JPWO2023112380A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2023112380A5
JPWO2023112380A5 JP2023567532A JP2023567532A JPWO2023112380A5 JP WO2023112380 A5 JPWO2023112380 A5 JP WO2023112380A5 JP 2023567532 A JP2023567532 A JP 2023567532A JP 2023567532 A JP2023567532 A JP 2023567532A JP WO2023112380 A5 JPWO2023112380 A5 JP WO2023112380A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonator
arm
vibration
support
support arm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2023567532A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2023112380A1 (https=
JP7708213B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2022/030297 external-priority patent/WO2023112380A1/ja
Publication of JPWO2023112380A1 publication Critical patent/JPWO2023112380A1/ja
Publication of JPWO2023112380A5 publication Critical patent/JPWO2023112380A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7708213B2 publication Critical patent/JP7708213B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2023567532A 2021-12-15 2022-08-08 共振子及び共振装置 Active JP7708213B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021203493 2021-12-15
JP2021203493 2021-12-15
PCT/JP2022/030297 WO2023112380A1 (ja) 2021-12-15 2022-08-08 共振子及び共振装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2023112380A1 JPWO2023112380A1 (https=) 2023-06-22
JPWO2023112380A5 true JPWO2023112380A5 (https=) 2024-08-23
JP7708213B2 JP7708213B2 (ja) 2025-07-15

Family

ID=86774220

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023567532A Active JP7708213B2 (ja) 2021-12-15 2022-08-08 共振子及び共振装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20240333249A1 (https=)
JP (1) JP7708213B2 (https=)
CN (1) CN118402181A (https=)
WO (1) WO2023112380A1 (https=)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024002471A (ja) * 2022-06-24 2024-01-11 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6245265B2 (ja) * 2013-09-20 2017-12-13 株式会社村田製作所 振動装置及びその製造方法
JP6468350B2 (ja) * 2015-04-27 2019-02-13 株式会社村田製作所 共振子及び共振装置
WO2017110126A1 (ja) * 2015-12-21 2017-06-29 株式会社村田製作所 共振子及び共振装置
WO2018123118A1 (ja) * 2016-12-27 2018-07-05 株式会社村田製作所 共振装置
CN111683896B (zh) * 2018-02-09 2023-11-10 株式会社村田制作所 Mems设备
CN112703673B (zh) * 2018-09-28 2024-04-12 株式会社村田制作所 谐振子和谐振装置
WO2020261630A1 (ja) * 2019-06-26 2020-12-30 株式会社村田製作所 共振装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107210723B (zh) 晶体振动片及晶体振动器件
CN107534432B (zh) 谐振子以及谐振装置
US20080252178A1 (en) Contour resonator
JPWO2023112380A5 (https=)
CN107925395A (zh) 谐振子以及谐振装置
JP6719313B2 (ja) 圧電振動片および圧電振動子
TW490987B (en) Bending wave loudspeaker and method of making the same
CN112703673B (zh) 谐振子和谐振装置
JP2003273679A (ja) 圧電振動片の製造方法、フォトマスク、圧電振動片および圧電デバイス
CN110785930B (zh) 谐振器以及谐振装置
JPWO2021220536A5 (https=)
CN115428336A (zh) 谐振器以及谐振装置
JP2020174402A (ja) 抑制されたスプリアスモードを伴うｍｅｍｓ共振子
JP7708213B2 (ja) 共振子及び共振装置
JPWO2021220535A5 (https=)
JP2024072373A (ja) 振動片及び振動デバイス
JPS5818807B2 (ja) アツミスベリケツシヨウシンドウシ
JPS60137115A (ja) 圧電振動子
JPH01227515A (ja) 圧電振動子
JP3114521B2 (ja) ラダー型フィルタ
JP6573462B2 (ja) 水晶振動子
JP2006186462A (ja) 水晶振動子
JP2008283665A (ja) 輪郭振動子
JPWO2019035238A1 (ja) 共振子及び共振装置
JP2007173906A (ja) 圧電振動片および圧電デバイスの製造方法