 위치 사이로 이송하는 장치에 있어서, 그리퍼를 근접시킬 때 물체의 변형 또는 파괴를 방지하는 것을 목적으로 한 이송장치에 관한 것으로, 이 경우 강한 힘으로 잡아도 입자의 발생을 최소화 하여야 한다. 이송장치물체를 잡는 시점에서 계속되는 근접 경로를 조사하고 그리핑 과정의 시작을 결정하도록 근접 시의 이들의 간격과 물체를 파악하기 위하여 그리퍼에 센서를 설치한다.

본 발명의 장치는 물체의 이송, 특히 집적회로 제조공정에서 웨이퍼의 이송 컨테이너와 같은 물체를 이송하는 역할을 한다.

Description

물체를 최소한 서로 다른 두 위치 사이로 이송하는 장치

본 발명은 물체를 최소한 서로 다른 두 위치로 이송하는 장치에 관한 것으로서, 반도체 집적회로의 제조 기술 분야 등에 이용된다.

집적회로를 제조할 때 웨이퍼는 청정 상태를 유지하여야 하므로 대부분 이송 컨테이너에 보관하게 된다. 이송 컨테이너를 기계적으로 이송하기 위하여 컨테이너의 덮게 부위에 적절한 그립 구성부(grip members)가 설치된 특수형 그리퍼(gripper)를 사용한다.

반도체 가공 기계에 사용하는 로딩(loading) 및 언로딩 스테이션(unloading station)은 기존의 독일 특허 DE 195 42 646 A1에 알려져 있다.

상기 기술부에서는 덮개 부근에 그립 구성부가 설치되어 있는 이송 컨테이너를 이송하기 위하여 수평 드라이브에 지브(jib)를 고정시킨 수직 및 수평 이동이 가능한 그리퍼를 설치한다. 수평 드라이브는 수직 이동을 위한 엘리베이터와 연결되어 있다. 이송 컨테이너를 붙잡은 후에 이송 컨테이너는 저장고로부터 수평으로 빈 공간으로 이송되고 최종적으로 도달하고자 하는 면까지 수직으로 이송된다.

이러한 종류의 이동에서는 마찰에 의하여 파손이 일어나지 않도록 요구되는 정도의 힘으로 고정시켜서 신속하게 이송하기 위한 특별한 기준치를 만족하여야 한다. 이송 컨테이너는 크기, 특히 높이가 서로 다르므로 이송 컨테이너에 그리퍼가 근접할 때 변형이나 파괴가 발생하지 않도록 하여야 한다.

본 발명은 그리퍼 구성부를 물체에 근접시켜서 그립 구성부가 물체를 잡도록 하는 그리퍼를 사용하여 물체를 최소한 서로 다른 두 위치 사이로 이송하는 장치에 있어서, 물체를 잡는 시점에서 계속되는 근접 경로를 조사하고 그리핑 과정의 시작을 결정하도록 근접 시의 이들의 간격과 물체를 파악하기 위한 센서가 설치된 그리퍼를 사용하는 것을 특징으로 한다.

그리퍼에서 관련 면에 대한 규정 간격을 생기도록 하고 물체가 근접하여 들어오도록 하는 센서가 광 배리어(light barrier)와 같은 형상을 하고 있다는 장점이 있다.

그리퍼는 커플링에 의하여 연결된 수평 및 수직 조정이 가능한 판을 가지고 있으며, 이 중에서 하부판은 기재의 가이드에 강제적으로 설치되어 있다. 기판을 측면으로 싸고 있는 그리퍼 구성부는 상부판에 부착되어 있다. 일정 방향의 이동에 대하여 겹칠 때는 기판의 멈춤턱에 대하여 상부판이 붙게된다. 이로 인하여 운동의 방향이 변하게 되고 기판에 대하여 그리퍼 구성부는 끌어 당겨지게 된다.

그리퍼 구성부를 사용하는 그리핑 과정에는 수직과 수평의 이동이 실시되며, 그리퍼 구성부가 첫 이동일 때는 그립 구성부가 아래로 가고, 두 번째는 그립 구성부 사이에 파지 및 고착 결합이 생기고 관련면에 놓여 있는 설비 표면이 그리퍼에서 생길때까지 그리퍼 방향의 운동이 그립 구성부에 생기게 된다.

