KR0120577B1 - 서보 모터 및 인코더 진단 장치 - Google Patents
서보 모터 및 인코더 진단 장치Info
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Abstract
본 발명은 서보 모터 및 상기 서보 모터의 회전수를 감지하여 위상차를 가지는 다수의 채널신호를 출력하는 다수의 인코더를 데스트하는 서보 모터 및 인코더 진단 장치에 있어서, 모터 전원 수단, 인코더 전원 수단, 파형정형 수단(101,102), 제어수단(200), 채널 선택 수단(300), 카운팅 수단(400), 표시 수단(500)을 구비하는 것을 특징으로 하는 서보 모터 및 인코더 진단 장치에 관한 것으로, 서보 모터 및 인코더를 데스트하기 위하여 서보 모터와 인코더를 장비로 부터 해체하는 작업이 불필요하여 서로 모터 및 인코더의 불량유·무 판단이 용이함으로써 장비의 다운 시간 감소와 서보 모터 회전수의 정확한 모니터링에 의하여 장비의 신뢰성을 향상시키는 특유의 효과가 있는 서보 모터 및 인코더 진단 장치에 관한 것이다.
Description
제1a도는 본 발명의 일실시예에 따른 서보 모터 및 인코더 진단 장치의 블럭도.
제1b도는 본 발명의 일실시예에 따른 서보 모터 및 인코더 진단 장치의 상세 회로도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
101,102 : 파형 정형기 200 : 제어부
210 : RS 플립플롭 220 및 230 : 미분기
240 및 250 : 정류부 300 : 채널 선택부
400 : 카운팅부 410 내지 450 : 업·다운 카운터
500 : 표시부 501 내지 505 : 표시소자
본 발명은 서보(servo) 모터 및 서보 모터의 회전수 감지에 이용되는 인코더(encoder)의 불량 유·무를 판단하는 서보 모터 및 인코더 진단 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 서보 모터는 모터의 회전수를 감지하는 인코더를 주로 이용하여 모터의 회전수를 정확하게 제어하게 된다.
종래 기술에 따른 서보 모터 및 인코더 진단 장치에 일예인 이온 임플란터(ion implanter)의 직류 서보 모터 및 인코더 진단 장치에 대하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 반도체 생산 현장에서 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에서 공정 챔버까지 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)하는 웨이퍼 핸들러(handler)는 직류 서보 모터의 회전력을 이용하여 웨이퍼를 이송시킨다. 따라서, 이온 임플란터는 많은 수의 직류 서보 모터를 사용하며, 이러한 직류 서보 모터 각각의 회전수를 검출하는 인코더 역시 많이 사용된다.
그러나, 상기 다수의 서보 모터 및 인코더 중에서 불량 서보 모터 및 인코더에 의하여 장비의 위치값이 변경되거나 웨이퍼 핸들러의 이상동작을 유발시키는 문제점을 초래함으로써 서보 모터 및 인코더 진단 장치의 필요성이 부각되었다.
