KR0124754Y1 - 반도체 제조장비의 패키지 스톱퍼 - Google Patents

반도체 제조장비의 패키지 스톱퍼 Download PDF

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KR0124754Y1 KR2019950010432U KR19950010432U KR0124754Y1 KR 0124754 Y1 KR0124754 Y1 KR 0124754Y1 KR 2019950010432 U KR2019950010432 U KR 2019950010432U KR 19950010432 U KR19950010432 U KR 19950010432U KR 0124754 Y1 KR0124754 Y1 KR 0124754Y1
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Abstract

본 고안은 반도체 제조공정에서 트리밍/포밍공정을 마친 날개의 패키지를 소정의 단위로 튜브에 삽입하기 위해 몇개씩 끊어주는 스톱퍼에 관한 것으로서, 실린더의 로드와 스톱핀 사이에 완충수단, 즉 스프링을 매개 설치하여 이것에 의해 접동가능하게 하고, 이에 따라 실린더의 작동력이 스프링의 탄성력을 통해 스톱핀으로 간접전달되게 하여 스톱핀이 패키지를 가압할때 일정한 탄성가압 영역이 확보될 수 있게 함으로써, 패키지에 가해지는 스톱핀의 누름력을 최소화 하면서 정상적인 제기능(예컨대, 패키지 단속기능)을 충분히 발휘할 수 있는 반도체 제조장비의 패키지 스톱퍼를 제공하고자 한 것이다.

Description

반도체 제조장비의 패키지 스톱퍼
제1도는 본 고안에 따른 패키지 스톱퍼를 나타내는 사시도.
제2도는 종래의 패키지 스톱퍼를 나타내는 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10a : 제 1 실린더 10b : 제 2 실린더
12 : 슈트(CHUTE) 14 : 브라켓
16a : 제 1 스톱핀 16b : 제 2 스톱핀
18 : 핀홀 20 : 연동스프링
22 : 복원스프링 24 : 스프링 지지부
26 : 너트부재 28 : 슈트덮개
본 고안은 반도체 제조공정에서 트리밍/포밍공정을 마친 낱개의 패키지를 소정의 단위로 튜브에 삽입하기 위해 몇개씩 끊어주는 스톱퍼에 관한 것으로서, 특히 패키지의 저면에 직접적으로 맞닿는 스톱핀과, 이것의 승강구동원인 실린더 사이에 완충수단을 구비함으로써, 패키지에 가해지는 실린더 작동력의 완화에 따른 패키지 손상을 배제할 수 있게 한 반도체 제조장비의 패키지 스톱퍼에 관한 것이다.
일반적으로 반도체를 제조하기 위해서는 여러공정들을 필요로 하게 되고, 특히 패키징 공정 중에는 트리밍/포밍머신을 사용하는 공정을 필요로 하게 된다. 여기에서는 상하 금형에 의한 여러가지 작업 예를 들면, 댐바의 절단과 리드의 구부림을 위한 트리밍/포밍공정을 실시하게 된다.
이렇게 트리밍/포밍공정을 마친 리드프레임상의 각각의 패키지들은 싱귤레이션공정을 통해 리드프레임으로부터 낱개 단위로 분리되고, 이곳에서 예컨대, 패키지 배출부(OFF LOADER)에서 튜브가 배치되어 있는 곳으로 보내져 그 내부에 삽입장착된다.
이때의 각각의 패키지는 경사진 자세의 슈트(CHUTE)로부터 이송안내를 받게 되며, 튜브는 슈트의 배출 선단부 즉, 최하단부에 위치되어 슈트를 따라 자유낙하되는 패키지가 튜브내로 용이하게 삽입장착될 수 있게 된다.
한편, 튜브내에 장착되는 패키지는 일정수량 순차적으로 장착되는데, 이를 위하여 튜브 초입부로부터 일정거리 떨어진 위치에는 패키지의 진행을 단속할 수 있는 스톱퍼가 설치되고, 이것을 이용하여 스트립 형태로 연속진행되는 패키지를 소정의 단위로 끊어줄 수 있게 된다.
