KR0185074B1 - 에치아이씨 기판 검사 장치 - Google Patents

Abstract

HIC 기판에 프로브 핀이 소정 특정점에 정확히 위치하며 접지하였는지의 유무를 박막을 취부하여 표면 검사를 확인할 수 있는 HIC 기판 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 의한 HIC 기판 검사 장치는 하부베이스의 중앙부에 형성된 사각형의 하우징과, 상기 하우징의 상부에는 수평을 유지하도록 올려진 정반과, 상기 정반의 상부에 안착된 HIC기판, 상기 하부베이스 전면 상부 양쪽에 2개의 포스트와 후면 상부 주앙부에 형성된 1개의 포스트와, 상기 포스트에 지지되는 상부판과, 상기 하부판의 전면부에 개구된 개구부와, 상기 상부판의 저면에는 고정대가 하방으로 형성되어 고정 지지하는 받침대와, 상기 받침대의 상부에는 프로브 핀이 납땜되어 진 프로브 헤드가 고정판에 의하여 유동이 방지되며 안착되는 HIC 기판 검사 장치에 있어서, 정반과 상기 정반위에 안착된 HIC 기판에 접점을 확인할 수 있는 필름을 덮어 씌운 박막으로 구성되어진다.

Description

HIC 기판 검사 장치

본 발명은 HIC 기판 검사 장치에 관한 것으로서, 특히 HIC 기판에 프로브 핀이 소정 특정점에 정확히 위치하며 접지하였는지의 유무를 박막을 취부하여 표면 검사를 확인할 수 있는 HIC 기판 검사 장치에 관한 것이다.

HIC(hybrid integrated circuit)는 하이브리드 집적 회로로 다른 두 종의 구성요소가 내부에서 같은 기능에 쓰이는 회로로 예를 들면 진공관과 트랜지스터의 양쪽을 사용하고 있는 스테레오 앰프는 하이브리드 회로 이다.

상기의 HIC 기판 검사 장치는 측정 용구로 HIC기판에 대한 저항값의 측정을 위하여 프로브 헤드에 납땜되어진 프로브 핀과 HIC기판의 소정 특정점의 접지로 하여 저항값을 측정한다. 도3에 도시되어 있는 바와 같이, 하부베이스(10)의 중앙부에는 사각형의 하우징(20)이 형성되어 있다. 상기 하우징(20)의 상부에는 수평을 유지하는 정반(30)이 올려지고 상기 정반(30)의 상부에는 HIC기판(40)이 안착된다.

한편, 하부베이스(10) 전면 상부 양쪽에 2개의 포스트(60)와 후면 상부 중앙부에 1개의 포스트(60)가 형성되어 상부판(70)을 지지한다. 상기 상부판(70)의 전면부에는 개구부(72)를 가지고 있다.

상기 상부판(70)의 저면에는 고정대(80)가 하방으로 형성되어 받침대(90)를 고정 지지한다. 상기 받침대(90)의 상부에는 프로브 핀(100)이 납땜되어진 프로브 헤드(110)가 고정판(120)에 의하여 유동이 방지되며 안착된다. 상기 프로브 헤드(110)에 납땜된 프로브 핀(100)는 상기 프로브 헤드(110)의 천공부를 중심으로 방사형으로 이루어져서 HIC기판(40)에 일정한 높이로 접지 되어 저항값을 측정하게 된다.

상기한 바와 같은 프로브 제작 지그는 하부베이스에 고정되어 있는 하우징에 정반을 안착시키고, 상기 정반 상부에 HIC기판을 올려놓는다.

그러나, 상기와 같은 방법은 일정한 높이에 올려진 HIC기판에 프로브 핀을 같은 수평면상에 접지를 하여야 하는데 프로브 헤드에 프로브 핀을 납땜시 정확히 이루어지지 않아 서로 다른 높낮이를 가질 수 있다. 상기와 같은 관계로 프로브 핀과 HIC 기판과의 정확한 접지가 이루어지지를 않아 측정이 이루어지지를 않는 단점이 있다.

본 발명은 HIC 기판에 프로브 핀이 소정 특정점에 정확히 위치하며 접지하였는지의 유무를 박막을 취부하여 확인할 수 있는 HIC 기판 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

이와 같이 목적을 갖는 본 발명은 하부베이스의 중앙부에 형성된 사각형의 하우징과, 상기 하우징의 상부에는 수평을 유지하도록 올려진 정반과, 상기 정반의 상부에 안착된 HIC기판, 상기 하부베이스 전면 상부 양쪽에 2개의 포스트와 후면 상부 중앙부에 형성된 1개의 포스트와, 상기 포스트에 지지되는 상부판과, 상기 상부판의 전면부에 개구된 개구부와, 상기 상부판의 저면에는 고정대가 하방으로 형성되어 고정 지지하는 받침대와, 상기 받침대의 상부에는 프로브 핀이 납땜되어진 프로브 헤드가 고정판에 의하여 유동이 방지되며 안착되는 HIC 기판 검사 장치에 있어서, 정반과 상기 정반위에 안착된 HIC 기판에 접점을 확인할 수 있는 필름을 덮어 씌운 박막으로 구성되어짐을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 의한 HIC 기판 검사 장치는 프로브 핀이 일정한 수평으로 HIC기판 특정점에 접지를 이룰 었는지의 확인을 위하여 HIC 기판에 박막을 씌움으로써, 확실한 접점 측정을 이룰 수 있다.

제1도는 본 발명에 관련된 프로브 제작 지그의 정단면도.

제2도는 본 발명에 관련된 프로브 제작 지그의 평면도.

제3도는 종래의 프로브 제작 지그의 정면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 하부베이스 20 : 하우징

30 : 정반 40 : HIC기판

50 : 박막 60 : 포스트

70 : 상부판 72 : 개구부

80 : 고정대 90 : 받침대

100 : 프로브 핀 110 : 프로브 헤드

120 : 고정판

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부 도면에 따라 상세히 설명한다.

도1은 본 발명에 관련된 프로브 제작 지그의 정단면도로서, 지그의 받침 역할을 하는 하부베이스(10)가 받침 다리를 가지며 형성되어 있다. 상기 하부베이스(10)의 중앙부에는 사각형의 하우징(20)이 형성되어 있다.

상기 하우징(20)의 상부에는 정반(30)이 안착되어 수평을 유지하며, 상기 정반(30)에는 HIC 기판(40)이 측정을 위하여 올려진다.

이때, 정반(30)과 HIC 기판(40)의 상부에 필름인 박막(50)이 덮어 씌워진다. 상기 박막(50)은 표면에 찍힌 접지점을 식별할 수 있는 필름으로 그 예로 마일러 필름이 사용되어 진다. 상기 마일러 필름 등은 당해 기술분야에서는 널리 알려진 부품으로 통상적으로 이를 구입하여 사용할 수 있는 정도의 것이다.

한편, 하부베이스(10)에는 전면 상부 양쪽에 2개의 포스트(60)와 후면 상부 중앙부에 1개의 포스트(60)가 형성되어 상부판(70)을 지지할 수 있도록 한다.

상기 포스트(60)에 의하여 지지되는 상부판(70)은 사각판의 각 꼭지점이 라운딩 처리되었으며, 도2에 도시되어 있는 바와 같이 중앙부에 개구부(72)를 갖는다.

상기 상부판(70)의 저면에는 고정대(80)가 하방으로 형성되어 받침대(90)를 고정 지지한다. 상기 받침대(90)의 상부에는 프로브 핀(100)이 납땜되어진 프로브 헤드(110)가 고정판(120)에 의하여 유동이 방지되며 안착된다. 상기 프로브 헤드(110)에 납땜된 프로브 핀(100)은 상기 프로브 헤드(110)의 천공부를 중심으로 방사형으로 이루어져서 HIC기판(40)에 일저안 높이로 접지 되어 저항값을 측정하게 된다.

상기와 같은 본 고안은 정반(30)위에 수평으로 올려진 HIC기판(40)에 대한 측정을 위하여 박막(50)을 취부함으로써, 프로브 핀(100)이 HIC 기판(40) 소정의 특정점에 정확히 위치하였는지를 공정 후 박막(50) 표면에 천공된 표시로 식별이 가능하다. 이에 일정치 않은 프로브 핀(100)은 다시 높낮이를 조절하여 정확한 측정값을 얻을 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 HIC 기판 검사 장치는 프로브 핀이 일정한 수평으로 HIC기판 특정점에 접지를 이룰 었는지의 확인을 위하여 HIC 기판에 박막의 씌움으로써, 확실한 접점 측정을 이룰 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명으로 HIC 기판의 정확한 저항값의 측정으로 생산성을 높이는 효과가 있다.

본 발명은 이상과 같이 기재된 구체 예에 대하여만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술 사상과 범위 내에서 변경이나 변형할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며 이러한 변경이나 변형은 첨부된 특허 청구 범위에 의하여 제한되어져야 한다.

Claims (1)

1. 하부베이스의 중앙부에 형성된 사각형의 하우징과, 상기 하우징의 상부에는 수평을 유지하도록 올려진 정반과, 상기 정반의 상부에 안착된 HIC기판, 상기 하부베이스 전면 상부 양쪽에 2개의 포스트와 후면 상부 중앙부에 형성된 1개의 포스트와, 상기 포스트에 지지되는 상부판과, 상기 상부판의 전면부에 개구된 개구부와, 상기 상부판의 저면에는 고정대가 하방으로 형성되어 고정 지지하는 받치대와, 상기 받침대의 상부에는 프로브 핀이 납땜되어진 프로브 헤드가 고정판에 의하여 유동이 방지되며 안착되는 HIC 기판 검사 장치에 있어서, 정반과 상기 정반위에 안착된 HIC 기판에 접점을 확인할 수 있는 필름을 덮어 씌운 박막으로 구성되어짐을 특징으로 하는 HIC 기판 검사 장치.