KR0155920B1 - 반도체 소자의 제조 공정에 이용되는 연소 장치 - Google Patents

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Abstract

반도체 소자 제작 공정 중, 특히 연소 장치에 있어서, 예열 온도가 저하되는 현상을 방지한 연소 장치에 대해 기재 되어 있다. 연소 장치는 크게 열 발생 장치, 몸체, 스토퍼 어셈블리 및 바닥판의 4개의 부위로 구성된다. 이때 열 발생 장치와 몸체간의 연결 부위에 반사판 보호를 위한 보호판이 개재되어지고, 몸체 내부의 연소관 내면을 따라 연소관 보호판이 밀착되고, 몸체와 스토퍼 어셈블리 각각을 바닥판에 보다 견고하게 고정할 수 있는 고정대 및 양날개 지지대가 각각 설치된다. 여기서 반사판 보호를 위한 보호판은 열 발생 장치 내의 반사판의 부식을 방치하고, 연소관 내의 연소관 보호판은 연소관 내벽의 부식 방지 및 열 발사율을 향상시켜 예열 온도가 저하되는 것을 방지한다. 한편, 몸체를 바닥판에 볼트를 이용하여 고정대에 직접 고정함으로써, 종래의 고무 패킹의 열화로 인한 고정 불량을 해결하고 스토퍼 어셈블리를 바닥판에 고정할 때 양날개를 가진 지지대를 이용하여 보다 견고하게 고정시킨다. 이렇게 개선된 연소 장치는 예열 온도가 저하되는 것이 방지되고 아울러 본 장치의 안전성 있는 동작을 가능케하며, 부수적으로는 연소 장치의 수명을 증대하는 효과가 있다.

Description

반도체 소자의 제조 공정에 이용되는 연소 장치
제1도는 반도체 소자의 제조 공정에서 이용되는 종래의 연소 장치를 도시한 사시도이다.
제2도는 본 발명의 제1 실시예에 의해 제공되는 연소 장치를 도시한 사시도이다.
제3도는 본 발명의 제2 실시예에 의해 제공되는 연소 장치를 도시한 사시도이다.
제4도는 본 발명의 제3 실시예에 의해 제공되는 연소 장치를 도시한 사시도이다.
제5도는 본 발명의 제4 실시예에 의해 제공되는 연소 장치를 도시한 사시도이다.
본 발명은 반도체 소자의 제조장치에 관한 것으로, 특히 예열 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있는 연소 장치(Pyrogenic Unit)에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자의 제조 공정, 특히, 산화 공정에서 반도체 기판상에 산화막을 형성하는 것이 필수적이다. 이러한 산화막을 형성하기 위한 열산화 공정은 그 산화 방식에 따라 건식 산화, 습식 산화 그리고 수증기 산화 공정으로 대별된다. 이하에서 상기의 산화방식에 따른 각 산화 공정에 대해 간략하게 설명하기로 한다.
먼저, 건식 산화 공정은 열산화 공정 중에서 가장 간단한 것으로서, 이는 O2또는 N2/O2의 혼합 기체를 실리콘 시료가 있는 확산로 내에 공급시켜 진행된다. 이러한 건식 산화 공정에 의한 산화막의 성장 속도는 다른 산화 공정에 비하여 상대적으로 매우 느리기 때문에 필드 산화막과 같은 두꺼운 산화막을 형성하기 보다는 게이트 산화막과 같은 얇은 산화막을 형성시키기 위하여 이용된다.
다음으로, 습식 산화 공정은 탈이온수(Delonic Water)가 담겨져 있는 플라스크를 통해 기포로 공급된 O2와 N2의 혼합체에서 진행된다.
끝으로, 수증기 산화 공정은 H2와 O2의 혼합 기체를 연소시켜 생성된 수증기(H2O)를 확산로에 공급시켜 산화막이 형성되도록 진행된다. 수증기 산화 공정에 의한 산화막의 성장 속도는 건식 산화 공정에서의 산화막 성장 속도보다 상대적으로 빠른데, 그 이유는 SiO2에서의 수증기(H2O)의 용해도는 산소(O2)의 용해도보다 103배 정도 크기 때문이다. 따라서, 수백~수천Å의 두꺼운 산화막, 예컨대 필드 산화막을 단시간에 얻기 위해서는 상기의 수증기 산화 공정으로 공정을 진행하는 것이 적합하며, 이 방식은 현재 통상적으로 이용되고 있다.
이하에서는 전술한 산화 공정 중의 하나인 수증기 산화 공정에서 반도체 기판이 장착되어 있는 공정 확산로로 수증기가 공급되는 원리를 간단히 살펴보기로 한다.
