KR100209764B1 - 액체량 계측용 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조에 사용되는 규소박막의 세정용 장치에 관한 것으로 특히, 정확한 액량조절과 액량소비를 최소화하도록 한 액체량 계측용 장치(Meassuring System)에 관한 것이다.

이와같은 본 발명의 액체량 계측용 장치는 화학약품이 채워지는 계측량 탱크; 상기 계측량 탱크와 연결되어 화학약품의 액량을 조절하는 S 자형 계측관; 상기 S 자형 계측관과 연결되는 서브 계측관; 그리고 상기 서브 계측관에 연결되어 화학약품의 흐름을 조절하는 센서부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

Description

액체량 계측용 장치

본 발명은 반도체 제조에 사용되는 규소박막의 세정용 장치에 관한 것으로 특히, 정확한 액량조절과 액량소비를 최소화하도록 한 액체량 계측용 장치(Meassuring System)에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조에 사용되는 규소박막의 세정용 장치는 세정을 원하는 규소박막을 작업전 준비하는 로우더(Loader)와, 상기 규소박막에 불필요하게 흡착되어 있는 이물질 및 산화막을 제거하는 불소(HF)+탈이온수 믹싱(Mixing)조와, 상기 탈이온수를 이용하기전 HF+탈이온수 믹싱조에서 묻은 화공약품을 저장하는 오버 프로우(Over Flow)조와, 반도체 공정에서 불필요한 유기물 또는 무기물을 화공약품을 이용하여 세정하는 SC-1조와, 뜨거운 탈이온수를 이용하여 상기 공정에서의 화공약품을 세정하는 핫 린스(Hot Rinse)조와, 차가운 탈이온수를 이용하여 상기 공정에서의 화공약품을 세정하는 파이날 린스(Final Rinse)와, 상기 규소박막에 묻어있는 탈이온수를 제거하는 스핀 드라이어(Spin Dryer)와, 상기 HF+탈이온수 믹싱조의 HF와 탈이온수의 정확한 비율을 조절하는 HF 계측용 장치와, 상기 계측용 장치에 HF를 공급하는 HF 공급라인과, 상기 계측용 장치로 부터 넘친 HF가 외부로 빠져나가는 드레인 라인(Drain Line)과, 상기 계측용 장치의 계측관에 흐르는 량을 감지하는 센서와, 상기 HF의 액량을 조절하는 계측관과, 계측된 HF가 믹싱탱크로 공급하는 믹싱탱크 공급관과, 상기 계측된 HF가 믹싱탱크로 공급되도록 인가하는 믹싱탱크 공정값과, 상기 믹싱탱크에 탈이온수를 공급하는 탈이온수 공급관과, 계측용 탱크 및 탈이온수 계측용 값으로 이루어진다.

상기와 같은 일반적인 반도체 제조에 사용되는 규소박막의 세정용 장치의 동작은 HF+탈이온수 믹싱조에 정확한 비율의 믹싱된 HF 화학약품을 공급하기 위해서는 HF 공급라인에서 계측용 탱크로 HF를 공급한다.

상기 계측용 탱크에 일정량의 HF가 공급되어 계측관이 넘치게 된다. 이때 상기 계측관은 비율을 계산하여 계측관의 높이를 조절해둔 상태이다.

상기 넘쳐흐르는 HF는 계측관을 통해 센서부에서 검출이 되어 상기 HF 공급라인에서 공급되는 HF의 공급을 중단시킨다. 이어, 상기 믹싱 탱크 공급값을 열어 계측용 탱크에 일정하게 담긴 HF를 믹싱탱크에 공급한다.

그리고 탈이온수 공급관을 열고 탈이온수를 공급하고, 탈이온수 계측용 값이 스톱 센서부에 감지가 되면 탈이온수 공급을 중단한다. 이어, 믹싱된 HF와 탈이온수를 상기 HF+탈이온수조로 공급하여 일정한 비율속에서 규소박막 식각 및 세정을 실시한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 액체량 계측용 장치를 설명하면 다음과 같다.

제1도는 종래의 액체량 계측용 장치를 나타낸 개략도이다.

제1도에 도시된 바와같이 계측량 탱크(Tank)(11)와 연결되어 불소(HF)의 액량을 조절하는 계측관(12)과, 상기 계측량 탱크(11)와 연결된 계측관(12)에 HF의 흐름을 조절하는 2중의 센서부(13)로 이루어진다.

상기와 같이 구성된 액체량 계측용 장치의 동작은 HF+탈이온수 공급조(도면에 도시하지 않음)에 정확한 비율로 믹싱(Mixing)된 HF 화학약품을 공급하기 위해서는 HF 공급라인를 통해 HF를 계측량 탱크(11)로 공급한다. 이어, 일정량의 HF가 공급되면 계측관(12)을 넘치게 되고, 이때 계측관(12)은 비율을 계산하여 관의 높이를 조정해둔 상태이다.

상기 계측관(12)을 넘쳐흐른 HF는 계측관(12)을 타고 2중의 센서부(13)에서 검출이 되어 상기 HF 공급라인에서 공급되는 HF를 중단시킨다.

그러나 이와같은 종래의 액체량 계측용 장치에 있어서 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 계측관을 넘쳐흐르는 HF가 감지용 센서를 통과할때 센서의 감도에 따라 많은 량의 HF가 흐르기 때문에 정지신호를 보냄으로 인해 HF의 손실을 가져온다.

