KR100243428B1 - 잉크 제트 프린트 헤드의 제조방법 - Google Patents

잉크 제트 프린트 헤드의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 용지에 대해서 잉크를 불어붙이는 잉크 제트 프린터에 설치되는 프린트 헤드의 제조방법에 관한 것으로써, 압전블록에는 잉크가 충전되는 만곡형의 복수의 채널이 정열해서 관통형성되며, 상기 각 채널의 내벽에는 개별전극이 설치되고 채널사이에 존재하는 격벽에 대해 분극을 발생시키기 위해 격벽을 끼우는 한쌍의 개별전극에 대해 양 및 음의 전압이 인가되며 압전블록의 전면에는 잉크를 분출시키는 오리피스가 형성된 전면플레이트가 접합되고 압전블록의 후면에는 잉크공급로가 형성된 후면플레이트가 접합되어 있다.

Description

잉크제트 프린트헤드의 제조방법
제1도는 잉크제트 프린트헤드의 개략적인 사시도,
제2도는 제1도에 도시된 Ⅱ-Ⅱ 단면으로 나타내는 잉크제트 프린트헤드 단면도,
제3도는 제2도에 도시된 Ⅲ방향에서 본 압전블록의 배면도,
제4도는 본 발명에 관한 프린트 헤드 제조방법을 나타내는 플로우챠트.
제5도는 평평한 판형상의 압전재료를 나타내는 사시도,
제6도는 압전재료에 형성된 복수의 채널을 나타내는 부분확대도,
제7도는 압전재료에 형성된 복수의 개별전극을 나타내는 부분확대도,
제8도는 복수의 채널라인 및 복수의 전극라인이 형성된 압전재료를 나타내는 도면,
제9도는 분극처리 때문에 전압이 인가되는 전극라인의 번호를 나타내는 설명도이고,
제10도는 압전블록에 형성되는 채널라인의 변형예를 나타내는 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 프린트 헤드 12 : 압전블록
14 : 전면 플레이트 16 : 후면 플레이트
18 : 오리피스 20 : 채널
22 : 격벽 26 : 개별전극
본 발명은 프린터에 탑재되는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법에 관한 것으로, 특히 잉크실의 체적을 변화시켜서 잉크입자를 분사시키는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법에 관한 것이다.
알려진 바와같이, 잉크제트 프린터는 용지에 잉크입자를 불어 붙여서 인자를 행하는 것으로, 컴퓨터의 출력단말기로 활용되고 또 워드프로세서, 팩시밀리머신등 각종의 전자기기에 탑재되어 있다.
잉크제트 프린터에 있어서, 잉크의 분출은 잉크제트 프린트헤드(이하 "프린트헤드"라고 한다)에서 행해진다.
프린트헤드에 대한 잉크 분출방식에는 종래부터 각종의 방식이 제안되고 있다. 그 방식의 하나로서 카이저(Caesar) 방식이 있다(예를 들어, USP 4,,189,734 참조). 이 방식에서는 잉크는 잉크실에 충전되고 그 잉크실에 근접해서 압전소자가 배치되어 있다. 그 압전소자에 펄스전압을 인가하면 압전소자가 비뚤어지고 이것이 잉크실의 체적을 작게 한다. 이 체적변화에 의해서 잉크실로 관통하는 작은 구멍(오리피스)에서 잉크가 분출한다.
그러나, 상기 카이저방식등으로 대표되는 종래 방식에서는 기구상의 계약으로 인해 높은 밀도의 인자를 행하는 것이 곤란했었다. 또, 잉크실 길이의 단축화에 한도가 있기 때문에 유체 마찰이 증대하는 경향이 있어 고품질을 얻기 위한 고점성의 잉크를 이용하는 것이 곤란했었다.
한편, 잉크제트 프린터의 보급에 동반해 저가격의 프린트 헤드가 요망되고 있다. 이 때문에, 쉬운 제조공정으로 신뢰성 높은 프린트헤드를 제조할 수 있는 프린트헤드의 제조방법이 요망되고 있다.
본 출원인은 본 출원에 관련해서 신방식의 프린트 헤드의 출원을 하고 있다.(일본국 출원:특원평 3-242184, 미국출원:07/897,381, EPC 출원:92110158.0, 한국출원:10833). 이 프린트헤드는 인자의 고밀도화 및 고품질화가 가능하다.
