KR0171104B1 - 반도체 제조장비의 반응액 측정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반응액을 공급하는 측정탱크와, 측정탱크에 연결되어, 일측에 개폐밸브를 갖고 중앙공급장치 내의 반응액을 공급하는 공급관과, 상부가 측정탱크 내에 삽입되고, 하부의 구경을 점차적으로 축소하여 형성시키는 반응액측정관과, 반응액측정관 하단에 형성되어, 반응액측정관 내의 반응액을 감지하는 센서부로 이루어진 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에 관한 것이다.

Description

반도체 제조장비의 반응액 측정장치

제1도는 본 발명의 반도체 제조장비의 반응액측정장치를 설명하기 위해 도시한 도면이다.

제2도는 본 발명의 반도체 제조장비의 반응액측정장치를 설명하기 위해 도시한 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10,20 : 측정탱크 11,21 : 개폐밸브

12,22 : 제1반응액공급관 13,23 : 반응액측정관

14 : 센서 15,25 : 제2반응액공급관

16,26 : 배출관 17,27 : 3중밸브

24 : 센서부 24-1 : 반응액멈춤센서

24-2 : 반응액감지센서 C,C' : 상한선

본 발명은 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에 관한 것으로, 특히 반응액 측정시 반응액이 증발하여 발생한 수증기(hume)로 인한 측정상의 오류를 방지하여 장비의 신뢰도를 향상시키는 데 적당하도록 한 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에 관한 것이다.

반도체 제조장비의 반응액 측정장치는 반응조 내에 일정량의 반응액을 공급하기 위하여 중앙공급장치 내에서 공급되어지는 반응액량을 측정하는 장치이다.

제1도는 종래 반도체 제조장비의 반응액 측정장치를 설명하기 위해 도시한 도면으로, 이하 첨부된 도면을 참고로 하여 종래의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치를 설명하면 다음과 같다.

종래의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치 제1도와 같이, 반응액을 공급하는 측정탱크(TANK)(10)와, 측정탱크(10)에 연결되고, 일측에 개폐밸브(ON/OFF VAL VE)(11)를 갖으며, 중앙공급장치 내의 반응액을 측정탱크(10)에 공급하는 제1반응액공급관(12)과, 상단이 측정탱크(10) 내에 삽입되고, 상단의 입구가 측정탱크(10)의 상한선(C)에 형성된 반응액측정관(13)과, 반응액측정관(13)에 형성되어, 반응액측정관(13) 내에 반응액이 흐르는 것을 감지하는 센서(SENSOR)(14)와, 반응액측정관(13)의 하단에 연결되어, 반응액측정관(13) 내의 반응액을 반응조로 공급하는 제2반응액공급관(15)과, 반응액측정관(13)의 하단에 연결되어, 반응액측정관(13) 내의 반응액을 배출하기 위한 배출관(16)과, 반응액측정관(13)과 제2반응액공급관(15)의 배출관(16)을 연결하는 3중밸브(3 WAY VALVE)(17)로 이루어진다.

종래의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에서는 중앙공급장치로 부터 일정량 이상의 (측정탱크(10)의 상한선(C) 이상) 반응액이 측정탱크(10)에 공급되면 측정탱크(10) 내에 삽입된 반응액측정관(13)의 입구를 측정탱크(10) 밖으로 흐르게 된다.

그리고 중앙공급장치에서 측정탱크(10)로 공급되어진 여분의 반응액이 반응액측정관(13) 내에 흐르면, 반응액측정관(13)에 형성된 센서(14)가 이를 감지하여 개/폐밸브(11)에 전기적인 신호를 보내고, 신호에 따라 제1반응액공급관(12)이 제어되어 측정탱크(10) 내로의 반응액 공급을 중단하도록 한다.

그리고 반응액측정관(13) 내에 고여있는 반응액은 배출관(16)을 통하여 배출되거나 또는 필요시 3중밸브(17)를 통하여 제2반응액공급관(15)으로 배출되어 반응조 내로 공급된다.

즉, 종래의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에서는 중앙공급장치 내의 반응 액이 제1반응액공급관(12)을 통하여 측정탱크(10) 내로 공급되고, 일정부피인 측정탱크(10)의 상한선(C)까지 반응액이 공급되고 나면, 그 이상 공급되는 여분의 반응액은 반응액측정관(13)을 통하여 배출되고, 이때 센서(14)는 반응액측정관(13) 내에 흐르는 반응액을 감지하여 반응액 공급을 중지함으로써 원하는 부피 만큼의 반응액을 얻어 이를 측정한다.