따라서, 상기 문제점을 해결하고 필요에 부응하여 안출된 본 발명은 서보 모터 및 인코더의 불량 유·무를 판단하는 서보 모터 및 인코더 진단 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 서보 모터 및 상기 서보 모터의 회전수를 감지하여 위상차를 가지는 다수의 채널신호를 출력하는 다수의 인코더를 테스트하는 서보 모터 및 인코더 진단 장치에 있어서, 상기 서보 모터를 구동시키는 모터 전원 수단; 상기 인코더를 구동시키는 인코더 전원 수단; 상기 인코더로 부터 발생되는 다수의 채널신호를 각각 안정된 신호로 파형정형하기 위한 다수의 파형정형수단; 상기 파형정형 수단 각각으로 부터의 출력 신호에 따라 카운트 업·다운 신호 및 채널 선택 신호를 출력하는 제어수단; 상기 채널선택 신호를 입력받아 상기 다수의 채널 신호 중 하나의 채널 신호를 선택·출력하는 채널 선택 수단; 상기 선택된 채널신호를 클럭으로 하고 상기 카운트 업·다운 신호에 따라 업 카운트나 다운 카운트를 수행하는 다수의 카운터를 구비하는 카운팅 수단; 상기 카운팅 수단의 출력을 입력받아 카운팅 된 값을 표시하는 다수의 표시소자를 구비하는 표시 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면 제1a도 및 제1b도를 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 서보 모터 및 인코더 진단 장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제1a도는 본 발명의 일실시예에 따른 서보 모터 및 인코더 진단 장치를 개략적으로 도시한 블럭도로서, 도면에 도시된 바와 같이 인코더가 서보 모터의 회전을 감지하여 출력하는 신호인, 180°의 위상차를 가지는 제1채널신호 및 제2채널신호를 입력받아 안정된 펄스파로 각각 정형하는 2개의 파형정형기(101,102), 상기 파형정형된 제1채널신호 및 제2채널신호를 입력받아 카운트 업·다운 신호 및 채널 선택 신호를 출력하는 제어부(200), 상기 채널 선택 신호에 따라 제1채널 신호 및 제2채널 신호 중 어느 하나를 선택·출력하는 채널 선택부(300), 상기 선택된 채널 신호를 클럭으로 입력받고, 상기 제어부(200)로부터 출력되는 카운트 업·다운 신호에 따라 업 카운트나 다운 카운트를 수행하는 다수의 업·다운 카운터(410 내지 450)로 구성되는 카운팅부(400), 상기 카운팅부(400)의 출력에 따라 카운트 되는 값을 표시하는 다수의 표시소자(501 내지 505)로 구성되는 표시부(100), 서보 모터를 구동시키는 모터 전원 공급부(도면에 도시되지 않음), 인코더를 구동시키는 인코더 전원 공급부(도면에 도시되지 않음), 상기 표시부(500)를 리셋(reset)하여 초기화시키는 리셋 스위치를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 서보 모터 전원 공급부는 서보 모터에 전원을 공급하기 위한 것으로써, 모터의 회전 방향을 전환 시킬 수 있는 모터 회전 방향 전환 스위치를 포함하여 구성할 수 있으며, 상기 인코더 전원 공급부는 인코더에 5V의 전원을 공급하기 위한 것이다.
상기와 같이 구성되는 서보 모터 및 인코더 진단 장치를 더 상세하게 살펴보자.
먼저, 상기 2개의 파형정형기(101,102)는 각각 쉬미트 트리거(schmitt trigger)를 구비하여 인코더로 부터 발생되는 구형파로서, 180。의 위상차를 가지는 제1채널신호 및 제2채널신호를 각각 파형정형하여 안정된 구형파를 출력한다.
그리고, 상기 제어부(200)는 상기 파형정형된 구형파인 제1채널신호 및 제2채널신호를 입력받아 각각 직류신호로 변환시키는 2개의 정류부(240,250), 상기 정류된 제1채널신호 및 제2채널신호를 입력받아 미분하여 각각 하나의 펄스를 발생시키는 2개의 미분기(220,230), 상기 미분된 제1채널신호는 및 제2채널신호를 각각 리셋 입력단자(R) 및 셋 입력단자(S)로 입력받아 그 출력값을 카운트 업·다운 신호 및 채널 선택 신호로 출력하는 RS 플립플롭(210)을 구비한다.
한편, 상기 카운팅부(400)를 구성하는 다수의 업·다운 카운터(410 내지 450)는 전단의 출력신호를 클럭신호로 하여, 또한, 최초의 업·다운 카운터(410)의 클럭신호는 상기 채널 선택부(300)로부터 출력되는 클럭신호를 카운트 한다.
