KR0124464B1 - 주기적 도메인 반전 전기 광학 변조기 및 변조 방법 - Google Patents

주기적 도메인 반전 전기 광학 변조기 및 변조 방법

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완다 케이. 덴슨-로우
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Abstract

본 발명의 기술에 따르면, 향상된 성능의 전기 광학 변조기(30 또는 70)가 제공되는데, 이는 광 변조 신호와 RF 전기 신호 사이의 위상 속도 부정합을 보상한다. 변조기(30)는 기판(32)에 형성된 광 도파관(38, 40)을 포함하고 광 입력(56)에 결합된다. RF 도파관(46, 48)은 기판(32)위에 형성되어 광 도파관에 인접한 변조 영역(50)에 전계(59)를 인가함으로써 광신호를 변조시킨다. 기판(32)은 강유전성 도메인을 포함하는데, 이는 변조 영역(50)내에서의 위상차를 보상하는 주기적으로 반전 및 비반전된 영역(54 및 52)들을 포함한다. 본 발명의 양호한 실시예에 있어서, 광 도파관은 2개의 거의 평행한 광 도파관(38과 40)을 포함하는데, 이들은 진폭 변조(AM) 광 출력 신호(60)를 제공하기 위해 결합된 출력들을 포함한다.

Description

주기적 도메인 반전 전기 광학 변조기 및 변조 방법
제1도는 종래 기술의 주기적 위상 반전 전기 광학 변조기의 평면도
제2도는 본 발명의 양호한 실시예에 따른 전기 광학 변조기의 평면도
제3도는 제2도의 선 3-3을 따라 절취하여 도시한 단면도
제4도는 본 발명에 따른 전기 광학 변조기의 한 예에 있어서 주파수 응답을 도시하는 그래프
제5도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 광학 변조기의 평면도.
제6도는 제5도의 선 6-6을 절취하여 도시한 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
30 : 주기적 도메인 반전 전기 광학 변조기
32 : 기판 34 : 광 입력 단자
36 : 입력 Y-분기점 38, 40 : 광 도파관 채널
42 : 출력 Y-분기점 44 : 출력 단자
46, 48 : 금속 전극 50 : 활성 변조 영역
52 : 비반전 영역 54 : 반전 영역
56 : 광 입력 신호 58 : RF 전원
59 : RF 전기 신호 60 : AM 출력 신호
본 발명은 일반적으로 광신호를 변조시키기 위한 전기 광학 변조기에 관한 것으로, 특히 위상 속도 정합 전기 광학 변조기에 관한 것이다.
진행파 통합(travelling wave integrated) 전기 광학 변조기는 광신호의 진폭 및 위상 변조를 제공하는 것으로 본 분야에 알려져 있다. 전기 광학 변조기는 밀리미터파 통신 및 레이다 시스템을 포함하는 여러 응용 분야에 있어서 점차 중요한 비중을 차지하는 광섬유 링크에 보통 사용된다. 외부 전기 광학 변조기는 일반적으로 밀리미터파 광섬유 링크에 필요하게 되는데, 그 이유는 고상 레이저 신호의 직접 변조는 일반적으로 상기 마이크로파 주파수 이상에서는 가능하지 않기 때문이다.
전형적으로, 전기 광학 변조기는 기판에 형성되고 금속 전극 구조를 덮는 광 도파관을 포함한다. 광속과 마이크로파 위상 속도가 같게 되는 기판 물질로 제조된 전기 광학 변조기는 매우 넓은 변조 대역폭의 전위를 제공한다. 그러나, 리튬 니오베이트(lithium niobate ; LiNbO3)와 같은 중요한 전기 광학 기판 물질에 있어서는, 광속과 RF 마이크로파 속도 사이에 고유 부정합이 존재한다. 리튬 니오베이트에서의 광신호 위상 속도가 거의 마이크로파 구동 신호 속도의 2배이므로, 광신호와 구동신호 사이의 위상차가 증가할 때에 위상 변조의 진폭은 작아지기 시작한다. 이러한 현상을 보통 위상 워크 오프(walk off)라 한다.
이러한 속도 부정합은 설계 절충(design trade-off)을 필요로 한다. 반면에, 최대 달성가능 구동 주파수는 변조기 길이가 증가될 때에 낮아진다. 반면에, 필요한 구동 전압과 전력을 낮추기 위해서는, 일반적으로 더 긴 디바이스 길이가 필요하게 된다. 따라서, 최대 구동 주파수와 요구된 구동 전력 사이에는 일반적으로 절충이 이루어져야 한다.