그러나, 종래의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에서는 반응액 뿐만 아니라, 일정온도로 유지되는 측정탱크(10) 내부 상면에 (A 부분) 반응액이 증발하여 형성된 수증기도 반응액측정관(13) 내로 떨어지게 되고, 이때 반응액측정관(13) 하단에 형성된 센서(14)가 이를 감지하여 개폐밸브(11)에 전기적인 신호를 보냄으로써, 제1반응액공급관(12)을 제어하게 되어 측정탱크(10)내로의 반응액 공급을 중지한다.

그러므로 종래의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치로 반응액 측정시, 반응액측정관 내에 미량의 반응액 수증기의 흐름까지도 센서가 감지하여 반응액이 차단됨으로써, 공정상의 오류가 발생하게 되고, 이로 인하여 공정상의 진행에 차질이 발생하여 장비의 신뢰도를 저하시키는 문제점이 있다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하고자 안출한 것으로, 반응액 측정시 측정상의 오류를 방지하여 장비의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 반도체 제조장비의 반응액 측정장치를 그 목적으로 한다.

반도체 제조장비에 공급되는 반응액을 측정하기 위한 측정탱크와, 측정탱크에 연결되어, 측정탱크에 반응액을 공급하며, 개폐밸브가 형성된 제1반응액공급관과, 상부가 측정탱크 내에 삽입되되, 상부의 입구가 측정탱크의 상한선에 형성되며, 하부에는 3중밸브로 제어되는 제2반응액공급관과 배출관이 연결된 반응액측정관과, 반응액측정관 하단에 형성되어, 반응액측정관내의 반응액을 감지하는 센서부를 구비한 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에 있어서,

배출관과의 접속점 상부에서 센서부 위치까지의 반응액측정관의 구경은 측정탱크내의 반응액측정관 구경보다 작게 형성하고, 반응액이 반응액측정관 내로 흐르는 것을 일차적으로 반응액감지센서가 감지하고 나서, 이차적으로 반응액멈춤센서가 동작하도록 반응액멈춤센서의 일정 수위까지 차야지만 비로소 동작하는 이중으로 형성된 센서부를 갖는 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에 관한 것이다.

제2도는 본 발명의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치를 설명하기 위해 도시된 도면으로, 이하 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치를 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치는 제2도와 같이, 반응액을 공급하는 측정탱크(20)와, 측정탱크(20)에 연결되어, 일측에 개폐밸브(21)를 갖고 중앙공급장치 내의 반응액을 측정탱크(20) 내로 공급하는 제1반응액공급관(22)과, 상부가 측정탱크(20) 내에 삽입되되, 상부의 입구가 측정탱크(20)의 상한선(C)에 위치되며, 하부의 구경은 상부의 구경보다 작게 형성된 반응액측정관(23)과, 반응액측정관(23) 하단에 설치되어, 반응액측정관(23) 내로 차오르는 반응액을 감지하는 센서부(24)와, 반응액측정관(23)에 연결되어, 반응액측정관(23) 내의 반응액을 반응조로 공급하는 제2반응액공급관(25)과, 반응액측정관(23)에 연결되어, 반응액측정관(23) 내의 반응액을 배출하기 위한 배출관(26)과, 반응액측정관(23)과 제2반응액공급관(25)과, 배출관(26)을 연결하는 3중밸브(27)로 이루어지며, 이때 센서부(24)는 일차적으로 반응액측정관(23) 내에 차오르는 반응액의 일정수위를 감지하는 반응액감지센서(24-2)와, 반응액감지센서(24-2)의 상단에 설치되어, 반응액감지센서(24-2)에서 출력된 감지신호에 의해 동작되어, 이차적으로 반응액측정관(23) 내에 지속적으로 차오르는 반응액의 일정수위를 감지하여 개폐밸브(21)에 전기적인 신호를 보내어 반응액 공급을 제어하는 반응액멈춤센서(24-1)를 구비한다.

본 발명의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에서는 중앙공급장치로 부터 일정량 이상의 (측정탱크(20)의 상한선(C') 이상) 반응액이 측정탱크(20)에 공급되면 그 이상 공급되는 반응액은 측정탱크(20)에 삽입된 반응액측정관(23)의 입구를 통하여 측정탱크(20) 밖으로 흐르게 된다.

이때, 배출관(26)과의 접속점 상부에서 센서부(24) 위치까지의 반응액측정관(23)의 구경은 측정탱크(20)내의 반응액측정관(20)구경보다 작게 형성하여, 반응액측정관(22)에 반응액이 서서히 차도록 하고(B 부분) 또한, 반응액측정관(23)의 하부의구경은 제1반응액공급관(22)이 구경보다 작게 형성하여 여분의 반응액이 배출관(26)을 통하여 배출되는 양보다 제1반응액공급관(22)을 통하여 공급되는 반응액의 양이 많게 한다.

