KR100235503B1 - 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법 - Google Patents

복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100235503B1
KR100235503B1 KR1019970012898A KR19970012898A KR100235503B1 KR 100235503 B1 KR100235503 B1 KR 100235503B1 KR 1019970012898 A KR1019970012898 A KR 1019970012898A KR 19970012898 A KR19970012898 A KR 19970012898A KR 100235503 B1 KR100235503 B1 KR 100235503B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ceramic
multilayer ceramic
circuit
component
manufacturing
Prior art date
Application number
KR1019970012898A
Other languages
English (en)
Other versions
KR19980076257A (ko
Inventor
윤종광
이종훈
Original Assignee
윤종광
주식회사글로텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종광, 주식회사글로텍 filed Critical 윤종광
Priority to KR1019970012898A priority Critical patent/KR100235503B1/ko
Publication of KR19980076257A publication Critical patent/KR19980076257A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100235503B1 publication Critical patent/KR100235503B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/40Structural combinations of fixed capacitors with other electric elements, the structure mainly consisting of a capacitor, e.g. RC combinations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

본 발명은 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스 성분을 갖는 다층 세라믹 부품을 일체화시키는 적층 세라믹 부품의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 적층 세라믹 부품의 제조 방법은 물질 특성이 서로 상이한 다층 세라믹 부품들을 각각 제조한 후, 이들 다층 세라믹 부품들을 전도성 페이스트 및 비전도성 페이스트를 이용하여 열처리 공정으로 일체화시킴으로써, 물질조성에 대한 제약없이 손쉽게 적층 세라믹 부품을 제조할 수 있다.

Description

복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법
본 발명은 세라믹 전자 부품의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스의 복합 기능을 갖는 일체화된 적층 세라믹 부품의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 전기회로를 구성하기 위해서는, 기판상에 소정의 목적에 따라 전도성 회로 패턴을 형성하여 신호전달을 하고, 이때, 원하는 회로 특성값을 얻기 위하여 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스 성분들이 기판 상에 추가적으로 형성된다.
종래에는, 이러한 각 성분들을 기판상에 개별적으로 부착시키는 방법을 채택하였으나, 최근에는 전자부품의 경박단소화가 요구됨에 따라 이들 성분들을 하나의 부품에 내장시키는 다층 전자 부품의 제조 방법이 연구 및 개발되고 있다. 또한, 상기 성분들이 각각 내장된 전자부품들을 제조하기 위한 재료로서, 최근에는 플라스틱에 비해 기밀성 및 균일성이 우수하고, 또한, 높은 전기적 특성을 발현할 수 있는 세라믹 재료가 개발됨으로써 많은 다층 전자 부품이 세라믹으로 대체되고 있다.
그러나, 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스 특성을 나타내는 세라믹 기판들을 일체화시키기 위해서는, 각각의 특성을 갖는 세라믹 기판들을 적층시킨 상태에서, 적층된 세라믹 기판들 자체를 열처리 공정에 의해 일체화시키는 방법을 착안할 수 있으나, 이때, 세라믹 기판들 자체의 물질 성분이 서로 상이하기 때문에 각 물질 성분마다의 소성온도 및 수축율의 정도가 다르게 됨으로써, 열처리 공정에 의하여 일체화된 제품에 균열 및 휨이 발생되는 문제점이 있으며, 이로 인하여, 원하는 전기적 특성을 얻을 수 없게 되는 문제점이 발생할 수 있다. 따라서, 현재에는 위에 언급된 기술은 착상에 불과하고 실용화되지 못하고 있다.