수증기 산화 공정에서는 반도체 기판, 즉 실리콘과 반응하여 실리콘 산화막을 형성할 수 있도록 수증기가 확산로에 공급되어야 하며, 이를 위해 산소와 수소의 혼합 기체를 화학 반응시켜 수증기를 만든다. 그런데, 수증기는 산소와 수소를 단순히 혼합한다고 해서 형성되는 것이 아니고, 상기 두 기체를 화학 반응 온도로 가열해 주는 과정 즉, 연소 과정이 필요하다. 이를 위하여 상기의 두 기체를 고온으로 가열된 히터(Heater)에 통과시키거나 램프(Lamp)열을 집열판에 집열시켜 가열된 연소관으로 보내어진다.
산화막 두께 및 열산화 공정의 균일성을 확보하기 위해 널리 이용되는 종형 확산로(Vertical Furnace) 장비에서는 상기의 램프 열의 집열에 의한 연소 방법이 현재 일반적으로 이용되고 있다.
이하에서, 종래의 연소 장치에 대하여 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.
제1도는 현재 상용되고 있는 연소 장치를 도시한 사시도로서, 이는 크게 열 발생부(A), 연소부(B), 몸체의 고정부(C) 및 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)로 나눌 수 있다.
[열 발생부(A)]
상기 열 발생부(A)는 열 발생 장치의 몸체(11), 반사판(13), 램프(15) 및 상부 연결 수단(17)으로 구성된다. 상기의 열 발생 장치의 몸체(11)는 상기의 반사판(13) 및 램프(15)를 지지하기 위한 수단이고, 상기의 반사판(13) 및 램프(15)는 열 발생 장치의 몸체(11) 내부에 장착되어 있다. 상기 반사판(13)은 램프(15)에서 발생된 열을 연소관(25)(이후에 설명됨)으로 반사시키기 위한 수단으로서, 이는 캡형(Cap-type)으로 되어 있다. 상기 상부 연결 수단(17)은 열 발생 장치의 몸체(11)를 연소 장치의 몸체(13)(이후에 설명됨)에 연결시키기 위한 수단으로서, 이는 도넛형(Doughnut-type)으로 되어 있고, 상기의 열 발생 장치의 몸체(11) 외부에 장착되어 있다.
[연소부(B)]
상기 연소부(B)는 연소 장치의 몸체(21), 연소관(23) 및 하부 연결수단(25)으로 구성된다. 상기 연소 장치의 몸체(21)는 연소관(23)을 지지하고 보호하기 위한 수단이고, 상기의 연소관(23)은 상기 연소장치의 몸체(21)의 내부에 장착되어 있다. 상기의 연소관(23)은 외부에서 공급된 산소와 수소의 혼합 기체를 가열 연소시키는 장소이고, 상기 연소관(23)의 내부에는 상기의 램프(15)에서 발생된 열이 집열되는 집열판(도시되지 아니함)이 장착되어 있다. 상기 하부 연결 수단(25)은 상기 상부 연결 수단(17)과 결합되어 상기 열 발생 장치의 몸체(11)를 상기 연소 장치의 몸체(21)와 연결시키기 위한 수단으로서, 이는 상기 상부 연결 수단(17)과 동형 즉, 도넛형으로 되어있고, 상기 연소 장치의 몸체(21) 상부에 설치되어 있다.
[몸체의 고정부(C)]
상기 몸체의 고정부(C)는 바닥판(31), 볼트의 고정부(33), 볼트(35), 너트(37) 및 고무 패킹(39)으로 구성된다. 상기 바닥판(31)은 상기의 연소 장치의 몸체(21)와 스토퍼 어셈블리(43)(이후에 설명됨)가 고정되는 평판 부재로서, 이는 상기 연소 장치의 몸체(21) 및 스토퍼 어셈블리(43)(이후에 설명됨)의 하부에 평탄하게 펼쳐져 설치되어 있다. 상기 연소 장치의 몸체(21) 외측면에는 볼트의 고정부(33)가 견고하게 설치되어 있다. 상기 볼트(35)는 상기 볼트의 고정부(33)를 통하여 끼워져 바닥판 상에 설치된 너트(37)에 접속되며, 이로써 상기 연소 장치의 몸체(21)가 상기 바닥판(31)에 고정된다. 상기 고무 패킹(39)은 상기 볼트(35)가 너트(37)에 접속될 때, 상기 바닥판(31)이 손상되는 것을 방지함과 아울러 상기 바닥판(31)을 통하여 전달되는 외부 진동이 상기 바닥판(31)으로 전달되는 것을 완충시키는 수단으로서, 이는 상기 볼트(35)와 상기 바닥판(31) 사이에 개재되어 있다.