이러한 스톱퍼는, 첨부도면 제2도에 도시한 바와 같이, 패키지 배출부측으로부터 진행되어 오는 패키지를 1차적으로 차단해주는 제 1 실린더(10a)와, 이 제 1 실린더(10a)와의 사이에 1 유니트씩의 패키지가 일렬배치될 수 있는 정도의 간격을 두고 위치되는 제 2 실린더(10b)로 구성된다. 이러한 각각의 실린더(10a),(10b)는 슈트(12)의 저부에 설치되어 있는 브라켓(14)상에 수직상태로 체결지지되고, 각 실린더(10a),(10b)의 로드에는 제 1 및 제 2 스톱핀(16a),(16b)이 일체 결합되며, 이때의 스톱핀 선단부는 슈트(12)의 패키지 슬라이드면 윗쪽까지 관통위치가 가능하게 된다.
따라서, 상기 시린더(10)의 전진작동에 의해 스톱핀(16)이 상승하면서 패키지의 저면부를 윗쪽으로 누르게 되므로서, 패키지는 스톱핀(16)과 슈트덮개(28) 사이에 압착되면서 정지될 수 있게 된다.
그러나, 이와 같은 기존의 스톱퍼는 실린더(10)의 공압력이 전량 스톱핀(16)을 통해 그대로 패키지에 전달되기 때문에 패키지에 파손, 긁힘 등과 같은 패키지 손상을 초래하게 되는 문제점을 갖고 있었다. 특히, TQFP(Thin quad flat package) 등과 같은 박판형 패키지의 경우에는 손상되는 빈도가 매우 높아 이에 대한 개선책이 절실히 요구되어 왔다.
본 고안은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 실린더의 로드와 스톱핀 사이에 완충수단 즉, 스프링을 매개 설치하여 이것에 의해 접동가능하게 하고, 이에 따라 실린더의 작동력이 스프링의 탄성력을 통해 스톱핀으로 간접전달되게 하여 스톱핀이 패키지를 가압할때 일정한 탄성가압 영역이 확보될 수 있게 함으로써, 패키지에 가해지는 스톱핀의 누름력을 최소화하면서 정상적인 제기능(예컨대, 패키지 단속기능)을 충분히 발휘할 수 있게 한 반도체 제조장비의 패키지 스톱퍼를 제공하는데 그 목적이 있는 것이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 고안은 슈트(12)의 저부에 브라켓(14)상에서 수직지지되는 2개의 실린더(10a),(10b)를 각각 설치하고 각 실린더(10a),(10b)의 로드에는 슈트(12)의 핀홀(18)내에서 작동안내를 받는 각각의 스톱핀(16a),(16b)을 연결설치하여서, 상기 실린더(10a),(10b)의 작동과 연계되는 스톱핀(16a),(16b)에 의해 슈트(12)를 따라 진행되는 패키지를 선택적으로 단속가능 하도록 한 반도체 제조장비의 패키지 스톱퍼에 있어서, 상기 실린더(10a),(10b)의 로드와 스톱핀(16a),(16b) 사이에는 연동스프링(20)을 매개 설치하여 이것에 의해 로드와 스톱핀(16a),(16b)이 접동가능하게 하고, 상기 핀홀(18)의 바닥면과 스톱핀(16a),(16b) 사이에는 복원스프링(22)을 매개설치하여 스톱핀(16a),(16b)의 정위치 복귀를 가능하게 하여 이루어진 것이다.
특히, 상기 연동스프링(20)의 탄성계수는 복원스프링(22)의 그것보다 크기 때문에 연동스프링(20)을 통하여 스톱핀(16)으로의 진동이 이루어지고 있는 과정중에는 복원스프링(22)의 탄성반력에 의한 영향을 받지 않게 된다.
이를 좀더 상세히 설명하면, 첨부도면 제1도는 본 고안의 패키지 스톱퍼에 대한 사시도로서, 패키지의 이송을 안내하는 슈트(12)상에 2개의 패키지 스톱퍼가 길이방향을 따라 차례로 설치된 상태를 나타낸다.
