KR100207461B1 - 수직형 퍼니스용 보트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트를 개시한다. 본 발명은 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트에 있어서, 적어도 하나의 핀을 사용하여 상기 웨이퍼 보트를 상기 퍼니스에 고정시킬 수 있는 적어도 하나의 구멍을 갖는 제1 평판, 적어도 하나의 핀을 사용하여 상기 웨이퍼 보트를 상기 퍼니스에 고정시킬 수 있는 적어도 하나의 구멍을 갖는 제2 평판, 및 상기 제1 및 제2 평판들을 평행하게 지지하는 지지대를 구비하고, 상기 지지대는 다수개의 반도체 웨이퍼들이 장착되는 다수개의 슬롯들을 가지며, 상기 다수개의 플롯들은 각각 내부에 상부 및 하부 코너를 가지며, 상기 상부 및 하부 코너들은 각각 경사면을 이룸으로써 웨이퍼 보트의 사용 주기가 2배로 연장되어서 웨이퍼 보트의 제조 원가가 절약된다.

Description

수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트
제1도는 종래의 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트의 단면도.
제2도는 상기 제1도의 슬롯들(A)의 확대도.
제3도는 상기 제1도의 웨이퍼 보트의 사시도.
제4도는 본 발명의 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트의 단면도.
제5도는 상기 제4도의 슬롯들(B)의 확대도.
제6도는 상기 제4도의 웨이퍼 보트의 측단면도.
제7도는 상기 제4도의 웨이퍼 보트의 사시도.
본 발명은 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트(Boat)에 관한 것으로서, 특히 반도체 장치의 제조 공정에 이용되는 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트에 관한 것이다.
웨이퍼상에 반도체 칩들이 제조되기 위해서 웨이퍼는 여러 단계의 제조 공정을 거쳐야 한다. 각 공정 중에서 웨이퍼상에 형성된 수 백 개의 반도체 칩들 위에 마스크 패턴에 따라 산화막을 형성하고 이온을 주입하는 등의 화합물 처리 공정은 반드시 퍼니스를 이용하게 되는데, 이 때 퍼니스 내에 웨이퍼들이 장착되기 위해서 필요한 것이 웨이퍼 보트(boat)이다. 웨이퍼 보트에는 화합물 처리를 위한 웨이퍼들이 적치된다. 퍼니스는 이용 방법에 따라 수평형 퍼니스와 수직형 퍼니스로 구분된다. 수평형 퍼니스는 수평으로 설치되어 웨이퍼가 적치된 웨이퍼 보트가 수평으로 퍼니스에 출입하게 되고, 수직형 퍼니스는 수직으로 설치되어 있어서 웨이퍼 보트가 상하로 퍼니스에 출입하게 된다. 그래서 웨이퍼 보트도 퍼니스의 형태에 따라 그 모양이 약간씩 다르게 제작되어 사용되고 있다. 본 발명에서는 수직형 퍼니스에 사용되는 웨이퍼 보트의 구조에 관한 것이다.
제1도는 종래의 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트의 단면도를 나타낸다. 그 구조는 석영(Quartz)으로 제작된 웨이퍼 보트(11)와, 상기 웨이퍼 보트(11) 내의 좌우 양측에 웨이퍼들을 적치하기 위하여 대칭적으로 설치된 슬롯(slot)(13)들로 구성되어 있다.
제2도는 상기 제1도의 슬롯들(A)의 확대도이다. 하나의 슬롯(13)의 내측 수직면의 상단(25)은 경사면을 형성하고 있고, 그 하단(27)은 수평면과 직각을 이루고 있다.
제3도는 상기 제1도의 웨이퍼 보트의 사시도이다. 웨이퍼 보트(11)의 하단의 판(31)에 두 개의 구멍(35)들이 형성되어 있는데, 그 이유는 웨이퍼 보트(11)가 수직형 퍼니스 내에 장착된 후 작업자가 핀을 상기 구멍(35)들을 통해 퍼니스에 연결함으로써 웨이퍼 보트(11)를 퍼니스에 고정시키기 위한 것이다. 그리고 웨이퍼 보트(11)의 상단의 판(33)에는 아무 구멍도 없다. 그것은 웨이퍼 보트(11)의 하단의 판(31)이 항상 퍼니스의 하단에 놓여지게 하기 위함이다.
상술한 본 발명에 따르면, 웨이퍼 보트 슬롯이 내면의 수직 상단만 경사면을 형성하고 있고, 또 웨이퍼 보트의 하단의 판에만 핀 고정용 구멍들이 있기 때문에 슬롯의 하단에 돌기 현상이 발생하거나 또는 파티클(particle)이 발생할 경우에는 사용이 불가능하게 된다.
