KR0141656B1 - 로드 또는 튜브형 세라믹 히터의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 저항 발열체 배선과 필요에 따라서 고열 전도성 배선이 매립되어 있는 세라믹 그린 시트가 1층 이상으로 겹쳐지게 적층되어 있는 로드 또는 튜브형 세라믹 히터의 제조 방법에 관한 것이다.

본 발명의 세라믹 히터의 제조 방법은, 계단형의 홈이 형성된 로드 또는 튜브형 세라믹 성형체를 저항 발열체 배선과 고열 전도성 배선을 동일면 또는 저항 발열체 배선을 서로 다른면에 각각 인쇄한 세라믹 그린 시트로 감싸되 1층 이상으로 겹쳐지게 말아서 적층시켜 일체화 시킨후에 습윤 수소 분위기 하에서 동시에 소성하고 단자 처리하는 것으로 이루어진다.

본 발명에 따른 로드 또는 튜브형 세라믹 히터는 배선들이 종래 보다 더 넓게 인쇄되어 있으면서 균일하게 되어 있어 균일한 발열이 가능할 뿐만 아니라 저항 발열체가 1층 이상으로 형성되어 있어 발열 효과를 증진시킬 수 있고, 특히 필요 부위만의 균일한 조기 발열도 가능한 특징이 있다.

Description

로드 또는 튜브형 세라믹 히터의 제조방법

제 1도는 본 발명에 따른 세라믹 히터를 제조하는 공정을 보여 주기 위한 사시도, 단면도 및 측면도이다.

제 2도는 종래의 방법으로 세라믹 히터를 제조하는 공정을 보여 주기 위한 사시도이다.

제 3도는 종래의 방법으로 제조된 세라믹 히터의 사시도 및 발열 부위를 보여 주기 위한 단면도이다.

제 4도는 종래의 또 다른 방법으로 제조된 세라믹 히터의 부분 절개 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 세라믹 성형체 12 : 세라믹 그린 시트

13 : 계단형 홈 14 : 구멍

15 : 고열 전도성 배선 16 : 저항발열체 배선

17,18 : 배선 18 : 컨넥터 핀

41 : 세라믹 히터 42 : 절연체

43,44,45 : 세라믹 층 46,47 : 경계면

48,49 : 배선

본 발명은 로드 또는 튜브형 세라믹 히터의 제조방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 저항 발열체 배선과 필요에 따라서 고열 전도성 배선이 매립되어 있는 세라믹 그린 시트가 1층 이상으로 적층되어 있는 로드 또는 튜브형 세라믹 히터의 제조방법에 관한 것이다.

본 발명에 따른 로드 또는 튜브형 세라믹 히터는 배선들이 종래 보다 더 넓게 인쇄되어 있으면서 균일하게 되어 있어 균일한 발열이 가능할 뿐만 아니라 저항 발열체가 1층 이상으로 형성되어 있어 발열 효과를 증진시킬 수 있고, 특히 필요 부위만의 균일한 조기 발열도 가능한 특징이 있다.

종래의 세라믹 히터의 제조 기술은 첨부 도면 제 2(a) ∼ (g)도에 나타낸 바와 같이, 일반적인 세라믹 조성을 사용해서 압출 또는 슬립 캐스팅 법에 의해 만들되, 필요에 따라서, 열처리하여 유기물을 소각(일명, 탈지)하여서 원통형, 예를 들면 로드형(제 2(a)도) 또는 튜브형(제 2(b)도)의 세라믹 성형체를 만든다.

별도로 상기 세라믹 성형체와 동일 또는 유사한 조성으로 테이프 캐스팅 법에 의해서 세라믹 그린 시트를 제작한다(제 2(c)도).

세라믹 그린 시트 위에다 저항 발열체 배선을 후막 인쇄법에 의해 형성한 후, 건조를 한다(제 2(d)도).

저항 발열체 배선이 인쇄된 세라믹 그린 시트를 상기 원통형 세라믹 성형체에 부착, 예를 들면, 열 에 의한 압착, 접착제에 의한 접착 또는 이들의 혼합 방법으로 부착(제 2(e)도)시킨 다음에 습윤 수소 분위기하에서 동시 소성을 하여 저항 발열체에 배선이 매립된 소결체를 얻는다(제 2(f)도).