[스토퍼 어셈블리의 고정부(D)]
상기 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)는 스토퍼 어셈블리(41), 지지대(43), 고정 나사(45) 및 고정 나사 구멍(47)으로 구성된다. 상기 스토퍼 어셈블리(41)는 상기 연소관(23)의 균형 및 지지를 위한 수단으로서, 이는 상기 연소관(23)에 연결되며, 상기 연소장치의 몸체(21) 측부에 설치되어 있다. 상기 지지대(43)는 상기 스토퍼 어셈블리(41)의 하부면에 부착되어 있으며, 이는 스토퍼 어셈블리(41) 하부의 한쪽 방향으로만 날개를 가지며, 여기에는 고정 나사 구멍이 설치되어 있다. 상기 스토퍼 어셈블리(41)는 상기 지지대(43) 상에 부착되어 설치되고, 상기 지지대(43)는 상기 바닥판(31) 상에 설치되어 있다. 상기 고정 나사(45)는 상기 지지대(43)를 상기 바닥판(31)에 고정시키는 수단으로서, 이는 상기 고정 나사 구멍(47)에 끼워진다.
전술한 상기 연소장치에서 가장 중요한 것은 기준 온도 이상의 예열 온도를 유지시키는 것인데, 이것은 연소관에 공급된 산소와 수소의 혼합기체의 안정적인 연소를 위해 필요하다.
연소 장치는 그 예열온도를 550℃ 이상으로 유지시켜야 한다. 그러나, 상기한 연소 장치의 예열 온도는 상기 연소 장치의 구성에 있어서 여러 문제점(이후에 설명됨)으로 인하여 빈번하게 기준 온도 이하로 떨어지고, 이는 결과적으로 후속되는 반도체 공정 상에서 이상을 일으키는 주원인이 되고 있다.
종래 연소 장치의 예열 온도를 저하시키는 주요 원인을 살펴보면 다음과 같다.
첫째, 반사판(13)의 반사능력 저하의 문제이다. 상기 반사판(13)은 그 내부에 장착된 램프(15)열을 연소관(23)의 집열판(도시되지 아니함)으로 집열시켜 H2/O2혼합물의 연소에 필요한 열을 전달시키는 역할을 한다. 그러나, 종래의 반사판(13)은 상부 연결 수단(17)의 하부면을 통해 외부(예컨대, 연소관(23)등)에 노출되기 때문에, 외부의 각종부식성 물질에 대한 방어 능력이 취약하다. 따라서, 상기 반사판(13) 표면은 급속히 부식되어 반사 능력이 저하되고, 이는 결과적으로 예열 온도의 저하를 초래한다.
둘째, 연소관(23) 표면의 부식 문제이다. 연소장치의 몸체(21)는 그 내부에 설치된 연소관(23)을 보호하는 케이스로서, 램프(15)로부터 전달된 열을 외부로 손실되지 않도록 함과 동시에 그 전달받은 열을 다시 집열판(도시되지 아니함)으로 집열시켜 예열온도를 한층 더 높여주는 역할을 한다. 상기 연소관(23)의 내부 표면은 부식성 물질에 노출되는 경우가 많으므로, 이에 의해 상기 연소관(23)의 표면이 손상되기 때문에 열의 재반사 효율이 저하되고, 이는 결과적으로 예열 온도를 저하시킨다.
셋째, 상기 바닥판(31)에 연소 장치의 몸체(21)가 불완전하게 고정되는 문제이다. 즉, 연소 장치의 몸체(21)는 볼트(35)를 이용하여 바닥판(31)에 고정시킴에 있어서, 상기 너트(37) 하부에 고무 패킹(37)을 장착시키는데, 이 고무 패킹(37)은 연소 장치가 장시간 동작됨에 따라 열화되고, 이로써 연소 장치의 몸체(21)를 고정시키는 능력이 저하된다. 따라서, 공정 진행 중에 외부 진동으로 인하여 연소관(23)의 위치가 불안정하게 되고, 이는 연소관(23)의 집열 효율을 떨어뜨리고, 결과적으로 연소 장치의 예열 온도를 저하시킨다.
넷째, 스토퍼 어셈블리(41)의 불량한 고정 상태로 인한 문제이다. 스토퍼 어셈블리(41)는 연소관(23)의 균형을 조절하고 이를 지지하기 위하여 바닥판(31) 상의 연소장치 몸체(21) 측부에 설치된다. 이때, 상기 스토퍼 어셈블리(41)의 하부에는 한쪽 방향의 날개를 갖는 지지대(43)가 부착되어 있다. 그런데, 지지대가 한쪽 방향으로만 형성된 날개를 갖기 때문에 예기치 않은 진동에 대해 연소장치가 흔들리는 것을 방지하는 능력을 떨어지고, 이는 연소관(23)의 위치를 불안정하게 만들고, 따라서 연소관(23) 내부에 집열판(도시되지 아니함)의 위치를 변동시킴으로써 연소관의 집열 효율을 떨어뜨리고, 이는 결과적으로 연소 장치의 예열 온도를 저하시킨다.