고유 속도 부정합을 보상하기 위한 시도가 이전부터 이루어져 왔다. 주기적 전극 구조는 동일 평면 전극 변조기에 사용되고, 일반적으로 주기적 위상 반전 전극 또는 간헐 상호 작용 전극으로 분류된다. 공지된 주기적 전극 구성은 전달축에 대해 비대칭인 불평형 전송 라인들을 포함한다. 그러나, 이로인해 다른 광섬유 링크 전송기 부품으로의 평형 라인 전이와 상반될 수 있다.
전기 광학 변조기의 더 최근의 예는 섀프너(Schaffner)등에게 허여된 미합중국 특허 제5,005,932호에 기재되어 있다. 이러한 종래 기술의 변조기는 주기적 불연속성으로 진행파 전극을 사용함으로써 광신호와 RF 신호의 속도 정합을 달성한다. 이러한 방법은 일반적으로 대부분의 응용에 적당하지만, 불연속성은 본래 리튬 니오베이트 기판 내로 RF 신호 일부를 전자 산란시킴과 함께 전원(source) 뒤쪽으로 RF 신호 일부를 반사시킬 수 있다. 그 결과, 종래 기술의 방법들은 일반적으로 이러한 손실을 감수해야 하고, 특히 밀리미터파 범위 내에서와 같이 고주파에서 더욱 그러하다.
그러므로, 종래 기술에서 있을 수 있는 바람직하지 않은 RF 반사 또는 산란을 피할 수 있는 개량된 전기 광학 변조기를 제공하는 것이 바람직하다. 특히, RF 신호와 광신호 사이에 속도 부정합이 나타나는 밀리미터파 통합 전기 광학 변조기에서의 위상차를 리세팅시키는 개량된 기술을 제공하는 것이 바람직하다.
본 발명의 기술에 따르면, 전기 광학 변조기는 광신호와 RF 신호 사이의 위상 속도 부정합을 보상하기 위해 제공된다. 이 변조기는 강유전성 기판에 형성되고 광 입력에 결합된 광 도파관을 포함한다. RF 도파관은 기판에 형성되어 광 도파관에 인접한 영역에 전계를 인가함으로써 광신호를 변조시킨다. 강유전성 기판은 주기적으로 반전되고 비반전된 강유전성 도메인 영역들을 가지며, 이들 영역은 변조 영역내의 위상차를 보상한다. 양호한 실시예에 있어서, RF 도파관은 마크-젠더(Mach-Zehnder) 간섭기에 결합되어 광신호의 진폭 변조(AM)를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
현재의 전기 광학 변조기(10)가 종래 기술로서 제1도에 도시된다. 도시된 종래의 전기 광학 변조기(10)는 주기적 위상 반전(PPR) 변조기인데, 이는 리튬 니오베이트(LiNbO3) 기판(12)위에 제조된다. 종래의 PPR 변조기(10)는 광신호를 전송하기 위한 통합된 광 마크-젠더 간섭기를 사용하고, 위상 변조를 유도하기 위해 광신호에 전계를 인가하기 위한 주기적 위상 반전 전극을 사용한다.
종래 기술에 따르면, 마크-젠더 간섭기는 기판(12)에 형성된 1쌍의 광 도파관 채널(16과 18)을 포함하는데, 이는 서로 평행하게 배치된 부분들을 갖는다. 또한, 간섭기는 제1광 도파관과 제2광 도파관(16과 18) 사이에 광 입력 신호(13)를 차례로 분할시키는 입력 Y-분기점(15)으로 유도되는 광 입력 경로(14)를 포함한다. 마찬가지로, 간섭기는 제1광 도파관과 제2광 도파관(16과 18)의 출력을 결합하는 출력 Y-분기점을 포함하고 진폭 변조(AM) 출력 신호(29)를 변조기 출력 경로(28)에 제공한다.
PPR 전극은 활성 중심부 도체(22)를 포함하고, 광신호(13) 양단에 RF 전계를 인가하는 1쌍의 접지된 도체(24a와 24b)를 포함한다. 중심부 도체(22)는 광 도파관(16과 18)사이의 영역에 배치된다. 1쌍의 접지된 도체(24a와 24b)는 광 도파관(16과 18)의 외부측들 위의 영역에 배치된다. 따라서, 중심부 도체(22)는 전원(23)으로부터 RF 신호를 수신하고, 접지된 도체(24a와 24b)는 일반적으로 낮은 접지 기준면에 결합된다.
