KR0156800B1 - 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치 - Google Patents

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Abstract

비점 수차를 가지는 타원광을 발산하는 레이저 다이오드와; 상기 레이저 다이오드에서 발산되는 타원광을 집광하는 제1구면 렌즈와; 상기 제1구면 렌즈에서 집광된 타원광을 위치를 검출하고자 하는 대상으로 반사시키는 제1반사경과; 상기 제1반사경에서 반사된 다음 위치 검출하고자 하는 대상에 의하여 다시 반사되어 입사되는 타원광을 다시 반시시키는 제2반사경과; 상기 제2반사경에서 반사되는 타원광을 집광하는 제2구면 렌즈와; 상기 제2구면 렌즈에서 집광되는 타원광을 다수개로 분할된 수광면으로 수광하고, 수광되는 타원광에 해당하는 전기적인 신호를 각각 출력하는 광검출 수단과; 상기 광검출 수단에서 출력되는 다수의 전기적인 신호에 따라 위치를 검출하기 위한 대상에 해당하는 위치 정보를 판독하여, 판독되는 위치 정보에 따라 상기 위치를 검출하기 위한 대상이 설정된 위치에 오도록 조절하기 위한 제어 신호를 출력하는 제어 수단과; 상기 제어 수단에서 출력되는 제어 신호에 따라 위치를 검출하기 위한 대상을 설정된 위치에 오도록 조절하는 위치 조절 수단으로 이루어지는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치는, 레이저 다이오드에서 발산되는 타원광을 원형으로 정형하지 않고, 타원광을 그대로 이용하여 자동으로 노광 장비의 워크피스나 CD플레이어의 디스크가 초점 위치 또는 초점 심도 범위내에 위치하도록 제어할 수 있다.

Description

레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치
제1도는 이 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치의 사시도이고,
제2도는 이 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드에서 발산되는 광의 모양을 나타낸 도면이고,
제3도는 이 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드에서 발산된 광이 구면렌즈에 의하여 집광되었을 때의 광점의 모양을 나타낸 도면이고,
제4도는 이 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드에서 발산된 광이 광검출기에 검출되는 경우의 상태도이고,
제5도는 이 발명의 다른 실시예에 따른 레이저를 이용한 자동 초점 조절 장치의 사시도이다.
이 발명은 레이저 다이오드(laser diode)를 이용한 자동 초점 조절 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게 말하자면, 반도체의 리소그라피(lithography)방식의 노광 장비나, CD(Compact Disk)플레이어(player)의 광픽업 장치에 있어서, 레이저 다이오드에서 발산되는 타원형의 광을 이용하여 노광 장비의 유리판이나 웨이퍼(wafer)가 투영 렌즈의 초점 심도내에 위치하도록 하거나, 광픽업 장치에 있어서 CD가 리딩빔(reading beam)의 초점 위치에 놓이도록 자동으로 조절하는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치에 관한 것이다.
반도체의 리소그라피 방식의 노광 장비는 마스크면상의 기하학적 모양의 패턴을 반도체 웨이퍼 표면을 덮고 있는 레지스트(감광물질)의 얇은 층에 옮기는 장치로서, 마스크에 기록된 패턴들을 웨이퍼 또는 유리판(워크피스;WorkPiece)위에 옮겨 기록하기 위해서는 유리판이나 웨이퍼가 투영 렌즈의 초점 심도 범위내에 위치하여야 한다.
또한, CD플레이어에 있어서, 디스크에 기록된 신호를 픽업하는 경우에는 디스크의 피트(신호가 기록되어 있는 부분)에 레이저 광선을 쏘아서 그 반사광을 전기적인 신호로 변환시켜 그에 따라 기록된 신호를 판독함으로써, 발산되는 레이저 광선 즉, 리딩빔의 초점 위치에 디스크가 놓여야 된다.
상기한 반도체 노광 장비나 CD플레이어의 픽업 장치에서 디스크나 워크피스가 정확한 초점 위치에 놓이도록 하기 위하여, 별도로 자동 초점 조절 장치를 사용하고 있으며, 그외에도 여러 가지의 광학기기에서 자동을 초점을 조절해야 하는 경우에도 상기한 자동 초점 조절 방식의 응용이 가능하다.
