KR0176530B1 - 로보트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 로보트에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 구동 수단, 구동력 전달 수단(56) 및, 상기 구동력 전달 수단(53)에 의해 제어 가능하게 직선 왕복 운동하는 슬라이더 부재(53)를 구비한 로보트에 있어서, 상기 슬라이더 부재(53)의 전면에 부착되어 직선 왕복 운동을 하는 내부 커버 부재(52) 및, 상기 로보트의 외부를 감싸며 상기 내부 커버 부재(52)에 대해 미소한 틈새를 두고 비 접촉 상태로 유지되는 외부 커버 부재(51)를 구비하는 것을 특징으로 하는 로보트가 제공된다. 본 발명의 로보트는 분진이 발생이 최대한 억제되므로 클리인 룸의 사용 조건을 만족시킨다.

Description

로보트

제1도는 직교 좌표 로보트의 내부 구조를 개략적으로 도시하는 평면도.

제2도 내지 4도는 종래 기술에 따른 각각의 로보트에 대한 사시도.

제5도는 본 발명의 로보트에 대한 사시도.

제6도는 제5도에 대한 평면 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 구동 모터 12 : 커플링

13 : 볼 스크류 14 : 가이드

15 : 볼스크류 16 : 슬라이더

21,31 : 커버 22,32,42 : 슬라이더

41 : 벨로우즈 51 : 외부 커버

52 : 내부 커버 53 : 작동부

54 : 가이드 55 : 볼 스크류 너트

본 발명은 로보트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 분진의 발생을 효과적으로 방지할 수 있는 로보트에 관한 것이다.

산업용 로보트는 여러 기술 분야에 다양한 형태로 사용된다. 그러한 산업용 로보트의 제작에 있어서는 용도 및 작업 조건에 따른 여러가지 조건을 충족시켜야 하는데, 특히 반도체 제조 공정이나 하드 디스크 드라이버 제조 공정에서 사용되는 로보트는 클리인 조건을 충족시켜야만 한다. 이는 이미 널리 알려진 바와 같이, 반도체등의 제작에서는 미세한 먼지라 할지라도 제품의 질에 치명적인 불량을 유발할 수 있기 때문이다. 따라서 반도체의 제조 공정은 분진의 발생이 극도로 억제된 클리인 룸(clean room)에서 이루어지며, 그안에서 작업하는 작업자뿐만 아니라 각각의 공정에서 사용되는 공구나 장비등에서도 분진 발생의 가능성을 최대한 방지하여야 한다.

일반적으로 직교 좌표형 로보트의 구조는 제1도에 도시된 바와 같다. 직교 좌표형 로보트(10)는 구동 모터(11)로부터 발생되는 구동력을 볼 스크류(13)를 통해 전달하여 슬라이더(16)를 왕복 운동시키는 것이다. 슬라이더(16)는 가이드(14)를 따라 제어 가능하게 왕복 운동할 수 있으며, 슬라이드에 장착된 작동부(도시되지 않음)를 직선상의 소정의 위치로 이동시킬 수 있다.

제2도 내지 4도에는 제1도와 같은 내부 구성을 지니는 직교 좌표 로보트의 외부 사시도가 도시되어 있는데, 이것은 작동부(24)를 슬라이더(22,32,42)에 장착시킨 상태에서 수직으로 승강하는 경우이다. 통상적으로 모터 구동에 의한 슬라이더의 직선 왕복 운동에서는 기계적인 마찰등의 원인으로 인하여 분진 발생의 원인이 있는데, 종래 기술에서는 이를 단순히 커버를 씌우거나 벨로우즈를 이용하여 방지하였다.

제2도에 도시된 로보트는 내부에서 발생하는 분진이 외부로 배출될 수 없도록 전면에 커버(12)를 씌우고, 양 측면에 홈(23)을 형성하여 슬라이더(22)를 설치한다. 슬라이더(22)는 홈(23)을 따라서 수직 방향으로 승강하게 된다. 제3도에 도시된 로보트는 제2도의 것을 일부 변경하여 슬라이더(32)가 전면의 커버(31)에 형성된 홈(33)을 따라 이동하는 예를 나타낸다. 또한 커버(21,31)의 내측에 외부로 나가는 배관을 설치하고 진공 펌프를 이용하여 강제적인 배기를 수행함으로써 분진이 로보트의 내부에 잔류하는 것을 방지하기도 한다. 그러나 이처럼 슬라이더(22,32)가 개방된 홈(23,33)을 따라 이동하는 경우에는 홈(23,33)을 통해 분진이 외부로 유출되는 것을 피할 수 없었다.

제4도에는 현재 널리 사용되고 있는 벨로우즈형 직교 좌표 로보트의 개략적인 사시도가 도시되어 있다. 벨로우즈형에서는 로보트의 외표면의 전체 또는 작동 구간만을 벨로우즈(41)로 감싸고 그위에 슬라이더(42)를 배치시키는 형태이다. 벨로우즈(41)는 로보트의 외부를 완전히 밀폐시키므로 내부에서 발생되는 먼지가 외부로 유출될 가능성은 없다. 그러나, 벨로우즈(41)는 직선 왕복 구동시에 주름진 부분이 수축 및 팽창 동작을 반복함으로써 자체적으로 외부 표면으로부터 분진이 발생한다. 또한 벨로우즈의 수축 및 팽창은 그 안의 공기를 압축 및 팽창시키는 일종의 풀무질 효과를 유발하므로 내부 공기가 어느 곳이던 미세한 틈새를 찾아 외부로 유출되려는 경향을 지닌다.