따라서, 광 입력 신호(13)는 광 도파관(16과 18)을 통해 진행하고 RF 입력 신호(25)와 상호 작용하여 위상 변조가 생기게 한다. 그러나, 일반적으로 RF 전기 신호의 위상 속도가 광신호의 위상 속도보다 리튬 니오베이트에서 약 0.6배 정도 작은 것으로 알려져 있다. 따라서, 변조기(10)가 충분히 길면, RF 신호와 광신호에 대해 유도된 변조 신호와의 사이의 위상차는 몇몇 포인트에서 180도에 이르게 된다. 이러한 위상차를 보상하기 위해서, 종래 방법은 광 도파관(16과 18) 주위에 있는 전극의 일부(20)를 살짝 밈으로써 광신호에 대해 전계 방향을 반전시키도록 주기적 위상 반전 전극을 사용한다. 이러한 효과는 광신호(13)에 대한 변조 신호와 RF 신호(25)와의 사이의 전체 위상차를 360도로 만듦으로써 RF 신호와 광신호를 재정렬시킨다.
따라서, 종래 방법은 RF 전기 신호(25)와 광신호(13)에 대한 변조 신호와의 사이의 위상차가 180도에 이르게 되는 위치에서 전극 조그(jog ; 20)와 공기 갭(21)을 갖는 전극을 제공한다. 그러나, 종래 방법은 RF 신호(25)가 광 도파관(16과 18)의 측면에 대해 주기적 전극 불여속성으로 물리적으로 이동되는 것을 요구한다. 초고주파수에서 RF 신호(25)가 연 도파관(16)과 RF 신호(25)의 일부를 RF 전원(23)의 뒤쪽으로 반사시키고 RF 신호(25)의 일부를 기판(12)내로 산란시킨다. 그 결과, 이러한 후면 반사(back-reflection)와 산란은 불필요한 신호 손실을 발생시킨다.
이제, 제2도와 제3도를 참조하면, 주기적 도메인 반전 전기 광학 변조기(30)는 본 발명에 따라 도시된다. 주기적 도메인 반전 전기 광학 변조기(30)는 본 발명의 양호한 실시예에 따라 리튬 니오베이트(LiNbO3) 기판(32)의 ＋Z면 위에서 제조된다. 기판은 방향을 반대로 변경시키도록 형성된 영역이 선택되는 강유전성 도메인을 포함한다. 변조기(30)는 광신호(56)를 변조기(30)를 통해 안내하기 위한 통합된 광학 마크-젠더 간섭기를 포함한다. 또한, 변조기(30)는 각각의 도파관에서 광신호(56)에 대해 위상 변조를 유도하도록 광신호(56) 양단에 전계를 인가하기 위한 비대칭 동일 평면 도파관 진행과 전극을 포함한다.
간섭기는 광 입력 신호(56)를 수신하기 위한 광 입력 단자(34)와 진폭 변조(AM) 광 출력 신호(60)를 재공하기 위한 출력단자(44)를 포함한다. 또한, 간섭기는 광 입력 신호(56)를 1쌍의 광 도파관 채널(38과 40) 사이에 분할시키는 입력 Y-분기점(36)을 포함한다. 1쌍의 광 도파관 채널(38과 40)의 일부는 서로 거의 평행하게 배치되어 있다. 마찬가지로, 간섭기는 차례로 출력 단자(44)로 유도되는 1쌍의 광 도파관 채널(38과 40)을 결합시키는 출력 Y-분기점(42)을 포함한다.
간섭기와 관련 광 도파관 채널(38과 40)은 본 분야에 공지된 기술에 따라 광 도파관 채널(38과 40)을 형성하도록 기판(32)내에 티타늄을 확산시킴으로써 리튬 니오베이트 기판(32)내에 제조된다. 광 도파관 채널(38과 40)은 그 일부가 서로 거의 평행하게 배열되도록 형성되는데, 이는 강유전성 도메인 내에서의 방향을 1번 이상 반대로 변경시키게 한다. 이 외에도, 실리콘 이산화물 버퍼층(62)은 다른 방도로 금속 전극(46과 48)에 의해 발생될 수 있는 광 도파관 채널(38과 40)으로부터의 광 손실을 방지하기 위해 기판(32)의 상부에 양호하게 배치된다.