그리퍼 구성부의 형상을 용수철 판과 같이 함으로서 그립 구성부에서의 두께 허용 범위를 보상할 수 있다.

쌍의 이동을 위한 드라이브와 같이 그리퍼의 기능이 고장 없이 작동하도록 크랭크 드라이브에 각각의 최종 위치를 감지하는 센서를 설치할 수 있는 장점이 있다.

하부판에 설치한 정렬핀이 그립 구성부의 틈새에 물리도록 한다. 정렬이 잘못될 때는 하부판의 이동이 방해되고 이로 인하여 크랭크 드라이브가 최종 위치에 도달하려는 것이 방해되어지고, 크랭크 드라이브에 있는 센서가 결함을 신호로 나타내게 된다. 정렬핀의 끝은 접시 모양으로 되어있으며, 이것은 그리퍼 구성부가 파손될 때 그립 구성부의 고착력을 안전하게 조화시킬 수 있도록 한다.

상부판의 방향 변환 이동을 완화시키기 위하여 롤링부에 구형 베어링으로 멈춤턱을 설치한다.

도 1은 그리퍼의 구조를 나타낸 평면도

도 2는 그리퍼 구성부가 개방된 그리퍼의 측면도

도 3은 하부의 그립 구성부가 이동하는 그리퍼 구성부로 이루어진 그리퍼의 측면도

도 4는 물체가 잡힌 그리퍼의 측면도

도 5는 그리퍼에 그립 구성부의 정렬을 위한 도구를 나타낸 도면

도 6a 내지 6d는 그리핑 과정의 원리에 대한 도면

도 7은 이송 컨테이너의 틀에 있는 물체의 이동 장치를 나타낸 도면

도 8은 이송의 기능 구성부를 나타낸 회로도

도 9는 두 저장고 사이에 물체 이송을 위한 흐름도

도 10은 이송과정의 속도 조절을 나타낸 도면

이하에서 본 발명을 첨부된 도면에 의거 상세히 설명한다.

그리퍼가 도시된 도 1-4에서, 기재(5)가 바치고 있는 가이드(3, 4)에 의해서 하부 판형 커플링 고정부(1, 2)가 강제로 설치되어 있다. 구동을 위하여 모터(6.1)의 동력이 첫 번째 변속기를 거쳐서 전달되도록 크랭크 드라이브(crank driver)(6)가 설치되어 있으며, 클러치(6.3)가 웜-기어(6.4)에 의하여 필요한 회전력을 얻도록 하고 자체 제동력을 실현시키게 된다. 이로 인하여 그리퍼는 전원이 차단될 때 중력의 작용에 의하여 자체적으로 개방될 수 없다. 드라이브의 회전수가 동일할 때 경로 변경의 속도가 적어질 때는 이동 영역의 끝에서 크랭크 드라이브(6)의 회전 모멘트가 커지게 된다.

하부 커플링 고정부(1, 2)는 내부 쪽을 7, 8, 외부 쪽을 9, 10으로 표시한 커플링으로 그리퍼 구성부(13, 14)의 캐리어 역할을 하는 상부 판형 커플링 고정부(11, 12)와 결합되어 있다. 그리퍼 구성부(13, 14)의 형상을 용수철 판과 같은 모양으로 함으로서 그립 구성부(15)의 두께 허용 범위는 그리핑 물체의 것을 보상할 수 있다. 크랭크 드라이브(6)에는 각각의 최종 위치를 완벽하게 감지하도록 하는 센서(16, 17)가 설치되어 있다. 선택 회전 방향에서 해당 최종 위치에 도달하지 못하게 되는 경우에는 결함 통보가 온다. 상부 커플링 고정부(11, 12)의 수평 이동 범위를 제한하기 위하여 베어링(18)을 설치한 멈춤턱(19)을 고정시키고, 상부 커플링 고정부(11, 12)가 수직 이동을 할 때 마찰이 적어지도록 한다. 그 외에도 하부 커플링 고정부(1, 2)에 정렬핀(20)을 설치하여서 그립 구성부(15)의 틈새(21)에 정렬핀(20)이 연결되도록 한다(도 5). 정렬이 잘못될 때는 정렬핀(20)이 크랭크 드라이브(6)의 최종 위치에 도달하는 것을 방해하게 되며, 결함 통보가 오게 된다. 정렬핀(20)의 끝에 있는 원판(22)으로 용수철판 조각의 그리퍼로된 그립 구성부(15)의 형상을 확실히 유지하도록 할 수 있다.