이 프린트헤드는 잉크가 충전되는 잉크실(이하, "잉크실"이라 함)이 복수정렬하여 관통형성된 압전블록과, 상기 각 채널의 내멱에 설치된 개별전극과, 상기 압전블록의 앞측에 접합된 전면 플레이트와, 상기 압전블록의 뒷측에 접합된 후면 플레이트로 구성된다. 여기에서, 상기 압전블록 전체에 대해서 미리 분극 처리가 실시되고 있다.
이 프린트 헤드에 의해서 인자를 행할 때에는 임의 선택된 서로 인접한 한쌍의 개별전극에 전압이 인가된다. 그러면, 격벽이 변형해서 채널의 용적을 변화시킨다. 이 용적변화에 의해서, 잉크가 전면 플레이트에 형성된 오리피스로부터 분출하여 용지에 도트가 인자된다.
상기 출원에 기재된 프린트헤드의 "일반적 제조방법"을 이하에 설명한다.
우선, 압전블록에 대해서 분극처리가 되게 된다. 이 분극처리는 예를 들면 압전블록을 분극처리용인 한쌍의 전극으로 끼우고 그 한쌍의 전극사이에 고전압을 인가한다. 이에 의해, 압전블록에 분극이 발생한다.
다음에, 압전블록에 복수의 채널이 레이저 가공기술 등을 이용해서 형성된다.
그 후, 압전블록에 노광기술 및 에칭기술 등을 이용해서 개별전극이 형성된다.
이상의 공정 후, 압전블록에 전면 플레이트 및 후면 플레이트가 접합된다. 이와같은 "일반적 제조방법"에 있어서는, 통상 분극처리는 100℃∼150℃로 가열한 상태에서 2∼3KV/mm 강도의 전계를 20∼60분 인가해서 행해진다.
따라서, 예를 들면 프린트헤드가 소형의 시리얼 헤드이고 그 폭이 5mm인 경우 2KV/mm × 5mm = 10KV의 전압을 인가하면 분극처리를 행할 수 있다.
한편, 예를 들면 프린트헤드가 대형의 라인 헤드이고 그 폭이 220mm인 경우 2KV/mm × 220mm = 440KV의 전압인가가 필요하게 된다. 따라서, 특히 폭이 큰 프린트헤드의 경우 고전압 분극처리가 필요하게 되고 또한, 압전재료의 표면에 발생하는 표면전류의 대처가 필요하게 된다. 그러므로, 저전압으로 분극처리를 행할 수 있는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법이 요망되고 있다.
또, 상기 "일반적 제조방법"에서는 분극처리후의 채널 형성공정 및 전극형성공정으로 전극이 소실될 우려가 있다 즉, 레이저 가공에 의한 발열 등에 기인해서 분극상태가 불안정하게 될 우려가 있다.
본 발명은 상기 과제를 감안해 이루어진 것으로, 그 목적은 압전재료에 대한 분극처리를 저전압으로 행할 수 있는 프린트헤드의 제조방법을 제공하는 것이다.
또 다른 목적은 압전재료에 발생한 분극의 소실을 회피할 수 있고 안정한 분극상태를 획득할 수 있는 프린트헤드의 제조방법을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 이하의 공정을 포함한다.
채널형성공정에서는 압전재료로 이루어진 압전블록에 잉크가 충전되는 잉크실인 채널이 복수 정렬되어 관통형성된다.
전극형성공정에서는 상기 각 채널의 내벽에 개별전극이 설치된다.
분극처리공정에서는 서로 인접한 2개의 상기 개별전극에 각각 양과 음의 전압을 인가해서 상기 채널사이에 존재하는 격벽에 분극을 발생시킨다.
플레이트 접합공정에서는 상기 압전블록의 앞측에 잉크를 불어내는 복수의 오리피스가 형성된 전면 플레이트가 접합되고 상기 압전블록의 뒷측에 공통의 잉크 공급로가 형성된 후면 플레이트가 접합된다.
이상의 공정에 따르면, 압전블록에 복수의 채널 및 복수의 개별전극을 형성한 후에 개별전극을 이용해서 각 격벽에 분극처리를 행할 수가 있다.