이때, 3중밸브(27)는 공정 진행시에는 온(On)시켜 미량의 반응액이 외부로 유출되도록 하고, 공정이 완료되면 반응액측정관(23) 내로 흘러들어온 반응액을 배출관(28)을 통하여 배출되는 데, 필요시에는 제2반응액공급관(15)으로 배출되어 반응조 내로 공급된다.

그리고 반응액이 반응액측정관(23) 내에 일정수위까지 차게되면 반응액감지센서(24-1)가 이를 일차적으로 감지하게 되고, 이때 반응액감지센서(24-2)에서 출력된 감지신호는 반응액멈춤센서(24-1)로 보내진다.

또한, 반응액멈춤센서(24-1)는 반응액측정관(23) 내에 지속적으로 차오르는 반응액의 일정수위를 감지하여 개폐밸브(21)에 전기적인 신호를 보내고, 신호에 따라서 제1반응액공급관(22)이 제어되어 측정탱크(20) 내로의 반응액 공급을 중단하도록 한다.

즉, 반응액멈춤센서(24-1)는 반응액감지센서(24-1)에 반응액이 감지되었을때에만 동작하도록 한다.

그리고 제1반응액공급관(22)을 제어하여 더 이상의 반응액이 측정탱크(20)로 공급이 되지 않음에 따라, 반응액측정관(23)내로 반응액이 흘러넘치지 않고, 반응액측정관(23) 내에 남아있는 반응액은 서서히 배출관(26)으로 배출되거나 또는 필요시 3중밸브(28)를 통하여 제2반응액공급관(25)으로 보내어 반응조 내로 공급됨으로써 반응액측정장치에서 측정상의 오류가 발생하지 않게 된다.

본 발명의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에서는 반응액 뿐만 아니라 측정탱크(20) 내부 상면(A' 부분)에 형성된 반응액 수증기가 반응액측정관(23) 내로 흘러들기 때문에, 이러한 반응액 수증기가 반응액측정관(23) 내의 일정 수위까지 흐르는 것을 일차적으로 반응액감지센서(24-2)가 감지하고, 이차적으로 반응액멈춤센서(24-1)가 동작하도록 하는 반응액멈춤센서(24-1)의 일정 수위까지 차야지만 비로소 동작하여 측정탱크(20) 내로 반응액 공급을 제어한다.

즉, 종래의 반도체 제조장비의 측정장치에서는 반응액측정관 내에 여분의 반응액 뿐만 아니라 반응액 수증기의 흐름까지도 센서가 이를 감지하여 반응액의 공급을 중지하는 문제점을 해결하고자, 본 발명에서는 반응액측정관 내에 흐르는 여분의 반응액 뿐만 아니라 반응액이 증발하여 생긴 반응액 수증기도 흐를 수 있다는 점을 감안하여 미량의 반응액 수증기가 반응액측정관 내의 일정 수위까지만 흐르는 것을 허용한다.

따라서, 본 발명의 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에서는 측정탱크의 내부 상면에 형성된 반응액 수증기가 센서에 감지되어 발생하는 측정상에 발생하는 오류를 방지하여, 정확하고도 신뢰성있는 반응액 측정이 가능하도록 한다.

Claims (2)

1. 반도체 제조장비에 공급되는 반응액을 측정하기 위한 측정탱크와, 상기 측정탱크에 연결되어, 상기 측정탱크의 반응액을 공급하며, 개페밸브가 형성된 제1반응액공급관과, 상부가 상기 측정탱크 내에 삽입되되, 상부의 입구가 상기 측정탱크의 상한선에 형성되며, 하부에는 3중밸브로 제어되는 제2반응액공급관과 배출관이 연결된 반응액측정관과, 상기 반응액측정관 하단에 형성되어, 반응액측정관 내의 반응액을 감지하는 센서부를 구비한 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에 있어서, 상기 배출관과의 접속점 상부에서 상기 센서부 위치까지의 상기 반응액측정관의 구경은 측정탱크내의 반응액측정관 구경보다 작게 형성하며, 상기 센서부는, 일차적으로 상기 반응액측정관 내에 차오르는 상기 반응액의 일정수위를 감지하는 반응액감지센서와, 상기 반응액감지센서의 상단에 설치되어, 상기 반응액감지센서에서 출력된 감지신호에 의해 동작되어, 이차적으로 상기 반응액측정관 내에 지속적으로 차오르는 상기 반응액의 일정수위를 감지하여 상기 개폐밸브에 전기적인 신호를 보내어 반응액 공급을 제어하는 반응액멈춤센서로 이루어지는 반도체 제조장비의 반응액 측정장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 반응액측정관 하부의 구경은 상기 공급관의 구경보다 작게 형성하는 반도체 제조장비의 반응액 측정장치.