기재(5)의 하부에는 광학 전자적으로 작용하는 광 배리어(23) 형태의 첫 번째 센서가 설치되어 있다. 송신기와 수신기에 의하여 형성된 광학적 축 O-O가 기재(5)에 대하여 규정 간격으로 생기게 된다.

상기 실시예의 그리퍼는 수평 위치를 해석할 수 있으며, 또한 그리퍼 원리는 수직 위치에서도 이용할 수 있다. 이것은 수평 응용 분야에서는 상부 커플링 고정부(11, 12)에 중력이 영향을 미치는 것과 같은 힘을 얻기 위해서는 용수철 구성부를 사용하는 것이 필요하다.

물체를 잡는 것은 근본적으로 도 6 a-d에 도시된 과정에 의하여 실행된다.

그리퍼가 그립 구성부에 대하여 x-y면에 위치하게되는 시작위치에서, 그립 구성부의 상부 모서리가 광 배리어(23)에 들어올 때까지 그리퍼를 그립 구성부(15)로 하강시킨다. 빔이 차단되는 것은 그립 구성부(15)가 들어와 있다는 것뿐만 아니라 기재(5)와 그립 구성부(15) 사이의 공간 내부에서 기재(5)까지의 규정 간격도 알려준다. 기재(5)와 그립 구성부(15) 사이에서 물체의 손상을 방지하기 위하여 규정된 간격을 남겨두어야 하는 그리퍼 위치는 이제부터 조절하면서 진행시킬 수 잇다. 그립 구성부(15)를 인지하는 것은 크랭크 드라이브(6)를 돌리기 위한 신호와 관계가 있으며, 이것을 회전시킴으로서(도 6c) 커플링 고정부(1, 2, 11, 12)는 커플링(7, 8, 9, 10)과 함께 그리퍼의 중앙까지 수평으로 밀리게 된다. 그리핑 과정의 이 단계에서는 그리퍼 구성부(13, 14)는 그립 구성부 하부로 수평으로 움직이게 된다.

내부 커플링(7, 8)이 상부 커플링 고정부(11, 12)의 구름 베어링과 접촉하게 되면 멈춤턱(19)이 그 수평 이동을 중단시키게 된다. 하부 커플링 고정부(1, 2)는 계속 수평으로 밀리게 되므로, 커플링(7, 8, 9, 10)은 구형 베어링(18)에서 구르게 되어서 강제적으로 위로 올라오게 된다. 상부 커플링 고정부(11, 12)의 수평이동과 이로 인한 그리퍼 구성부(13, 14)의 수평이동은 수직이동으로 변환되어진다.

크랭크 드라이브(6)가 180도 회전 후에 두 번째 상사점에 도달하면(도 6d), 하부 커플링 고정부(1, 2)의 수평이동 뿐만 아니라 그리퍼 구성부(13, 14)와 상부 커플링 고정부(11, 12)의 수직 이동은 중단된다.

그리퍼 구성부(13, 14)가 수직이동의 최고점에 도달하기 이전에 그립 구성부(15)와 접촉하게 되며, 이로 인하여 발생한 장력은 파지력과 고착력으로 나타나게 된다. 물체는 가볍게 치켜 들리고, 그립 구성부(15)의 표면은 그리퍼의 기재(5)를 누르게 된다.

풀림은 반대 순서로 진행된다.

본 발명은 그리퍼를 사용하여 물체를 이동시킬 때 물체를 손상시키지 않을 수 있다는 것을 특징으로 한다. 그립 구성부(15)에서 그리핑 구성부(13, 14)가 접촉면을 약화시키는 것에 관련된 이동이 없기 때문에, 파지력과 고착력이 가해지는 그리핑에 의한 강한 파지에도 불구하고 파손이 최소화된다.

강한 그리핑은 특히 물체를 이동시킬 때 고속으로 이송할 수 있다는 장점을 제공한다. 동시에 파지력으로 인하여 가속이 가능해진다.

