KR100267756B1 - 얼라인 키이의 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 고집적도의 포토작업 진행시의 얼라인이나 레이저 리페어시 얼라인키이로서 정확한 포인트를 찾을 수 있으므로써, 정확한 얼라인을 할 수 있을 뿐만 아니라, 패턴의 크기를 축소할 수 있어서 패턴위의 이물질로 인한 장비의 에러발생가능성을 대폭 감소시킬 수 있는 등의 많은 장점이 구비된 것이다.

이를 위해, 본 발명은 얼라인키이(1)의 패턴(2)이 L자 형태로 직각의 위치에 떨어져 배치되고, 패턴(2)의 사이에는 배선(3)이 연결된 얼라인 키이의 구조이다.

Description

얼라인 키이의 구조

제1도는 종래의 얼라인 키이를 나타낸 정면도.

제2도는 본 발명을 나타낸 정면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 얼라인키이 2 : 패턴

3 : 배선

본 발명은 얼라인 키이(Align Key)의 구조에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조공정중 포토-에칭시 얼라인 키이를 사용하여 반도체 기판상에 정확한 패턴을 형성시킬 수 있도록 한 것이다.

종래의 얼라인 키이는 도 1에 나타낸 바와같이, 알루미늄재의 L자형으로 되어 얼라인키이(1a)의 a-a 및 b-b부분에 레이저빔을 주사하여 그 위상차를 이용한 파형을 얻어내고 이에따라 그 중앙값(0, 0)을 찾는데 이때, 약 3회에 걸쳐 레이저빔을 주사한 후 이들 파형의 평균값을 찾고, 중앙값을 계산하여 X, Y축을 찾아내게 된다.

그러나, 이와같은 종래의 얼라인키이(1a)는 정확한 원점을 찾아가는데 시간이 많이 소요되고, 그 정확도가 떨어질 뿐만 아니라, 특히 알루미늄 패턴위에 이물질로 인한 위상의 변화는 이상파형을 유발시켜서 장비의 에러가 다발하게 되는 등의 많은 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 제반문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 반도체 제조공정중 포토-에칭시 얼라인 키이를 사용하여 반도체 기판상에 정확한 패턴을 형성시킬 수 있을 뿐만 아니라, 장비의 에러발생을 줄일 수 있는 얼라인 키이의 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 얼라인 키이의 패턴이 L자 형태로 직각의 위치에 떨어져 배치되고, 패턴의 사이에는 배선이 연결된 얼라인 키이의 구조이다.

이하, 본 발명의 일실시예를 첨부도면 도2를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명을 나타낸 정면도로서, 얼라인키이(1)의 반사율이 높은 알루미늄재인 정사각형패턴(2)이 L자 형태로 직각의 위치에 떨어져 배치되고, 패턴(2)과 패턴(2) 사이에는 직경이 1㎛이하의 배선(3)이 연결되어 구성된다.

이와같이 구성된 본 발명은 도2에 나타낸 바와같이, 반사율이 높은 알루미늄재인 얼라인키이(1)의 정사각형패턴(2)의 a-a 및 c-c 부분간의 레이저빔을 주사하여 패턴(2)의 개략적인 중앙부위를 설정한 다음 패턴(2)의 X-Y축을 잡은 후 b-b 및 d-d간의 레이저빔을 주사하므로써 b-b 및 d-d간의 가장 정확한 센터포인트를 잡을 수 있게 된다.

예컨데, 레이저빔을 도2와 같이 aa-aa간에 주사할 경우 bb-bb간의 파형을 모두 얼라인키이(1)의 센터포인트를 찾는데 이용할 수 있음에 따라 더 많은 파형데이타를 통해 좀더 정확한 포인트의 센터값을 찾을 수 있으며, X축의 경우도 동일한 방법으로 주사하여 알루미늄 라인의 센터값을 찾으므로써 정확한 X, Y 포인트가 설정될 수 있게 된다.

이상에서와 같이, 본 발명은 고집적도의 포토작업 진행시의 얼라인이나 레이저 리페어시 얼라인키이(1)로서 정확한 포인트를 찾을 수 있으므로써, 정확한 얼라인을 할 수 있을 뿐만 아니라, 패턴(2)의 크기를 축소할 수 있어서 패턴(2)위의 이물질로 인한 장비의 에러발생 가능성을 대폭 감소시킬 수 있는 등의 많은 장점이 구비된 유용한 발명이다.

Claims (3)

1. 얼라인키이(1)의 패턴(2)이 L자 형태로 직각의 위치에 떨어져 배치되고, 패턴(2)의 사이에는 배선(3)이 연결된 것을 특징으로 하는 얼라인 키이의 구조.
2. 제1항에 있어서, 상기 패턴(2)이 정사각형의 반사율이 높은 알루미늄재로 된 얼라인 키이의 구조.
3. 제1항에 있어서, 상기 배선(3)의 직경이 1㎛이하로 된 얼라인 키이의 구조.