따라서, 본 발명에 따르면 고전압형의 분극처리장치는 불필요하게 되고 또 레이저 열가공 등에 기인하는 분극의 소실이 방지된다.
우선, 본 실시예에 의해 제조되는 프린트헤드의 구조에 관해 설명하고 다음에 그 제조방법에 관해 상세히 서술한다.
(A) 잉크제트 프린트헤드의 구조
제1도에는 상기 본 출원인에 의한 선출원에 기재된 프린트헤드(10)의 개략적인 사시도가 도시되어 있다. 본 발명에 관한 제조방법은 이 프린트헤드(10)의 제조에 가장 적합하지만, 분극처리가 필요한 격벽을 가지는 다른 방식의 프린트헤드에도 본 발명을 적용할 수 있다.
제1도에 있어서, 이 프린트헤드(10)는 크게 나누어 압전재료(PZT)로 이루어진 압전블록(12)과, 전면 플레이트(14)와, 후면 플레이트(16)로 구성되어 있다.
제1도에 나타낸 바와같이, 전면 플레이트(14)에는 복수의 오리피스(18)가 정렬해서 관통형성되어, 소위 라인 프린터용 프린트헤드를 구성하고 있다. 이 오리피스(14)로부터 잉크입자가 분출한다.
압전블록(12)에는 채널 어레이가 형성되어 있다. 이 채널 어레이는 잉크가 충전되는 잉크실인 복수의 채널(20)로 구성되어 있다. 각 채널(20)은 격벽(22)으로 분리되어 있다. 제1도에 일부를 절개하여 도시한 바와 같이, 각 채널(20)은 어레이 방향(도면에 있어서 X방향)으로 만곡되어 있다.
제2도에는 제1도에 나타낸 Ⅱ-Ⅱ 단면이 도시되어 있다. 제2도에 있어서, 채널(20)의 높이(도면에 있어서 Y방향의 높이로, 예를 들면 1.2mm)는 채널(20) 안쪽(도면에 있어서 Z방향의 폭으로, 예를 들면 1.0mm)보다 조금 크다. 또한, 채널(20)의 X방향의 폭은 예를 들면 0.1mm이다.
채널(20)에는 개별전극(26)이 설치되어 있다. 개별전극(26)은 상하 내벽에 설치된 전극요소(26a, 26b)와 격벽(22)에 설치된 전극요소(26c, 26d)(제7도 참조)와, 압전블록(12)의 배면에 설치된 전극요소(26e)로 구성된다. 전극요소(26a, 26b, 26c, 26d)에 의해서 채널(20)의 내벽(4개의 내면)이 전극(26)으로 덮여져 있다. 한편, 전극요소(26e)는 외부단자로서 이용된다. 또한, 전극(26)의 표면에는 보호막(도시 안함)이 설치되어 있지만 채널(20)내의 잉크에 전위차가 발생하지 않기 때문에 상기 보호막은 반드시 필요하지는 않다.
제2도에 있어서, 후면 플레이트(16)에는 각 채널(20)에 모두 연통한 잉크 공급로(24)가 형성되어 있다.
제3도에는 제2도에 나타내는 Ⅲ방향에서 본 압전블록(12)의 배면이 도시되어 있다. 도시된 바와같이, "20-1" 내지 "20-9" 까지의 9개의 채널이 형성되어 채널 어레이를 구성하고 있다. 또한, "26-1" 내지 "26-9" 까지 9개의 개별전극이 형성되어 있다.
여기에서, 제3도에 화살표(102)로 나타낸 바와 같이 각 격벽(22-1 내지 22-9)은 마이너스 X방향 방면으로 분극이 발생하고 있다. 이 분극은 제조시의 분극처리공정에서 발생한 것이다.
이상과 같은 프린트 헤드(10)에 의해서 인자를 행한 경우에는 예를 들면 제3도에 나타낸 극성으로 각 개별전극(26)에 대해서 전압을 인가한다.
그러면, 제3도에 일점쇄선으로 나타낸 바와같이 8개의 격벽중 일부인 격벽(22)이 전계의 방향과 분극의 방향과의 관계에 따라서 늘어나거나 수축한다.