따라서 본 발명의 목적은 슬롯의 하단에 돌기 현상 또는 파티클의 발생시에도 사용 가능한 웨이퍼 보트를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트에 있어서, 적어도 하나의 핀을 사용하여 상기 웨이퍼 보트를 상기 퍼니스에 고정시킬 수 있는 적어도 하나의 구멍을 갖는 제1 평판, 적어도 하나의 핀을 사용하여 상기 웨이퍼 보트를 상기 퍼니스에 고정시킬 수 있는 적어도 하나의 구멍을 갖는 제2 평판, 및 상기 제1 및 제2 평판들을 평행하게 지지하는 지지대를 구비하고, 상기 지지대는 다수개의 반도체 웨이퍼들이 장착되는 다수개의 슬롯들을 가지며, 상기 다수개의 슬롯들은 각각 내부에 상부 및 하부 코너를 가지며, 상기 상부 및 하부 코너들은 각각 경사면을 이루는 것을 특징으로 하는 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트를 제공한다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
제4도는 본 발명의 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트의 단면도이다. 그 구조는 석영(Quartz)으로 제작된 웨이퍼 보트(41)와, 상기 웨이퍼 보트(41) 내의 좌우 양측에 웨이퍼들을 적치하기 위하여 대칭적으로 설치된 슬롯(43)들로 구성되어 있다.
제5도는 상기 제4도의 B부분의 확대도이다. 하나의 슬롯(43)의 내측 수직면(59)의 상부 코너(51) 및 하부 코너(53)는 모두 경사면을 형성하고 있다. 이것은 웨이퍼 보트(41)가 거꾸로 뒤집어진 상태에서도 웨이퍼들이 상기 슬롯(43)들에 적치될 수 있도록 하는 위한 것이다.
제6도는 상기 제4도의 웨이퍼 보트의 측단면도를 나타낸다. 웨이퍼 보트(11)의 상단의 판(61)과 하단의 판(63)이 웨이퍼 보트(43)의 중앙부보다 돌출되어 있는데 그것은 웨이퍼 보트(41)가 수직으로 세워졌을 때 안전하게 지탱하기 위한 것이다.
제7도는 상기 제4도의 웨이퍼 보트의 사시도이다. 웨이퍼 보트(41)의 제1 평판(61), 예컨대 상단의 판과 제2 평판(63), 예컨대 하단의 판에 각각 두 개의 구멍(71)들이 형성되어 있다. 이것은 웨이퍼 보트(41)가 퍼니스 내에 장착되었을 때, 웨이퍼 보트(41)의 하단의 판(63)에 형성된 구멍(81)들을 통해 핀들이 퍼니스와 연결됨으로써 웨이퍼 보트(41)는 퍼니스에 고정된다. 그런데 구멍(71)들이 웨이퍼 보트(41)의 상단의 판(61)에도 형성되어 있는 것은 웨이퍼 보트(41)가 거꾸로 뒤집어진 상태에서도 퍼니스에 장착되어 사용될 수 있게 하기 위함이다. 웨이퍼 보트(41)가 거꾸로 된 상태에서 퍼니스 내에 장착되어도 하단의 판(63)에는 구멍(71)들이 형성되어 있기 때문에 핀들에 의하여 퍼니스에 고정될 수가 있다. 상기 구멍들(71)은 한 개 이상으로 형성될 수 있다. 상단의 판(61)과 하단의 판(63)은 지지대(81)를 통하여 일방향으로 즉, 평행하게 연결된다. 지지대(81)에 형성되어 있는 슬롯들(43)에 웨이퍼들이 적치된다.
상술한 본 발명에 따르면 웨이퍼 보트(41)가 거꾸로도 사용 가능하기 때문에 웨이퍼 보트(410)의 사용 주기가 두 배로 늘어나서 웨이퍼 보트(41)의 유지 비용이 두 배로 감소된다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 명백하다.

Claims (1)

  1. 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트에 있어서, 적어도 하나의 핀을 사용하여 상기 웨이퍼 보트를 상기 퍼니스에 고정시킬 수 있는 적어도 하나의 구멍을 갖는 제1 평판 ; 적어도 하나의 핀을 사용하여 상기 웨이퍼 보트를 상기 퍼니스에 고정시킬 수 있는 적어도 하나의 구멍을 갖는 제2 평판 ; 및 상기 제1 및 제2 평판들을 평행하게 지지하는 지지대를 구비하고, 상기 지지대는 다수개의 반도체 웨이퍼들이 장착되는 다수개의 슬롯들을 가지며, 상기 다수개의 슬롯들은 각각 내부에 상부 및 하부 코너를 가지며, 상기 상부 및 하부 코너들은 각각 경사면을 이루는 것을 특징으로 하는 수직형 퍼니스용 웨이퍼 보트.
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