JPWO2023022117A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2023022117A5
JPWO2023022117A5 JP2023542390A JP2023542390A JPWO2023022117A5 JP WO2023022117 A5 JPWO2023022117 A5 JP WO2023022117A5 JP 2023542390 A JP2023542390 A JP 2023542390A JP 2023542390 A JP2023542390 A JP 2023542390A JP WO2023022117 A5 JPWO2023022117 A5 JP WO2023022117A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
dust
predetermined time
main surface
particle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2023542390A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2023022117A1 (https=
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2022/030831 external-priority patent/WO2023022117A1/ja
Publication of JPWO2023022117A1 publication Critical patent/JPWO2023022117A1/ja
Publication of JPWO2023022117A5 publication Critical patent/JPWO2023022117A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2023542390A 2021-08-18 2022-08-12 Pending JPWO2023022117A1 (https=)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021133344 2021-08-18
PCT/JP2022/030831 WO2023022117A1 (ja) 2021-08-18 2022-08-12 ダスト計測装置、ダスト計測方法およびプログラム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2023022117A1 JPWO2023022117A1 (https=) 2023-02-23
JPWO2023022117A5 true JPWO2023022117A5 (https=) 2024-05-15

Family

ID=85240799

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023542390A Pending JPWO2023022117A1 (https=) 2021-08-18 2022-08-12

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPWO2023022117A1 (https=)
TW (1) TW202314642A (https=)
WO (1) WO2023022117A1 (https=)

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0637750U (ja) * 1992-10-21 1994-05-20 日新製鋼株式会社 粉塵分布計測装置
JP3605579B2 (ja) * 2001-06-29 2004-12-22 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション クリーンルーム用の塵埃検出装置、塵埃検出システム、微粒子測定器および塵埃検出方法
JP2003075353A (ja) * 2001-09-03 2003-03-12 Moritex Corp ダストカウンタとその部品
CN201724881U (zh) * 2010-06-08 2011-01-26 王旗 煮糖罐晶粒形态在线监测装置
JP2014048100A (ja) * 2012-08-30 2014-03-17 Sharp Corp 粒子検出装置
JP2015190958A (ja) * 2014-03-28 2015-11-02 大日本印刷株式会社 異物測定方法及び異物測定装置
JP6486643B2 (ja) * 2014-10-16 2019-03-20 国立大学法人電気通信大学 粉粒体の流量計測方法とそのプログラム
CN110383038B (zh) * 2016-10-21 2022-09-23 第一前沿有限公司 用于对空气样本进行自动分析的系统和方法
JP6549747B2 (ja) * 2017-04-14 2019-07-24 リオン株式会社 粒子測定装置および粒子測定方法
US12326391B2 (en) * 2019-07-29 2025-06-10 Hitachi High-Tech Corporation Particle quantifying device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10043290B2 (en) Image processing to enhance distance calculation accuracy
JP6855587B2 (ja) 視点から距離情報を取得するための装置及び方法
JP5567922B2 (ja) 画像処理装置及びその制御方法
TWI498580B (zh) 長度量測方法與長度量測裝置
KR102167301B1 (ko) 매트릭스 검사 타겟
TWI597489B (zh) 於暗場檢測工具上之單一晶粒檢測
CN116134289B (zh) 三维测量装置
CN106657992B (zh) 一种自适应检测和调整双摄光轴的装置及方法
JP2016524334A (ja) 自由形態の保護領域を使用するウエハ検査
US10841561B2 (en) Apparatus and method for three-dimensional inspection
US12153174B2 (en) X-ray detection system with improved spatial coverage
CN119589108A (zh) 一种激光射向调节的修正方法及系统
JP7127046B2 (ja) モデルベースのピーク選択を使用した３ｄプロファイル決定のためのシステム及び方法
US9417196B2 (en) X-ray diffraction based crystal centering method using an active pixel array sensor in rolling shutter mode
CN108968825A (zh) 一种扫地机器人和机器人扫地方法
JPWO2023022117A5 (https=)
JP5927010B2 (ja) 検査装置
JP2012112721A (ja) 浮遊粒子の測定方法及びその装置
CN109000560A (zh) 基于三维相机检测包裹尺寸的方法、装置以及设备
CN115437206A (zh) 一种多目摄像头测试方法、系统及存储介质
JPH0914914A (ja) レーザスペックルパターンによる移動量の測定装置におけるレーザ光の照射方法ならびにその装置
JP2013257289A (ja) 画像処理装置、及び画像処理方法
JP4304266B6 (ja) 粒子混合物の粒子大きさ分布を判定する装置
JP4304266B2 (ja) 粒子混合物の粒子大きさ分布を判定する装置
WO2024062809A1 (ja) 光検出装置、および光検出システム