특히 물체를 저장 선반(25)에서 이송 컨테이너(24)를 사용하여 이송하고 정해진 자리에 놓을 때 본 발명의 그리퍼를 사용함으로서 많은 장점을 얻을 수 있다. 도 7에 도시한 저장 선반(25)은 많은 선반 자리(26)를 상하 좌우로 설치한 것을 특징으로 한다.

선반 자리(26)에서 이송 컨테이너(24)에 대하여 선택할 수 있는 것은 자유로운 공간(27)에 적당한 이송 컨테이너의 크기이다.

가이드(29)에서 이동 가능한 이송 컨테이너 고정부(30)는 저장 선반(25)을 이송 컨테이너(24)로 수동으로 구획하는 역할을 하는 로딩 구멍(28)이 있다.

이송 컨테이너(24)를 이송하기 위하여, 지브(32)를 수평 드라이브(33)에 고정시키는 수직 및 수평 이동 가능한 그리퍼(31)를 본 발명에서 제공하는 것을 특징으로 한다. 수평 드라이브(33)는 엘리베이터(34)와 연결되어 있다. 두 드라이브 시스템(33, 34)은 각각에 경로측정 시스템이 설치되어 있다. 두 양쪽 좌표를 위하여 제공하는 기준 센서가 좌표점 역할을 한다.

이송 컨테이너(24)의 덮개 부분에는 그리퍼(31)를 사용하여 자동적으로 포착하기 위한 그립 구성부(35)를 설치한다. 그리퍼(31)를 사용하여 지브(32)가 이동에 효과를 줄 수 있도록 모든 이송 컨테이너(24)의 상부에는 많은 자리를 만들어 둔다.

도 1 내지 6에 설명한 방법을 근거로 하여서 이송 컨테이너를 붙잡은 후에, 이것을 선반 자리(26)의 공간에서 빈 공간으로 수평 이송하고, 마지막으로 다른 보관 위치, 예를 들면 이송 컨테이너 고정부(30) 또는 반도체 가공 장비용 로딩 및 언로딩 장치로 이동시키기 위한 플랫폼(도시하지 않음)으로 수직(또는 수평) 이송시킨다. 보관 위치에 도달하면, 이송 컨테이너는 놓아둔다. 반대 방향으로 이동시킬 때도 비슷한 방법으로 실시한다.

수직 구동에 있어서, 그리핑 및 이송 기능을 실행시키기 위한 이송 장치의 기능 구성부를 도 8에 별도로 도시하였다. 조정 가능한 그리퍼의 z-가이드를 따라서 각각의 도달 z-위치를 조사하는 경로 측정 시스템(39)이 부착된 드라이브(38)가 위치해 있다. 경로 측정 시스템(39)은 드라이브(38)의 실행 방법을 근거로 하여서 위치를 조사하는 회전식 송신기의 역할을 한다.

그리퍼(37)에 있는 수신기(40)와 송신기(41)가 잡은 물체를 인지하게 되는 광 배리어를 형성한다. 광 배리어 영역에 물체가 들어오게 되면, 스위칭 신호가 한계치 스위치(42)로부터 발생하게되고, 드라이브(38)를 위한 드라이브 제어기(44)와 양방향으로 연결되어 있는 제어기(43)에 입력된다. 그 외에도 경로 측정 시스템(39)의 신호가 흐르고 있는 드라이브 제어기(44)는 드라이브(38)에 위치하는 서보 증폭기(45)와 양방향으로 연결되어 있다.

스위칭 신호는 광 배리어가 경로측정 시스템(39)으로 조사한 z-위치에 물체가 들어오는 시점을 알아내는 것을 유발시킨다. 이 z-위치는 도착할 때까지 진행중인 도착 경로 및 그리핑 시작을 조사하기 위한 기준 역할을 한다.

드라이브(38)에 있는 경로측정 시스템(39)은 모든 차폐 과정 이후에는 조사한 z-위치를 잃어버리게 되므로, 절대 측정 시스템으로 위치조사장치(46)를 설치하는 것이 좋다. 이것은 전원 차단 후에 필요한 참조 실행을 하지 않고도 z-좌표에 위치한 그리퍼의 위치 지정을 안전하게 할 수 있도록 한다. 참조 시행을 할 때는 두 측정 시스템(39, 46)과 고정된 참조 센서를 비교할 수 있다.