여기서, 도면부호 10a, 10b는 각각 제 1 실린더와 제 2 실린더 이다.
상기 실린더(10a),(10b)는 슈트(12)에 대해 수직자세를 갖도록 세워진 상태로 위치되고, 그 자세에서 브라켓(14)상에 고정지지 된다.
이를 위하여 슈트(12)의 저면부에는 수평부재와 수직부재로 구성된 브라켓(14)이 고정설치되며, 이 브라켓(14)의 수평부재에는 2개의 관통구멍이 형성되어 있어서, 여기에 상기 실린더(10a),(10b)의 몸체 일부가 체결되어 고정된다.
이렇게 고정설치된 상태에서 실린더(10a),(10b)의 로드는 슈트(12)에 형성되어 있는 핀홀(18)의 바로 밑까지 연장위치 되며, 로드의 상하운동경로와 핀홀(18)의 중심세로 축선은 상호 일치하게 된다.
또한, 도면부호 16a, 16b는 제 1 및 제 2 스톱핀을 나타낸다.
상기 스톱핀(16a),(16b)은 하단부로부터 근접되는 위치에 스프링 지지부(24)를 갖고 있으며, 이 스프링 지지부(24)를 사이에 두고 윗쪽과 아래쪽으로 각각 복원스프링(22)과 연동스프링(20)의 일단이 밀착지지된다. 이때의 복원스프링(22)과 연동스프링(20)의 각 다른 일단은 핀홀(18)의 바닥면과 실린더(10a),(10b)의 로드 예컨대, 로드에 체결되어 있는 너트부재(26)에 각각 밀착지지된다.
이에 따라, 상기 연동스프링(20)은 실린더(10a),(10b)의 로드와 스톱핀(16a),(16b)의 스프링 지지부(24) 사이에서 이 두 요소를 서로 연결해주면서 자체 스프링탄성을 이용하여 실린더(10a),(10b)의 작동력을 스톱핀(16a),(16b)으로 전달하게 되며, 상기 복원 스프링(22)은 핀홀(18)의 바닥면과 스톱핀(16a),(16b)의 스프링 지지부(24) 사이에 위치되면서 스톱핀(16a),(16b)의 상승운동에 대한 상대적인 탄성반력을 발휘할 수 있게 된다.
이때의 상기 스프링들(20), (22)은 스톱핀과 로드의 외주부를 감싸고 있는 동시에 핀홀(18)의 내주면에 밀착되어 있기 때문에 압축/팽창작용시의 상하 직선운동 방향을 항상 정확하게 유지할 수 있게 된다.
또한, 상기 연동스프링(20)과 복원스프링(22)은 탄성계수값에서 차이를 갖게 된다.
즉, 연동스프링(20)은 복원스프링(22)에 비해 선경(線俓)과 권수(券數)에서 차이를 갖게 되며, 이로 인해 연동스프링(20)은 복원스프링(22)보다 큰 탄성계수값을 갖게 된다.
그러므로, 상기 실린더(10a),(10b)작동시 복원스프링(22)의 압축량은 연동스프링(20)의 압축량과 비교해 볼때 현저한 격차를 나타내게 된다. 예컨대, 복원스프링(22)이 한계 압축범위에 근접되면 비로소 연동스프링(20)의 압축작용이 진행가능하게 된다.
한편, 이와 같이 구성된 본 고안의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.
트리밍/포밍공정을 완료한 패키지는 패키지 배출부로부터 튜브삽입공정으로 이송된다. 이때의 패키지는 경사진 슈트(12)에 의한 이송안내를 받으면서 미끄럼 자유낙하 하게 되고, 슈트(12)의 하단부위에 설치되어 있는 각각의 스톱퍼에 의하여 순차적으로 이송단속을 받게 된다.