전술한 종래의 연소 장치가 갖는 문제점들은 궁극적으로는 반도체 소자의 제작 공정 중, 예컨대 열산화 공정에서 신뢰성 있는 산화막이 형성되는 것을 방해하는 주요인이 되는바, 이의 해결이 요망되고 있다.
따라서, 본 발명은 연소 장치의 예열 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있는 연소 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 제1실시예에 의한 연소 장치는, 연소 장치의 몸체; 상기 몸체의 내부에 장착된 연소관; 상기 연소 장치의 몸체에 설치된 하부 연결 수단; 상기 연소관에 열을 공급하기 위해 반사판과 램프가 내부에 설치된 열 발생 장치; 상기 열 발생 장치에 설치되어 상기 하부 연결 수단에 접속하기 위한 상부 연결 수단; 및 상기 하부 연결 수단과 상부 연결 수단 사이에 개재되고, 상기 열 발생 장치의 내부를 보호하기 위하여 상기 상부 연결 수단의 하단면과 동일한 형상의 판형으로 된 보호판을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기보호판은 내열성 및 투명성을 갖는 것이 바람직하며, 따라서, 상기 보호판은 석영으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 제2실시예에 의한 연소장치는, 연소 장치의 몸체; 상기 몸체의 내부에 설치된 연소관; 및 상기 연소관의 부식 방지를 위하여 상기 연소관 내면에 밀착되도록 설치된 연소관 보호판을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 연소관 보호판은 내식성 및 열 반사 능력을 갖는 물질로 형성되어 있는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 스테인레스로 형성되어 있다. 또한, 상기 연소관 보호판은 상기 연소관 내부면으로부터 탈착 가능한 것이 바람직하다.
상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 제3실시예에 의한 연소 장치는, 연소 장치의 몸체; 상기 연소 장치의 몸체의 외부에 설치된 볼트; 상기 연소 장치의 몸체를 고정시키기 위한 바닥판; 및 상기 바닥판 상에 설치되어, 상기 볼트가 끼워지는 구멍이 장착된 고정대를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 구멍은 복수개인 것이 바람직하다.
상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 제4실시예에 의한 연소장치는, 연소 장치의 몸체; 상기 몸체의 내부에 장착된 연소관; 상기 연소관을 조절하기 위하여 상기 몸체에 연결된 스토퍼 어셈블리; 상기 스토퍼 어셈블리를 지지하기 위하여 상기 스토퍼 어셈블리의 저면에 설치된 지지대; 상기 지지대의 양측에 형성된 구멍들; 상기 지지대를 고정하기 위한 바닥판; 상기 바닥판에 형성된 상기 지지대를 고정하기 위한 구멍들; 상기 지지대에 형성된 구멍들과 상기 바닥판에 형성된 구멍들 간을 연결하여 고정시키는 볼트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 상기 본 발명의 각 실시예에 의한 연소 장치에 의하면, 연소관의 예열 온도를 저하시키는 전술한 문제점들을 각각 해결할 수 있다.
이하에서는 상기 본 발명에 의한 각 실시예에 대해 첨부 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.
첨부 도면 제2도는 본 발명에 의해 제공되는 연소 장치의 제1실시예를 도시한 사시도로서, 이는 크게 열 발생부(A), 연소부(B), 몸체의 고정부(C) 및 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)로 나눌 수 있다.
[열 발생부(A)]
상기 열 발생부(A)는 열 발생 장치의 몸체(11), 반사판(13), 램프(15) 및 상부 연결 수단(17) 및 보호판(19)으로 구성된다. 상기의 열 발생 장치의 몸체(11)는 상기의 반사판(13) 및 램프(15)를 지지하기 위한 지지수단이고, 상기의 반사판(13) 및 램프(15)는 열 발생 장치의 몸체(11) 내부에 장착되어 있다. 상기 반사판(13)은 램프(15)에서 발생된 열을 연소관(25)(이후에 설명됨)으로 반사시키기 위한 수단으로서, 이는 캡형으로 되어 있다. 상기 상부 연결 수단(17)은 열 발생 장치의 몸체(11)를 연소 장치의 몸체(13)(이후에 설명됨)에 연결시키기 위한 수단으로서, 이는 도넛형으로 되어 있고, 상기의 열 발생 장치의 몸체(11) 외부에 장착되어 있다.