단자 연결을 위해, 노출된 저항 발열체에 Ni 등을 이용해서 도금을 하고, 리드 와이어(Lead Wire)을 납땜으로 연결한다 (제 2(g)도).

상기에 기재한 종래의 세라믹 히터는 저항 발열체 배선이 1층으로 제 3 (a)도와 제 3 (b)도에서와 같이, 원주면의 일부 부위에만 편중되어 있기 때문에 다음과 같은 문제점이 있다.

(1) 복잡한 배선이 요구되는 경우, 배선을 미세하게 후막 인쇄해 주어야 하므로 단락 또는 상호 접촉 등의 불량 가능성이 크고, (2) 급속한 승온시 배선 부분만의 급속한 국부 승온이 이루어져 열충격에 의한 결함 가능성이 크다.

이러한 종래의 세라믹 히터의 결함을 해소시키기 위하여, 다층 배선형 세라믹 히터가 개발되었다. 즉, 첨부 도면 제 4도에 나타낸 바와 같은 다층 배선형 세라믹 히터(41)가 일본 특개평 4-312785호에 소개되어 있다.

제 4도에 의하면, 원통형의 세라믹 성형체 또는 절연체(42)의 표면에 제 1 내지 제 3 세라믹 층 (43,44,45)로 된 적층체가 부착되어 있다. 그리고, 제 1 세라믹 층(43)과 제 2 세라믹 층(44)의 사이 경계면(46)에는 제 1 발열체 배선(48)이 형성되어 있고, 제 2 세라믹 층(44)과 제 3 세라믹 층(45) 사이에 제 2 발열체 배선(49)이 형성되어 있다.

제 4도의 세라믹 히터는 도체가 인쇄된 그린 시트(43,44,45)들을 미리 적층하고 이 적층체를 원통형의 세라믹 성형체 또는 절연체(42)에 부착시키는 방법으로 만들고 있다. 하지만, 적층체의 두께가 두꺼워짐으로써 원주면에 부착할 때, 균열이 발생되는 경우가 많고, 또한 두번 이상의 접착이 필요하게 되어 전체적으로 접착성이 떨어지게 되는 단점을 가지고 있다.

이에 본 발명은 종래의 문제점을 해소시키기 위한 것으로, 세라믹 그린 시트상에 저항 발열체 배선을 보다 정밀하게 할 수 있고, 균열 발열이 가능하며, 발열 효과도 우수할 뿐 아니라 필요 부위에만 균일한 조기 발열도 가능한 로드 또는 튜브형의 세라믹 히터를 제조할 수 있는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

이와 같은 본 발명의 목적은 세라믹 그린 시트에 대한 저항 발열체 배선 면적을 확장시키고, 필요에 따라서 열전도도를 촉진시켜 주는 고열 전도성 층을 국부적으로 형성시킴과 동시에 세라믹 그린 시트를 원통형의 세라믹 성형체 또는 절연체상에 1층 이상으로 겹치게 적층시킴으로써 달성될 수 있다.

특히, 상기와 같은 목적은 공정을 크게 추가하지 않고서도 쉽게 달성할 수 있다.

이하 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 로드 또는 튜브형 세라믹 히터는 로드 또는 튜브형 세라믹 성형체를 저항체 발열체 배선이 인쇄된 세라믹 그린 시트로 감싸서 부착 및 적층시켜서 일체화시킨 후에 습윤 수소 분위기에서 동시에 소성하고 단자 처리하여 제조를 한다. 특히 그 개선점으로는 계단형의 홈이 형성된 로드 또는 튜브형 세라믹 성형체를 저항 발열체 배선과 고열 전도성 배선을 동일면 또는 저항 발열체 배선을 서로 다른면에 각각 인쇄한 세라믹 그린 시트로 감싸되 1층 이상으로 겹쳐지게 말아서 적층시켜 일체화 시키는데 있다.

본 발명에 따르면, 상기 세라믹 성형체에서 계단형 홈의 두께는 세라믹 그린 시트의 두께와 같거나 다소 작은 두께를 갖도록 형성하게 되고, 상기 세라믹 그린 시트의 폭은 세라믹 성형체의 원주면의 길이 보다 더 길게 만드는데 그 특징이 있다.

