KR20030097082A - 스테핑모터 동작상태 검출장치 - Google Patents

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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
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Abstract

본 발명은 반도체 제조장치의 로봇이나 자동화 장치에 사용되는 스테핑모터의 동작상태를 검출하는 스테핑모터 동작상태 검출장치에 관한 것이다.
본 발명은 스테핑 모터 구동 중에 오동작 상태를 정확히 파악하여 불필요한 공수 및 각 부품의 비용을 절감할 수 있는 스테핑모터 동작상태 검출장치를 제공하기 위해, 스테핑모터 동작상태 검출장치는, 소정의 제어신호에 의해서 스테핑모터를 제어하기 위한 펄스를 발생하는 펄스발생기와, 상기 펄스발생기로부터 출력되는 펄스를 입력하여 상기 스테핑모터의 동작을 제어하기 위한 정격전류를 공급하는 모터구동부와, 상기 모터구동부로부터 상기 스테핑모터로 공급되는 전류를 검출하는 전류검출기와, 상기 전류검출기를 통해 검출된 전류를 측정하여 디지털 값으로 변환하여 출력하는 디지털 전류 측정기와, 상기 디지털 전류 측정기로부터 변환된 디지털 전류값을 설정된 전류값과 비교하여 설정된 전류값과 오차가 발생할 경우 알람 발생 제어신호를 출력하는 상기 제어기와, 상기 제어기의 알람 발생 제어신호에 의해 알람을 발생하는 알람발생부를 포함함을 특징으로 한다.

