JPWO2022019167A5 - - Google Patents
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Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020124567 | 2020-07-21 | ||
| JP2020124567 | 2020-07-21 | ||
| PCT/JP2021/026151 WO2022019167A1 (ja) | 2020-07-21 | 2021-07-12 | 圧力センサ構造、圧力センサ装置および圧力センサ構造の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2022019167A1 JPWO2022019167A1 (https=) | 2022-01-27 |
| JPWO2022019167A5 true JPWO2022019167A5 (https=) | 2023-04-13 |
| JP7485045B2 JP7485045B2 (ja) | 2024-05-16 |
Family
ID=79728710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022537934A Active JP7485045B2 (ja) | 2020-07-21 | 2021-07-12 | 圧力センサ構造、圧力センサ装置および圧力センサ構造の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US12345593B2 (https=) |
| JP (1) | JP7485045B2 (https=) |
| CN (1) | CN116134625B (https=) |
| WO (1) | WO2022019167A1 (https=) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117836598A (zh) * | 2021-08-31 | 2024-04-05 | 株式会社村田制作所 | 压力传感器元件及压力传感器 |
| CN118056117A (zh) * | 2021-10-05 | 2024-05-17 | 株式会社村田制作所 | 压力传感器构造和压力传感器装置 |
| CN117129119A (zh) * | 2023-10-26 | 2023-11-28 | 西安中星测控有限公司 | 一种基于玻璃熔合技术的mcs压力传感器及其制做方法 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6056244U (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-19 | 住友電気工業株式会社 | 半導体圧力センサ |
| JPS6432U (https=) * | 1987-06-19 | 1989-01-05 | ||
| JPH0749278A (ja) * | 1993-08-05 | 1995-02-21 | Omron Corp | 圧力センサ |
| SE506558C2 (sv) * | 1994-04-14 | 1998-01-12 | Cecap Ab | Givarelement för tryckgivare |
| FI112644B (fi) * | 2000-11-10 | 2003-12-31 | Vaisala Oyj | Pintamikromekaaninen absoluuttipaineanturi ja menetelmä sen valmistamiseksi |
| JP2005077134A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-24 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP3930862B2 (ja) * | 2004-02-13 | 2007-06-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 容量型センサ |
| DE102004011144B4 (de) * | 2004-03-08 | 2013-07-04 | Infineon Technologies Ag | Drucksensor und Verfahren zum Betreiben eines Drucksensors |
| JP5083247B2 (ja) * | 2008-11-13 | 2012-11-28 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
| US8569092B2 (en) | 2009-12-28 | 2013-10-29 | General Electric Company | Method for fabricating a microelectromechanical sensor with a piezoresistive type readout |
| TWI439413B (zh) * | 2011-03-30 | 2014-06-01 | Pixart Imaging Inc | 微機電感測裝置及其製作方法 |
| WO2014085611A1 (en) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | Robert Bosch Gmbh | Mems pressure sensor assembly with electromagnetic shield |
| JP2015059831A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-03-30 | 株式会社デンソー | 電子装置 |
| FI126999B (en) * | 2014-01-17 | 2017-09-15 | Murata Manufacturing Co | Improved pressure sensor |
| CN106716095A (zh) * | 2014-09-19 | 2017-05-24 | 株式会社村田制作所 | 压力传感器模块 |
| CN107110634A (zh) * | 2014-10-22 | 2017-08-29 | 阪东化学株式会社 | 静电电容型传感器 |
| JP6476869B2 (ja) * | 2015-01-06 | 2019-03-06 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、電子機器および移動体 |
| JP6786469B2 (ja) * | 2017-11-30 | 2020-11-18 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサのシールド構造、および、それを備える圧力センサ |
-
2021
- 2021-07-12 WO PCT/JP2021/026151 patent/WO2022019167A1/ja not_active Ceased
- 2021-07-12 JP JP2022537934A patent/JP7485045B2/ja active Active
- 2021-07-12 CN CN202180059986.8A patent/CN116134625B/zh active Active
-
2023
- 2023-01-05 US US18/093,354 patent/US12345593B2/en active Active
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