따라서, 종래에는 캐패시턴스 및 인덕턴스 특성을 나타내는 세라믹 부품들을 각각 별도로 제조하여, 인쇄회로 기판(printed circuit board)상에 각각 실장하는 방법을 사용하였다. 따라서, 제조하는 데 번거로움이 있었으며, 제조원가가 비싸고 각 세라믹 부품들간의 공간이 생겨서 전체적으로 전자부품의 크기 및 중량이 증가되었다. 따라서, 최근의 전자부품에서 경박소형화가 요구되는 경향에 부합되지 못하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스 특성을 각각 나타낼 수 있는 다층 세라믹 부품들을 별도로 제조한 후, 이들 다층 세라믹 부품들을 전도성 페이스트 및 비전도성 페이스트를 이용하여 접착시킴으로써, 원하는 회로 특성값을 손쉽게 얻을 수 있는 복합기능의 적층 세라믹 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
제1도은 본 발명의 일실시예에 따른 저항 성분을 갖는 다층 세라믹 부품을 설명하기 위한 도면.
제2도는 본 발명의 일실시예에 따른 단위 저항성 세라믹 부품을 설명하기 위한 도면.
제3도은 제2도를 A-A' 선으로 짜른 단면도.
제4도는 본 발명의 일실시예에 따른 캐패시턴스 성분을 갖는 다층 세라믹 부품을 설명하기 위한 도면.
제5도는 본 발명의 일실시예에 따른 단위 유전성 세라믹 부품을 설명하기 위한 도면.
제6도는 제5도를 B-B' 선으로 짜른 단면도.
제7도는 본 발명의 일실시예에 따른 인덕턴스 성분을 갖는 다층 세라믹 부품을 설명하기 위한 도면.
제8도의 본 발명의 일실시예에 따른 단위 자성 세라믹 부품을 설명하기 위한 도면.
제9도는 제8도를 C-C' 선으로 짜른 단면도.
제10도는 본 발명의 일실시예에 따른 일체화된 적층 세라믹 부품을 설명하기 위한 도면.
제11도는 제10도의 절단선에 따라 절단된 개별 적층 세라믹 부품을 나타낸 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 입·출력 단자 2 : 절단선
3, 13, 23 : 세라믹층 4, 14, 24 : 비아 도체
5, 15, 25 : 내부 도체 11, 21 : 비전도성 페이스트
12, 22 : 전도성 페이스트 10 : 제1다층 세라믹 부품
20 : 제2다층 세라믹 부품 30 : 제3다층 세라믹 부품
50 : 적층 세라믹 부품
본 발명은 우선, 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스 특성을 나타내기 위하여, 2이상의 세라믹 부품들의 내부에 각각 회로 패턴이 구비된 2이상의 세라믹 부품들을 각각 제조한다. 그리고나서, 각각의 세라믹 부품들의 표면에 노출된 회로패턴상에는 전도성 페이스틀 인쇄하고, 각각의 세라믹 부품들의 표면둘레에는 비전도성 페이스트를 인쇄한다. 이어서, 세라믹부품을 적층하여 소정의 온도로 열처리하여 복합기능의 적층 세라믹부품을 제조한다.
또한, 본 발명은, 우선 2이상의 세라믹 부품들은 그들의 절단선에 따라서 구획되는 다수개의 단위 세라믹 유닛을 포함하며, 각 단위 세라믹 유닛의 내부에는 회로 패턴이 구비되어 있으며, 각 세라믹 부품 및 그에 이웃하여 적층되는 세라믹 부품은 그의 절단선이 서로 정렬로 대응하도록 배열되어 있는 2이상의 세라믹 부품들을 각각 제조한다. 그리고, 각 세라믹 부품들의 표면에 노출된 회로패턴상에는 전도성 페이스트를 인쇄하고, 각 세라믹 부품들의 절단선에는 비전도성 페이스트를 인쇄한다. 이어서, 소정온도에서 열처리를 실시하여 2이상의 세라믹 부품들을 일체화시킨다. 일체화된 2이상의 다층 세라믹 부품들을 단위 세라믹 유닛들이 일체화된 적층 세라믹 유닛으로 분리시키기 위하여 일체화된 2이상의 다층 세라믹 부품들을 그들의 절단선에 따라서 절단하여, 복합기능의 적층 세라믹 부품을 제조한다.