즉, 격벽(22-1)은 상하방향(Y 방향)으로 늘어나서 더욱 만곡의 정도가 커진다. 한편, 격벽(22-2)은 상하방향으로 수축하여 만곡의 정도가 작아진다. 이 결과, 채널(20-2)의 용적은 일시적으로 감소하고 채널 내부의 잉크압력이 상승해 Z 방향에 있는 제1도에 나타낸 것에 대응하는 오리피스(18)로부터 잉크가 분출한다.
마찬가지로 채널(20-6)의 용적도 감소해 대응하는 오리피스(18)로부터 잉크가 분출한다.
또한, 제3도의 일점쇄선으로 나타낸 바와같이 채널(20-2, 20-6)의 용적이 감소한 상태에서는 이들에 인접한 채널(20-1, 20-3, 20-5, 20-6)의 용적은 조금 증대하여 잉크 공급로(24)에서 잉크가 공급된다.
격벽(22-1, 22-2, 22-5, 22-6)이 충분히 변형한 후 인가전압을 차단하던가 또는 그 극성을 반전시키면 원래의 격벽의 상태로 복귀한다. 이에 의해서, 채널(20-2, 20-6)에는 다시 잉크가 충전된다.
(B) 잉크제트 프린트헤드의 제조방법
이상 설명한 프린트헤드의 제조방법에 관해서 이하 상세히 서술한다.
제4도에는 본 발명에 관한 제조방법에 가장 적합한 실시예가 플로우챠트로 도시되어 있다. 이 실시예의 제조방법은 복수의 프린트헤드를 동시에 제조하는 방법이다.
"S101"의 채널 형성공정에서는 제5도에 나타낸 바와같이 복수개분의 블록(12)크기를 가지는 평평한 판형상의 압전재료(PZT)(200)에 대해 다수의 만곡형상 채널(20)이 매트릭스 형상으로 관통형성된다. 제6도에는 채널(20)이 형성된 압전재료(200)의 일부가 도시되어 있다. 이 채널형성은 공지의 방법으로 행해지고, 예를 들면 엑시머레이저 가공, KOH 등의 수용액 속에서의 레이저가공, 프레스가공, 초음파가공등이 적용된다.
이와같이, "S101"에서 압전재료(200)에 복수의 채널 어레이가 형성된다. 여기에서, 이후의 제8도에 나타내는 바와같이 X방향으로 정렬한 복수의 채널(20)로 채널 어레이가 구성된다. 또 복수의 채널 어레이가 Y방향에 다수단 배열되어 채널 어레이군이 형성되어 있다. 또한, 제8도에 나타내는 예에 있어서는 제3도에 나타낸 예와 달리 채널 어레이가 18개의 채널로 구성되어 있다.
제4도에 나타내는 "S102"의 전극형성공정에서는 제7도에 나타내는 바와같이 각 채널(20)에 대해 노광기술 및 에칭기술 등의 공지의 방법을 이용해서 개별전극(26)이 형성된다. 개별전극(26)은 압전재료(200)의 배면측에 설치되는 전극요소(26e)와, 채널의 내벽에 설치되는 전극요소(26a, 26b, 26c, 26e)로 구성되어 있다.
제8도에는 "S101" 및 "S102"가 종료한 후의 압전재료(200)가 도시되어 있다. 여기에서, 도시된 바와같이 Y방향으로 늘어선 복수(5개)의 개별전극(26)이 연결되어 전극라인(202)이 구성되어 있다. 즉, Y방향으로 정렬하는 복수의 개별전극(26)은 이 상태에서는 일체화되어 있다. 또한, 채널(12) 사이의 격벽(22)도 Y방향으로 일정간격으로 복수 정렬되어 격벽열(204)을 구성하고, X방향으로 17개의 격벽열(204)이 구성되어 있다.
제4도에 나타내는 "S104"의 분극처리공정에서는 서로 인접하는 한쌍의 전극라인(202)에 양 및 음의 전압이 인가된다. 그 상태가 제8도에 도시되어 있다. 제8도에 있어서는 1번, 5번, 9번, 13번, 17번의 전극라인(202)에 "양" 전압이 인가되고 2번, 6번, 10번, 14번, 18번의 전극라인(202)에 "음" 전압이 인가되고 있다.
이와같은 전압인가가 이루어지면 첫번째, 다섯번째, 아홉번째, 열세번째, 열일곱번째의 5개의 격벽(204)이 분극처리된다. 이와같이, 제8도에 나타내는 예에서는 임의의 한쌍의 전극라인(202)에 전압인가를 행하면 한 번에 5개의 격벽(22)에 대해서는 분극처리를 행할 수가 있다.
제9도에는 전압인가의 순서가 표로 나타나 있다. 여기에서, 스텝(A)∼스텝(H)는 시간의 흐름을 나타낸다. "1"∼"18"은 전극라인(202)의 번호를 나타낸다. 또한, 제8도에 나타내는 전압인가의 상태는 스텝(A)에 상당한다. 각 스텝에서 전압을 인가하기 위해 선택되는 전극라인(202)의 페어는 1개 또는 복수이다. 단, 페어의 선택에 있어서는 선택되는 페어와 페어와의 사이에 적어도 1개의 전극라인을 개재시키지 않으면 않되는 조건이 주어진다. 왜냐하면 선택되는 2개의 페어를 서로 이웃하게 하면 2개의 페어 사이의 격벽(22)에 역방향의 분극을 발생시키던지 또는 발생한 분극을 소실시키기 때문이다.
스텝(A)가 종료하면 스텝(B)가 실행된다. 스텝(B)에서는 전압이 인가되는 전극라인(204)이 한 개 옆으로 시프트되어 있다. 그리고, 그 시프트가 이후의 스텝에서 순차적으로 반복된다.
Ⅰ 스테이지의 스텝(A)∼스텝(D) 까지의 전압인가를 행하면 모든 격벽에 대해서 분극을 발생시킬수가 있다. 그러나, 각 격벽에 대해서 1회씩의 분극처리만으로 분극의 정도가 불충분한 경우에는 그 위에 Ⅱ 스테이지의 스텝(E)∼스텝(H)를 실행한다. 스텝(E)∼스텝(H)는 스텝(A)∼스텝(D)와 동일한 내용을 가진다. 이와같이 복수회의 분극처리를 행하면, 격벽의 분극의 정도를 크게할 수 있다.
이상의 분극처리공정(S103)에 있어서는 격벽(22)의 두께t가 0.1mm인 경우 인가 전압은 2KV/mm × 0.1mm = 200V가 된다. 이 때문에 저전압으로 분극처리를 실현할 수 있다. 전압의 인가시간 및 압전재료(202)의 가열온도는 종래대로이다. 예를 들면, 각각 20∼60분, 100∼150℃이다.
제4도에 나타내는 "S104"의 분리공정에서는 제8도에 일점쇄선으로 나타낸 것과 같이 압전재료(200)가 채널 어레이마다 X방향으로 복수절단되어 복수(5개)의 압전블록(12)으로 분리된다. 제4도에 도시된 "S105"의 플레이트 설치 공정에서는 분리된 각 압전블록(12)에 대해서 전면 플레이트(14) 및 후면 플레이트(16)가 접합된다.(제1도 및 제2도 참조)
이상의 "S102∼S105"에 의해서 프린트헤드(10)가 완성된다.
제10도에는 압전블록의 변형예가 도시되어 있다. 이 압전블록(30)에는 V형의 채널(32)이 형성되어 있다. 이와같은 압전블록(30)에 대해서도 본 실시예의 제조방법을 적용할 수 있다. 또 이것에 한하지 않고 전압인가에 의해 변형을 발생하는 분극처리가 필요한 격벽을 가지는 프린트헤드에 대해서 본 실시예의 제조방법을 적용할 수 있다.
또한, 상기 실시예에서는 5개의 압전블록을 동시에 제조했지만 1개씩 압전블록을 제조해도 좋고, 또 6개 이상 동시에 압전블록을 제조해도 상기 실시예와 같은 효과를 얻을 수 있다.
즉, 본 발명에 관한 제조방법에 의하면 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
얇은 격벽에 대해서 직접적으로 분극처리를 할 수 있으므로 저전압에서 분극처리를 실현할 수 있다. 특히, 다수의 채널을 가지는 X방향으로 긴 압전블록에 대해서도 저전압에서의 분극처리를 행할 수 있다.
또, 채널 및 전극의 형성후에 분극처리가 행해지기 때문에 형성가공에 기인하는 분극상태의 소실을 회피할 수 있다. 그리고, 상기 실시예에 의하면 더 복수의 압전블록(12)을 동시에 제조할 수 있기 때문에 양산화에 적합하고 제조비용을 절감할 수 있다.

Claims (13)

  1. (a) 압전재료로 이루어진 압전블록에 잉크가 충전되는 채널을 복수정렬시켜서 관통형성하는 공정;
    (b) 상기 각 채널의 내벽에 개별전극을 설치하는 공정;
    (c) 서로 인접하는 2개의 상기 개별전극에 각각 양과 음의 전압을 인가해서 상기 채널사이에 존재하는 격벽에 분극을 발생시키는 공정;
    (d) 상기 압전블록의 앞측에 잉크를 불어내는 복수의 오리피스가 형성된 전면 플레이트를 접합하는 공정; 및
    (e) 상기 압전블록의 뒷측에 잉크공급로가 형성된 후면 플레이트를 접합하는 공정으로 구성되는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공정(a)에서 설치되는 모든 상기 채널이 어레이 방향으로 만곡되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 공정(c)에서 상기 복수의 개별전극중 양 및 음의 전압이 인가되는 개별전극 페어를 순차적으로 선택해서 모든 상기 격벽에 대해서 동일방향으로 분극을 발생시키는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 한 번에 복수의 개별전극페어가 동시 선택되는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 복수페어의 동시 선택에 있어서, 전압이 인가되는 개별전극 페어의 사이에 항상 전압이 인가되지 않은 1개 이상의 개별전극을 존재시키는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 공정(c)에서 각각의 상기 격벽에 대해 전압인가에 의한 분극처리가 2회 이상 실행되는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  7. (a) 압전재료로 이루어진 압전판에, X방향으로 정렬하는 복수의 채널로 구성되며, 잉크가 충전되는 채널을 X방향으로 복수정열시켜서 관통형성된 채널 어레이를 Y방향에 복수단 형성하는 공정;
    (b) Y방향으로 정렬하는 각 채널열에 대해서, 상기 채널의 내벽에 설치된 구동부와 그 구동부에 접속해 상기 채널의 외부에 설치된 단자부로 구성된 Y방향으로 늘어서는 복수의 개별전극을 체인한 전극라인을 설치하는 공정;
    (c) 서로 인접하는 2개의 상기 전극라인에 각각 양과 음의 전압을 인가하여 Y방향으로 정열하고, X방향으로 서로 인접하는 상기 채널사이에 존재하는 복수의 격벽에 대해 동시에 분극을 발생시키는 공정;
    (d) 상기 공정(c)에서 분극처리된 후의 상기 압전판을 상기 채널 어레이마다 X방향으로 절단하여 복수의 프린트헤드요소를 형성하는 공정;
    (e) 상기 프린트헤드 요소의 앞측에 상기 채널에서 잉크를 분출하는 위한 복수의 오리피스가 형성된 전면 플레이트를 접합하는 공정; 및
    (f) 상기 프린트헤드 요소의 뒷측에 상기 채널에 잉크를 공급하기 위한 공급로가 형성된 후면 플레이트를 접합하는 공정으로 구성된 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 공정(a)에서 설치되는 모든 상기 채널은 X방향으로 만곡하는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 공정(c)에서 상기 복수의 전극라인중 양과 음의 전압을 인가하는 전극라인 페어를 순차적으로 선택해서 모든 상기 격벽에 대해서 X방향으로 동일 방향으로 분극을 발생시키는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서, 한 번에 복수의 전극라인 페어가 동시 선택되는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 복수 페어의 동시선택은 전압이 인가되는 전극라인 페어의 사이에 항상 전압이 인가되지 않는 1개 이상의 전극라인을 존재시키는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 공정(c)에서 각각의 상기 격벽에 대해 전압인가에 의한 분극처리가 2회 이상씩 실행되는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 제조방법.
  13. 잉크제트 프린트헤드의 압전재료로 구성된 격벽에 대한 분극처리방법에 있어서, 압전블록에 복수의 채널을 형성하고, 상기 각 채널 사이의 격벽에 한 쌍의 전극을 형성한 후에 상기 각각의 격벽에 대해서 분극처리를 하는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 격벽에 대한 분극처리방법.
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