둘째, 센서의 감도 에러(Error) 소지를 방지하기 위해 감지용 센서를 2중 이상으로 설치하기 때문에 비용(Cost)이 증가한다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 많은 량의 HF가 넘치는 것을 방지하고, 비용을 절감할 수 있도록 한 액체량 계측용 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

제1도는 종래의 액체량 계측용 장치를 나타낸 개략도.

제2도는 본 발명의 제1실시예에 따른 액체량 계측용 장치를 나타낸 개략도.

제3도는 본 발명의 제2실시예에 따른 액체량 계측용 장치를 나타낸 개략도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

21,31 : 계측용 탱크 22,32 : S 자형 계측관

23,33 : 센서부 34 : 서브 계측관

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1실시예에 따른 액체량 계측용 장치는 화학약품이 채워지는 계측량 탱크; 상기 계측량 탱크와 연결되어 화학약품의 액량을 조절하는 S 자형 계측관; 그리고 상기 계측량 탱크와 연결된 S 자형 계측관에 화학약품의 흐름을 조절하는 센서부를 포함하여 구성되며, 본 발명의 제2실시예에 따른 액체량 계측용 장치는 화학약품이 채워지는 계측량 탱크; 상기 계측량 탱크와 연결되어 화학약품의 액량을 조절하는 S 자형 계측관; 상기 S 자형 계측관과 연결되는 서브 계측관; 그리고 상기 서브 계측관에 연결되어 화학약품의 흐름을 조절하는 센서부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 액체량 계측용 장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

제2도는 본 발명의 제1실시예에 따른 액체량 계측용 장치를 나타낸 개략도이다.

제2도에 도시된 바와같이 계측량 탱크(Tank)(21)와 연결되어 불소(HF)의 액량을 조절하는 S 자형 계측관(22)과, 상기 계측량 탱크(21)와 연결된 S 자형 계측관(22)에 HF의 흐름을 조절하는 센서부(23)로 이루어진다.

상기와 같이 구성된 액체량 계측용 장치의 동작은 HF+탈이온수 공급조(도면에 도시하지 않음)에 정확한 비율로 믹싱(Mixing)된 HF 화학약품을 공급하기 위해서는 HF 공급라인을 통해 HF를 계측량 탱크(21)로 공급한다. 이어, 일정량의 HF가 공급되면 S 자형 계측관(22)을 넘치게 되고, 이때 S 자형 계측관(22)은 비율을 계산하여 계측관의 높이를 조정해둔 상태이다.

상기 S 자형 계측관(22)을 넘쳐흐른 HF는 S 자형 계측관(22)에 채워져서 A만큼 넘치게 된다. 상기 S 자형 계측관(22)의 크기(Size)에 의해 A' 만큼 오버(Over)되면 센서부(23)에서 이를 감지하여 상기 HF 공급라인에서 공급되는 HF를 중단시킨다.

제3도는 본 발명의 제2실시예에 따른 액체량 계측용 장치를 나타낸 개략도이다.

제3도에 도시된 바와같이 계측량 탱크(Tank)(31)와 연결되어 불소(HF)의 액량을 조절하는 S 자형 계측관(32)과, 상기 S 자형 계측관(32)과 연결되는 서브(Sub) 계측관(34)과, 상기 서브 계측관(34)에 연결되어 HF의 흐름을 조절하는 센서부(33)로 이루어진다.

상기와 같이 구성된 액체량 계측용 장치의 동작은 HF+탈이온수 공급조(도면에 도시하지 않음)에 정확한 비율로 믹싱(Mixing)된 HF 화학약품을 공급하기 위해서는 HF 공급라인을 통해 HF를 계측량 탱크(31)로 공급한다. 이어, 일정량의 HF가 공급되면 S 자형 계측관(32)을 넘치게 되고, 이때 상기 S 자형 계측관(32)은 비율을 계산 관의 높이를 조정해둔 상태이다.

상기 S 자형 계측관(32)의 크기에 인해 B 만큼 오버되면, 상기 서브 계측관(34)에 채워져서 B' 만큼 채워지게 되면 센서부(33)가 작동하여 상기 HF 공급라인에서 공급되는 HF를 중단시킨다.

이상에서 설명한 바와같이 본 발명의 액체량 계측용 장치에 있어서 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, S 자형 계측관에 채워지는 HF량을 정확히 감지함으로써 HF가 넘치는 현상을 방지한다.

둘째, S 자형 계측관에 서브 계측관을 연결함으로써 센서부의 에러를 완전히 해소함으로써 비용이 절감된다.

Claims (3)

1. 화학약품이 채워지는 계측량 탱크; 상기 계측량 탱크와 연결되어 화학약품의 액량을 조절하는 S 자형 계측관; 그리고 상기 계측량 탱크와 연결된 S 자형 계측관에 화학약품의 흐름을 조절하는 센서부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액체량 계측용 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 화학약품은 HF임을 특징으로 하는 액체량 계측용 장치.
3. 화학약품이 채워지는 계측량 탱크; 상기 계측량 탱크와 연결되어 화학약품의 액량을 조절하는 S 자형 계측관; 상기 S 자형 계측관과 연결되는 서브 계측관; 상기 서브 계측관에 연결되어 화학약품의 흐름을 조절하는 센서부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액체량 계측용 장치.