본 발명에 의하면, 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스의 특성을 갖는 2이상의 다층 세라믹 부품들을 각각 제조한 후, 이들 다층 세라믹 부품들을 페이스트를 이용하여 일체화시킴으로써 각 세라믹 부품들간의 소결온도 및 수축율 이방성 등과 같은 문제를 해결할 수 있으며, 또한, 제조원가를 감소시킬 수 있고, 전자부품의 크기 및 중량을 대폭 축소할 수 있다.
[실시예]
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.
제1도은 저항 성분을 갖는 제1다층 세라믹 부품을 설명하기 위한 도면으로써, 제1다층세라믹부품(10)은 세라믹과 금속이 동시소성된 다층 구조이고, 여기서, 세라믹층(3)은 저항 성분을 갖는 절연체가 사용된다. 또한, 양산성을 위하여 한번의 동시성형 공정으로 9개 이상의 단위 저항성 세라믹 부품을 포함하는 제1다층 세라믹 부품(10)을 제조한다. 도시된 바와 같이 상부 표면상에는 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스 성분이 하나의 부품에 내장되어 일체화된 적층 세라믹 부품으로부터 전기적 입·출력 단자(1)들이 노출되며, 또한, 제1다층 세라믹 부품(10)을 단위 저항성 세라믹 부품으로 절단하기 용이하도록 절단선(2)이 형성되어 있다.
제2도는 제1도의 절단선에 따라 짜른 단위 저항성 세라믹 부품을 도시한 것으로, 전술된 바와 같이 다층 세라믹 구조이고, 그 상부 표면에는 전기적 입·출력 단자(1)가 노출되며, 입·출력 단자(1)의 형태는 장착하는 방법에 따라 다양한 형태의 변형이 가능하다.
제3도은 제2도를 A-A' 선에 따라 절단한 단면도로서, 도시된 바와 같이, 단위 저항성 세라믹 부품의 각 세라믹층(3)들은 회로 패턴에 의해 전기적으로 연결되며, 상세하게는, 세라믹층(3) 내부에는 각 층들을 전기적으로 연결할 수 있도록 비아도체(4)가 형성되며, 각 세라믹층(3)들의 상부 표면에는 내부 도체(5)가 형성된다. 또한, 최상부 세라믹층 상에는 적층 세라믹 부품의 입·출력 단자 역할을 하는 내부도체(5)가 노출된다.
제4도는 캐패시턴스 성분을 갖는 제2다층 세라믹 부품을 설명하기 위한 도면으로서, 제1도에서와 마찬가지로, 제2다층 세라믹 부품(20)은 세라믹과 금속이 동시소성된 다층 구조이고, 세라믹 물질로는 유전체가 사용되며, 다수개의 단위 유전성 세라믹 부품들을 포함한다. 도시된 바와 같이, 상부 세라믹층(13) 표면의 절단선 부근에는 제1다층 세라믹 부품(10)과의 결합을 위해 비전도성 페이스트(11)로서 접착제 역할을 하는 유리 페이스트 또는 저온 소결용 페이스트가 스크린 인쇄법에 의해 형성되고, 제1다층 세라믹 부품(10)의 하부면에 노출된 비아 도체(4)와 제2다층 세라믹 부품(20)의 상부 세라믹층(13)에 노출된 비아 도체(도시되지 않음)와의 전기적 접속을 위해 상기 제2다층 세라믹 부품(20)의 비아 도체 상에 전도성 페이스트(12)가 형성된다.
제5도는 제4도의 절단선에 따라 절단된 단위 유전성 세라믹 부품을 도시한 도면으로서, 상부 세라믹층(13)의 표면 가장자리 부분에는 저항 성분을 갖는 제1다층 세라믹 부품(10)과의 결합을 위해 비전도성 페이스트(11)가 형성되고, 비아 도체(도시되지 않음)부분에는 전기적 접속을 위한 전도성 페이스트(12)가 형성된다.