이와 같은 본 발명을 첨부한 도면에 의거하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 로드형 또는 튜브형 세라믹 히터의 제조는 첨부 도면 제 1(a)도내지 제 1(k)도에 나타낸 바와 같이, 먼저, 통상의 테이프 캐스팅 또는 압출법에 의해서 로드형제(1(a)도) 또는 튜브형(제 1(b)도)의 세라믹 성형체(1)를 만든다.

본 발명에서 사용하는 세라믹 성형체(11)의 소재로는, 코디어라이트계, 알루미나계, 질화 알루미늄계, 탄화 실리콘계 또는 이들의 복합 재료를 사용할 수 있으며, 소결 촉진과 기능 향상을 위한 2차상을 이루는 물질로는 예를 들면, 실리카, 마그네시아, 이트리아, 산화 바륨, 산화 칼슘, 산화 세륨, 크로미아, 붕사 또는 이들의 혼합물이 소량 첨가될 수 있다.

본 발명에서의 세라믹 성형체(11)는 제 1(a)도와 제 1(b)도에 나타낸 바와 같이, 후술하는 세라믹 그린 시트(12)의 두께와 같거나 다소 작은 두께를 가진 계단형 홈(13)을 가지는 형태로 성형하거나, 성형 후 그린 가공으로 만들 수 있다.

한편, 제 1(c)도와 제 1(d)도와 같은 본 발명에 따른 세라믹 그린 시트(12)는 테이프 캐스팅 법으로 만든 다음에 적절한 크기로 절단하고 구멍(14)을 만들어 주되, 세라믹 그린 시트(12)의 폭을 상기 로드형 또는 튜브형 세라믹 성형체(11)의 둘레 보다 더 크게 한다.

다음에, 상기 세라믹 그린 시트(12) 위에다 국부 부위에서의 열의 균일한 발산을 도모하기 위해 고열 전도성 배선(15)과 저항 발열체 배선(16)을 동일면에 후막 인쇄하거나(제 2(c)도), 저항 발열체 배선(13)을 넓은 면적에 걸쳐 서로 다른 면에 후막 인쇄를 한다(제 2(d)도).

본 발명에서 사용하는 고열 전도성 배선(15) 재료로는 텅스텐, 몰리브덴, 마그네슘, 온, 구리, 질화 알루미늄, 탄화 실리콘, 닉켈 또는 이들의 혼합물을 예로 들 수 있으며, 저항 발열체 배선(16) 재료로는 텅스텐, 몰리브덴, 마그네슘, 은, 구리, 닉켈 또는 이들의 혼합물을 예로 들 수 있고, 고열 전도성 배선(15) 재료는 저항 발열체 배선(16) 재료와 동일하거나 다를 수 있다.

상기와 같이 원통형의 세라믹 성형체(11, 제 1(a), (b)도)와 세라믹 그린시트(12, 제 1(c), (d)도)를 만든 다음에, 세라믹 성형체(11)의 계단형 홈(13)에서 부터 상기(12 또는 13)이 인쇄된 세라믹 그린 시트를 1층 이상으로 말아 붙힘으로써 저항 발열체 배선 또는 저항 발열체 배선과 고열 전도성 배선이 1층 이상으로 형성되게 된다(제 1(e) 및 (f)도).

이때, 세라믹 그린 시트(12)를 원통형의 세라믹 성형체(11)에 부착하는 방법은 예를 들면, 열에 의한 압착방법, 접착제를 성형체의 원주 표면 또는 그린 시트의 표면에 도포한 후 서로 부착하는 방법, 또는 이 두가지 방법을 혼용하여 실시할 수 있다.

상기와 같이, 세라믹 그린 시트(12)와 일체화된 세라믹 성형체(11) (제 1(e)도)를 습윤 수소 분위기하에서 동시에 소성하여 저항 발열체가 매립된 세라믹 히터의 소결체를 얻을 수 있으며, 후술하겠지만, 제 1(i)도 내지 제 1(k)도에 나타낸 바와 같이, 이후의 공정인 단자 처리 공정(예를 들면, 납땜시 접착성 향상을 위한 도금, 리드 와이어의 납땜 부착 등)을 거쳐서 저항 발열체 매립형 세라믹 히터를 만들 수 있다.