상기 보호판(19)은 상기 상부 연결 수단(17)의 하단면과 동일한 형상의 판형으로 형성되며, 이는 상기 상부 연결 수단(17)과 하부 연결 수단(25)(이후에 설명됨) 사이에 개재되고 잘 알려진 접속 수단(도시되지 아니함)을 이용하여 서로 긴밀하게 접속시킨다. 이때, 상기 보호판은 내열성 및 투명성을 갖는 것이 바람직하며, 따라서, 상기 보호판(19)은 석영으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기의 보호판(19)이 설치된 연소 장치의 반사판(13)이 부식되는 것을 방지되고, 따라서 반사판(13)의 열 반사 능력이 향상되고, 이는 결과적으로 연소 장치의 예열 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.
[연소부(B)]
상기 연소부(B)는 연소 장치의 몸체(21), 연소관 및 하부 연결수단(25)으로 구성된다. 상기 연소 장치의 몸체(21)는 연소관(23)을 지지하고 보호하기 위한 수단이고, 상기의 연소관(23)은 상기 연소장치의 몸체(21)의 내부에 장착되어 있다. 상기의 연소관(23)은 외부에서 공급된 산소와 수소의 혼합 기체를 가열 연소시키는 장소이고, 연소관(23)의 내부에는 상기의 램프(15)에서 발생된 열이 집열되는 집열판(도시되지 아니함)이 장착되어 있다. 상기 하부 연결 수단(25)은 상기 상부 연결 수단(17)과 결합되어 상기 열 발생 장치의 몸체(11)를 상기 연소 장치의 몸체(21)와 연결시키기 위한 수단으로서, 이는 상기 상부 연결 수단(17)과 동형 즉, 도넛형으로 되어있고, 상기 연소 장치의 몸체(21) 상부에 설치되어 있다.
[몸체의 고정부(C)]
상기 몸체의 고정부(C)는 바닥판(31), 볼트의 고정부(33), 볼트(35), 너트(37) 및 고무 패킹(39)으로 구성된다. 상기 바닥판(31)은 상기의 연소 장치의 몸체(21)와 스토퍼 어셈블리(43)(이후에 설명됨)가 고정되는 평판 부재로서, 이는 상기 연소 장치의 몸체(21) 및 스토퍼 어셈블리(43)(이후에 설명됨)의 하부에 평탄하게 펼쳐져 설치되어 있다. 상기 연소 장치의 몸체(21) 외측면에는 볼트의 고정부(33)가 견고하게 설치되어 있다. 상기 볼트(35)는 상기 볼트의 고정부(33)를 통하여 끼워져 바닥판 상에 설치된 너트(37)에 접속되며, 이로써 상기 연소 장치의 몸체(21)가 상기 바닥판(31)에 고정된다. 상기 고무 패킹(39)은 상기 볼트(35)가 너트(37)에 접속될 때, 상기 바닥판(31)이 손상되는 것을 방지함과 아울러 상기 바닥판(31)을 통하여 전달되는 외부 진동이 상기 바닥판(31)으로 전달되는 것을 완충시키는 수단으로서, 이는 상기 볼트(35)와 상기 바닥판(31) 사이에 개재되어 있다.
[스토퍼 어셈블리의 고정부(D)]
상기 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)는 스토퍼 어셈블리(41), 지지대(43), 고정 나사(45) 및 고정 나사 구멍(47)으로 구성된다. 상기 스토퍼 어셈블리(41)는 상기 연소관(23)의 균형 및 지지를 위한 수단으로서, 이는 상기 연소관(23)에 연결되며, 상기 연소장치의 몸체(21) 측부에 설치되어 있다. 상기 지지대(43)는 상기 스토퍼 어셈블리(41)의 하부면에 부착되어 있으며, 이는 스토퍼 어셈블리(41) 하부의 한쪽 방향으로만 날개를 가지며, 여기에는 고정 나사 구멍이 설치되어 있다. 상기 스토퍼 어셈블리(41)는 상기 지지대(43) 상에 부착되어 설치되고, 상기 지지대(43)는 상기 바닥판(31) 상에 설치되어 있다. 상기 고정 나사(45)는 상기 지지대(43)를 상기 바닥판(31)에 고정시키는 수단으로서, 이는 상기 고정 나사 구멍(47)에 끼워진다.
따라서, 상기 제1실시예에서와 같이 상기 열 발생부(A)에 상기 보호판(19)이 설치됨으로써 예열 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.
첨부 도면 제3도는 본 발명에 의해 제공되는 연소 장치의 제2실시예를 도시한 사시도로서, 이는 크게 열 발생부(A), 연소부(B), 몸체의 고정부(C) 및 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)로 나눌 수 있다.
이하에서 상기의 열 발생부(A), 몸체의 고정부(C) 및 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)는 전술한 제1실시예와 대차가 없으므로 먼저 간략하게 설명하고, 상기 연소부(B)에 대해서는 상세하게 설명하기로 한다.