제6도은 제5도를 B-B' 선으로 짜른 단면도로서, 각 세라믹층(13)들의 내부에는 비아 도체(14) 및 내부 도체(15)에 의해 전기회로가 구성되어 있으며, 상부 세라믹층(13) 표면의 가장자리 부분에는 앞서 제조한 제1다층 세라믹 부품(10)과의 결합을 위한 비전도성 페이스트(11)가 스크린 인쇄법에 의해 형성되며, 비아 도체(14)상에는 상기 제1다층 세라믹 부품(10)과의 전기적 접속을 위해 전도성 페이스트(12)가 형성된다.
제7도은 본 발명에 따라 제조된 인덕턴스 성분을 갖는 제3다층 세라믹 부품을 설명하기 위한 도면으로서, 앞서와 마찬가지로, 제3다층 세라믹 부품(30)은 세라믹과 금속의 다층 구조이고, 세라믹 물질로는 자성체가 사용되며, 다수개의 단위 자성 세라믹 부품들을 포함한다. 상부 세라믹층(23) 상부 표면의 절단선(도시되지 않음) 부분에는 제2다층 세라믹 부품(30)과의 결합을 위해 비전도성 페이스트(21)가 형성되고, 내부에는 전기적 접속을 위한 전도성 페이스트(22)가 형성된다.
제8도은 단위 자성 세라믹 부품을 도시한 도면으로서, 상부 세라믹층(23) 표면의 가장자리 부분에는 제2다층 세라믹 부품(20)과의 결합을 위한 비전도성 페이스트(21)가 형성되고, 비아 도체(도시되지 않음) 부분에는 전기적 접속을 위한 전도성 페이스트(22)가 형성된다.
제9도는 제8도을 C-C' 선으로 짜른 단면도로서, 도시된 바와 같이, 상부 세라믹층(23) 표면의 가장자리 부분에는 앞서 제조한 제2다층 세라믹 부품(20)과의 결합을 위한 비전도성 페이스트(21)가 형성되고, 최상부 세라믹층(23)의 노출된 비아도체(24) 상에는 전도성 페이스트(22)가 형성된다.
제10도은 본 발명에 따라 상기와 같은 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스 성분들을 각각 포함하는 제1, 제2 및 제3 다층 세라믹층(10, 20, 30)들을 일체화시킨 적층 세라믹 부품(50)을 도시한 도면이다. 우선, 내부에 각각 회로패턴이 구비된 제1, 2 및 3 다층 세라믹부품(10, 20, 및 30)을 각각 제조한다. 제2다층 세라믹부품(20) 및 제3 다층 세라믹부품(30) 각각의 상부표면에서 노출된 회로패턴상에는 전도성 페이스트를 적층하고, 절단선상에는 비전도성 페이스트를 인쇄한다. 그리고 나서, 다층 세라믹부품들(10, 20, 및 30)을 적층하여 소정온도에서 다층세라믹부품들을 소결한다. 이 때, 소결에 의하여, 유리 페이스트내의 유리질이 이동하여 서로 결합됨으로써, 각 부품들간의 결합이 이루어지고 또한 소결에 의하여 전도성 페이스트는 각 부품들의 세라믹층에 구비된 금속 회로 패턴들이 전기적으로 접속된다. 여기서 소결온도는 각 다층 세라믹 부품의 제조시의 소결 온도보다 낮은 온도이다. 이는 각 다층 세라믹부품들을 결합시키기 위한 열처리공정에 의하여 전기적 특성에 영향을 미치지 않도록 하기 위함이다.