비대칭 동일 평면 도파관 진행파 전극은 사실상 제1 및 제2 도파관 채널(38과 40) 위의 영역내에 있는 버퍼층(62)의 상부에 형성된다. 진행파 전극은 활성 도전성 라인(46)과 도전성 접지 라인(48)을 포함한다. 활성 도전성 라인(46)은 RF 전기 신호(59)를 도전성 접지라인(48)을 포함한다. 활성 도전성 라인(46)은 RF 전기 신호(59)를 수신하기 위해 RF 전원(58)에 결합된다. 반면에, 도전성 접지 라인(48)은 접지에 결합된다. 활성 도전성 라인(46)은 도전성 접지 라인(48)으로부터 변위되고 그 결과, 활성 변조 영역(50)을 형성하고 이 변조 영역(50) 양단에 RF 전계를 인가하는 역할을 한다. 따라서, 전계는 광 입력 신호(56)를 각각의 광 도파관 채널(38과 40)에서 위상 변조시킨다.
본 발명에 따르면 변조기(30)는 반전된 영역(54)과 비반전된 영역(52)을 갖는 강유전성 도메인을 포함하는 기판(32)에 제조된다. 강유전성 도메인의 반전 및 비반전 영역(54와 52)은 본 분야에 공지된 포토그래프 기술을 사용한 제조 공정 동안에 정해진다. 한가지 기술은 신따로 미야자와(Shintaro Miyazawa)의 논문 Ferroelectric Domain Inversion in Ti-Diffused LiNbO3Optical Waveguide, J. Appl, Phys., 50(7), 1979년 7월, 페이지 4599-4603에 기재되어 있다. 이러한 기술에 의하면, 약 500Å의 박막 티타늄층이 반전 영역(52)에 형성될 각각의 영역들 내에서 증착된다. 그 다음에, 티타늄은 섭씨 약 1000도에서 티타늄 도프리튬 니오베이트에 대한 퀴리 온도(Curie temperature) 이상의 온도로 기판(32)내에 확산되기 때문에, 강유전성 도메인 반전이 발생될 수 있다.
반전 및 비반전 영역(52와 54)은 광 입력 신호(56)의 변조 신호와 RF 전기 신호(59)와의 사이의 위상차가 180도에 이르는 경우에 광 도파관 채널(38과 40)을 따라 선택된 위치에서 위상 보상을 제공하도록 선택된다. 따라서, 이러한 보상은 광신호(56)의 변조 신호와 RF 전기 신호(59)와의 사이의 전체 위상차가 360도이고 신호들이 동상으로 복귀되도록 광신호(56)의 유도된 위상 변조의 부호를 변경시킨다. 이로 인해, 변조기(30)는 연속된 변조 이득을 달성할 수 있다.
동작시에, 주기적 도메인 반전 전기 광학 변조기(30)는 광 도파관 채널(38과 40)을 통과하는 광 입력 신호(56)를 수신한다. RF 전기 신호(59)는 RF 전원(58)을 통해 인가되어 전계를 발생시키는데, 이는 차례로 광 입력 신호(56)에 대해 위상 변조를 유도한다. 이와 같이하는 경우에, 광 입력 신호(56)는 제1과 제2광도파관 채널(38과 40) 사이에 광 입력 신호(56)를 균둥하게 분할시키는 입력 Y-분기점(36)으로 유도되는 입력 단자(34)에 의해 수신된다.
광 도파관 채널(38과 40)은 그 일부분이 서로 평행하게 연장되고 광 입력 신호(56)를 활성 변조 영역(50)내의 전계에 영향을 받게 한다. 광신호(56)가 광 도파관 채널(38과 40) 각각을 통과할 때에, 각각의 채널 내의 광신호(56)는 위상 변조된다. 그러면, 광신호(56)는 활성 변조 영역(50)내의 강유전성 도메인의 반전 영역(54)과 비반전 영역(52)을 통과한다. 반전 영역(54)과 비반전 영역(52) 사이의 각각의 전이는 광신호의 유도된 위상 변조의 부호를 변경시킨다.
이것은 RF 신호와 광신호 사이의 위상 속도 부정합에 의해 발생된 광신호(56)에 대한 변조 신호와 RF 전기 신호(59)와의 사이의 180도 위상차를 보상한다.