Description

스테핑모터 동작상태 검출장치{Device for detecting operation state of stepping motor}
본 발명은 스테핑모터 동작상태 검출장치에 관한 것으로, 특히 반도체 제조장치나 자동화 장치에 사용되는 스테핑모터의 동작상태를 검출하는 스테핑모터 동작상태 검출장치에 관한 것이다.
일반적으로, 스테핑모터는 입력되는 펄스(pulse)수 만큼 회전을 함으로써 원하는 위치 장치 또는 물품을 이동시키기 위하여 사용된다. 예컨대, 반도체 제조장비의 로봇을 이용하여 웨이퍼를 이송시키기 위하여 볼 스크류(ball screw), 엘엠레일(LM rail), 스테핑 모터 등을 결합하여 상,하 운동하게 된다. 이때, 부하의 급상승 또는 급 하강 운동 시 스테핑모터에서 과부하에 의한 기동 주파수를 벗어나는 경우 스테핑모터의 탈조현상이 발생된다.
도 1은 종래 기술에 따른 스테핑모터의 구동장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 스테핑모터의 구동장치는, 상위제어기(10), 펄스발생회로(12), 전용 콘트롤러(14), 모터구동회로인 구동부(16) 및 스테핑모터(18)를 포함한다.
상기 상위제어기(10)는 일종의 마이크로컴퓨터(micro computer)를 포함하는 컴퓨터 장치로서 스테핑모터(18)의 구동에 의하여 소정의 물품을 가공하기 위한 가공장치의 전반적인 제어를 처리하는 콘트롤러(controller)이다.
상기 펄스발생회로(12)는 상위제어기(10)의 제어에 따라서 스테핑모터(18)를 제어하기 위한 펄스를 발생하며, 발생되는 펄스에 의하여 스테핑모터(18)를 구동하기 위한 구동부(16)를 제어한다.
상기 전용콘트롤러(14)는 일종의 집적회로(IC)로서 펄스발생회로(12)로부터 출력되는 펄스를 입력하여 스테핑모터(18)의 동작을 제어하는 구동부(16)로 안정적인 펄스가 공급되도록 하여 스테핑모터(18)가 탈조되지 않도록 제어하게 된다.
상기와 같이 구성되는 종래 기술에 따른 스테핑모터의 구동장치는, 스테핑모터(18)를 제어하는 사용자의 제어 또는 미리 설정되는 프로그램에 따라서 상위제어기(10)로부터 소정의 명령이 발생된다.
즉, 사용자의 제어 또는 미리 설정되는 명령을 수행하기 위하여 상위제어기(10)로부터 출력되는 신호에 따라서 스테핑모터(18)는 소정의 각을 회전하게 되는데, 스테핑모터(18)의 구동불량에 의해 위치이동이 발생하는 경우 로봇의 드롭이 발생된다.
따라서 로봇의 드롭발생에 대한 원인을 규명하는데 많은 시간이 소요되고, 설비 트레블 트레이스 시 정확한 원인을 규명하지 못하여 각 부품들에 대하여 교환 작업을 실시하여 동작유무를 확인하고 있어 각 부품비용 및 엔지니어가 작업하는 로스 시간이 많이 발생하여 생산성이 떨어지는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 스테핑 모터 구동 중에 오동작 상태를 정확히 파악하여 불필요한 공수 및 각 부품의 비용을 절감할 수 있는 스테핑모터 동작상태 검출장치를 제공함에 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 스테핑모터의 구동장치를 설명하기 위한 블록도
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 스테핑모터 동작상태 검출장치의 구성도
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
20: 제어기 22: 펄스발생기
24: 모터구동부 26: 스테핑모터
28: 전류검출기 30: 디지털 전류 측정기
32: 알람발생부
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 스테핑모터 동작상태 검출장치는, 소정의 제어신호에 의해서 스테핑모터를 제어하기 위한 펄스를 발생하는 펄스발생기와, 상기 펄스발생기로부터 출력되는 펄스를 입력하여 상기 스테핑모터의 동작을 제어하기 위한 정격전류를 공급하는 모터구동부와, 상기 모터구동부로부터 상기 스테핑모터로 공급되는 전류를 검출하는 전류검출기와, 상기 전류검출기를 통해 검출된 전류를 측정하여 디지털 값으로 변환하여 출력하는 디지털 전류 측정기와, 상기 디지털 전류 측정기로부터 변환된 디지털 전류값을 설정된 전류값과 비교하여 설정된 전류값가 오차가 발생할 경우 알람 발생 제어신호를 출력하는 상기 제어기와, 상기 제어기의 알람 발생 제어신호에 의해 알람을 발생하는 알람발생부를 포함함을 특징으로 한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 또한 하기의 본 발명을 설명함에 있어서 잘 알려져 있는 기술적 구성들과 널리 사용되는 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명들 중 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략됨에 유의하여야 한다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 스테핑모터 동작상태 검출장치의 구성도이다.
소정의 제어신호에 의해서 스테핑모터(26)를 제어하기 위한 펄스를 발생하며, 발생되는 펄스에 의하여 스테핑모터(26)를 구동하기 위한 모터구동부(24)를 제어하는 펄스발생기(22)와,
상기 펄스발생기(22)로부터 출력되는 펄스를 입력하여 스테핑모터(26)의 동작을 제어하기 위한 정격전류를 공급하는 모터구동부(24)와,
상기 모터구동부(24)로부터 스테핑모터(26)로 공급되는 전류를 검출하여 디지털 전류 측정기(30)로 인가하는 전류검출기(CT)(28)와,
상기 전류검출기(28)를 통해 검출된 전류를 측정하여 디지털 값으로 변환하여 제어기(20)로 인가하는 디지털 전류 측정기(30)와,
스테핑모터(26)의 구동에 의하여 소정의 물품을 가공하기 위한 가공장치의 전반적인 제어를 처리하는 콘트롤러(controller)이며, 상기 디지털 전류 측정기(30)로부터 변환된 디지털 전류값을 설정된 전류값과 비교하여 설정된 전류값가 오차가 발생할 경우 알람 발생 제어신호를 출력하는 상기 제어기(20)와,
상기 제어기(20)의 알람 발생 제어신호에 의해 알람을 발생하는 알람발생부(32)로 구성되어 있다.
상술한 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예의 스테핑모터의 동작상태를 검출하는 동작을 상세히 설명한다.
상기 제어기(20)는 일종의 마이크로컴퓨터(micro computer)를 포함하는 컴퓨터 장치로서 스테핑모터(26)의 구동에 의하여 소정의 물품을 가공하기 위한 가공장치의 전반적인 제어를 처리하는 콘트롤러(controller)이다. 제어기(20)에서 로봇을 이동하기 위한 신호를 발생하여 펄스발생기(22)로 인가한다. 그러면 펄스발생기(22)는 제어기(20)의 제어에 따라서 스테핑모터(26)를 제어하기 위한 펄스를 발생하며, 발생되는 펄스에 의하여 스테핑모터(26)를 구동하기 위한 모터구동부(24)를 제어한다.
상기 모터구동부(24)는 펄스발생회로(22)로부터 출력되는 펄스를 입력하여 스테핑모터(26)의 동작을 제어하기 위한 정격전류를 공급한다. 이때전류검출기(28)는 상기 모터구동부(24)와 스테핑모터(26)사이에 설치되어 있으며, 상기 스테핑모터(26)로 공급되는 전류를 검출하여 디지털 전류 측정기(30)로 인가한다.
디지털 전류 측정기(30)는 상기 전류검출기(28)를 통해 검출된 전류를 측정하여 디지털 값으로 변환하여 제어기(20)로 인가한다.
상기 디지털 전류 측정기(30)로부터 변환된 디지털 전류값을 설정된 전류값과 비교하여 설정된 전류값가 오차가 발생할 경우 알람 발생 제어신호를 출력한다. 즉, 제어기(20)는 모터구동 케이블이 단선상태, 접촉저항이 상승상태 등을 검출하여 알람 발생 제어신호를 출력한다.
알람발생부(32)는 상기 제어기(20)의 알람 발생 제어신호에 의해 알람을 발생한다.
상술한 바와 같이 본 발명은 모터구동부와 스테핑모터 사이에 전류 검출기를 설치하여 그 전류 검출기로부터 검출된 전류값을 이용하여 모터케이블 단선, 접촉저항 상승상태, 모터구동 페일(FAIL) 등을 진단하여 스테핑포터의 구동 불량에 따른 로봇의 드롭발생을 방지할 수 있고, 또한 모터구동 불량에 따른 원인을 즉시 파악하여 부품의 비용이나 엔지니어 로스시간을 절약하여 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