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 클리인 조건을 만족시키는 로보트의 제공을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 로보트의 내부에서 발생하는 분진의 외부 유출을 방지할 수 있는 로보트를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 로보트 내부의 강제 배기에 의해서도 내부 공기 압력 변화가 급격하지 않은 로보트를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 구동 수단, 구동력 전달 수단 및, 상기 구동력 전달 수단에 의해 제어 가능하게 직선 왕복 운동하는 슬라이더 부재를 구비한 로보트에 있어서, 상기 슬라이더 부재의 전면에 부착되어 직선 왕복 운동을 하는 내부 커버 부재 및, 상기 로보트의 외부를 감싸며 상기 내부 커버 부재에 대해 미소한 틈새를 두고 비 접촉 상태로 유지되는 외부 커버 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 로보트가 제공된다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 내부 커버 부재에는 외측 방향으로 돌출한 돌출부가 복수개로 형성되고, 상기 외부 커버 부재에는 상기 돌출부를 수용할 수 있는 수용부가 복수개로 형성된다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 로보트의 내부 공기를 외부로 배출시킬 수 있도록 배기관 및 강제 배기 수단이 장착된다.

이하 본 발명을 도면에 도시된 바람직한 실시예를 참고로 보다 상세히 설명하기로 한다.

제5도에는 본 발명에 따른 로보트의 바람직한 실시예가 도시되어 있다. 이것은 제2도 내지 4도에 도시된 바와 같이 작동부(60)가 슬라이더(53,제6도)에 장착되어 수직 방향으로 승강 운동하는 경우를 나타낸 것이다. 로보트(50)의 전면은 외부 커버(51)와 내부 커버(52)로 형성되며, 외부 커버(51)는 로보트의 전면에 고정되는 반면에, 내부 커버(52)는 슬라이더의 상하 운동에 따라 승강 작동을 한다.

제6도에는 제5도의 A-A 선을 따라 절단한 평면 단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 구동력은 볼 스크류(56)를 통해서 너트(55)로 전달된다. 너트(55)는 슬라이더(53)에 고정되어 있으므로, 볼 스크류(56)의 회전 운동은 슬라이더(53)의 직선 운동으로 변환된다. 슬라이더(53)는 가이드(54)를 따라서 승강 운동을 할 수 있으며, 슬라이더(53)의 전면에는 내부 커버(52)가 장착되어 있다. 내부 커버(52)는 외부 커버(51)에 대하여 요철 구조를 형성하여 결합된다. 즉, 도면에 도시된 바와 같이, 내부 커버(52)에는 외측 방향으로 돌출부(57)가 형성되는 반면에, 외부 커버(51)에는 상기의 돌출부(57)를 수용할 수 있는 수용부(58)가 내측 방향으로 형성된다. 돌출부(57)와 수용부(58)는 어떠한 면에서도 접촉하지 아니하는데, 이는 슬라이더(53)의 왕복 운동시에 마찰에 의한 분진 발생을 방지하기 위해서이다. 돌출부(57)와 수용부(58) 사이의 틈새는 매우 미소한 것이 바람직스러우며, 이는 내부에서 발생하는 분진의 외부 유출을 방지하는 역할과, 펌프에 의해 내부 공기를 외부로 배기할때 공기 압력의 차이를 보상할 수 있도록 외부 공기(클리인 룸 공기)의 유입이 이루어지게 하는 역할을 동시에 수행하기 위함이다. 도면에 도시된 실시예에서는 돌출부(57)와 수용부(58)가 각각 2 개씩만 형성되어 있으나, 이보다 많은 수의 돌출부 및 수용부를 형성할 수도 있다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예만을 참고로 설명하였으나 본 기술 분야에 통상의 지식을 가진 이라면 이로부터 다양한 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 범위는 첨부된 청구 범위에 의해 정해져야만 할 것이다.

Claims (3)

1. 구동 수단, 구동력 전달 수단(56) 및, 상기 구동력 전달 수단(56)에 의해 제어 가능하게 직선 왕복 운동하는 슬라이더 부재(53)를 구비한 로보트에 있어서, 상기 슬라이더 부재(53)의 전면에 부착되어 직선 왕복 운동을 하는 내부 커버 부재(52) 및, 상기 로보트의 외부를 감싸며 상기 내부 커버 부재(52)에 대해 미소한 틈새를 두고 비 접촉 상태로 유지되는 외부 커버 부재(51)를 구비하는 것을 특징으로 하는 로보트.
2. 제1항에 있어서, 상기 내부 커버 부재(52)에는 외측 방향으로 돌출한 돌출부(57)가 복수개로 형성되고, 상기 외부 커버 부재(51)에는 상기 돌출부(57)를 수용할 수 있는 수용부(58)가 복수개로 형성되는 것을 특징으로 하는 로보트.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 로보트의 내부 공기를 외부로 배출시킬 수 있도록 배기관 및 강제 배기 수단이 장착된 것을 특징으로 하는 로보트.