일반적으로 종래의 노광 장비나 픽업 과정에 있어서 자동 초점 조절 장치는 모두 동일하게 원형광을 이용하고 있다. 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치의 경우에도 우선은 레이저 다이오드에서 발산된 타원광을 원형으로 만든 뒤에, 광학계를 거쳐 자동 초점이 조절 가능하도록 하였다.
예를 들면, 노광 장비는 원형으로 만들어진 광을 렌즈에 의하여 웨이퍼나 유리판에 집광시켜 반사한 광을 다시 렌즈를 이용하여 광검출기로 집광시키게 된다. 이 때, 광검출기로 집광된 광의 위치변화를 검출하여 웨이퍼나 유리판의 초점 심도를 벗어난 정도를 검출하여, 다시 유리판이나 웨이퍼가 초점 심도 범위내에 놓이도록 조절하게 된다.
그리고, CD플레이어의 픽업 과정의 경우에도 레이저 다이오드에서 발산된 타원광을 우선 원형광으로 만든 다음에, 다시 비점 수차를 발생시켜 이를 이용하여 자동으로 초점 위치에 디스크가 놓일 수 있도록 조절한다.
상기한 렌즈의 비점 수차를 이용한 자동 초점 조절 장치는 이미 보편화된 기술이다. 카메라 렌즈의 경우에는 비점 수차가 아주 작게 되도록 설계하지 않으면 안되나, 픽업의 경우에는 완전히 반대로 비점 수차를 적극적으로 만들어내서 포커스 에러 검출에 이용하고 있다.
상기 렌즈의 비점 수차를 이용한 자동 초점 조절 장치는 광원에서 발산된 광을 원형으로 정형시킨 다음, 원형으로 정형된 광을 실린더리컬(cylindrical) 렌즈를 이용하여 타원형으로 만든 다음, 다시 구면(spherical) 렌즈를 이용하여 워크피스에 집광시키고, 상기 워크피스에서 반사된 광을 4분할 소자(quad detector)에서 검출하여, 검출된 신호에 따라 워크피스의 위치를 검출한다.
상기와 같이 실린더리컬 렌즈와 구면 렌즈를 이용하여 인위적으로 비점 수차를 발생시켜 이를 이용하여 픽업 등에서도 자동 초점 조절에 이용된다.
이 발명의 목적은 이미 고안된 자동 초점 조절 방식과는 달리 간단한 구성으로 레이저 다이오드에서 발산되는 타원광을 원형으로 정형하지 않고, 타원광을 그대로 이용하여 자동으로 노광 장비의 워크피스나 CD플레이어의 디스크가 초점 위치 또는 초점 심도 범위내에 위치하도록 하기 위한 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치를 제공하고자 하는데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 이 발명의 구성은,
비점 수차를 가지는 타원광을 발산하는 레이저 다이오드와;
상기 레이저 다이오드에서 발산되는 타원광을 집광하는 제1구면 렌즈와;
상기 제1구면 렌즈에서 집광된 타원광을 위치를 검출하고자 하는 대상으로 반사시키는 제1반사경과;
상기 제1반사경에서 반사된 다음 위치를 검출하고자 하는 대상에 의하여 다시 반사되어 입사되는 타원광을 다시 반사시키는 제2반사경과;
상기 제2반사경에서 반사되는 타원광을 집광하는 제2구면 렌즈와;
상기 제2구면 렌즈에서 집광되는 타원광을 다수개로 분할된 수광면으로 수광하고, 수광되는 타원광에 해당하는 전기적인 신호를 각각 출력하는 광검출 수단과;
상기 광검출 수단에서 출력되는 다수의 전기적인 신호에 따라 위치를 검출하기 위한 대상에 해당하는 위치 정보를 판독하여, 판독되는 위치 정보에 따라 상기 위치를 검출하기 위한 대상이 설정된 위치에 오도록 조절하기 위한 제어 신호를 출력하는 제어 수단과;
상기 제어 수단에서 출력되는 제어 신호에 따라 위치를 검출하기 위한 대상을 설정된 위치에 오도록 조절하는 위치 조절 수단으로 이루어진다.
상기 구성에 의한 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 설명하면 다음과 같다.
제1도는 이 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치의 사시도이고,
제2도는 이 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드에서 발산되는 광의 모양을 나타낸 도면이고,
제3도는 이 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드에서 발산된 광이 구면 렌즈에 의하여 집광되었을 때의 광점의 모양을 나타낸 도면이고,
제4도는 이 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드에서 발산된 광이 광검출기에 검출되는 경우의 상태도이다.
