KR970053227A - 반도체 제조장비의 반응액 측정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반응액을 공급하는 측정탱크와, 측정탱크에 연결되어, 일측에 개폐밸브를 갖고 중앙공급장치 내의 반응액을 공급하는 공급관과, 상부가 측정탱크 내에 삽입되고, 하부의 구경을 점차적으로 축소하여 형성시키는 반응액측정관과, 반응액측정관 하단에 형성되어, 반응액측정관 내의 반응액을 감지하는 센서부로 이루어진 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에 관한 것이다.

Description

반도체 제조장비의 반응액 측정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 반도체 제조장비의 반응액측정장치를 설명하기 위해 도시한 도면이다.

Claims (2)

  1. 반도체 제조장비에 공급되는 반응액을 측정하기 위한 측정탱크와, 상기 측정탱크에 연결되어, 상기 측정탱크의 반응액을 공급하며, 개페밸브가 형성된 제1반응액공급관과, 상부가 상기 측정탱크 내에 삽입되되, 상부의 입구가 상기 측정탱크의 상한선에 형성되며, 하부에는 3중밸브로 제어되는 제2반응액공급관과 배출관이 연결된 반응액측정관과, 상기 반응액측정관 하단에 형성되어, 반응액측정관 내의 반응액을 감지하는 센서부를 구비한 반도체 제조장비의 반응액 측정장치에 있어서, 상기 배출관과의 접속점 상부에서 상기 센서부 위치까지의 상기 반응액측정관의 구경은 측정탱크내의 반응액측정관 구경보다 작게 형성하며, 상기 센서부는, 일차적으로 상기 반응액측정관 내에 차오르는 상기 반응액의 일정수위를 감지하는 반응액감지센서와, 상기 반응액감지센서의 상단에 설치되어, 상기 반응액감지센서에서 출력된 감지신호에 의해 동작되어, 이차적으로 상기 반응액측정관 내에 지속적으로 차오르는 상기 반응액의 일정수위를 감지하여 상기 개폐밸브에 전기적인 신호를 보내어 반응액 공급을 제어하는 반응액멈춤센서로 이루어지는 반도체 제조장비의 반응액 측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 반응액측정관 하부의 구경은 상기 공급관의 구경보다 작게 형성하는 반도체 제조장비의 반응액 측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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