참고적으로, 제1b도는 상기와 같이 이루어지는 본 발명의 일실시예에 따른 서보 모터 및 인코더 진단 장치의 바람직한 실시예를 상세하게 도시한 회로도로서, 도면에 도시된 바와 같이 상기 카운팅부(400)를 구성하는 업·다운 카운터(410 내지 450)는 IC74LS190을 사용하여 구현할 수 있으며, 상기 파형 정형기(101,102)에 쓰이는 쉬미트 트리거는 74LS14를 사용하고, 또한, 상기 표시부(500)내의 표시소자(501 내지 505)는 7세그먼트로 구성하며, 표시소자 구동기는 74LS47를 사용하여 실시하였다.
따라서, 상기와 같이 이루어지는 서보 모터 및 인코더 진단 장치의 동작을 간단하게 설명하면, 먼저, 서보 모터 전원부에서 발생되는 서보 모터 구동 전원을 서보 모터에 인가하고 인코더 전원 공급부에서 발생되는 구동 전원을 인코더에 인가함으로써 발생되는 제1채널신호 및 제2채널신호에 따라 상기 표시부(500)내의 표시소자(501 내지 505)에 표시되는 숫자가 업 카운트나 다운 카운트를 나타냄으로써 서보 모터 및 인코더가 정상상태, 또는 고장난 상태를 작업자가 인지할 수 있으며, 서보 모터의 회전수를 정확하게 모니터링(monitering)할 수 있게 된다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명은 서보 모터 및 인코더를 테스트 하기 위하여 서보 모터와 인코더를 장비로 부터 해체하는 작업이 불필요하여 서보 모터 및 인코더의 불량 유·무 판단이 용이함으로써 장비의 다운 시간 감소와 서보 모터 회전수의 정확한 모니터링에 의하여 장비의 신뢰성을 향상시키는 특유의 효과가 있다.
Claims (2)
- 서보 모터 및 상기 서보 모터의 회전수를 감지하여 위상차를 가지는 다수의 채널신호를 출력하는 다수의 인코더를 테스트하는 서보 모터 및 인코더 진단 장치에 있어서, 상기 서보 모터를 구동시키는 모터 전원 수단; 상기 인코더를 구동시키는 인코더 전원 수단; 상기 인코더로 부터 발생되는 다수의 채널신호를 각각 안정된 신호로 파형정형하기 위한 다수의 파형정형 수단(101,102); 상기 파형정형 수단(101,102) 각각으로 부터의 출력 신호에 따라 카운트 업·다운 신호 및 채널 선택 신호를 출력하는 제어수단(200); 상기 채널 선택 신호를 입력받아 상기 다수의 채널 신호 중 하나의 채널 신호를 선택·출력하는 채널 선택 수단(300); 상기 선택된 채널신호를 클럭으로 하고 상기 카운트 업·다운 신호에 따라 업 카운트나 다운 카운트를 수행하는 다수의 카운터(410 내지 450)를 구비하는 카운팅 수단(400); 상기 카운팅 수단(400)의 출력을 입력받아 카운팅 된 값을 표시하는 다수의 표시소자(501 내지 505)를 구비하는 표시수단(500)를 구비하는 것을 특징으로 하는 서보 모터 및 인코더 진단장치.
- 제1항에 있어서, 상기 다수의 채널신호는 180°의 위상차를 가지는 2개의 채널신호로 구성되고, 상기 제어수단(200)은 상기 2개의 채널신호를 각각 직류신호로 정류하는 2개의 정류수단(240,250); 상기 각각 정류된 2개의 채널신호를 각각 미분하는 2개의 미분수단(220,230); 상기 각각 미분된 2개의 채널신호 중에서 어느 하나의 채널신호를 리셋신호로 하며, 다른 채널신호를 셋신호로 하여 그 출력값을 카운트 업·다운 신호 및 채널 선택 신호로 출력하는 RS 플립플롭(210)을 구비하는 것을 특징으로 하는 서보 모터 및 인코더 진단 장치.
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