단자 처리 공정은 제 2도에 나타낸 바와 같이 종래 방법으로 한다. 이와는 달이 제 1(i)도에 나타낸 바와 같이, 세라믹 그린 시트(12)에 관통구멍을 만들지 않고, 단자 처리할 부위의 그린 시트를 절단한 채 로드 또는 튜브에도 배선(17)을 인쇄할 수 있다.이와는 다른 방법으로, 제 1(j)도에 나타낸 바와 같이, 원통형의 세라믹 성형체(11)에 배선 (18)을 인쇄하고 그린 시트(12)는 약간 짧게 절단하여 향후에 단자 처리할 부위를 함께 노출시킬 수 있다. 그 후, 제 1(k)도에 나타낸 바와 같이, 컨넥터 핀(19, connector pin)을 도금 부위에 납땜하는 방식으로 부착시킬 수도 있다.

첨부 도면 제 1(g)도는 본 발명에 따라 제조된 세라믹 히터에서 열발산이 원주면 상으로 균일하게 일어나는 상태를 보여주고 있는 세라믹 히터의 단면도이고, 제 1(h)도는 국부 면적만 균일하게 열발산을 촉진하는 패드가 형성되어 있는 상태를 보여주고 있는 세라믹 히터의 측면도이다.

본 발명에 따른 방법으로 제조된 세라믹 히터는 상기에 언급한 바와 같은 배선을 형성시킴으로써 세라믹 그린 시트의 폭이 종래의 제품 보다 훨씬 크게 되므로 다음과 같은 장점을 갖게 된다.

(1) 같은 저항값을 갖는 배선(예를 들면, 배선의 길이가 같거나 폭과 길이가 더 커짐)을 더 큰 면적이 인쇄할 수 있으므로 미세 배선 인쇄의 필요성이 없어 배선의 단락 또는 상호간의 접촉 가능성을 크게 줄일 수 있어 수율을 높혀주게 되고, (2) 배선의 폭과 길이가 커지고 2층 이상으로 배선을 형성할 수 있어 승온시의 발열체와 저항 발열체 물질간의 열전도도와 열팽창 계수의 차이에 의한 열충격을 골고루 분산시킬 수 있고, 배선이 원통의 표면에 골고루 형성되어 있어 승온시 균일한 발열이 가능(제 1(g)도)하며, 따라서, 열충격 저항도 크게 향상되게 된다. (3) 본 발명은 일본 특개평 4-312785호에서와는 달리, 단 한번의 접착으로도 충분하며, 임의의 길이를 연장하여도 두꺼운 접착제가 되지 않아 수율을 떨어뜨릴 염려가 없다. (4) 최근, 보다 온도 상승성을 높이고, 보다 고온에서 사용할 수 있는 목적으로 AIN 및 질화 규소 등 고열 전도성 저항체를 이용하려는 시도가 있으나, 본 발명에서는 필요 부위에 국부적으로 균일한 열발산을 촉진하는 목적으로 고열 전도성 배선을 후막 인쇄 법으로 추가하면, 그 부위는 조기 발열(제 1(h)도)을 도모할 수 있어 기존의 모재인 알루미나를 사용하면서도 고열 전도성 저항체를 이용하는 것과 유사한 효과를 얻을 수 있다. 특히 인두용 발열체의 경우, 히터의 끝부분이 고속 승온성이 매우 요망되고 본 발명은 이에 가장 부합되는 세라믹 히터인 것이다.

이하 본 발명을 실시예에 의거하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

[실시예 1]

85% 이상의 알루미나와 소결 촉진제로서 마그네시아, 실리카, 산화 칼슘, 지르코니아로 이루어진 15% 이하의 혼합 분말을 용제 및 첨가제와 혼합하여 슬러리를 만들고, 압출법으로 로드 또는 튜브형의 세라믹 성형체를 만들었다.