Claims (2)

  1. 소정의 제어신호에 의해서 스테핑모터를 제어하기 위한 펄스를 발생하는 펄스발생기와,
    상기 펄스발생기로부터 출력되는 펄스를 입력하여 상기 스테핑모터의 동작을 제어하기 위한 정격전류를 공급하는 모터구동부와,
    상기 모터구동부로부터 상기 스테핑모터로 공급되는 전류를 검출하는 전류검출기와,
    상기 전류검출기를 통해 검출된 전류를 측정하여 디지털 값으로 변환하여 출력하는 디지털 전류 측정기와,
    상기 디지털 전류 측정기로부터 변환된 디지털 전류값을 설정된 전류값과 비교하여 설정된 전류값가 오차가 발생할 경우 알람 발생 제어신호를 출력하는 상기 제어기와,
    상기 제어기의 알람 발생 제어신호에 의해 알람을 발생하는 알람발생부를 포함함을 특징으로 하는 스테핑모터 동작상태 검출장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어기는, 모터케이블 단선상태, 모터구동 페일상태, 접촉저항 상승상태를 검출 시 알람을 발생하도록 제어함을 특징으로 하는 스테핑모터 동작상태 검출장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100905443B1 (ko) * 2007-05-22 2009-07-02 고려대학교 산학협력단 3상 교류 전동기 전력 공급 회로의 접촉 불량 검출 장치,방법, 및 상기 방법을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독 가능한프로그램을 기록한 매체
KR101304057B1 (ko) * 2012-03-14 2013-09-04 한국원자력연구원 스텝 모터 드라이버 제어 장치
CN105119541A (zh) * 2015-09-28 2015-12-02 中国矿业大学 一种基于dsp的步进电机控制系统

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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