[열 발생부(A)]
상기 열 발생부(A)는 열 발생 장치의 몸체(11), 반사판(13), 램프(15) 및 상부 연결 수단(17) 및 보호판(19)으로 구성된다. 이는 전술한 제1실시예서 보호판(제2도의 19)을 제외한 열 발생부(제2도의 A)와 동일한 구성을 이룬다.
[몸체의 고정부(C)]
상기 몸체의 고정부(C)는 바닥판(31), 볼트의 고정부(33), 볼트(35), 너트(37) 및 고무 패킹(39)으로 구성되는데, 이는 전술한 제1실시예의 몸체의 고정부(제2도의 C)와 동일한 구성을 이룬다.
[스토퍼 어셈블리의 고정부(D)]
상기 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)는 스토퍼 어셈블리(41), 지지대(43), 고정 나사(45) 및 고정 나사 구멍(47)으로 구성되는데, 이는 전술한 제1실시예의 스토퍼 어셈블리의 고정부(제2도의 D)와 동일한 구성을 이룬다.
[연소부(B)]
상기 연소부(B)는 연소 장치의 몸체(21), 연소관(23), 하부 연결 수단(25) 및 연소관 보호판(27)으로 구성되는데, 이는 전술한 제1실시예의 연소부(제2도의 B)에서 상기의 연소관 보호판(27)이 더 구비되는 점에서 차이점이 있다. 상기 연소관 보호판(27)은 상기 연소관(23) 내면에 밀착되도록 설치되고, 이로써 상기 연소관(23)이 부식되지 않게 한다. 따라서, 상기 연소관 보호판(27)은 부식에 대한 내성이 강하고 더불어 열을 잘 반사시킬 수 있는 것이 바람직하다. 결과적으로 상기 연소관 보호판(27)은 스테인스로 형성된 것이 바람직하다. 한편, 상기 연소관 보호판(27)이 내식성을 갖는다 하여도 연소장치의 반복되는 동작으로 어느 정도 부식되어 손상을 받게 되므로 상기 연소관 보호판(27)은 탈착 가능케 하는 것이 바람직하다.
상기의 연소관 보호판(27)이 연소관(23) 내에 설치됨으로써 연소관(23)이 부식성 물질에 노출되지 않도록 함으로써, 상기 연소관(23)의 부식을 막고, 이는 연소관(23)으로의 집열 효과가 저하되지 않도록 하여, 결과적으로 연소 장치의 예열 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.
첨부 도면 제4도는 본 발명에 의해 제공되는 연소 장치의 제3실시예를 도시한 사시도로서, 이는 크게 열 발생부(A), 연소부(B), 몸체의 고정부(C) 및 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)로 나눌 수 있다.
이하에서 상기의 열 발생부(A), 연소부(B) 및 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)는 전술한 제1실시예와 대차가 없으므로 먼저 간략하게 설명하고, 상기 몸체의 고정부(C)에 대해서는 상세하게 설명하기로 한다.
[열 발생부(A)]
상기 열 발생부(A)는 열 발생 장치의 몸체(11), 반사판(13), 램프(15) 및 상부 연결 수단(17)으로 구성된다. 이는 전술한 제1실시예서 보호판(제2도의 19)을 제외한 열 발생부(제2도의 A)와 동일한 구성을 이룬다.
[연소부(B)]
상기 연소부(B)는 연소 장치의 몸체(21), 연소관(23) 및 하부 연결 수단(25) 으로 구성되는데, 이는 전술한 제1실시예의 연소부(제2도의 B)와 동일한 구성을 이룬다.
[스토퍼 어셈블리의 고정부(D)]
상기 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)는 스토퍼 어셈블리(41), 지지대(43), 고정 나사(45) 및 고정 나사 구멍(47)으로 구성되는데, 이는 전술한 제1실시예의 스토퍼 어셈블리의 고정부(제2도의 D)와 동일한 구성을 이룬다.
[몸체의 고정부(C)]
상기 몸체의 고정부(C)는 바닥판(31), 볼트의 고정부(33), 볼트(35), 고정대(38) 및 구멍(36)으로 구성되는데, 이는 전술한 제1실시예의 몸체의 고정부(제2도의 C)에서 너트(제2도의 37)와 고무 패킹(제2도의 39)이 상기 구멍(36)을 갖춘 고정대(38)로 대체된 것을 제외하면 동일한 구성을 이룬다. 상기 고정대(38)는 상기 바닥판(31)상에 부착되어 있으며, 상기 고정대(38)에는 구멍(36)이 갖추어져 있다. 상기 볼트(35)는 상기 볼트의 고정부(33)를 통하여 끼워져 있으며, 이는 상기 구멍(36)에 끼워져 상기 연소 장치의 몸체(21)를 상기 바닥판(31)에 고정시킨다. 이때, 구멍(36)은 복수개의 설치됨이 바람직하다.
상기 바닥판(31)에 구비된 상기 고정대(38)와 구멍(36)을 이용하여 연소 장치의 몸체(21)를 바닥판(31)에 견고하게 고정시킴으로써, 연소 장치 외부의 진동으로부터 연소 장치의 흔들리는 것을 방지하고, 이는 연소 장치의 몸체(21)내의 연소관(23)을 안정되게 함으로써 결과적으로 연소장치의 예열 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한 복수개로 구비된 구멍(36)은 연소 장치의 바닥판(21)에서의 변화된 위치에 따라 연소 장치의 몸체(21)를 바닥판(31)에 효과적으로 고정시킬 수 있으므로, 결과적으로 상기 예열 온도가 저하되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
한편, 연소 장치가 전체적으로 견고하게 고정됨으로써 부수적으로 장치의 수명이 연장되는 효과도 얻을 수 있다.
첨부 도면 제5도는 본 발명에 의해 제공되는 연소 장치의 제4실시예를 도시한 사시도로서, 이는 크게 열 발생부(A), 연소부(B), 몸체의 고정부(C) 및 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)로 나눌 수 있다.
이하에서 상기의 열 발생부(A), 연소부(B) 및 몸체의 고정부(C)는 전술한 제1실시예와 대차가 없으므로 먼저 간략하게 설명하고, 상기 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)에 대해서는 상세하게 설명하기로 한다.
[열 발생부(A)]
상기 열 발생부(A)는 열 발생 장치의 몸체(11), 반사판(13), 램프(15) 및 상부 연결 수단(17)으로 구성된다. 이는 전술한 제1실시예서 보호판(제2도의 19)을 제외한 열 발생부(제2도의 A)와 동일한 구성을 이룬다.
[연소부(B)]
상기 연소부(B)는 연소 장치의 몸체(21), 연소관(23) 및 하부 연결 수단(25) 으로 구성되는데, 이는 전술한 제1실시예의 연소부(제2도의 B)와 동일한 구성을 이룬다.
[몸체의 고정부(C)]
상기 몸체의 고정부(C)는 바닥판(31), 볼트의 고정부(33), 볼트(35), 너트(37) 및 고무 패킹(39)으로 구성되는데, 이는 전술한 제1실시예의 몸체의 고정부(제2도의 C)와 동일한 구성을 이룬다.
[스토퍼 어셈블리의 고정부(D)]
상기 스토퍼 어셈블리의 고정부(D)는 스토퍼 어셈블리(41), 양날개 지지대(49), 고정 나사(45) 및 고정 나사 구멍(47)으로 구성된다. 상기 스토퍼 어셈블리(41)는 상기 연소관(23)의 균형 및 지지를 위한 수단으로서, 이는 상기 연소관(23)에 연결되며, 상기 연소 장치의 몸체(21) 측부에 설치되어 있다. 상기 양날개 지지대(49)는 상기 스토퍼 어셈블리(41) 하부면에 부착되어 있으며, 이는 스토퍼 어셈블리(41) 하부의 양쪽 방향으로 날개를 가지며, 상기 양날개 지지대(49)의 양측에는 각각 고정 나사 구멍(47)이 설치되어 있다(도면에서는 일측에만 도시됨). 상기 양측의 고정 나사 구멍(47)을 통하여 고정 나사(45)가 각각 끼워져(도면에서는 일측에만 도시됨) 상기 양날개 지지대(49)는 상기 바닥판(31)에 고정되어 있다.
상기와 같이 스토퍼 어셈블리(41)를 바닥판(31)에 고정시키기 위하여 양날개 지지대(49)를 이용함으로써 외부 진동에 대하여 보다 견고하게 고정되어지고, 이는 연소 장치의 예열 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기의 본 발명에 의한 제1실시예 내지 제4실시예에서 각각을 임의적으로 결합(즉, 제1실시예 및 제2실시예의 조합, 제1실시예 및 제3실시예의 조합, 제1실시예 및 제4실시예의 조합, 제2실시예 및 제3실시예의 조합, 제2실시예 및 제4실시예의 조합, 제3실시예 및 제4실시예의 조합, 제1실시예, 제2실시예 및 제3실시예의 조합, 제1실시예, 제2실시예 및 제4실시예의 조합, 제1실시예, 제3실시예 및 제4실시예의 조합, 제2실시예, 제3실시예 및 제4실시예의 조합, 그리고 제1실시예 내지 제4실시예 모두의 조합으로 총 11가지의 경우가 가능하다)시키면 본 발명의 목적인 예열 온도가 저하되는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 연소장치가 제공된다.
본 발명에 의한 연소 장치에 의하면 첫째, 보호판은 상부 연결 수단과 하부 연결 수단 사이에 개재되어 종래의 첫 번째 문제, 즉 반사판 표면이 부식되어 예열 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있다. 이는 상기 보호판이 상부 연결 수단에 의해 외부로 노출되는 반사판을 보호하도록 상부 연결 수단과 하부 연결 수단사이에 설치됨으로써 실현된다.