상기와 동일한 혼합 분말을 테이프 캐스팅용 용제 및 유기 첨가제와 혼합하여 슬러리를 만들고, 테이프 캐스팅 법으로 두께 0.5 mm 이하의 그린 시트를 만들었다. 그린 시트를 로드와 튜브의 길이 보다 작게 그리고 원주 길이 보다는 2.5배 큰 폭으로 자르고, 단자를 이을 위치 주위에 펀칭(punching)법으로 관통 구멍을 만들어 주었다. 텅스텐 분말이 90% 이상 함유된 도체 페이스트를 관통 구멍에 먼저 충진한 다음 스크린 인쇄법을 이용하여 제 1(c)도와 같은 형태로 인쇄하여 원하는 배선을 시트의 표면 및 배면에 형성하였다. 인쇄된 배선을 건조한 후, 여기에 알코올계 접착제를 도포하고, 로드와 튜브에 제 1(e)도 처럼 부착하였다.

이것을 텅스텐 발열체의 소결로에 넣고 수소/질소의 비율을 조절하고, 이슬점을 조절하는 방식으로 적정량의 수분을 첨가하면서 1500 ℃에서 동시 소성하였다. 다음에 외부에 노출된 배선 부위를 전기 도금 방식을 이용하여 닉켈을 도포하였다. 실버계 납땜 합금 프리폼과 닉켈로 된 리드 와이어를 도금 부위에 고정한 후, 1000 ℃에서 열처리하여 단자를 부착하였다.

이렇게 제조된 세라믹 히터에 전압 100 V를 인가하고, 가열시킨 결과 히터의 끝 부위가 훨씬 빨리 가열되고, 원주면 방향에 골고루 가열되는 것을 확인하였다.

[실시예 2]

알루미나 10 내지 25%, 실리카 48 내지 63%, 마그네시아 10 내지 25%, 붕사 4 내지 10%, BaO와 CaO가 0 내지 5%로 이루어진 평균 입경 5 ㎛ 이하의 코디어라이트계 혼합 분말을 물, 결합계 및 분산제와 혼합하여 수성 슬러리를 만들고, 슬립 캐스팅 법으로 로드와 튜브를 만들었다. 이 성형체를 500 ℃ 이상의 산화 분위기에서 열처리하여 유기물을 없앤 다음, 그린 가공법을 이용하여 계단형 홈을 만들어 제 1(a), (b)도와 같은 성형체를 얻었다.

상기와 동일한 혼합 분말을 톨루앤이 함유된 용제, 결합체, 가소제, 분산제, 계면 활성제와 혼합하여 슬러리를 만들고, 테이프 캐스팅 법으로 그린 시트를 만들었다. 그린 시트를 로드와 튜브의 길이 보다 작게 그리고 원주 길이 보다는 2.2배 큰 폭으로 자르고, 단자를 이을 위치 주위는 부분 절단하여 주었다. 몰리브덴과 텅스텐 분말이 90% 이상 함유된 도체 페이스트를 스크린 인쇄법을 이용하여 제 1(d)도와 같은 형태로 배선부위를 인쇄하였다.

한편, 로드와 튜브에도 단자가 접착될 부위에는 Mo/Mn 페이스트를 별도로 인쇄하였다. 인쇄된 배선을 건조한 후, 로드와 튜브에 제 1(i)도와 같은 형태로 말아준 상태에서 압력과 온도를 부여하고 부착하고, 발열체 배선이 2층이 되도록 하였다.

이것을 텅스텐 발열체의 소결로에 넣고 수소/질소의 비율을 조절하고, 이슬점을 조절하는 방식으로 적정량의 수분을 첨가하면서 1400 ℃에서 동시 소성하였다. 다음에 상기 실시예 1고 같이 외부에 노출된 배선 부위를 전기 도금 방식을 위용하여 닉켈을 도포하였다. 실버계 납땜 합금 프리폼과 닉켈로 된 리드 와이어를 도금 부위에 고정한 상태로 1000 ℃에서 열처리하여 단자를 부착하였다.

이렇게 제조된 세라믹 히터에 전압 100 V를 인가하고, 가열시킨 결과 원주면에 골고루 가열되는 것을 확인할 수 있었다. 따라서, 관통 구멍을 만드는 공정을 빼고, 소결 온도를 낮추어도 소결 성능이 뛰어난 히터를 제작할 수 있었다.