제11도은 상기 제10도을 그의 절단선을 따라 짜른 개별 적층 세라믹 부품을 나타낸 것으로, 상부에는 저항 성분을 갖는 제1다층 세라믹 부품(10)이 위치되고, 그 하부에는 캐피시턴스 성분을 갖는 제2다층 세라믹 부품(20)이 위치되며, 그 하부에는 인덕턴스 성분을 갖는 제3다층 세라믹 부품(30)이 위치된다. 또한 저항 성분을 갖는 제1다층 세라믹 부품(10)의 표면에는 일체화된 적층 세라믹 부품의 전기적 입·출력 단자(1)가 노출된다. 본 실시예에서 비전도성 페이스트는 유리 페이스트가 바람직하다. 또한, 본 실시예에서 각층의 세라믹부품은 그의 표면상 또는 그의 내부에 위에서 설명한 회로패턴이외에 필요에 따라서, R회로, L회로, C회로, RC회로, RL회로, LC회로, RLC회로, IC 칩으로 이루어진 선택된 적어도 하나 이상의 것을 포함할 수 있다. 또한 열처리 공정시 다층 세라믹 부품들간의 접착력을 향상시키기 위하여 일정 하중을 가하면서 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 위에서 다층 세라믹부품들을 일체화시키기 위하여 사용된 전도성 페이스트 및 비전도성 페이스트는 각각 동일물질인 것이 바람직하다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명은 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스 성분을 갖는 다층 세라믹 부품을 각각 제조한 후, 이들 다층 세라믹 부품들을 전도성 및 비전도성 페이스트를 이용하여 일체화시킴으로써, 한 번의 동시 소성 공정으로 적층 세라믹 부품을 제조할 경우에 발생되는 소결 수축의 이방성등과 같은 문제를 극복할 수 있으며, 이에 따라, 복합기능의 적층 세라믹 부품의 특성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
한편, 여기에서는 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 예를 들면, 따라서, 이하, 특허청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.

Claims (16)

  1. 2이상의 다층세라믹 부품들을 일체화시키기 위한 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법으로서, 상기 2이상의 다층세라믹 부품들의 각각의 내부에 회로 패턴이 구비된 2이상의 다층세라믹 부품들을 각각 제조하는 공정; 및 상기 2이상의 다층세라믹 부품들의 표면에 노출된 회로패턴상에는 전도성 페이스트를 인쇄하고, 상기 표면의 둘레에는 비전도성 페이스트를 인쇄하여 소정의 온도로 열처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 비전도성 페이스트 및 전도성 페이스트는 각각 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 다층세라믹 부품은 절연체 세라믹, 유전체 세라믹, 또는 자성체 세라믹인 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 다층세라믹부품은 그의 표면상 또는 그의 내부에 R회로, L회로, C회로, RC회로, RL회로, LC회로, RLC회로, IC 칩으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나이상의 것을 포함하는 것을 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 비전도성 페이스트는 유리 페이스트인 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 비전도성 페이스트는 저온 소결용 페이스트인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 열처리 온도는 각각의 다층 세라믹 부품들을 제조하기 위한 각각의 소결 온도보다 낮은 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 열처리 공정시 다층 세라믹 부품들간의 접착력을 향상시키기 위하여 일정 하중을 가하면서 실시하는 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  9. 2이상의 세라믹 부품들을 일체화시키기 위한 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법으로서, 상기 2이상의 세라믹 부품들은 그들의 절단선에 따라서 구획되는 다수개의 단위 세라믹 유닛을 포함하며, 상기 각 단위 세라믹 유닛의 내부에는 회로 패턴이 구비되어 있으며, 상기 각 세라믹 부품 및 그에 이웃하여 적층되는 세라믹 부품은 그의 절단선이 서로 정렬로 대응하도록 배열되어 있는 2이상의 세라믹 부품들을 각각 제조하는 공정; 상기 2이상의 세라믹 부품들의 표면에서 노출된 회로패턴상에는 전도성 페이스트를 인쇄하고, 상기 절단선상에는 비전도성 페이스트를 인쇄한 후에, 소정온도에서 열처리를 실시하여 상기 2이상의 세라믹 부품들을 일체화시키는 공정; 및 상기 일체화된 2이상의 다층 세라믹 부품들을 단위 세라믹 유닛들로 분리시키기 위하여 상기 일체화된 2이상의 다층 세라믹 부품들을 그들의 절단선에 따라서 절단하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 비전도성 페이스트 및 전도성 페이스트는 각각 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  11. 