첨부한 제1도에 도시되어 있듯이 이 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치의 구성은, 워크피스(3)에 기록하고자 하는 패턴이 새겨진 마스크(1)와, 상기 마스크(1)위를 지나는 광을 투영시키는 투영렌즈(2)와, 상기 투영 렌즈(2)의 초점 심도내에 위치하고 마스크상의 패턴을 옮기기 위한 유리판 또는 웨이퍼로 구성된 워크피스(3)와, 상기 워크피스(3)의 위치를 검출하기 위한 타원광을 발산하는 레이저 다이오드(4)와, 상기 레이저 다이오드(4)에서 발산되는 타원광을 집광시켜 출력하는 제1구면 렌즈(5)와, 상기 구면 렌즈(5)에서 집광되는 광을 상기 워크피스(3)로 반사시키는 제1반사경(6)과, 상기 제1반사경(6)에서 반사된 다음 다시 워크피스(3)에 반사되는 광을 반사시키는 제2반사경(7)과, 상기 제2반사경(7)에서 반사되는 광을 집광하여 출력하는 제2구면 렌즈(8)와, 상기 제2구면 렌즈(8)를 통하여 입사되는 광을 검출하여 그에 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 광검출기(9)와, 상기 광검출기(9)에서 출력되는 전기적인 신호를 증폭하여 출력하는 증폭/이득 조절기(10)와, 상기 증폭/이득 조절기(10)에서 출력되는 신호를 디지탈 신호로 변환시켜 출력하는 A/D변화기(11)와, 상기 A/D 변화기(11)의 출력단에 연결되어 인가되는 신호에 따라 상기 워크피스(3)의 위치를 판단한 다음, 워크피스(3)를 투영 렌즈(2)의 상점위치에 정확히 놓이도록 해당하는 제어 신호를 출력하는 제어부(13)와, 상기 제어부(13)에서 출력되는 제어 신호에 따라 워크피스(3)의 위치를 조절하는 위치 조절부(13)로 이루어진다.
이 발명의 실시예에 따른 상기 위치 조절부(13)는 워크피스(3)가 놓여져 있는 도시하지 않은 스테이지를 투영 렌즈(2)의 상점 위치에 오도록 상하로 조절한다.
상기 구성에 의한 이 발명의 실시예 따른 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치의 작용은 다음과 같다.
노광 장비의 정렬광원으로 사용되거나, 디스크의 정보를 읽어내기 위한 레이저 광선을, 항상 안정된 광량으로 발사시키기 위한 도시하지 않은 레이저 파워 제어 장치에서 구동 신호가 인가되면, 레이저 다이오드(4)가 광을 발산한다.
상기 레이저 다이오드(4)에서 발산되는 광은 제3도에 도시되어 있는 바와 같이 광원 자체가 비점 수차를 가지고 있으므로, 제2도에서 나타난 바와 같이 타원모양으로 발산된다.
상기 레이저 다이오드(4)에서 발산된 타원광은 제1구면 렌즈(5)를 통하여 집광된 다음, 제1반사경(6)을 지나 워크피스(3)에 집광된다.
제3도는 레이저 다이오드(4)에서 발산된 광을 제1구면 렌즈(5)로 집광했을 때의 모양을 나타내고 있다. 상기 레이저 다이오드(4)에서 발산된 광원이 비점 수차를 포함하고 있으므로, 제1구면 렌즈(5)의 수평면으로 입사한 광은 a의 위치에 집광되고, 제1구면 렌즈(5)의 수직한 부분으로 통과한 광은 c의 위치에 집광된다.
상기와 같이 수직 성분과 수평 성분의 초점 차이를 비점 수차라고 한다.
그러나, 상기의 a의 위치에서는 수평 방향의 광은 초점의 위치이지만 수직방향의 광은 초점 안쪽에 위치함으로, a의 위치에서의 광의 모양은 타원형을 가지게 되며, 특히 세로축 방향이 장축을 이루는 타원형을 이루게 된다.