둘째, 연소관 보호판은 연소관 내면에 장착되어 종래의 두 번째 문제, 즉 연소관 표면이 부식되어 예열 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있다. 이는 상기 연소관 보호판이 연소관 표면에 밀착되게 장착되어 부식성 물질로 인하여 연소관이 부식되는 것을 방지함으로써 실현된다. 아울러, 상기 연소관 보호판이 열 반사 능력을 갖도록 하면 연소관의 집열 효율을 향상시킬 수 있게 된다. 또한 상기 연소관 보호판을 탈착 가능케함으로써 연소장치의 수명을 연장시키는 부수적인 효과도 있다.
셋째, 연소 장치의 몸체를 바닥판에 견고하게 고정시키기 위하여 복수개의 구멍을 구비한 고정대를 이용함으로써 전술한 세 번째 문제, 즉 연소장치의 몸체가 바닥판에 견고하게 고정되지 못하여 초래되는 예열 온도의 저하를 방지할 수 있다.
넷째, 스토퍼 어셈블리를 바닥판에 견고하게 고정시키기 위하여 양측에 고정 나사 구멍을 구비한 양날개 지지대를 이용함으로써 전술한 네 번째 문제, 즉 스토퍼 어셈블 리가 바닥판에 견고하게 고정되지 못하여 초래되는 예열 온도의 저하를 방지할 수 있다.
더불어, 상기 셋째와 넷째의 본 발명의 효과외에도 연소 장치가 전체적으로 견고하게 고정되어, 외부 진동으로 인하여 연소 장치에 고장이 발생되는 것을 감소시킬 수 있으며, 이는 결과적으로 연소장치의 수명을 연장시킬 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 연소 장치는 연소 장치의 예열 온도가 저하되는 것이 방지되고 아울러 연소 장치의 안정성 있는 동작이 가능하여 짐으로써, 후속되는 반도체 소자 제작 공정을 보다 신뢰성과 안정성 있게 진행시킬 수 있음이 분명하다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상내에서 많은 변형이 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 실시 가능함은 명백하다.

Claims (12)

  1. 반도체 소자의 제조 공정에 이용되는 연소 장치에 있어서, 연소 장치의 몸체; 상기 몸체의 내부에 장착된 연소관; 상기 연소 장치의 몸체에 설치된 하부 연결 수단; 상기 연소관에 열을 공급하기 위해 반사판과 램프가 내부에 설치된 열 발생 장치; 상기 열 발생 장치에 설치되어 상기 하부 연결 수단에 접속하기 위한 상부 연결 수단; 및 상기 상부 연결 수단과 하부 연결 수단 사이에 개재되고, 상기 열 발생 장치의 내부를 보호하기 위하여 상기 상부 연결 수단의 하단면과 동일한 형상의 판형으로 된 보호판을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보호판은 내열성을 갖는 물질로 된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 보호판은 투명성을 갖는 물질로 된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 보호판의 재질은 석영인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  5. 반도체 소자의 제조 공정에 이용되는 연소 장치에 있어서, 연소 장치의 몸체; 상기 몸체의 내부에 장착된 연소관; 및 상기 연소관의 부식 방지를 위하여 상기 연소관 내면에 밀착되도록 설치된 연소관 보호판을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 연소관 보호판은 내식성을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 연소관 보호판은 열 반사 능력을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연소관 보호판의 재질은 스테인레스인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  9. 제5항 내지 제8항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 연소관 보호판은 상기 연소관 내부면으로부터 탈착 가능한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  10. 반도체 소자의 제조 공정에 이용되는 연소 장치에 있어서, 연소 장치의 몸체; 상기 연소장치의 몸체의 외부에 설치된 볼트; 상기 연소 장치의 몸체를 고정시키기 위한 바닥판; 및 상기 바닥판 상에 설치되어, 상기 볼트가 끼워지는 구멍이 장착된 고정대를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 구멍은 복수개인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
  12. 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치에 있어서, 연소 장치의 몸체, 상기 몸체의 내부에 장착된 연소관; 상기 연소관을 조절하기 위하여 상기 몸체에 연결된 스토퍼 어셈블리; 상기 스토퍼 어셈블리를 지지하기 위하여 상기 스토퍼 어셈블리의 저면에 설치된 지지대; 상기 지지대의 양측에 형성된 구멍들; 상기 지지대를 고정하기 위한 바닥판; 상기 바닥판에 형성된 상기 지지대를 고정하기 위한 구멍들; 상기 지지대에 형성된 구멍들과 상기 바닥판에 형성된 구멍들 간을 연결하여 고정시키는 볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치.
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