제9항에 있어서, 상기 다층세라믹 부품은 절연체 세라믹, 유전체 세라믹, 또는 자성체 세라믹인 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  12. 제9항에 있어서, 상기 각 세라믹부품은 그의 표면상 또는 그의 내부에 R회로, L회로, C회로, RC회로, RL회로, LC회로, RCL회로, IC 칩으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나이상의 것을 포함하는 것을 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  13. 제9항에 있어서, 상기 비전도성 페이스튼 유리 페이스트인 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  14. 제9항에 있어서, 상기 비전도성 페이스트는 저온 소결용 페이스트인 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  15. 제9항에 있어서, 상기 열처리 온도는 다층 세라믹 부품들을 제조하기 위한 각각의 소결 온도보다 낮은 온도인 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
  16. 제9항에 있어서, 상기 열처리 공정시 다층 세라믹 부품들간의 접착력을 향상시키기 위하여 일정 하중을 가하면서 실시하는 것을 특징으로 하는 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법.
KR1019970012898A 1997-04-08 1997-04-08 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법 KR100235503B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970012898A KR100235503B1 (ko) 1997-04-08 1997-04-08 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970012898A KR100235503B1 (ko) 1997-04-08 1997-04-08 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19980076257A KR19980076257A (ko) 1998-11-16
KR100235503B1 true KR100235503B1 (ko) 1999-12-15

Family

ID=19502191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970012898A KR100235503B1 (ko) 1997-04-08 1997-04-08 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100235503B1 (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
KR19980076257A (ko) 1998-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7100276B2 (en) Method for fabricating wiring board provided with passive element
US5224021A (en) Surface-mount network device
KR101215303B1 (ko) 엘티씨씨 인덕터를 포함하는 전자 장치
JPH04299889A (ja) キャパシタ装置
KR100344923B1 (ko) 하이브리드 적층체 및 이의 제조방법
US7649252B2 (en) Ceramic multilayer substrate
JPH06112655A (ja) コイル内蔵多層印刷配線板およびその製造方法
US6785941B2 (en) Method for manufacturing multi layer ceramic components
US20020026978A1 (en) Multilayer ceramic substrate and manufacturing method therefor
KR100447032B1 (ko) 표면이 평탄한 저항 내장형 저온 동시소성 다층 세라믹기판 및 그 제조방법
EP0424796A2 (en) Injection molded printed circuits
JP2001320168A (ja) 配線基板およびその製造方法、ならびにそれを用いた電子装置
KR100235503B1 (ko) 복합기능의 적층 세라믹 부품의 제조 방법
JP2000340955A (ja) 受動部品内蔵複合多層配線基板およびその製造方法
JP2002043758A (ja) 多層基板及びその製造方法
KR100233464B1 (ko) 고밀도 다기능의 적층형 전자세라믹 부품의 제조 방법
JP4077625B2 (ja) 低温焼成磁器組成物および低温焼成磁器の製造方法
JPH05226506A (ja) 表面実装型複合部品及びその製造方法
KR100764857B1 (ko) 저온 동시소성 세라믹 기판
KR20000045202A (ko) 저온동시소성세라믹의 내장 커패시터 제조방법
JPH0274099A (ja) 電子部品内蔵多層樹脂基板
KR100592998B1 (ko) 저온 동시소성 세라믹 모듈의 내장형 회로소자의 트리밍방법
KR100896599B1 (ko) 세라믹 다층 기판 및 그 제조 방법
JPH10135637A (ja) セラミック多層配線基板
JP2728583B2 (ja) 半導体素子収納用パッケージの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20020617

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee