KR100213438B1

KR100213438B1 - 퀄츠튜브 건조장치

Info

Publication number: KR100213438B1
Application number: KR1019970002030A
Authority: KR
Inventors: 김유권; 안웅관
Original assignee: 윤종용; 삼성전자주식회사
Priority date: 1997-01-24
Filing date: 1997-01-24
Publication date: 1999-08-02
Also published as: KR19980066454A

Abstract

본 발명은 고온으로 가열된 에어를 세정 완료된 퀄츠튜브로 송풍시켜 건조시간을 단축함으로써 설비의 가동중단 시간을 단축하고 생산성을 향상시키도록 한 퀄츠튜브 건조장치에 관한 것이다.

따라서, 본 발명의 목적은 세정 완료된 퀄츠튜브의 건조시간을 단축하여 설비의 생산성을 향상시키도록 한 퀄츠튜브 건조장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 퀄츠튜브 건조장치는 송풍장치와 필터의 사이에 제1가열장치를 설치하고 또한 질소주입관에 제2가열장치를 설치하여 송풍장치로부터 송풍되는 에어를 제1가열장치를 거치게 하는 동안 60~70℃의 고온으로 가열시킨 후 세정 완료된 퀄츠튜브를 지나게 하고 또한 질소를 제2가열장치가 설치된 영역의 질소주입관을 지나는 동안 가열시킨 후 지지대를 건조시켜 퀄츠튜브의 총 건조시간을 단축하는 것을 특징으로 한다.

Description

퀄츠튜브 건조장치

본 발명은 퀄츠튜브 건조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 고온으로 가열된 에어를 세정 완료된 퀄츠튜브로 송풍시켜 건조시간을 단축함으로써 설비의 가동중단 시간을 단축하고 생산성을 향상시키도록 한 퀄츠튜브 건조장치에 관한 것이다.

일반적으로 널리 알려진 바와 같이, 집적회로 제조라인의 메인(main) 설비들에 부수적으로 설치되는 서브 설비들의 종류는 매우 다양하다. 이러한 서브 설비들은 메인 설비들 자체에 설치되지 않으면서도 외적으로 집적회로의 특성에 영향을 미치는 요소를 많이 갖고 있다. 이러한 연유로 인해 메인 설비들 자체에 설치되는 부품들 또한 중요한 역할을 하고 있다.

이러한 부품들중 확산, 산화 CVD용 퀄츠튜브를 또한 중요한 역할을 하므로 가능한 한 깨끗하게 유지시켜 주는 것이 필요하다. 그런데, 확산, 산화 CVD용 설비의 가동시간이 길어짐에 따라 반응가스를 포함한 여러 가지의 불순물에 의해 오염되므로 설비의 공정 신뢰성을 확보하기 위해 일정한 사용기간이 경과하면, 퀄츠튜브의 세정작업이 실시된다.

이때, 오염된 퀄츠튜브들이 소정의 케미컬이 담겨진 여러 개의 세정조에 순차적으로 거치면서 퀄츠튜브의 표면으로부터 오염물질이 제거되고 최종적으로 순수(deionized water)에 의해 세척된다. 이때, 퀄츠튜브의 세정작업에 소요되는 총 시간은 약 3 시간 정도이다.

이후, 퀄츠튜브들이 퀄츠 스토커(qualtz stocker)라고 불리는 건조장치에서 자연건조방식으로 건조되고 있다.

제1도는 종래 기술에 의한 퀄츠튜브 건조장치의 내부구조를 나타낸 측면도이다.

제1도에 도시된 바와 같이, 퀄츠튜브 건조장치(10)는 본체의 전면 하측부에 도아(11)가 설치되고, 본체의 하부 내측면에 퀄츠튜브(도시안됨)를 지지할 지지대(13)가 설치되고, 지지대(13)로부터 상측으로 일정한 높이의 공간을 두고 필터(15)가 설치되고, 필터(15)로부터 상측으로 일정한 거리를 두고 송풍장치(17)가 설치되고, 질소공급관(19)의 노즐(도시안됨)이 지지대(13)의 하부면으로부터 소정 거리를 두고 위치하고 있다. 여기서, 도아(11)에 투시창들(11a)이 설치되고, 도아(11)의 하측부에 슬롯(slot) 형태의 댐퍼들(damper)(11b)이 형성되어 있다. 본체의 하부에 수납식 물받이(12)가 설치되어 있다. 그리고, 본체의 전면 중간부에 제어용 패널(14)이 설치되어 있다.

이와 같이 구성되는 퀄츠튜브 건조장치의 작용을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 작업자가 통상적인 방법에 의해 세정 완료된 퀄츠튜브들(도시안됨)의 표면으로부터 수분을 완전히 제거하기 위해 퀄츠튜브들을 퀄츠튜브 건조장치(10)에서 충분히 건조시킨다.

이를 좀 더 상세히 언급하면, 집적회로 제조라인의 온도가 27℃로 유지되고 건조장치의 내부공간이 이와 동일한 온도로 유지되고 있는 상태에서 작업자가 건조장치의 가동을 개시하면, 팬(fan)과 같은 송풍장치(17)가 회전하고 이에 따라 댐퍼들(11b)을 거쳐 유입된 에어가 상기 내부공간을 지나고, 필터(15)에서 파티클이 제거된 후 외부로 배기된다. 또한, 질소가 질소공급관(19)의 노즐로부터 상기 지지대(13)로 미량 퍼징된다.

이후, 작업자가 도아(11)를 개방하고 상기 퀄츠튜브들을 지지대(13) 위에 놓은 후 도아(11)를 닫는다. 상기 퀄츠튜브의 표면에 남아 있는 수분이 자체의 중력에 의해 퀄츠튜브의 표면을 따라 아래로 흘러 내려 물받이(12)에 모여진다.

이러한 상태에서 어느 정도 시간이 경과하면, 수분이 더 이상 퀄츠튜브의 표면을 따라 아래로 흘러내리지 않고 표면에 그대로 남아 있게 된다. 이러한 수분은 내부공간의 27℃의 온도에서 자연건조되고, 퀄츠튜브와의 접촉으로 인해 남아 있는 지지대(13)의 수분이 퍼징되는 미량의 질소에 의해서 제거된다.

작업자가 도아(11)의 투시창(11a)을 통하여 퀄츠튜브의 건조상태를 확인하고 소정의 시간이 경과하여 퀄츠튜브의 건조가 충분히 이루어진 것으로 확인되면, 도아(11)를 개방하고 퀄츠튜브들을 꺼내어 상기 확산설비의 가동을 위해 확산설비에 장착한다.

그러나, 종래의 퀄츠튜브 건조장치는 내부공간의 온도가 27℃로 유지된 상태에서 퀄츠튜브를 자연건조시키므로 퀄츠튜브를 완전히 건조하는데 약 12시간을 필요로 한다. 이는 퀄츠튜브의 세정시간에 비하여 매우 많이 길어 설비가 장시간동안 가동중단되고 이로 인해 설비의 생산성 향상에 장애가 되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 세정완료된 퀄츠튜브의 건조시간을 단축하여 설비의 생산성을 향상시키도록 한 퀄츠튜브 건조장치를 제공하는데 있다.

제1도는 종래 기술에 의한 퀄츠튜브 건조장치의 내부구조를 나타낸 측면도.

제2도는 본 발명에 의한 퀄츠튜브 건조장치의 내부구조를 나타낸 측면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 퀄츠튜브 건조장치 11 : 도아

11a : 투시창 11b : 댐퍼(damper)

12 : 물받이 13 : 지지대

14 : 제어용 패널 15 : 필터

17 : 송풍장치 19 : 질소공급관

20 : 퀄츠튜브 건조장치 21 : 제1가열장치

23 : 제2가열장치 25 : 필터

27 : 송풍장치

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 퀄츠튜브 건조장치는 송풍장치와 필터의 사이에 제1가열장치를 설치하고 또한 질소주입관에 제2가열장치를 설치하여 송풍장치로부터 송풍되는 에어를 제1가열장치를 거치게 하는 동안 60-70℃의 고온으로 가열시킨 후 세정 완료된 퀄츠튜브를 지나게 하고 또한 질소를 제2가열장치가 설치된 영역의 질소주입관을 지나는 동안 가열시킨 후 지지대의 수분을 제거하여 퀄츠튜브의 건조시간을 단축하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 의한 퀄츠튜브 건조장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 종래의 부분과 동일한 부분에는 동일한 부호를 부여하도록 한다.

제2도는 본 발명에 의한 퀄츠튜브 건조장치의 내부구조를 나타낸 측면도이다.

제2도에 도시된 바와 같이, 퀄츠튜브 건조장치(20)는 제1가열장치(21)가 필터(25)와 송풍장치(27) 사이에 설치되고 또한 질소공급관(19)에 제2가열장치(23)가 설치된 것을 제외하면 제1도의 구조와 동일한 구조로 이루어져 있다. 여기서, 송풍장치(27)는 에어를 건조장치의 내부공간으로 송풍하는 것이고 필터(25)는 고온용 필터이다.

이와 같이 구성되는 퀄츠튜브 건조장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

먼저, 작업자가 통상적인 방법에 의해 세정 완료된 퀄츠튜브들(도시안됨)의 표면으로부터 수분을 완전히 제거하기 위해 퀄츠튜브들을 퀄츠튜브 건조장치(20)에서 충분히 건조시킨다.

이를 좀 더 상세히 언급하면, 작업자가 건조장치의 가동을 개시하기 위해, 질소가 질소공급관(19)의 노즐로부터 지지대(13)로 미량 퍼징되고, 또한 송풍장치(27)가 집적회로 제조라인의 에어를 건조장치의 후면으로부터 내부공간으로 대량 송풍한다. 상기 에어는 제1가열장치(21)에서 27-70℃의 온도, 바람직하게는 60-70℃의 고온으로 가열되고 필터(25)에서 에어를 포함된 파티클이 제거된다. 이렇게 가열된 에어가 댐퍼들(11b)을 거쳐 건조장치의 전면으로 배기된다.

이러한 상태에서 어느 정도 시간이 경과하면, 수분이 더 이상 퀄츠튜브의 표면을 따라 아래로 흘러내리지 않고 표면에 그대로 남아 있게 된다. 이러한 수분은 상기 고온의 에어에 의해 신속히 제거된다. 상기 퀄츠튜브와 접하는 지지대(13)의 수분이 퍼징되는 미량의 질소에 의해서 제거되는데 질소가 제2가열장치(23)에 의해 소정의 온도로 가열되므로 지지대(13)의 수분이 완전히 제거된다.

작업자가 도아(11)의 투시창(11a)을 통하여 퀄츠튜브의 건조상태를 확인하고 소정의 시간이 경과하여 퀄츠튜브의 건조가 충분히 이루어진 것으로 확인되면, 도아(11)를 개방하고 퀄츠튜브들을 꺼내어 해당하는 확산설비의 가동을 위해 확산설비에 장착한다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 퀄츠튜브 건조장치는 송풍장치가 에어를 외부로부터 내부공간으로 대량 송풍하고 제1가열장치에서 고온으로 가열하여 세정 완료된 퀄츠튜브를 건조시키고 또한 질소공급관에 제2가열장치를 설치하여 고온의 질소를 퀄츠튜브의 하측부로 퍼징하여 건조시켜 퀄츠튜브의 상, 하측부 모두 완전히 건조시킨다. 따라서, 퀄츠튜브의 건조시간이 상당히 단축되어 설비의 가동중단 시간을 단축하고 생산성을 향상시킨다.

Claims

본체 내부의 지지대에 놓여진 세정 완료된 퀄츠튜브를 에어로 건조시키는 퀄츠튜브 건조장치에 있어서, 상기 본체의 외부로부터 상기 지지대에 놓여진 상기 퀄츠튜브로 에어를 송풍하는 송풍장치; 상기 송풍되는 에어를 소정의 온도로 가열하는 제1가열장치; 상기 가열된 에어가 상기 퀄츠튜브에 전달되기 전에 상기 가열된 에어를 필터링하는 필터; 상기 지지대의 수분을 제거하기 위한 질소를 퍼징하는 질소공급관; 및 상기 질소를 가열시키는 제2가열장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 퀄츠튜브 건조장치.
제1항에 있어서, 상기 소정의 온도가 27-70℃인 것을 특징으로 하는 퀄츠튜브 건조장치.
제2항에 있어서, 상기 소정의 온도가 60-70℃인 것을 특징으로 하는 퀄츠튜브 건조장치.