즉, 패키지의 진행방향에서 볼때 뒷쪽에 위치되는 스톱퍼의 제 1 실린더(10a)가 전진작동되면, 그 상부에 위치되는 제 1 스톱핀(16a)이 연동스프링(20)에 의해 들어올려져서 상승하게 되며, 이렇게 상승되는 제 1 스톱핀(16a)의 상단부가 슈트(12)의 패키지 슬라이드면보다 돌출되면서 그 위치에 있는 패키지의 저면을 누르게 되므로서, 이때의 패키지에 대한 위치고정이 이루어지게 되는 동시에 이렇게 위치고정되는 패키지로 인해 이곳에서부터 그 뒷쪽으로 계속 진행되어 오는 패키지들은 서로 연접된 상태로 정렬되게 된다.
여기서, 상기 제 1 스톱핀(16a)은 연동스프링(20)으로부터 하방탄성지지를 받으면서 상승하게 되고, 이때의 탄성지지력이 실질적으로 패키지를 가압하는 힘으로 작용하게 된다.
또한, 계속되는 순차제어 신호에 의해서 상기 제 1 실린더(10a)의 후진작동과 동시에 복원스프링(22)의 탄성복원력을 받아 이루어지는 제 1 스톱핀(16a)의 하강운동에 따라 스트립 형태의 패키지들은 동시에 앞쪽으로 진행된다. 이때부터의 패키지들은 상기 제 1 실린더(10a)의 앞쪽에 위치되는 제 2 실린더(10b) 및 제 2 스톱핀(16b)에 의해 이송제한을 받아 소정의 단위를 이루면서 튜브의 진입초입부에 대기위치될 수 있게 되며, 이 제 2 실린더(10b)의 작동여부에 따라 튜브내의 패키지 삽입장착공정이 이루어질 수 있게 된다.
한편, 상기 제 2 실린더(10b) 및 제 2 스톱핀(16b)에 의한 패키지 단속과정이 이루어지게 되면 상기 제 1 실린더(10a)는 재차 패키지 단속을 위해 전진작동되므로서, 제 2 실린더(10b)의 패키지 단속해제작동에 따라 튜브내로 진행되는 패키지의 수를 항상 일정하게 제한할 수 있게 된다.
예컨대, 상기 제 2 스톱핀(16b)을 포함하는 제 2 실린더(10b)가 하강하게 되면 이 제 2 스톱핀(16b)에 의해 단속되어 있었던 패키지와 그 뒷쪽으로 연석배치되는 소정 단위의 패키지들이 함께 튜브내에 삽입될 수 있게 된다.
이상에서와 같이 본 고안은 패키지의 진행을 단속하는 스톱퍼에 완충수단을 구비하여 패키지에 가해지는 필요 이상의 작용력을 완화시킴으로써, 패키지를 파손 및 긁힘 등과 같은 손상의 위험으로부터 보호할 수 있는 장점이 있으며, 이로 인한 패키지 불량률의 저하를 도모할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 슈트(12)의 저부에는 브라켓(14)상에서 수직지지되는 2개의 실린더(10a),(10b)를 각각 설치하고, 각 실린더(10a),(10b)의 로드에는 슈트(12)의 핀홀(18)내에서 작동안내를 받는 각각의 스톱핀(16a),(16b)을 연결설치하여, 상기 실린더(10a),(10b)의 작동과 연계되는 스톱핀(16a),(16b)에 의해 슈트(12)를 따라 진행되는 패키지를 선택적으로 단속가능 하도록 한 반도체 제조장비의 패키지 스톱퍼에 있어서, 상기 실린더(10a),(10b)의 로드와 스톱핀(16a),(16b) 사이에는 연동스프링(20)을 매개 설치하여 이것에 의해 로드와 스톱핀(16a),(16b)이 접동가능하게 하고, 상기 핀홀(18)의 바닥면과 스톱핀(16a),(16b) 사이에는 복원스프링(22)을 매개설치하여 스톱핀(16a),(16b)의 정위치 복귀를 가능하게 하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 스톱퍼.
  2. 제1항에 있어서, 상기 연동스프링(20)의 탄성계수는 복원스프링(22)의 그것보다 큰 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 스톱퍼.
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