KR970030302A - 반도체 소자의 제조 공정에 이용되는 연소장치 - Google Patents
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Abstract
반도체 소자 제작 공정 중, 특히 연소 장치에 있어서, 예열 온도가 저하되는 현상을 방지한 연소 장치에 대해 기재되어 있다. 연소 장치는 크게 열 발생 장치, 몸체, 스토퍼 어셈블리 및 바닥판의 4개의 부위로 구성된다. 이때 열 발생 장치와 몸체간의 연결 부위에 반사판 보호를 위한 보호판이 개재되어지고, 몸체 내부의 연소관 내면을 따라 연소관 보호판이 밀착되고, 몸체와 스토퍼 어셈블리 각각을 바닥판에 보다 견고하게 고정할 수 있는 고정대 및 양날개 지지대가 각각 설치된다. 여기서 반사판 보호를 위한 보호판은 열 발생 장치 내의 반사판의 부식을 방지하고, 연소관 내의 연소관 보호판은 연소관 내벽의 부식 방지 및 열반사율을 향상시켜 예열 온도가 저하되는 것을 방지한다. 한편, 몸체를 바닥판에 볼트를 이용하여 고정대에 직접 고정함으로써, 종래의 고무패킹의 열화로 인한 고정 불량을 해결하고, 스토퍼 어셈블리를 바닥판에 고정할 때 양날개를 가진 지지대를 이용하여 보다 견고하게 고정시킨다. 이렇게 개선된 연소 장치는 예열 온도가 저하되는 것이 방지되고 아울러 본 장치의 안정성 있는 동작을 가능케하며, 부수적으로 연소 장치의 수명을 증대하는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 제1실시예에 의해 제공되는 연소 장치를 도시한 사시도이다.
제3도는 본 발명의 제2실시이예에 의해 제공도는 연소 장치를 도시한 사시도이다.
제4도는 본 발명의 제3실시예에 의해 제공되는 연소 장치를 도시한 사시도이다.
Claims (12)
- 반도체 소자이 제조 공정에 이용되는 연소 장치에 있어서, 연소 장치의 몸체; 상기 몸체의 내부에 정착된 연소관; 상기 연소 장치의 몸체에 설치된 하부 연결 수단; 상기 연소관에 열을 공급하기 위해 반사판과 램프가 내부에 설치된 열발생 장치; 상기 열 발생 장치에 설치되어 상기 하부 연결 수단에 접속하기 위한 상부 연결 수단; 및 상기 상부 연결 수단과 하부 연결 수단 사이에 개재되고, 상기 열발생 장치의 내부를 보호하기 위하여 상기 상부 연결 수단의 하단면과 동일한 형상의 판형으로 형성된 보호판을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
- 제1항에 있어서, 상기 보호판은 내열성을 갖는 물질로 된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
- 제1항에 있어서, 상기 보호판은 투명성을 갖는 물질로 된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 조 공정에 이용되는 연소장치.
- 제1항 내지 제3항중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 보호판의 재질은 석영인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
- 반도체 소자의 제조 공정에 이용되는 연소 장치에 있어서, 연소 장치의 몸체; 상기 몸체의 내부에 설치된 연소관; 및 상기 연소관의 부식 방지를 위하여 상기 연소관 내면에 밀착되도록 설치된 연소관 보호판을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
- 제5항에 있어서, 상기 연소관 보호판은 내식성을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
- 제5항에 있어서, 상기 연소관 보호판은 열 반사 능력을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
- 제5항 내지 제7항중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 연소관 보호판의 재질은 스테인레스인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
- 제5항 내지 제8항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 연소관 보호판은 상기 연소관 내부면으로부터 탈착가능한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
- 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치에 있어서, 연소 장치의 몸체; 상기 연소 장치의 몸체의 외부에 설치된 볼트; 상기 연소 장치의 몸체를 고정시키기 위한 바닥판; 및 상기 바닥판 상에 설치되어 상기 볼트가 끼워지는 구멍이 장착된 고정대를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
- 제10항에 있어서, 상기 구멍은 복수개인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
- 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소 장치에 있어서, 연소 장치의 몸체; 상기 몸체의 내부에 장착된 연소관; 상기 연소관을 조절하기 위하여 상기 몸체에 연결된 스토퍼 어셈블리; 상기 스토퍼 어셈블리를 지지하기 위하여 상기 스터퍼 어셈블리의 저면에 설치된 지지대; 상기 지지대의 양측에 형성된 구멍들; 상기 지지대를 고정하기 위한 바닥판; 상기 바닥판에 형성된 상기 지지대를 고정하기 위한 구멍들; 상기 지지대에 형성된 구멍들과 상기 바닥판에 형성된 구멍들 간을 연결하여 고정시키는 볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 공정에 이용되는 연소장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950040271A KR0155920B1 (ko) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 반도체 소자의 제조 공정에 이용되는 연소 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950040271A KR0155920B1 (ko) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 반도체 소자의 제조 공정에 이용되는 연소 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030302A true KR970030302A (ko) | 1997-06-26 |
| KR0155920B1 KR0155920B1 (ko) | 1998-12-01 |
Family
ID=19433391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950040271A KR0155920B1 (ko) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 반도체 소자의 제조 공정에 이용되는 연소 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0155920B1 (ko) |
-
1995
- 1995-11-08 KR KR1019950040271A patent/KR0155920B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0155920B1 (ko) | 1998-12-01 |
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