그리고, c의 위치에서는 a의 위치에서와는 반대로 수직 방향의 광은 초점 위치이지만 수평 방향의 광은 초점 바깥쪽에 위치함으로, 광의 모양은 a의 우치에서와 동일하게 타원형을 이루게 되나, 가로축 방향이 장축을 이루는 타원형을 이루게 된다.
그리고, b의 위치에서는 세로축 방향의 광은 초점 안쪽이 되고 가로축 방향의 광은 초점 바깥쪽이 되어 광의 단면이 원형을 이루게 된다.
상기와 같이 제1구면 렌즈(5)에 집광된 다음 제1반사경(6)을 통하여 워크피스(3)에서 반사된 광은, 다시 제2반사경(7)을 통하여 반사되어 제2구면 렌즈(8)를 지나 광검출기(9)로 입사된다.
이 발명의 실시예에 따른 상기 광검출기(9)는 4분할 포토 다이오드로 이루어져 있어, 첨부한 제4도에 도시되어 있듯이 입사되는 광의 각 분할된 면에 해당하는 전기적인 신호를 출력한다.
상기 광검출기(9)에서 출력되는 신호는 증폭/이득 조절기(10)를 통하여 적당한 값으로 조절된 다음, A/D(Analog/Digital)변환기(11)를 통하여 디지탈 신호로 변환되어 제어부(12)로 입력된다.
상기 제어부(12)는 입력되는 신호에 따라 웨이퍼 및 유리판 즉, 워크피스가 올려져 있는 스테이지의 위치를 판단한다.
첨부한 제4도는 레이저 다이오드(4)에서 발사된 광이 광검출기(9)에서 검출되는 형태를 나타내고 있다. 제4도의 (a)는 워크피스(3)가 투영 렌즈(2)의 상점의 바깥쪽에 위치하였을 때 광검출기(9)에서의 정렬광의 모양과 위치(23)이다.
제4도의 (b)는 워크피스(3)가 정확히 투영렌즈(2)의 상점의 위치에 놓였을 경우의 광검출기(9)를 통하여 검출되는 정렬광의 모양과 위치이고, 제4도의 (c)는 워크피스(3)가 투영 렌즈(2)의 상점의 안쪽에 위치하였을 경우의 광검출기(9)에서 검출되는 정렬광의 모양과 위치를 나타낸다.
상기 제어부(12)는 광검출기(9)를 통해서 출력되는 신호에 따라 제4도에서 나타낸 것과 같은 결과를 즉, 워크피스(3)의 위치에 관한 정보를 다음의 식에 의하여 알 수 있다.
(a+b)-(c-d)=α 식(1)
(a+c)-(b+d)=β 식(2)
상기 제어부(12)는 식(1)의 값과 식(2)의 값이 0인 경우에는 제4도의 (b)에 도시되어 있는 바와 같이 워크피스(3)가 투영 렌즈(2)의 상점에 위치한 것으로 판단하고, 상기 식(1)의 값인 α가 0이고 식(2)의 β가 임의의 값을 가지는 경우에는 제4도의 (a)에 도시되어 있는 바와 같이 워크피스(3)가 투영 렌즈(2)의 상점보다 바깥쪽에 위치한 것으로 판단한다.
또한, 상기 식(1)의 α가 임의의 값을 가지고 식(2)의 β값이 0인 경우에는 워크피스(3)가 투영 렌즈(2)의 상점보다 안쪽에 위치하고 있는 것으로 판단한다.
상기에서 제어부(12)는 설정된 식에 따라 광검출기(9)를 통하여 검출되는 신호에 따라 현재 워크피스(3)의 위치를 판단한 다음, 판단되는 정보에 따라 워크피스(3)의 위치를 투영 렌즈(2)의 상점에 정확히 위치하도록 제어 신호를 출력한다.
상기 위치 조절부(13)는 제어부(12)에서 출력되는 신호에 따라 동작 상태가 가변되어 도시하지 않은 스테이지의 위치를 조절하여, 스테이지 상에 올려있는 워크피스(3)의 위치를 가변시킨다.
제5도는 이 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치의 사시도이다.
이 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치의 구성은 상기한 실시예와 동일한 구성을 가지며, 상기와 달리 광원 즉, 레이저 다이오드(4)에서 발산되는 광원이 가지는 비점 수차를 더욱 크게 하기 위하여, 구면 렌즈 앞에 별도의 실린더리컬 렌즈(14)를 하나 더 장착시킨다.
일반적으로 상기한 실린더리컬 렌즈(14)는 원형광에 대하여 비점 수차를 발생시키는 렌즈로서, 이 발명의 실시예에서는 광원 자체가 가지고 있는 비점 수차를 실린더리컬 렌즈(14)를 이용하연 더욱 그 값을 크게 만들어 발산시키므로써, 광검출기(9)에서의 워크피스(3)의 위치 정보를 쉽게 얻을 수 있도록 하며, 동작 원리는 상기한 실시예와 동일하다.
그러나, 실린더리컬 렌즈(14)를 통하여 발산되는 광의 비점 수차가 더욱 커지게 되므로, 제3도에서의 a, b, c의 위치의 간격이 커지게 된다. 따라서, 광검출기(9)를 통하여 위치 정보를 용이하게 얻을 수 있다.
이상에서와 같이 이 발명의 실시예에 따라, 레이저 다이오드에서 발산되는 타원광을 원형으로 정형하지 않고, 타원광을 그대로 이용하여 자동으로 노광 장비의 워크피스나 CD플레이어의 디스크가 초점 위치 또는 초점 심도 범위내에 위치하도록 제어할 수 있다.
타원광을 구면광으로 정형한 후 다시 실린더리컬 렌즈와 구면 렌즈를 조합하여 비점 수차를 발생시켜 이에 따라 초점을 조절하는 경우와 달리, 간단한 구성으로 용이하게 위치 정보를 검출하므로써 생산비용이 절감되고 점유 면적이 감소되는 효과를 가지는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치를 제공할 수 있다.

Claims (9)

  1. 비점 수차를 가지는 타원광을 발산하는 레이저 다이오드와; 상기 레이저 다이오드에서 발산되는 타원광을 집광하는 제1구면 렌즈와; 상기 제1구면 렌즈에서 집광된 타원광을 위치를 검출하고자 하는 대상으로 반사시키는 제1반사경과; 상기 제1반사경에서 반사된 다음 위치를 검출하고자 하는 대상에 의하여 다시 반사되어 입사되는 타원광을 다시 반시시키는 제2반사경과; 상기 제2반사경에서 반사되는 타원광을 집광하는 제2구면 렌즈와; 상기 제2구면 렌즈에서 집광되는 타원광을 다수개로 분할된 수광면으로 수광하고, 수광되는 타원광에 해당하는 전기적인 신호를 각각 출력하는 광검출 수단과; 상기 광검출 수단에서 출력되는 다수의 전기적인 신호에 따라 위치를 검출하기 위한 대상에 해당하는 위치 정보를 판독하여, 판독되는 위치 정보에 따라 상기 위치를 검출하기 위한 대상이 설정된 위치에 오도록 조절하기 위한 제어 신호를 출력하는 제어 수단과; 상기 제어 수단에서 출력되는 제어 신호에 따라 위치를 검출하기 위한 대상을 설정된 위치에 오도록 조절하는 위치 조절 수단으로 이루어진다.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 광검출 수단은, 상기 제2구면 렌즈를 통하여 집광되는 광신호를 해당하는 전기적인 신호로 출력하는 포토 다이오드와; 상기 포토 다이오드에서 출력되는 전기적인 신호를 증폭하여 적당한 값을 조절하여 해당하는 전기적인 아날로그 신호를 출력하는 증폭기와; 상기 증폭기에서 출력되는 아날로그 신호를 해당하는 디지탈 신호로 변화하여 출력하는 신호 변환기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기한 포토 다이오드는 입력되는 광신호를 4개로 분할하여 각 분할된 면에 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 4분할 포토 다이오드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기한 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치는, 컴팩트 디스크 플레이어에 있어서, 컴팩트 디스크에 저장된 신호를 픽업하는 데 있어 사용되는 대물 렌즈의 위치를 조절하는데 이용되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치.