물체를 그리핑하고 내릴 때의 기능 상태를 도 9에 명확하게 도시하였다. 먼저 그리퍼를 선반 자리에 위치시키고 표준 위치(Z_{n soll})의 방향으로 움직이기 시작한다. 물체를 인지하게 되면, 경로측정 시스템에서 z-좌표의 1차 위치(Z_n)를 읽고 나서 최종적으로 새로운 표준 위치를 결정하게 된다. 새로운 표준 위치는 조사된 1차 위치와 z-값(△)으로부터 종합되어진다. 새로운 표준 위치에 도달하면 위치 지정을 종료하고 그리퍼를 닫을 수 있게 된다.

이미 알고 있는 다른 위치에(선반 자리)에 물체를 내리기 위하여 그리핑 과정의 위치 지정에서 이미 조사된 물체의 실제 높이를 고려한다. 이것은 선반의 층위치와 물체 인지시점의 그리퍼 위치의 좌표의 차이로부터 조사한다. 최종 위치에 대한 그리퍼 위치는 층 위치와 물체 높이의 합계로부터 계산한다. 고정 층위치의 정렬은 좌표 x와 z에 있는 2차원 매트릭스를 사용하여서 실시한다. 이러한 작업 방법을 사용하여서 물체의 손상 또는 낙하를 방지할 수 있다. 위치 지정이 종료된 후에는 그리퍼를 개방한다.

대부분의 경우에 잡힌 물체는 기술적인 허용 범위를 나타낼 수 잇는 규정 높이를 가지고 있다. 수용 과정을 시간적으로 최적화하기 위하여 물체에 대한 기대 영역(도 10)을 규정하게 된다. 이 영역 밖에서는 그리퍼가 높은 속도로 이동할 수 있고, 이 영역 안에서는 위치 기록시 정확도를 높이기 위하여 속도를 줄이며, 그 이후에는 중간 속도 그리고 물체의 인지 후와 나머지 경로의 제거 후에는 0이 되게 한다.

역학적 거동을 동시에 향상시킬 때 수용과정의 시간적 최적화 가능성은 기대 영역에서 요구 속도에 도달하게 하는 제동 가속(점선)의 선택에 있다.

연습 과정에서 각 선반 자리의 공간 정렬의 측정은 예를 들면 이송 컨테이너(26)와 같은 크기를 알고 있는 물체를 사용한다. 드라이브에 있는 경로측정 시스템을 사용하여서 구조 데이터로부터 표준 위치를 기초로 하여 선반 자리에 대한 1차 위치를 조사한다. 그 후에 그리퍼를 사용하여서 물체를 선반 자리에 놓는다. 최종적으로 그리퍼의 z-이동시에 광 배리어의 개폐 시점에 대한 이것의 위치를 조사하고 매트릭스에 저장한다.

x-y 면에 있는 물체의 위치는 선반 자리의 중신 핀과 물체의 저장면에 있는 모형(원추형 구멍)으로 결정한다. 각각의 보관 자리에 대한 x-위치를 조사하기 위하여 그리퍼에 감지 방향이 x-방향인 두 번째 센서(47)를 설치한다. x-방향을 위한 경로측정 시스템과 연결하여서 물체의 위치를 결정할 수 있다. 두 번째 센서는 레프렉스 키로 형성하여서 그리퍼의 x-방향 이동에서 충돌을 방지하고 물체와의 간격을 충분하게 유지하면서 실행할 수 있도록 한다. 정확도를 높이기 위하여 물체를 두 방향에서 측정하고 평균을 결정할 수 있다.

선반 자리를 측정하면 그리퍼는 알려진 물체를 다음의 선반 자리로 이송하고 z와 x 위치를 조사하여 언급된 매트릭스에 저장한다. 저장 선반의 측정은 이러한 방법으로 자동적으로 실행된다.

제3의 좌표에 대한 원리 확장은 필요한 경우에 적당한 경로측정 시스템을 사용하여 y-드라이브를 설치할 때 가능해 진다.

