JPWO2022244869A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 光ファイバ母材を線引き炉で加熱して線引きし、線引きにより形成された光ファイバを、前記線引き炉の下方に配置され且つヒータを備えた管状の徐冷炉の内部に通過させる、光ファイバの製造方法であって、
   前記徐冷炉の内部における前記光ファイバの走行方向に沿った複数の位置でパーティクル数を測定する工程と、
   測定された前記パーティクル数に応じて前記徐冷炉の内部に供給するガスの流量を調整する工程と、を含む、光ファイバの製造方法。
2. 前記徐冷炉の上部に設けられたガス供給口から前記ガスを供給する、請求項１に記載の光ファイバの製造方法。
3. 前記ガスがアルゴンガスである、請求項１又は請求項２に記載の光ファイバの製造方法。
4. 前記ガスの流量は５０リットル／分以下である、請求項１又は請求項２に記載の光ファイバの製造方法。
5. 前記ガスの流量を調整する工程において、前記複数の位置で測定された０．３μｍ以上のパーティクル数の平均が５００個／ＣＦ以下となるように前記流量を調整する、請求項１又は請求項２に記載の光ファイバの製造方法。
6. 前記パーティクル数の平均が１００個／ＣＦ以下となるように前記流量を調整する、請求項５に記載の光ファイバの製造方法。
7. 光ファイバ母材を加熱線引きする線引き炉と、
   前記線引き炉の下方に配置され、ヒータを備えた管状の徐冷炉と、を備えている光ファイバの製造装置であって、
   前記徐冷炉は、前記徐冷炉の内部に供給されるガスを吸引するとともに当該徐冷炉の内部における前記光ファイバの走行方向の複数の位置でパーティクル数を測定するガス吸引口を有している、光ファイバの製造装置。
8. 前記ガスを供給するガス供給口が前記徐冷炉の上部に設けられている、請求項７に記載の光ファイバの製造装置。
9. 前記ガス供給口は、内管と、前記内管と中心が同一となるように配置された外管とを備え、
   前記内管と前記外管の間から前記走行方向に沿って前記ガスが噴出する、請求項８に記載の光ファイバの製造装置。
10. 前記パーティクル数を制御する制御装置をさらに備え、
    前記制御装置は、前記パーティクル数の測定結果を入力値とし、前記ガスの流量設定値を出力値とする、請求項７から請求項９のいずれか一項に記載の光ファイバの製造装置。