  5. 인가되는 광을 투영시키는 투영 렌즈와, 상기 투영 렌즈의 초점 심도 범위내에 위치하는 워크피스를 포함하는 노광 장비에 있어서, 비점 수차를 가지는 타원광을 발산하는 레이저 다이오드와; 상기 레이저 다이오드에서 발산되는 타원광을 집광하는 제1구면 렌즈와; 상기 제1구면 렌즈에서 집광된 타원광을 위치를 검출하고자 하는 워크피스로 반사시키는 제1반사경과; 상기 워크피스에서 반사되는 타원광을 다시 반시시키는 제2반사경과; 상기 제2반사경에서 반사되는 타원광을 집광하는 제2구면 렌즈와; 상기 제2구면 렌즈에서 집광되는 타원광에 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 광검출 수단과; 상기 광검출 수단에서 출력되는 전기적인 신호에 따라 상기 워크피스의 위치정보를 판독하여, 판독되는 위치 정보에 따라 상기 워크피스가 투영 렌즈의 상점 위치에 오도록 조절하기 위한 제어 신호를 출력하는 제어수단과; 상기 제어 수단에서 출력되는 제어 신호에 따라 상기 워크피스의 위치를 조절하는 위치 조절 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치.
  6. 비점 수차를 가지는 타원광을 발산하는 레이저 다이오드와; 상기 레이저 다이오드에서 발산되는 타원광을 집광하는 제1구면 렌즈와; 상기 제1구면 렌즈에서 집광되는 타원광의 비점 수차를 발생시켜 발산하는 실린더리컬 렌즈와; 상기 실린더리컬 렌즈에서 집광된 타원광을 위치를 검출하고자 하는 대상으로 반사시키는 제1반사경과; 상기 제1반사경에서 반사된 다음 위치를 검출하고자 하는 대상에 의하여 다시 반사되어 입사되는 타원광을 다시 반사시키는 제2반사경과; 상기 제2반사경에서 반사되는 타원광을 집광하는 제2구면 렌즈와; 상기 제2구면 렌즈에서 집광되는 타원광에 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 광검출 수단과; 상기 광검출 수단에서 출력되는 전기적인 신호에 따라 위치를 검출하기 위한 대상에 해당하는 위치 정보를 판독하여, 판독되는 위치 정보에 따라 상기 위치를 검출하기 위한 대상이 설정된 위치에 오도록 조절하기 위한 제어 신호를 출력하는 제어 수단과; 상기 제어 수단에서 출력되는 제어 신호에 따라 위치를 검출하기 위한 대상을 설정된 위치에 오도록 조절하는 위치 조절 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기한 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치는, 컴팩트 디스크 플레이어에 있어서, 컴팩트 디스크에 저장된 신호를 픽업하는 데 있어 사용되는 대물 렌즈의 위치를 조절하는데 이용되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치.
  8. 입사되는 광을 투영시키는 투영 렌즈와, 상기 투영 렌즈의 초점 심도 범위내에 위치하는 워크피스를 포함하는 노광 장비에 있어서, 비점 수차를 가지는 타원광을 발산하는 레이저 다이오드와; 상기 레이저 다이오드에서 발산되는 타원광을 집광하는 제1구면 렌즈와; 상기 제1구면 렌즈에서 집광되는 타원광의 비점 수차를 발생시켜 발산하는 실린더리컬 렌즈와; 상기 실린더리컬 렌즈에서 집광된 타원광을 위치를 검출하고자 하는 워크피스로 반사시키는 제1반사경과; 상기 워크피스에서 반사되는 타원광을 다시 반사시키는 제2반사경과; 상기 제2반사경에서 반사되는 타원광을 집광하는 제2구면 렌즈와; 상기 제2구면 렌즈에서 집광되는 타원광에 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 광검출 수단과; 상기 광검출 수단에서 출력되는 전기적인 신호엔 따라 상기 워크피스의 위치 정보를 판독하여, 판독되는 위치 정보에 따라 상기 워크피스가 투영 렌즈의 상점 위치에 오도록 조절하기 위한 제어 신호를 출력하는 제어 수단과; 상기 제어 수단에서 출력되는 제어 신호에 따라 상기 워크피스의 위치를 조절하는 위치 조절 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기한 광검출 수단은, 상기 제2구면 렌즈를 통하여 집광되는 광신호를 해당하는 전기적인 신호로 출력하는 포토 다이오드와; 상기 포토 다이오드에서 출력되는 전기적인 신호를 증폭하여 적당한 값을 조절하여 해당하는 전기적인 아날로그 신호를 출력하는 증폭기와; 상기 증폭기에서 출력되는 아날로그 신호를 해당하는 디지탈 신호로 변화하여 출력하는 신호 변환기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드를 이용한 자동 초점 조절 장치.
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