광 도파관(38과 40)은 출력 단자(44)로 유도되는 출력 Y-분기점(42)에서 함께 결합된다. 따라서, 위상 변조 광신호들은 함께 발생되고 출력 Y- 분기점(42)을 통해 결합되어, 진폭 변조(AM) 출력 신호(60)를 얻는다. 진폭 변조 신호를 형성하기 위해서 위상 변조 광신호들의 쌍을 결합시키는 원리는 종래 기술에 공지되어 있으므로, 설명은 생략된다. 위상 변조 출력 신호를 원할 경우에는, 단일 광 도파관이 본 발명의 개념을 벗어나지 않고도, 제1 및 제2광 도파관(38 및 40)대신에 사용될 수 있다는 것을 알 수 있다.
본 발명의 양호한 실시예의 한 예에 따르면, 계산된 성능 데이타는 제4도의 정규화 주파수 범위에 걸쳐 상대적 광 변조(64)를 나타내는 그래프로 제공된다. 여기에서 사용된 특정 예는 광 입력 신호(56)가 약 60GHZ의 주파수에서 7개의 주기적 반전 영역과 비반전 영역(52와 54)의 영향을 받게 되는 활성 변조 영역(50)을 제공한다. 이는 변조기(30)가 총 6배의 위상 변조를 제공한다는 것을 의미한다. 따라서, 그래프는 최소 손실로 광신호를 진폭 변조시키는 초고성능 상태를 도시한다.
제4도를 참조하면, 주파수는 60GHZ의 설계 주파수로 정규화되고 광 변조 신호(64)는 첨두 응답으로 정규화된다. 주기적 도메인 반전 변조기(30)은 통과 주파수 대역을 갖는데, 그 이유는 정규화 주파수 1.0으로부터 떨어져 있는 주파수에서는 광신호의 위상 변조가 반전/비반전 도메인 경계에서 180도만큼 변경되지만, 광신호와 RF 신호 사이의 위상차가 그 경계에서 180도가 아니기 때문이다. 따라서, 잔류 위상 부정합이 각각의 변조 구간의 초기에 존재하고 이러한 잔류 위상 부정합의 누적은 변조기 응답을 저하시킨다.
제5도와 제6도를 참조하면, 주기적 도메인 반전 전기 광학 변조기의 다른 실시예가 본 발명의 다른 실시예에 따라 도시된다. 전기 광학 변조기(70)의 다른 실시예는 4-디메틸아미노 4'-니트로스틸벤(DANS)과 같은 유기 폴리머 비선형 광학 물질을 포함할 수 있는 전기 광학 폴리머(78)로 제조된다. 도전성 접지 평면(74)은 실리콘 기판 물질(94) 위에 배치되어 마이크로스트립 RF 전송 라인을 형성한다. 클래딩(cladding)층(76)은 도전성 접지 평면(74)의 상부에 배치되고 두께는 약 4마이크론이다. 전기 광학 폴리머층(78)은 클래딩 층(76)의 상부에 배치되고 양호한 두께는 약 2마이크론이다. 제2클래딩 층(80)은 또한, 전기 광학 폴리머층(78)의 상부에 배치된다.
전기 광학 폴리머층(78)은 본 분야에 공지된 광 표백화 기술로 형성되는 1쌍의 광 도파관 채널(32'와 40')을 포함한다. 이러한 한가지 광 표백화 기술은 디. 지. 거튼(D. G. Girton)등이 발표한 논문 20GHZElectro-Optic Polymer Mach-Zehnder Modulator, appl. Phys. Lett. 58(16), 1991년 4월 22일 페이지 1730-32에 기재되어 있다. 전계에 의해 전기 광학 폴리머(78)를 폴링(polling)시킴으로써 반전 및 비반전 영역(86 및 88)은 광 도파관 채널(38' 및 40')에 형성되어 결과적으로 강유전성 도메인을 정렬시킨다. 1쌍의 활성 도전성 라인(90과 92)은 전자계를 도전성 라인(90과 92) 각각으로부터 접지 도면성 평면(74)으로 유도시키기 위해 제2클래딩 층(80)의 상부에 형성된다. 결과적으로, 전계는 광 도파관 채널(38' 및 40') 각각을 직접 통과하여 위상 변조를 제공한다.
상기를 검토해 보면, 본 발명은 사용자에게 위상 속도 부정합을 보상하는 향상된 전기 광학 변조기(30 또는 70)를 제공할 수 있다는 것을 알 수 있다. 따라서, 본 발명은 본 명세서에 특정 예들이 결합된 상태로 기재되어 있고, 이것은 첨부된 특허청구의 범위에 의해서만 제한된다. 또한, 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 분야의 숙련자들에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있다.

Claims (15)

  1. 강유전성 도메인을 갖는 기판, 상기 강유전성 도메인 내에서 1번 이상 반대 방향으로 변경되어 관통하는 상기 기판에 형성된 광 도파관 수단, 광 입력 신호를 상기 광 도파관 수단에 결합시키기 위한 광 입력 수단, 상기 기판에 형성되어 상기 광 도파관 수단을 덮는 영역에 전계를 인가시킴으로써 상기 광신호의 변조를 유도하는 RF 도파관 수단, RF 전기 신호를 상기 RF 도파관 수단에 결합시키기 위한 전기 구동 전원 수단, 상기 변조에서의 위상차를 보상하는 주기적으로 반전 및 비반전된 영역들 및 변조된 광 출력 신호를 제공하기 위한 광 출력 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광 도파관 수단이 2개 이상의 평행 광 도파관 채널을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  3. 제1항에 있어서, 동일 평면 도파관을 포함하는 상기 RF 도파관 수단이 상기 RF 전기 신호를 수신하기 위한 제1금속 도체 및 상기 제1금속 도체와의 사이에 상기 전계를 발생시키기 위해 접지에 결합되고 상기 제1금속 도체로부터 분리된 제2금속 접지 도체를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  4. 제3항에 있어서, 상기 평행 광 도파관 채널들이 상기 제1 및 제2금속 도체들에 의해 경계된 변조기 활성 영역 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  5. 제1항에 있어서, 상기 강유전성 도메인이 다수의 평행한 교번(交番) 반전 및 비반전된 영역들을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  6. 제1항에 있어서, 상기 기판이 리튬 니오베이트(LiNbO3)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  7. 제1항에 있어서, 상기 기판이 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  8. 제1항에 있어서, 상기 강유전성 도메인 내의 상기 반전 및 비반전 영역들은 상기 변조 신호와 상기 RF 신호 사이의 위상차가 180도일 때에 이 위상차를 보상하기 위해 교번 방식으로 배치되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  9. 강유전성 도메인을 갖는 기판, 상기 기판에 형성된 2개 이상의 평행 광 도파관 채널들을 갖는 광 도파관, 상기 기판에 형성되어 상기 광 도파관 채널들을 덮는 변조기 활성 영역을 갖는 RF 도파관, 주어진 위상의 광신호를 상기 광 도파관에 결합시키기 위한 광 입력 수단, 전자기 에너지를 상기 RF 도파관에 결합시키기 위한 전자석 구동 전원수단, 상기 광신호 및 상기 RF 신호가 180도 이상(異相)인 경우의 위치에서 전계의 방향을 변경시키기 위한 주기적으로 반전 및 비반전된 영역들 및 진폭 변조 광 출력 신호를 제공하기 위한 광 출력 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  10. 제9항에 있어서, 상기 광 도파관 수단이 2개 이상의 평행 광 도파관 채널들을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  11. 제9항에 있어서, 상기 강유전성 도메인이 다수의 평행한 교번 반전 및 비반전된 영역들을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  12. 제9항에 있어서, 상기 기판이 리튬 니오베이트(LiNbO3)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  13. 제9항에 있어서, 상기 기판이 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.
  14. 기판에 제조된 광 도파관에 광 입력 신호를 공급하는 단계, 위상 변조를 유도하도록 활성 변조 영역내에서 상기 광 도파관 양단에 전기 신호를 발생시키는 단계, 상기 활성 변조 내에 있는 강유전성 도메인의 반전 및 비반전된 영역들을 경유하여 상기 광 도파관을 통해 상기 광 입력 신호를 공급하는 단계 및 변조된 출력 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광신호 변조 방법.
  15. 제14항에 있어서, 제1과 제2광 도파관 채널들 사이에 상기 광 입력 신호를 분할시키는 단계 및 진폭 변조 출력 신호를 제공하기 위해서 상기 제1 및 제2광 도파관 채널들 각각으로부터의 상기 위상 변조 광신호들을 결합시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광신호 변조 방법.
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