본 발명에 따라 수평 및 수직 드라이브에 부착되어 있는 그리퍼는 이송 컨테이너에 그리퍼가 근접할 때 변형이나 파괴가 발생되지 않아 특히 저장선반에서 이송 컨테이너를 이송하는데 적합하다. 이송 컨테이너로 된 저장선반의 수동장치에 있는 이송 컨테이너 고정부와 저장선반 내부의 선반자리 사이에서 이송이 실행된다. 또한 반도체 가공장비를 위한 로딩 및 언로딩 장소로 직접 이송하는 것도 가능하게 한다.

Claims (11)

1. 그리퍼 구성부를 물체에 근접시켜서 그립 구성부가 물체를 잡도록 하는 그리퍼를 사용하여 물체를 최소한 서로 다른 두 위치 사이로 이송하는 장치에 있어서, 물체를 잡는 시점에서 계속되는 근접 경로를 조사하고 그리핑 과정의 시작을 결정하도록 근접 시의 이들의 간격과 물체를 파악하기 위한 센서가 설치된 그리퍼를 사용하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
2. 제1항에 있어서, 그리퍼에서 관련 면에 대한 규정 간격을 생기도록 하고 물체가 근접하여 들어오도록 하는 센서가 광 배리어와 같은 형상을 하고 있는 것을 특징으로 하는 이송장치.
3. 제2항에 있어서, 그리퍼는 커플링에 의하여 연결된 수평 및 수직 조정이 가능한 판을 가지고 있으며, 이 중에서 하부판은 기재의 가이드에 강제적으로 설치되어 있으며, 기판을 측면으로 싸고 있는 그리퍼 구성부는 상부판에 부착되어 있으며, 일정 방향의 이동에 대하여 겹칠 때는 기판의 멈춤턱에 대하여 상부판이 붙게되고, 이로 인하여 운동의 방향이 변하게 되고 기판에 대하여 그리퍼 구성부가 끌어 당겨지게 되는 것을 특징으로 하는 이송장치.
4. 제3항에 있어서, 그리퍼 구성부를 사용하는 그리핑 과정에는 수직과 수평의 이동이 실시되며, 그리퍼 구성부가 첫 이동일 때는 그립 구성부가 아래로 가고, 두 번째는 그립 구성부 사이에 파지 및 고착 결합이 생기고 관련면에 놓여 있는 설비 표면이 그리퍼에서 생길때까지 그리퍼 방향의 운동이 그립 구성부에 생기는 것을 특징으로 하는 이송장치.
5. 제4항에 있어서, 그리퍼 구성부가 용수철 판과 같은 형상을 하고 있는 것을 특징으로 하는 이송장치.
6. 제5항에 있어서, 두 개의 판을 이동시키기 위한 드라이브와 같이 그리퍼의 기능이 고장 없이 각각의 최종 위치를 감지하도록 크랭크 드라이브에 센서를 설치한 것을 특징으로 하는 이송장치.
7. 제6항에 있어서, 하부판에 정렬핀을 설치하여서, 정렬 제어를 위하여 정렬핀이 그립 구성부의 틈새에 물리도록 하고, 정렬이 잘못될 때는 크랭크 드라이브가 최종 위치에 도달하려는 것이 방해되어 지고, 크랭크 드라이브에 있는 센서가 결함을 신호로 나타내는 것을 특징으로 하는 이송장치.
8. 제7항에 있어서, 정렬핀의 끝이 접시 모양으로 되어있으며, 이것이 그리퍼 구성부가 파손될 때 그립 구성부의 고착력을 안전하게 조화시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
9. 제8항에 있어서, 상부판의 방향 변환 이동을 완화시키기 위하여 롤링부에 구형 베어링으로 멈춤턱을 설치한 것을 특징으로 하는 이송장치.
10. 제1항에 있어서, 이송 컨테이너의 이송을 위한 그리퍼가 저장선반의 수평 및 수직 드라이브에 부착되어 있고, 이송 컨테이너로 된 저장선반의 수동 장치에 있는 이송 컨테이너 고정부와 저장선반 내부의 선반자리 사이에서 이송이 실행되는 것을 특징으로 하는 이송장치.
11. 제10항에 있어서, 반도체 가공 장비를 위한 로딩 및 언로딩 장소로 직접 이송하는 것을 특징으로 하는 이송장치.