[실시예 3]

질화 알루미늄 85% 이상, 이트리아 0 내지 10%, MgO, BaO 및 CaO 0 내지 5%로 이루어진 평균 입경 5 ㎛ 이하의 혼합 분말을 알코올계 용제 및 유기 첨가제와 혼합하여 슬러리를 만들고, 압출법으로 로드와 튜브를 만들었다. 이 성형계를 800 ℃ 이하의 산화 분위기에서 열처리하여 유기물을 없앤 다음 그린 가공법을 이용하여 계단형 홈을 만들어 제 1(a), (b)도와 같은 성형체를 얻었다.

상기와 동일한 혼합 분말을 톨루엔이 함유된 용제, 결합제, 가소제, 분산제, 계면 활성제와 혼합하여 슬러리를 만들고, 테이프 캐스팅 법으로 그린 시트를 만들었다. 그린 시트를 로드와 튜브의 원주 길이 보다는 1 배 이상의 폭으로 및 길이 보다는 작게하여 단자가 접착될 부분이 노출되게 하였다. 텅스텐 분말이 90% 이상 함유된 도체 페이스트를 스크린 인쇄법을 이용하여 제 1(d)도와 같은 형태로 배선 부위를 형성하였다.

한편, 단자가 접착되는 비발열 부위인 배선의 윗부분 또는 그 배면에 전체적으로 두께 1㎛ 이하의 알루미나계 페이스를 스크린 인쇄하였다. 그리고, 로드 또는 튜브에도 단자가 접착될 부위에는 텅스텐 페이스트를 별도로 인쇄하였다. 인쇄도니 배선을 건조한 후, 로드오 튜브에 제 1(j)도와 같은 형태로 말아준 상태에서 압력과 온도를 부여하여 부착하였다.

이것을 텅스텐 발열체의 소결로에 넣고 수소/질소의 비율을 조절하고, 이슬점을 조절하는 방식으로 적정량의 수분을 첨가하면서 1600 ℃에서 동시 소성하였다. 다음에 외부에 노출된 배선 부위를 전기 도금 방식을 이용하여 닉켈을 도포한 후, 실버계 납땜 합금 프리폼과 닉켈로 된 컨넥터 핀을 도금 부위에 고정한 상태로 1000 ℃에서 열처리하여 단자를 부착하였다(제 1(k)도).

이렇게 제조된 세라믹 히터에 전압 100 V를 인가하고, 가열시킨 결과 히터의 발열 부위가 훨씬 빨리 가열되고 원주면에 골고루 가열되는 것을 확인할 수 있었다.

한편, 비발열 부위는 소결중 알루미나가 질화 알루미늄과 반응하여 구조적 결함을 형서해줌으로써 오히려 열전도율을 떨어뜨리는 효과를 가져오고 따라서 일정시간까지는 납땜 온도 보다 높은 1000 ℃ 이상까지 가열하는 것이 가능하였다.

Claims (3)

1. 로드 또는 튜브형 세라믹 성형체를 저항체 발열체 배선이 인쇄된 세라믹 그린 시트로 감싸서 부착 및 적층시켜서 일체화시킨 후에 습윤 수소 분위기에서 동시에 소성하고 단자 처리하여 로드 또는 튜브형 세라믹 히터를 제조하는 방법에 있어서, 계단형의 홈이 형성된 로드 또는 튜브형 세라믹 성형체를 저항 발열체 배선과 고열 전도성 배선을 동일면 또는 저항 발열체 배선을 서로 다른면에 각각 인쇄한 세라믹 그린 시트로 감싸되 1층 이상으로 겹쳐지게 말아서 적층시켜 일체화 시킨후에 습윤 수소 분위기 하에서 동시에 소성하고 단자 처리하여서 됨을 특징으로 하는 저항 발열체 배선과 필요에 따라 고열 전도성 배선이 1층 이상으로 함께 매립된 로드 또는 튜브형 세라믹 히터의 제조 방법.
2. 제 1항에 있어서, 상기 세라믹 성형체에서 계단형 홈의 두께는 세라믹 그린 시트의 두께와 같거나 다소 작은 두께를 갖도록 성형하여서 됨을 특징으로 하는 로드 또는 튜브형 세라믹 히터의 제조 방법.
3. 제 1항에 있어서, 상기 세라믹 그린 시트의 폭은 세라믹 성형체의 원주면의 길이 보다 더 길게 하여서 됨을 특징으로 하는 로드 또는 튜브형 세라믹 히터의 제조 방법.